JPH01237408A - 位置検出センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、位置検出センサに関する。

〔従来の技術〕

非接触で光学的に物体の位置を検出する方法として、　
Ｐ　Ｓ　Ｄ　（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　５ｅｎｓｉｔｉｖｅ
　Ｄｅｖｉｃｅ）を用いる方法がある。このＰＳＤは第
３図に符号Ａで示すように、受光面１に当たったスポッ
ト光ａの位置を電流出力から検出するセンサである。受
光面１の両側に電極２．３を配置してその電極２．３を
流れる電流Ｉａ、Ｉｂを検出すると、スポット光ａの位
置Ｘは、次の式で得られる。

ｌは電極２．３間の距離である。なお、図中Ｅはバイア
ス電源である。

また２次元のＰＳＤは第４図に符号Ｂで示すように、対
向する電極が符号２．３の他に符号４．５で示すように
２組用いられ、スポット光すの位置ＸＩ、Ｙｌは、電極
２．３を流れる電流をｌｘａ、Ｉｘｂ、電極４．５を流
れる電流をＩｙａ、Ｉｙｂとすると、 で得られる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、従来の位置検出センサはすべてその形状が平
面であり、その応用範囲が限られてしまう。例えば、第
５図に示すように、アーム等の回動体６の回転角θを検
出する場合、その角度θは、光源６ａによるスボソ１〜
光Ｃの位置に対応するＸ］、回動支点６ｂと位置検出セ
ンサＡとの間の距離ｒで求めることができるが、角度θ
が大きくなればそれに対応してｘｌが大きくなり、位置
検出センサＡに形状の大きなものが必要となる。なお、
光学系を改善すれば、ある程度小さな位置検出センサも
可能であるが、今度はその光学系が複雑となるという問
題がある。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は、応用範囲を拡げた位置検出センサを提供する
ことである。

〔課題を解決するための手段〕

このために本発明の位置検出センサば、アモルファス半
導体を曲面状に形成し端部に電極を設けた。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について説明する。第１図はその
一実施例の位置検出センサＣを示ず図である。本実施例
のセンサＣば、受光面７を所定の曲率半径で湾曲させて
、その両端に電極８．９を設けた。受光面７ばＣＶＤ等
を利用してアモルファスシリコンで形成した。

よってこの実施例では、受光面７の半径支点に回動体６
の支点６ｂを位置させておりば、その回動体６の回動角
度θを一次元的に検出することができる。つまり、光源
６ａによるスポット光Ｃを電極８．９間の受光面７に沿
った沿面距離Ｌ　２に対する距離ｘ２として検出するの
みて、角度θを知ることができ、その演算しＪ第５図の
例（式（４））に比べて極めて簡単な式（１）に対応し
た演算式となる。

またこの場合、距離ｘ２は角度θに正比例した値となり
、同一角度θを検出するために第５図に示す例のセンサ
Ａの長さＬ　Ｌと比べると、本実施例のセンサＣのＬ　
２ば長くなるが、湾曲しているので、形状的には小型化
される。

第２図は別の実施例の位置検出センサＤを示す図である
。この例では、センサＤの受光部１０を半球面状の凹形
状に形成して、縁部に９０度の角度間隔で電極１１〜１
４を設けている。この場合スボッ１−光ｄの位置を示す
角度Ｏ１Φは、半径をＲとすると、 ＲＲ ＲＲ となる。６ｘｌは電極１３．１４間のスポット光ｄを通
る線ｍの電極■４からスポット光ｄまでの距離、６ｙｌ
は電極１１．１２間のスポット光ｄを通る線ｎの電極１
２からスポット光ｄまでの距離である。

〔発明の効果〕

以上から本発明によれは、曲面の受光面を持つ位置検出
センサを実現できるので、位置検出は勿論、さらに発展
させて角度検出等にも応用でき、利用範囲が拡がるよう
になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の位置検出センサの説明図、
第２図は別の実施例の同センザの説明図、第３図〜第５
図は従来の同センザの説明図である。 ７．１０・・・受光面、８．９．１１〜１４・・・端子
。 代理人　弁理士　長　尾　常　明 ｙａ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）、アモルファス半導体を曲面状に形成し端部に電
   極を設けたことを特徴とする位置検出センサ。
2. （２）、上記アモルファス半導体が、アモルファスシリ
   コンでなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の位置検出センサ。