JPH01233822A - 静磁波共振器 - Google Patents

静磁波共振器

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JPH01233822A
JPH01233822A JP6141688A JP6141688A JPH01233822A JP H01233822 A JPH01233822 A JP H01233822A JP 6141688 A JP6141688 A JP 6141688A JP 6141688 A JP6141688 A JP 6141688A JP H01233822 A JPH01233822 A JP H01233822A
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thin film
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strip conductor
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harmonic
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JP6141688A
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Hideki Asao
英喜 浅尾
Moriyasu Miyazaki
守泰 宮崎
Osami Ishida
石田 修己
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野J この発明は、フェリ磁性体の薄膜を用いた静磁波共振器
に関するものである。
[従来の技術J 第6図は例えば唱62年電子情報通信学会半導体・材料
部門全国大会講演論文集2−20.2−21に示された
従来の静磁波共振器を示す斜視図であり、図において、
(1)は矩形のフェリ磁性体#膜、(2)はフェリ磁性
体薄膜(1)を支持する誘電体基板、(3)はフェリ磁
性体薄膜(1)面上に配置されたストリップ導体、(4
)は複数のストリップ導体よシ成るトランスデユーサ、
(5)は誘電体基板(2)面に密着させた地導体である
また、該フェリ磁性体薄膜(1)には膜面に垂直または
平行に直流磁界を印加する必要があるが、この直流磁界
を印加するための磁気回路についてはこの図では省略す
る。
次に動作について説明する。第7図は第6図のA−A@
面であ夛矢印で示すように共振時にはy成分高周波磁界
をもつ静磁波の定在波が存在する。
また、例えば5本のストリップ導体(3)を用いたトラ
ンスデユーサ(4)の高周波電流によ)誘起される高尚
波磁界は第8図(b)中に磁力線を点線で示すように分
布する。この高周波磁界はy成分をもつため、同じ<y
fEfc分高周波分界周波磁界磁波と結合する。
各ストリップ導体(3)の高同波電流は同位相であシ、
ストリッツ導体(3)に接するフェリ磁性体薄膜(1)
の局部で特に強く高周波磁界が誘起されるため、第8図
(a)に破線で示す静磁波基本モード共振の他に・実線
で示すように、ストリップ導体(3)の位置において同
じ極性をもつ定在波の静磁波高次モードが結合し易い。
この定在波の波長はストリップ導体(3)間隔にはば一
致する。
なお、第8図(a)において両端の定在波の形が正弦波
状から崩して示しているのは第9図に示すように、直流
磁界を膜面に垂直に加えた場合にはフェリ磁性体薄膜(
1)端部において反磁界が急激に減少するため、内部直
流磁界が大きくなシ、静磁波が遮断していることを表し
ている。
第1O図に該静磁波共振器の応用例である可変周波数発
振器の構成を示す。(6)はFgT(を界効果トフンジ
スタ) 、 (7)は整合回路、(8)は負荷である。
また、静磁波共振器のトランスデユーサ(4)の一端は
短絡されている。いま、−点鎖線で示す基準面Bで切離
した場合における静磁波共振器側、F E T (6)
側を見た複素数の反射係数をrr、 raとする。この
発振条件は式(1)で与えられる。
1Fril/’al>  1  、    乙rr+ 
tFa=  0         (1)第11図には
、スミス図表上にF E T (6)側反射係数の逆数
1.//’aの一例を一点鎖線で、また、従来の静磁波
共振器の反射係数Frを実線で示す。式(1)よシ、−
点鎖線の外側である斜線部に、静磁波共振器側反射係数
rrが存在すると発振する。図中のJJ’ra 、 /
’r軌跡上に基本モードの共振周波数flと高次モード
の共振同波数f2を示す。従来の静磁波共振器では、基
本セードの他にストリップ導体(3)間隔にほぼ一致す
る波長の静磁波高次モードが結合し易いため、高次モー
ドの共振周波数f2においても不要発振する可能性があ
る。
〔発明が解決しようとする問題点J 従来の静磁波共振器はトランスデユーサ(4)が複数の
ストリップ導体(3)で構成されているので、ストリッ
プ導体(3)間隔にほぼ等しい静磁波高次モードが結合
し易く、可変周波数発振器を構成する場合などでは、不
要発振が起きる可能性があ夛、発振同波数を9変できる
帯域が狭くなるなどの問題があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、静磁波高次モードを抑制できる静磁波共振器
を得ることを目的とするO〔問題点を解決するための手
段」 この発明に係る静磁波共振器は、トランスデユーサに用
いるストリップ導体幅をフェリ磁性体薄膜の幅の約3分
の1以上としたものである。
〔作用」 この発明における静磁波共振器では、高次七−ド全てに
対して結合が疎となシ基本モードに対してのみ結合が密
となるようなストリップ導体幅のトランスデユーサを設
けているため、高次モード共振が抑制される。
〔発明の実施例」 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図において、(9)は、矩形フェリ磁性体薄膜(1)の
中心軸であるX軸に市って配置され、フェリ磁性体薄膜
(1)の幅の約3分の1の幅をもつ幅広のストリップ導
体である。
なお、(1)、(2)、(5)は従来のものと同一でろ
る。
また、従来の説明と同様、直流磁界を印加するための磁
気回路については図では省略する。
第2図(a)に、第1図に示した本発明による静磁波共
振器のC−C断面における共振モードの定在波分布を示
す。幅広ストリップ導体(9)が中心にあるため奇対称
なモードは励振されず第2図伝)中破線で示すような偶
対称である基本モード、および実線、−点鎖線で示すよ
うな偶対称な高次モードが励振される。これらの内、最
低次の高次モードは図中−点鎖線で示すように極性の反
転した定在波の山を3つもつモードである。これを第3
次モードと名付ける。第3次モードの波長は、反磁界の
小さな静磁波遮断領域を除いた7工リ磁性体薄! (1
)の実効的な幅D effのV3である。この実効的な
幅Deffは、実寸幅りがフェリ磁性体薄膜<1)の厚
さの数十倍以上の場合には、Deff/ Dが2/3以
上である。つまシ第3次モードの波長はフェリ磁性体薄
膜(1)の幅りの約4/9である。
第2図(b)に、幅広ス)IJッグ導体(9)にょシ誘
起される高周波磁界を破線で示す。幅広ストリップ導体
(9)の近傍のフェリ磁性体薄膜(1)内に励振される
高周波磁界はy方向にほぼ一様となるQ幅広ストリップ
導体(9)の幅Wをフェリ磁性体薄膜の幅りの約1/3
としているため、はぼ第3次セードの波長に一致し、第
2図(b)甲、斜線で示す極性反転部が相殺し結合が小
さくなる。さらに5次以上のモードは3次モードに比較
し波長が短いためこれら高次モードについても結合が小
さくなる。一方、基本モードについては第2図(b)中
破線で示すように極性が反転しないため結合は蜜になる
。こnらのモードの結合係数とストリップ導体幅Wとの
関係の計算例を第3図に示す。この図の横軸はストリッ
プ導体幅Wとフェリ磁性体薄膜(1)の実効的な幅De
、t’fとの比である。W/Derrが2/3の場合に
は、ストリップ導体幅Wが3次モードの波長に一致する
ため結合係数はOになる。この図よ)すべての高次モー
ドの結合係数を約0.25以下にするにはW/ Def
fはl/2以上とすれば良いことがわかる。ここでDe
ff/Dが反磁界の影響によυv3以上であることから
、幅広ストリップ導体(9)の幅とフェリ磁性体薄膜(
1)の幅の比W/Dが1/3以上で高次モードを抑制で
きることがわかる。
なお上記実施例ではフェリ磁性体薄膜(1)と幅広スト
リップ導体(9)を密着したものを示したが、第4図に
示すようにフェリ磁性体薄膜(1)と幅広ストリップ導
体(9)との間に誘電体層(10)を設け、この誘電体
層(10)の厚さによυ静磁波基本モード共振の結合量
や共振の鋭さを表わすQ値を調整する場合にも同様の効
果を奏する。この誘電体層(lO)にはフェリ磁性体薄
膜(υとほぼ同じ結晶格子定数をもつ材料を用いてもよ
い。
また、上記実施例では、誘電体基板(2)側に地導体(
5)を設けたものを示したが、第5図に示すように他の
誘電体板(11)を用いて形成したマイクロストリップ
線路(12)の幅広ストリップ線路(9)上にフェリ磁
性体薄膜(1)を配置しても同様の効果を奏する。
さらに、上記実施例ではフェリ磁性体薄膜(1)の膜面
に垂直に直流磁界を印加した場合について示したが、膜
に平行や斜めに印加した場合には、垂直に印加した場合
に比較し反磁界の影響が小さくなることを考慮し、スト
リップ導体1wAを若干広げれば実施例と同様な効果が
得られる。
〔発明の効果j 以上のように、この発明によれば静磁波共振器のトラン
スデユーサに、最低次の高次セードの波長以上の1@を
もつストリップ導体を用いているので、高次モード共振
を抑制できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による静磁波共振器を示す斜視図、第2
図、第3図は本発明の動作説明図、第4、第5図はこの
発明の他の実施例を示す斜視図、第6図は従来の静磁波
共振器を示す斜視図、第7、第8.第9図は従来の動作
説明図、第io、第ti図は従来の応用例説明図。 (1)はフェリ磁性体薄膜、(2)は誘電体基板、(3
)はストリップ導体、(4)はトランスデユーサ、(5
)は地導体、(6)はF’ E T 、(7)は整合回
路、(8)は負荷、(9)は幅広ストリップ導体、(l
O)は誘電体層、(11)は誘電体板、(12)はマイ
クロストリップ線路である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  左右対称形状の矩形フェリ磁性体薄膜の膜の表面また
    は該表面に形成した誘電体の表面に、該フェリ磁性体薄
    膜の対称軸に垂直な辺の長さの約3分の1以上の幅をも
    つストリップ導体を対称軸に沿つて配置し、該フェリ磁
    性体薄膜に直流磁界を印加する手段を備えたことを特徴
    とする静磁波共振器。
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Cited By (4)

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JPH03214901A (ja) * 1990-01-19 1991-09-20 Murata Mfg Co Ltd 静磁波装置
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