JPH0122932Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、自動車の内燃機関等に使用されるバ
キユームコントロールモジユレータに関する。

内燃機関の排ガス浄化手段として広く使用され
ている排ガス再循環装置（以下、EGRと称する）
においては、機関の加速時にEGRを作動さるた
めにアクセルセンサが併用されている。第１図
は、このアクセルセンサの一例を示すものであつ
て、以下に述べる構造を備えている。

すなわち、負圧導入ポート１０１を付されて空
室内にダイアフラム１０２が配置されて、前記空
室を、前記負圧導入ポート１０１に直接連通する
第１の空室１０３と、チエツクバルブ１０５を介
して連通する第２の空室１０４とに仕切つてお
り、前記第２の空室１０４内に配置されたスプリ
ング１０６がダイアフラム１０２を第１の空室１
０３側へ向けて付勢している。一方、ボデイの他
方の端部（図上上方）に大気開放孔１０７と
EGRポート１０８が設けられ、この大気開放孔
１０７とEGRポート１０８の中間にバルブシー
ト１０９が配置され、前記ダイアフラム１０２に
連結されたバルブ１１０が前記バルブシート１０
９と接離するようになされている。前記チエツク
バルブ１０５は、第２の空室１０４の作動初期の
圧力をセツトするために第２の空室１０４から負
圧導入ポート１０１へ向かう流れを許容し、逆方
向の流れを阻止するように配置され、第２の空室
１０４と大気開放孔１０７とを連通する通路内に
デイレイタイムを設定するためのオリフイス１１
１が配置されている。

上記アクセルセンサは、負圧導入ポート１０１
を吸入マニホールドのスロツトルバルブの下流側
に設置した負圧取り出しポート（図示せず）に接
続され、EGRポート１０８の吸入マニホールド
のスロツトルバルブの上流側に設置した負圧取り
出しポート（図示せず）とバキユームスイツチバ
ルブ（図示せず）を接続する管路（図示せず）の
中途に接続されて、以下に述べるように作動す
る。すなわち、機関が定常の運転状態にあるとき
は、第１の空室１０３および第２の空室１０４が
ともに負圧導入ポート１０１に導かれた吸入マニ
ホールドのスロツトルバルブ下流側の圧力と同じ
大きな負圧状態に保たれることから、ダイアフラ
ム１０２がスプリング１０６に圧せられてバルブ
１１０を開放状態に保ち、EGRポート１０８と
大気開放孔１０７を連通させて、EGRを非作動
状態としている。一方、機関の急加速時において
は、負圧導入ポート１０１へ導かれる負圧が小さ
くなつて第１の空室１０３内の圧力を上昇させる
が、第２の空室１０４内がチエツクバルブ１０５
の存在により大きな負圧状態を持続するために、
ダイアフラム１０２がスプリング１０６を圧して
第２の空室１０４側（図上上方）へ移動し、バル
ブ１１０を閉塞させてEGRポート１０８と大気
開放孔１０７の連通を遮断するので、EGRが作
動する。第１の空室１０３内の小さな負圧状態が
接続すると、大気開放孔１０７から導かれた空気
がオリフイス１１１を経て第２の空室１０４内へ
導かれ、第１の空室１０３内の圧力と第２の空室
１０４内の圧力が平衝してバルブ１２が再び開放
されてEGRは非作動状態に戻される。

ところで、EGRが作動して排気環流が行なわ
れる際には、空気比をリツチに保つ必要があるの
で、そのための特別の手段が要求される。第２図
は上記の手段として使用されるツーウエイバルブ
の一例であつて、負圧導入ポート２０１と大気開
放孔２０２を付された空室内に配置されたダイア
フラム２０３が前記空室を前記負圧導入ポート２
０１側の第１の空室２０４と大気開放孔２０２側
の第２の空室２０５とに仕切つており、第１の空
室２０４内に配置されたスプリング２０６がダイ
アフラム２０３を第２の空室２０５側へ付勢して
おり、さらに、接合ロツド２０７を介してダイア
フラム２０３に連結されたバルブ２０８が吸気ポ
ート２０９と送気ポート２１０の中間に設けられ
たバルブシート２１１に接離するように設定され
ている。

上記ツーウエイバルブは、負圧導入ポート２０
１を吸入マニホールドのスロツトルバルブの上流
側に設置した負圧取り出しポート（図示せず）に
接続され、吸気ポート２０９をエアークリーナ
（図示せず）に接続され、さらに送気ポート２１
０をキヤブレタ（図示せず）に接続されて、以下
に述べるように作動する。すなわち、機関が定常
運転状態にあるときは、第１の空室２０４が負圧
導入ポート２０１に導かれた吸入マニホールドの
スロツトルバルブ上流側の圧力と同じ小さな負圧
状態に保たれることから、ダイアフラム２０３が
スプリング２０６に圧せられてバルブ２０８が開
放状態に保ち、エアークリーナから導かれた空気
がキヤブレタ側へ送られる。一方、機関の急加速
時においては、吸入マニホールドのスロツトルバ
ルブ上流側から負圧導入ポート２０１に大きな負
圧が導かれてダイアフラム２０３をスプリング２
０６に抗して吸引するために、バルブ２０８が閉
塞してエアクリーナから送られる空気を遮断して
空燃比をリツチにさせる。

上記したように、アクセルセンサは機関の急加
速時にEGRを作動させ、ツーウエイバルブはこ
のEGRの作動時にキヤブレタへの空気の送給を
停止して空気比をリツチにさせるものであつて、
このアクセルセンサとツーウエイバルブには、両
者の作動がその始期および終期の双方について完
全に同期することが求めれらる。

しかしながら、上記従来の構成によると、アク
セルセンサとツーウエイバルブが全くの別装置と
して相互に関連なく設置されていることから、両
者の作動を完全に同期させることが困難であり、
また少なくともその調整作業が煩雑である問題が
ある。すなわちアクセルセンサは、吸入マニホー
ルドのスロツトルバルブ下流側の圧力を検知して
該圧力が所定値まで上昇した時点でEGRを作動
させ、デイレイタイムの経過を待つてその作動を
停止させるものであり、これに対して、ツーウエ
イバルブは、吸入マニホールドのスロツトルバル
ブ上流側の圧力を検知して該圧力が所定値まで下
がつた時点で空気の送給を停止し、前記圧力が再
び所定値以上となつた時点で空気の送給を再開す
るものであつて、両者の作動の始期と終期を同期
させるのが煩わしいものである。

本考案は以上の点に鑑み、EGRを作動・停止
させるのとキヤブレタへの空気の送給・停止・再
開するのとを完全に同期させ得る一の装置を提供
することを目的として案出されたものである。

上記の目的を達成するため、本考案は、 第１の負圧導入ポートを付された空室を前記第
１の負圧導入ポートに連通する第１の空室と反対
側の第２の空室とに仕切る第１のダイアフラム
と、 前記第２の空室から前記第１の空室へ向かう流
れのみを許容するチエツクバルブと、 前記第２の空室に配置されて前記第１のダイア
フラムを前記第１の空室へ向けて付勢する第１の
スプリングと、 前記第１のダイアフラムの前記第１の空室側に
固着され、前記第２の空室と後記第３の空室を連
通する連通孔を穿設されたプツシユロツドと、 前記連通孔内に配置されたオリフイスと、 前記第１の空室と、吸気ポートおよび送気ポー
トを付された第３の空室を仕切るシールと、 前記吸気ポートと前記送気ポートの中間に設定
された第１のバルブシートと、 前記第１のダイアフラムと前記プツシユロツド
を介して前記第１のスプリングにより押圧移動せ
しめられる接合ロツドと、 前記接合ロツドの一端外周に設けられて前記第
１のバルブシートに接離する第１のバルブと、 前記接合ロツドの一端に開口するとともに前記
第３の空室と後記第４の空室を連通する連通孔を
穿設された中腔部の開口内周縁に設定された第２
のバルブシートと、 前記中腔部に内挿され、前記プツシユロツドに
連動して前記第２のバルブシートに接離する第２
のバルブと、 前記第２のバルブを前記プツシユロツド側に向
けて付勢する第２のスプリングと、 第２の負圧導入ポートと大気開放孔を付される
とともに前記第３の空室との間を前記連通孔以外
で遮断された空室を、前記第２の負圧導入ポート
に連通する第４の空室と前記大気開放孔に連通す
る第５の空室との仕切り、かつ前記接合ロツドを
固着された第２のダイアフラムと、 前記第４の空室に配置されて前記第２のダイア
フラムを前記第５の空室へ向けて付勢する第３の
スプリングと、 EGRポートと第３の負圧導入ポートと付され
た第６の空室の、前記EGRポートと第３の負圧
導入ポートの間に設定された第３のバルブシート
と、 前記接合ロツドの端部に固着されて前記第３の
バルブシートに接離し、かつ前記第５の空室と第
６の空室を仕切るリツプを設けられた第３のバル
ブと を備え、前記第１のバルブシートと第１のバルブ
を常態開、前記第２のバルブシートと第２のバル
ブを常態開、前記第３のバルブシートと第３のバ
ルブを常態閉に設定したことを特徴とするバキユ
ームコントロールモジユレータを構成した。

上記バキユームコントロールモジユレータは、
第１の負圧導入ポートを吸入マニホールドのスロ
ツトバルブの下流側に設置した負圧取り出しポー
トに接続され、吸気ポートをエアクリーナに接続
されるかまたは大気開放され、送気ポートをキヤ
ブレタに接続され、第２の負圧導入ポートと第３
の負圧導入ポートをそれぞれ吸入マニホールドの
スロツトルバルブの上流側に設置した負圧取り出
しポートに接続され、さらにEGRポートをEGR
モジユレータバルブに接続されて使用される。常
態開とされる第１のバルブシートと第１のバルブ
は、開弁時に吸気ポートと送気ポートを連通させ
てエアクリーナからまたは外部からキヤブレタへ
空気を送給し、閉弁によつて該送給を停止する。
常態開とされる第２のバルブシートと第２のバル
ブは、開弁時に吸気ポートと第４の空室を連通さ
せ、該第４の空室に大気圧を導入して該第４の空
室と第５の空室の圧力を均衡させる。また閉弁に
よつて、第４の空室の圧力を、第２の負圧導入ポ
ートに導かれた吸入マニホールドのスロツトルバ
ルブ上流側の圧力（負圧）と同じにする。常態閉
とされる第３のバルブシートと第３のバルブは、
閉弁時にEGRポートと第３の負圧導入ポートの
連通を遮断してEGRを非作動状態におき、開弁
によつてEGRを作動させる。

機関が定常の運転状態にあるとき、吸入マニホ
ールドのスロツトルバルブ下流側は大きな負圧状
態におかれ、第１の空室と第２の空室はともに第
１の負圧導入ポートを介してこれと同じ大きな負
圧状態に保たれている。これにより第１のダイア
フラムは第１のスプリングに押されて第１の空室
側に位置し、プツシユロツドを介して、第１のバ
ルブと第２のバルブをそれぞれ開弁させ、さらに
接合ロツドを介して第３のバルブを閉弁させてい
る。第３のバルブが閉弁していることにより
EGRは非作動状態におかれ、第１のバルブが開
弁していることによりキヤブレタへは空気が送給
されている。また第２のバルブが開弁しているこ
とにより、第４の空室には吸気ポートから大気圧
が導入される。一方、第５の空室には大気開放孔
を介して常に大気圧が導入されており、これによ
り第４の空室の圧力と第５の空室の圧力は互いに
均衡されている。第４の空室には第２のダイアフ
ラムを第５の空室側へ押圧する第３のスプリング
が内装されており、またこの第２のダイアフラム
は接合ロツドと相互に固着されている。前記した
ように、接合ロツドは、既に、第１のスプリング
によつて第３のバルブを閉弁させる方向に、すな
わち第５の空室側へ向けて移動させられており、
このため接合ロツドは、これに加えて、第３のス
プリングによつて同じ方向に押されることにな
る。

機関が急加速したとき、吸入マニホールドのス
ロツトルバルブ下流側の圧力は大気圧へ向けて急
速に上昇する。これに伴なつて第１の空室の圧力
も上昇するが、第２の空室の圧力はチエツクバル
ブの存在によつて大きな温度状態をそのまま持続
し、これにより第１のダイアフラムと該ダイアフ
ラムに固着されたプツシユロツドが、第１のスプ
リングに抗して、第２の空室側へ移動する。プツ
シユロツドが移動するとき、第２のバルブは該移
動に従動して閉弁するが、接合ロツドは第３のス
プリングに押されたままであるので動かず、接合
ロツドの一端に設けられた第１のバルブを開弁状
態を持続する。第２のバルブが閉弁すると、第４
の空室に対する大気圧の導入が停止され、第４の
空室には、第２の負圧導入ポートから吸入マニホ
ールドのスロツトルバルブ上流側に圧力が導入さ
れる。この圧力は、機関の定常運転時、比較的小
さな負圧であるが、機関が急加速すると一時的に
大きくなるものであつて、この大きな負圧が第４
の空気に導入されることにより、第２のダイアフ
ラムと接合ロツドが、第５の空室の大気圧によつ
て、第３のスプリングに抗して、第４の空室側へ
移動し、第３のバルブを開弁させてEGRを作動
させると同時に、第１のバルブを閉弁させてキヤ
ブレタへの空気の送給を停止させる。

第１の空室内の小さな負圧状態が持続すると、
吸気ポートから第３の空室に導入された空気がオ
リフイスを介して第２の空室へ導かれ、第２の空
室内と第１の空室内の圧力を均衡させる。これに
より第１のダイアフラムとプツシユロツドが第１
のスプリングに押されて第１の空室側へ移動して
まず第２のバルブを閉弁させ、引き続き第１のバ
ルブを開弁させると同時に接合ロツドを介して第
３のバルブを閉じ、EGRの作動を停止させると
同時にキヤブレタへの空気の送給を再開する。

以下、本考案の一実施例を第３図ないし第５図
にしたがつて説明する。

第３図の全体断面図において、第１の負圧導入
ポート１を付された空室内に第１のダイアフラム
２が配置されて、前記空室を、前記第１の負圧導
入ポート１に直接連通する第１の空室３と反対側
に位置する第２の空室４とに仕切つており、両空
室３，４の中間に、第２の空室４から第１の空室
３へ向かう流れを許容し、逆方向の流れを阻止す
るチエツクバルブ５が配置され、第１のダイアフ
ラム２を第１の空室３側へ付勢する第１のスプリ
ング６が第２の空室４内に配置されている。第２
の空室４と後記第３の空室１３の間を連通する連
通孔８を穿たれたプツシユロツド７が第１のダイ
アフラム２の第１の空室３側に固着され、連通孔
８内にオリフイス９が配置され、プツシユロツド
７が第１の空室３の側壁（図上上壁）を貫通する
箇所に傘型シール１０が付されている。第１の空
室３に隣接して吸気ポート１１および送気ポート
１２が付され、両ポート１１，１２の中間に第１
のバルブシート１４を配置された第３の空室１３
が設けられ、この第１のバルブシート１４に接離
して吸気ポート１１と送気ポート１２とを連通ま
たは遮断する第１のバルブ１５が接合ロツド１６
のプツシユロツド７側の端部の外周部に固着され
ている。また第４図に拡大して示すように、接合
ロツド１６にはプツシユロツド７側の端部に開口
するとともに後記第４の空室２５に連なる連通孔
１８を穿たれた中腔部１７が形成され、中腔部１
７の開口内周縁に第２のバルブシート１９が固着
され、そのテーパ内周面に接離する第２のバルブ
２０が中腔部１７に内挿されている。この第２の
バルブ２０は略半球状を呈するもので、中腔部１
７に内挿された第２のスプリング２１によつてプ
ツシユロツド７側（中腔部１７開口側）に付勢さ
れるとともに図上下方に位置する頂端はプツシユ
ロツド７の端面突起７ａと接離自在に接触してい
る。第３図に戻つて、第３の空室１３に隣接し
て、第２の負圧導入ポート２２および大気開放孔
２３を付された空室が設けられ、この空室内に配
置された第２のダイアフラム２４がこの空室を第
２の負圧導入ポート２２連通する第４の空室２５
と大気開放孔２３に連通する第５の空室２６とに
仕切つており、第２のダイアフラム２４の中央に
固着された接合ロツド１６の一方の先端部が略傘
状を呈する第３のバルブ２７に結合され、第２の
ダイアフラム２４を第５の空室２６側へ付勢する
第３のスプリング２９が第４の空室２４内に配置
されており、第３の空室１３と第４の空室２５と
は、接合ロツド１６の中腔部１７および連通孔１
８を経る通路以外において、第１のバルブ１５に
一体的に付された可撓部によつて互いに遮断され
ている。第５の空室２６に隣接して、EGRポー
ト３０と第３の負圧導入ポート３１が付され、両
ポート３０，３１の中間に第３のバルブシート３
２を配置された第６の空室３３が設けられ、接合
ロツド１６に他方の端部に、第３のバルブシート
３２に接離してEGRポート３０と第３の負圧導
入ポート３１とを連通または遮断する第３のバル
ブ２７が結合されてお、第５の空室２６と第６の
空室３３とは、第３のバルブ２７の外周リツプ２
８により互いに遮断されている。

上記バキユームコントロールモジユレータは、
第１の負圧導入ポート１を吸入マニホールドのス
ロツトルバルブの下流側に設置した負圧取り出し
ポート（図示せず）に接続され、吸気ポート１１
をエアクリーナ（図示せず）に接続されるかまた
は大気開放され、送気ポート１２をキヤブレタ
（図示せず）に接続され、第２の負圧導入ポート
２２と第３の負圧導入ポート３１をそれぞれ吸入
マニホールドのスロツトルバルブの上流側に設置
した負圧取り出しポート（図示せず）に接続さ
れ、EGRポート３０をEGRモジユレータバルブ
（図示せず）に接続されて、下記するように作動
する。

すなわち、機関が定常の運転状態にある間は、
第１の空室３と第２の空室４とが、中間に配置さ
れたチエツクバルブ５の作用により第１の負圧導
入ポート１を通して吸入マニホールドのスロツト
ルバルブの下流側から導かれた大きな負圧と同圧
に保たれ、第１のダイアフラム２が第１のスプリ
ング６により、第３図に示したごとく、第１の空
室３側へ圧せられ、プツシユロツド７が第１のバ
ルブ１５を有する接合ロツド１６を押して該第１
のバルブ１５を開放状態に、プツシユロツド７に
端面突起７ａが第２のバルブ２０を押して該第２
のバルブ２０を開放状態に、さらにプツシユロツ
ド７が接合ロツド１６を押して第３のバルブ２７
を閉塞状態に保つので、吸気ポート１１から吸入
された空気が送気ポート１２を通してキヤブレタ
側へ送られるとともに、中腔部１７および連通孔
１８を通して第４の空室２５へ送られ、また
EGRは非作動状態に保たれる（第４図参照、図
上点線は吸気ポート１１から吸入された空気の流
通経路を示す。

機関の急加速時においては、吸入マニホールド
のスロツトルバルブ下流側の圧力が上昇するため
に第１の負圧導入ポート１に導かれる負圧が大気
圧へ近づき第１の空室３内の圧力が上昇するのに
対し、第２の空室４内の圧力はチエツクバルブ５
の存在によつて大きな負圧状態を持続するため
に、第１のダイアフラム２が第１のスプリング６
の弾性力に抗して第２の空室４側へ吸入され、プ
ツシユロツド７による接合ロツド１６および第２
のバルブ２０の作動に対する制止が開放され、と
くに第２のバルブ２０が閉塞して吸入マニホール
ドのスロツトルバルブ上流側の負圧を第４の空室
２５に導入するために、第４の空室２５内が所定
の負圧まで減じると、第２のダイアフラム２４が
第３のスプリング２９の弾性力に抗して第４の空
室２５側へ吸入され、第３のバルブ２７が開放さ
れ、EGRポート３０と第３の負圧導入ポート３
１とが連通してEGRが作動するとともに、第１
のバルブ１５が閉塞して吸気ポート１１と送気ポ
ート１２とを遮断するためにキヤブレタへの送気
が断たれて空燃比がリーンになるのを防止する
（第５図参照）。

第１の空室３内の小さな負圧状態を持続する場
合には、吸気ポート１１から導かれた空気がプツ
シユロツド７の連通孔８およびオリフイス９を通
して第２の空室４内へ導かれて同空室４内の圧力
を第１の空室３側の圧力に接近させるために（デ
イレイタイムの経過）、第１のダイアフラム２が
再び第１のスプリング６に押されて変位し、第３
のバルブ２７を閉塞させてEGRを非作動状態に
戻す。このとき第２のバルブ２０の開放によつて
吸気ポート１１から第４の空室２５内へ空気が送
られるため、同空室２５内が大気圧と同圧になる
まで昇圧し、第２のダイアフラム２４の変位およ
びこれに伴なう第３のバルブ２７の閉塞を速応化
する。また同時に第１のバルブ１５の開放によつ
て送気ポート１１からキヤブレタ側へ空気が送ら
れ、空燃比を正常に保たせる。

本考案のバキユームコントロールモジユレータ
は、以上説明したような構成を備えて、一の装置
で、EGRを作動・停止させるのとキヤブレタへ
の空気の送給を停止・再開するのとを完全に同期
させることができ、煩わしい調整作業をなくすこ
とができる。また第１のダイアフラムと第１のバ
ルブおよび第３のバルブを互いに連結せず、単に
第１のダイアフラムの作動により第１のバルブの
閉塞と第３のバルブの開放とを可能にするように
構成されているので、両バルブに接合ロツドを介
して連結された第２のダイアフラムを付勢する第
３のスプリングの弾性力と、この第３のスプリン
グに抗して第２のダイアフラムを吸引する負圧の
関係を適宜に設定することにより、第１のバルブ
の閉塞と第３のバルブの開放が機関の運転状態に
適合してなされるようにすることが可能である。
さらにプツシユロツドと接合ロツドの当接端部に
第１のダイアフラムの非作動時に第４の空室を大
気開放し、第１のダイアフラムの作動時のみに同
空室を大気から遮断する第２のバルブを設けたこ
とにより、デイレイタイムが経過して第１のダイ
アフラムが非作動状態に復帰すると同時に第４の
空室が大気開放して第３のスプリングを作動に加
えるようになり、これに応じて素早く第２のダイ
アフラムと接合ロツドを移動させ、第１のバルブ
を開放、第３のバルブを閉塞することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来技術に係るアクセルセンサの一例
を示す断面図、第２図は第１図のアクセルセンサ
と併用されるツーウエイバルブの構造を示す断面
図、第３図は本考案の実施例に係るバキユームコ
ントロールモジユレータを示す断面図、第４図お
よび第５図は同作動状態を示す要部拡大断面図で
ある。 １……第１の負圧導入ポート、２……第１のダ
イアフラム、３……第１の空室、４……第２の空
室、５……チエツクバルブ、６……第１のスプリ
ング、７……プツシユロツド、８，１８……連通
孔、９……オリフイス、１０……傘型シール、１
１……吸気ポート、１２……送気ポート、１３…
…第３の空室、１４……第１のバルブシート、１
５……第１のバルブ、１６……接合ロツド、１７
……中腔部、１９……第２のバルブシート、２０
……第２のバルブ、２１……第２のスプリング、
２２……第２の負圧導入ポート、２３……大気開
放孔、２４……第２ダイアフラム、２５……第４
の空室、２６……第５の空室、２７……第３のバ
ルブ、２８……外周リツプ、２９……第３のスプ
リング、３０……EGRレポート、３１……第３
の負圧導入ポート、３２……第３のバルブシー
ト、３３……第６の空室。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 第１の負圧導入ポート１を付された空室を前記
   第１の負圧導入ポート１に連通する第１の空室３
   と反対側の第２の空室４とに仕切る第１のダイア
   フラム２と、 前記第２の空室４から前記第１の空室３へ向か
   う流れのみを許容するチエツクバルブ５と、 前記第２の空室４に配置されて前記第１のダイ
   アフラム２を前記第１の空室３へ向けて付勢する
   第１のスプリング６と、 前記第１のダイアフラム２の前記第１の空室３
   側に固着され、前記第２の空室４と後記第３の空
   室１３を連通する連通孔８を穿設されたプツシユ
   ロツド７と、 前記連通孔８内に配置されたオリフイス９と、 前記第１の空室３と、吸気ポート１１および送
   気ポート１２を付された第３の空室１３を仕切る
   シール１０と、 前記吸気ポート１１と前記送気ポート１２の中
   間に設定された第１のバルブシート１４と、 前記第１のダイアフラム２と前記プツシユロツ
   ド７を介して前記第１のスプリング６により押圧
   移動せしめられる接合ロツド１６と、 前記接合ロツド１６の一端外周に設けられて前
   記第１のバルブシート１４に接離する第１のバル
   ブ１５と、 前記接合ロツド１６の一端に開口するとともに
   前記第３の空室１３と後記第４の空室２５を連通
   する連通孔１８を穿設された中腔部１７の開口内
   周縁に設定された第２のバルブシート１９と、 前記中腔部１７は内挿され、前記プツシユロツ
   ド７に連動して前記第２のバルブシート１９に接
   離する第２のバルブ２０と、 前記第２のバルブ２０を前記プツシユロツド７
   側に向けて付勢する第２のスプリング２１と、 第２の負圧導入ポート２２と大気開放孔２３を
   付されるとともに前記第３の空室１３との間を前
   記連通孔１８以外で遮断された空室を、前記第２
   の負圧導入ポート２２に連通する第４の空室２５
   と前記大気開放孔２３に連通する第５の空室２６
   とに仕切り、かつ前記接合ロツド１６を固着され
   た第２のダイアフラム２４と、 前記第４の空室２５に配置されて前記第２のダ
   イアフラム２４を前記第５の空室２６へ向けて付
   勢する第３のスプリング２９と、 EGRポート３０と第３の負圧導入ポート３１
   を付された第６の空室３３の、前記EGRポート
   ３０と第３の負圧導入ポート３１の間に設定され
   た第３のバルブシート３２と、 前記接合ロツド１６の端部に固着されて前記第
   ３のバルブシート３２に接離し、かつ前記第５の
   空室２６と第６の空室３３を仕切るリツプ２８を
   設けられた第３のバルブ２７と を備え、前記第１のバルブシート１４と第１のバ
   ルブ１５を常態開、前記第２のバルブシート１９
   と第２のバルブ２０を常態開、前記第３のバルブ
   シート３２と第３のバルブ２７を常態閉に設定し
   たことを特徴とするバキユームコントロールモジ
   ユレータ。