JPH01224721A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JPH01224721A JPH01224721A JP63051159A JP5115988A JPH01224721A JP H01224721 A JPH01224721 A JP H01224721A JP 63051159 A JP63051159 A JP 63051159A JP 5115988 A JP5115988 A JP 5115988A JP H01224721 A JPH01224721 A JP H01224721A
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- optical system
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
Landscapes
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、光走査装置に関する。
（従来波ｖ＃）
光走査装置は、光情報を書き込んだり、あるいは原稿を
読み取ったりするための装置として広く知られているが
、近来、広く普及が意図され、低コスト且つコンパクト
な光走査装置が要請されている。光走査装置のコンパク
ト化には、用いられる光走査用レンズの広角化が有効で
あり、低コスト化には光走査用レンズの単玉化が有効で
ある。
読み取ったりするための装置として広く知られているが
、近来、広く普及が意図され、低コスト且つコンパクト
な光走査装置が要請されている。光走査装置のコンパク
ト化には、用いられる光走査用レンズの広角化が有効で
あり、低コスト化には光走査用レンズの単玉化が有効で
ある。
出願人は先に、光走査用レンズとして平行光束を用いる
ｆθレンズを捉案じた（特開昭６１−４８６８４号公報
）。このｆθレンズは単玉であるがｆ＝３００に対して
半画角２１°程度で像面湾曲が５〜ｌＯ■程度あり、超
広角用としては不向きであり光走査装置のコンパクト化
には自ずと限度力；為る。
ｆθレンズを捉案じた（特開昭６１−４８６８４号公報
）。このｆθレンズは単玉であるがｆ＝３００に対して
半画角２１°程度で像面湾曲が５〜ｌＯ■程度あり、超
広角用としては不向きであり光走査装置のコンパクト化
には自ずと限度力；為る。
（目 的）
従って本発明の目的は、超広角の単玉レンズを用いる新
規な光走査装置の提供にある。
規な光走査装置の提供にある。
（構 成）
以下、本発明を説明する。
本発明の光走査装置は、光束を放射する光源装置と、こ
の光源装置からの光束を集束光束にするための集束光学
系と、この集束光学系による集束光束をさらに一方向的
に集束させて主走査対応方向を長手方向とする線像に結
像させる第１の結像光学系と、この第１の結像光学系に
よる上記線像の結像位置近傍に偏向反射面を持ち、光束
を偏向させる偏向装置と、この偏向装置により偏向され
る光束を主走査方向に於いて被走査面上に結像させると
ともに、副走査方向に於いて上記偏向装置における偏向
の起点と被走査面とを幾何光学的に略共役な関係とし、
被走査面を略等速的に走査させるための第２の結像光学
系とを有する。
の光源装置からの光束を集束光束にするための集束光学
系と、この集束光学系による集束光束をさらに一方向的
に集束させて主走査対応方向を長手方向とする線像に結
像させる第１の結像光学系と、この第１の結像光学系に
よる上記線像の結像位置近傍に偏向反射面を持ち、光束
を偏向させる偏向装置と、この偏向装置により偏向され
る光束を主走査方向に於いて被走査面上に結像させると
ともに、副走査方向に於いて上記偏向装置における偏向
の起点と被走査面とを幾何光学的に略共役な関係とし、
被走査面を略等速的に走査させるための第２の結像光学
系とを有する。
上記第２の結像光学系は、単レンズであり、その偏向装
置側の面は副走査方向に負の屈折力を持つシリンダー面
であり、被走査面側の面は主走査方向と副走査方向とに
異なる正の屈折力を持つトーリツク面であり、主走査方
向の焦京距離をｆ、主走査方向の最大有効偏向角をθ、
中心肉厚をｄ、屈折率をｎ、上記偏向の起点から上記シ
リンダー面までの距薄をＤ、主走査方向に関する前側主
点から上記集束光学系による主走査方向集束点迄の距離
をＳとするとき、これらは （Ｉ） ０．８２＜［（（ｎ−１）ｆ−ｄ
）／Ｄ］・［ｃｏｓ θ ／４Ｖ′］丁７−＝；ゴ］
７７−１−コ＜１．２−ｓｉｎ２θ｝］＜ １．９
＜ （ｎｆ）／Ｓ ＜ ３．２なる条件を満足する。
置側の面は副走査方向に負の屈折力を持つシリンダー面
であり、被走査面側の面は主走査方向と副走査方向とに
異なる正の屈折力を持つトーリツク面であり、主走査方
向の焦京距離をｆ、主走査方向の最大有効偏向角をθ、
中心肉厚をｄ、屈折率をｎ、上記偏向の起点から上記シ
リンダー面までの距薄をＤ、主走査方向に関する前側主
点から上記集束光学系による主走査方向集束点迄の距離
をＳとするとき、これらは （Ｉ） ０．８２＜［（（ｎ−１）ｆ−ｄ
）／Ｄ］・［ｃｏｓ θ ／４Ｖ′］丁７−＝；ゴ］
７７−１−コ＜１．２−ｓｉｎ２θ｝］＜ １．９
＜ （ｎｆ）／Ｓ ＜ ３．２なる条件を満足する。
なお、略等速的な走査とは等速走査からのずれを電気的
に補正できる程度の走査を言う。
に補正できる程度の走査を言う。
以下、図面を参照しながら具体的に説明する。
第１図（ａ）、（ｂ）は、本発明の光走査装置の構成を
概略的に示している。図中、符号Ｑは光源装置、符号２
は集束光学系としての集光レンズを示している。光源装
置Ｑは、光走査用の光束を放射するための装置であり、
半導体レーザーや発光ダイオードその他の光源装置を用
いる事ができる。この第１図では半導体レーザーが光源
装置として想定されている。光源装ＭＱは集光レンズ２
の物体側の光軸上に配備され１発散性の光束を集光レン
ズ２に入射させる。符号１で示す平面は、光源装置Ｑの
位置で光軸に直交する平面、即ち物体面を示す。
概略的に示している。図中、符号Ｑは光源装置、符号２
は集束光学系としての集光レンズを示している。光源装
置Ｑは、光走査用の光束を放射するための装置であり、
半導体レーザーや発光ダイオードその他の光源装置を用
いる事ができる。この第１図では半導体レーザーが光源
装置として想定されている。光源装ＭＱは集光レンズ２
の物体側の光軸上に配備され１発散性の光束を集光レン
ズ２に入射させる。符号１で示す平面は、光源装置Ｑの
位置で光軸に直交する平面、即ち物体面を示す。
さて、集光レンズ２に入射した光束は、集光レンズ２の
像側に何も無ければ、自然集束点即ち、像面５上のＱ′
点に結像する。
像側に何も無ければ、自然集束点即ち、像面５上のＱ′
点に結像する。
第１図に於いて、符号３は第１の結像光学系としてのシ
リンダーレンズを示している。
リンダーレンズを示している。
また、符号４は偏向装置の偏向面を模式的に示している
。偏向装置として番よ、光束を偏向させる装置、即ちポ
リゴンミラーやピラミダルミラー、ガルバノミラ−等が
用いられるが、この実施例ではポリゴンミラーが偏向装
置として想定されている。偏向装置で、集光レンズ２に
よる集束光束を偏向させると、同レンズ２による結像点
は円弧５上を移動する。偏向装置がポリゴンミラーを用
いた物であるときには偏向の起点が光軸上で若干変動す
るので、結像点の軌跡は完全な円弧にはならないが円弧
５に近い形状になる。
。偏向装置として番よ、光束を偏向させる装置、即ちポ
リゴンミラーやピラミダルミラー、ガルバノミラ−等が
用いられるが、この実施例ではポリゴンミラーが偏向装
置として想定されている。偏向装置で、集光レンズ２に
よる集束光束を偏向させると、同レンズ２による結像点
は円弧５上を移動する。偏向装置がポリゴンミラーを用
いた物であるときには偏向の起点が光軸上で若干変動す
るので、結像点の軌跡は完全な円弧にはならないが円弧
５に近い形状になる。
シリンダーレンズ３は第１図（ｂ）ｔこ示す様に、集光
レンズ３による集光光束をさらに、副走査方向（第１図
（ｂ）で上下方向、同［ｆｉ（ａ）で図面に直交する方
向）に対応する方向へ一方向的に集束させ、偏向装置の
偏向反射面４の近傍に主走査対応方向を長手方向とする
線像を結像させる。
レンズ３による集光光束をさらに、副走査方向（第１図
（ｂ）で上下方向、同［ｆｉ（ａ）で図面に直交する方
向）に対応する方向へ一方向的に集束させ、偏向装置の
偏向反射面４の近傍に主走査対応方向を長手方向とする
線像を結像させる。
第２の結像光学系としての光走査用レンズ６は、偏向装
置による偏向光束の、偏向の起なと被走査面７との間に
配備される。
置による偏向光束の、偏向の起なと被走査面７との間に
配備される。
光走査用レンズ６は、主走査方向に関しては、第１図（
ａ）に示す様に、集光レンズ２による集束光束をさらに
集束させて被走査面７上に結像させるとともに、副走査
方向に関しては同図（ｂ）に示す様に、偏向装置の偏向
の起点と被走査面７とむ幾何光学的に略共役な関係にす
る。
ａ）に示す様に、集光レンズ２による集束光束をさらに
集束させて被走査面７上に結像させるとともに、副走査
方向に関しては同図（ｂ）に示す様に、偏向装置の偏向
の起点と被走査面７とむ幾何光学的に略共役な関係にす
る。
光走査用レンズ′６は、上記副走否方向の条件により、
所謂面倒れ補正機能を持っている。
所謂面倒れ補正機能を持っている。
このように本発明の光走査装置では集光レンズ２による
集束光束を光走査用レンズ６によりさらに集束させ、そ
の集束位置近傍に被走査面７を位置させたことにより像
面湾曲を大幅に改善したため有効偏向角が１００°程度
と、超広角が可能となった。また、面倒九による副走査
方向の走査ピッチむらを除去できる。
集束光束を光走査用レンズ６によりさらに集束させ、そ
の集束位置近傍に被走査面７を位置させたことにより像
面湾曲を大幅に改善したため有効偏向角が１００°程度
と、超広角が可能となった。また、面倒九による副走査
方向の走査ピッチむらを除去できる。
光走査用レンズ６は、上記の如き機能を実現するために
、偏向装置側の面が副走査方向に負の屈折力を持つシリ
ンダー面、被走査面側の面が主・副走査方向に互いに異
なる正の屈折力を持つトーリツク面となっている。
、偏向装置側の面が副走査方向に負の屈折力を持つシリ
ンダー面、被走査面側の面が主・副走査方向に互いに異
なる正の屈折力を持つトーリツク面となっている。
集光レンズ２にとっては、光！Ｑとその像点Ｑ″は物体
と豫の関係にあり物体距離はＳｃ、像距離は斜である。
と豫の関係にあり物体距離はＳｃ、像距離は斜である。
また、光走査用レンズ６にとっては、上記像点Ｑ′が物
体で物体距離はＳ、被走査面７が像面で像距ははＳ′で
ある。なお、第１図（Ｉ）で距離ｔは偏向装置による偏
向の起、直方１ら光走査用レンズ６の前側主点Ｈ迄の距
離を表す。Ｈ′は後側主点を示す。
体で物体距離はＳ、被走査面７が像面で像距ははＳ′で
ある。なお、第１図（Ｉ）で距離ｔは偏向装置による偏
向の起、直方１ら光走査用レンズ６の前側主点Ｈ迄の距
離を表す。Ｈ′は後側主点を示す。
第２図に示す様に、光走査用レンズ６の屈折率をｎ、中
心肉厚をｄ、偏向の起７弘からシリンダー面迄の距離を
Ｄとし、主走査方向の最大有効偏向角をＯとし、また焦
点距離をｆとする。すると、上記物体距離Ｓ、即ち、光
走査用レンズ６の前側主点Ｈと集光レンズ２による主走
査方向集束点Ｑ”（自然集束点）迄の距離と上記ｎ、ｄ
、Ｄ、 θ、ｆ（土、前記条件（１）、（ＩＩ）を満
足する。
心肉厚をｄ、偏向の起７弘からシリンダー面迄の距離を
Ｄとし、主走査方向の最大有効偏向角をＯとし、また焦
点距離をｆとする。すると、上記物体距離Ｓ、即ち、光
走査用レンズ６の前側主点Ｈと集光レンズ２による主走
査方向集束点Ｑ”（自然集束点）迄の距離と上記ｎ、ｄ
、Ｄ、 θ、ｆ（土、前記条件（１）、（ＩＩ）を満
足する。
条件（Ｉ）の、下限を越えると主走査方向の像面湾曲が
中間像高でアンダー側に大きく膨らみ、副走査方向の像
面湾曲の幅が大きくなるため走査スポットの主・副走査
方向の径の均一化が困難となる。また、上限を越えると
主走査方向の像面湾曲が全像高でアンダーとなり主走査
方向のスポット径の均一化が困難となり、またレンズ径
が大きく成りすぎて実用化が困難となる。
中間像高でアンダー側に大きく膨らみ、副走査方向の像
面湾曲の幅が大きくなるため走査スポットの主・副走査
方向の径の均一化が困難となる。また、上限を越えると
主走査方向の像面湾曲が全像高でアンダーとなり主走査
方向のスポット径の均一化が困難となり、またレンズ径
が大きく成りすぎて実用化が困難となる。
条件（ＩＩ）の下限を越えると、主走査方向の像面湾曲
がアンダー側に移動し、また上限を越えるとオーバー側
に移動して、主走査方向のスポット径の均一化が困難と
なるほか、上限を越えるとリニアリティが劣化する。
がアンダー側に移動し、また上限を越えるとオーバー側
に移動して、主走査方向のスポット径の均一化が困難と
なるほか、上限を越えるとリニアリティが劣化する。
（実施例）
以下、第２の結像光学系である光走査用レンズに関する
具体的な実施例を２２例挙げる。
具体的な実施例を２２例挙げる。
各実施例に於いて、光走査用レンズの焦点距離ｆは２０
０に統一されている。第１図に示す様に主走査方向に関
する曲率半径を偏向装置の側から順にＲｘ、Ｒｘ、副走
査方向に関する１ｌｔｌｌ率半径を上記順にＲ１，Ｒ２
とする。また、 Ａ＝［（（ｎ−１）ｆ−ｄ）／Ｄ］（
ｃｏｓθ／ｖ’ Ｒ２−ｓｉｎ”θ］、Ｂ＝（ｎｆ）／
Ｓとする。また、各実施例の像面湾曲の図に於いて、破
線の曲線が主走査方向のもの、実線の曲線が副走査方向
のものである。
０に統一されている。第１図に示す様に主走査方向に関
する曲率半径を偏向装置の側から順にＲｘ、Ｒｘ、副走
査方向に関する１ｌｔｌｌ率半径を上記順にＲ１，Ｒ２
とする。また、 Ａ＝［（（ｎ−１）ｆ−ｄ）／Ｄ］（
ｃｏｓθ／ｖ’ Ｒ２−ｓｉｎ”θ］、Ｂ＝（ｎｆ）／
Ｓとする。また、各実施例の像面湾曲の図に於いて、破
線の曲線が主走査方向のもの、実線の曲線が副走査方向
のものである。
実施例Ｉ
Ｒ，ＲＨＲ２Ｈる Ｄｄ
Ｏｏ −３６，９−９７，０３８−１２，７０８３９
２０ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５
１９ ０．９９８ ２．２９ １２９．８７最大偏向角
＝１００°、リニアリティ： ９．７％以下第３図に、
この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
２０ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５
１９ ０．９９８ ２．２９ １２９．８７最大偏向角
＝１００°、リニアリティ： ９．７％以下第３図に、
この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例２
Ｒ，Ｒ； Ｒ，Ｒニ Ｄｄ
（Ｘ） −２７，６−９７，０３８−１１，４２１６
３４２０ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４
８５１９ １．１４５ ２．５８ １１４．９４最大偏
向角：１００”、リニアリティ： Ｌｏ、５％以下第４
図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
３４２０ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４
８５１９ １．１４５ ２．５８ １１４．９４最大偏
向角：１００”、リニアリティ： Ｌｏ、５％以下第４
図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例３
ＲＩ ＲＩ Ｒ２Ｒ↓ ＤｄｏＯ−３４
，９−９７，０３８−１２，２８２３９２０ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８
５１９ ０．９９８ ２．５８ １１４．９４最
大偏向角：１００”、リニアリティ： ｌｏ、４％以下
第５図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示
す。
，９−９７，０３８−１２，２８２３９２０ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８
５１９ ０．９９８ ２．５８ １１４．９４最
大偏向角：１００”、リニアリティ： ｌｏ、４％以下
第５図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示
す。
実施例４
ＲＩＲｉ Ｌ ＲＭ Ｄ ｄ
ω −３３，１−９７，０３８−１１，８８５３９２０
ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９
０．９９８ ２．８８ １０３．０９最大偏向角：１
００°、リニアリティ： １１．０≦以下第６図に、こ
の実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
ω −３３，１−９７，０３８−１１，８８５３９２０
ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９
０．９９８ ２．８８ １０３．０９最大偏向角：１
００°、リニアリティ： １１．０≦以下第６図に、こ
の実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例５
Ｒ１氾 Ｒ２Ｈ：２Ｄｄ
００ −３６．８ −９７．０３８ −１３．２４９’
３８ ２２ｎ Ａ ＢＳ １．４８５１９ ０．９９８ １．９９ １４９．２５
最大偏向角：１００”、 リニアリティ： ８．Ｂ以下
第７図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示
す。
３８ ２２ｎ Ａ ＢＳ １．４８５１９ ０．９９８ １．９９ １４９．２５
最大偏向角：１００”、 リニアリティ： ８．Ｂ以下
第７図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示
す。
実施例６
Ｒ，Ｒ； Ｒ１Ｒ； ｏ ｄｏｏ−３
４，７−９７，０３８−１２，７９１，３８２２ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９ １．
００２ ２．２９ １２９．８７最大偏向角：１００°
、リニアリティ： ９．５％以下第８図に、この実施例
の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
４，７−９７，０３８−１２，７９１，３８２２ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９ １．
００２ ２．２９ １２９．８７最大偏向角：１００°
、リニアリティ： ９．５％以下第８図に、この実施例
の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例７
Ｒ，Ｒ； Ｒ２Ｈタ Ｄｄ
ｏＯ−３２，８−９７，０３８−１２，３６４３８２２
ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９
０．９９８ ２．５８ １１４．９４最大偏向角＝１
００°、リニアリティ： １０．１％以下第９図に、こ
の実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９
０．９９８ ２．５８ １１４．９４最大偏向角＝１
００°、リニアリティ： １０．１％以下第９図に、こ
の実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例８
ＲＩ ＲＩ Ｒｘ Ｒ盛 Ｄｄ
ＣＸ３ −３１．０ −９７．０３８ −１１．９
６ ３８ ２２ｎ Ａ
Ｂ Ｓｌ、４８５１９ ０．９９８
２．８８ １０３．０９最大偏向角：１００°、
リニアリティ： １０．７％以下第１０図に、この実施
例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
ＣＸ３ −３１．０ −９７．０３８ −１１．９
６ ３８ ２２ｎ Ａ
Ｂ Ｓｌ、４８５１９ ０．９９８
２．８８ １０３．０９最大偏向角：１００°、
リニアリティ： １０．７％以下第１０図に、この実施
例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例９
ＲＩ Ｒｔ Ｒｚ Ｒニ Ｄｄ
ｏｏ−３４，７−９７，０３８−１３，３４２３７２４
ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９
０．９９７ １．９９ １４９．２５最大偏向角：
ｉｏｏ’ 、リニアリティ： ８．７％以下第１１図
に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
ｏｏ−３４，７−９７，０３８−１３，３４２３７２４
ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９
０．９９７ １．９９ １４９．２５最大偏向角：
ｉｏｏ’ 、リニアリティ： ８．７％以下第１１図
に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例１０
Ｒ，Ｒ； Ｒ２Ｒ′２Ｄ ｄｏｏ−３２，６
−９７，０３８−１２，８７４３７２４ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９ ０．９９７
２．２９ １２９．８７最大偏向角： １００’ 、リ
ニアリティ： ９．３／％以下第１２図に、この実施
例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
−９７，０３８−１２，８７４３７２４ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９ ０．９９７
２．２９ １２９．８７最大偏向角： １００’ 、リ
ニアリティ： ９．３／％以下第１２図に、この実施
例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例１１
ＲＩ Ｒ； Ｒ２Ｒ：ｌＤ ｄｏｏ
−３０，７−９７，０３８−１２，４３７３７２４ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９ ０
．９９７ ２．５８ １１４．９４最大偏向角：１００
＠、リニアリティ：９０部以下第１３図に、この実施例
の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
−３０，７−９７，０３８−１２，４３７３７２４ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９ ０
．９９７ ２．５８ １１４．９４最大偏向角：１００
＠、リニアリティ：９０部以下第１３図に、この実施例
の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例１２
Ｒ，Ｒ； Ｒ，Ｒニ Ｄｄ
ｏｏ −２８，９−９７，０３８−１２，０２４３７
２４ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５
１９ ０．９９７ ２．８８ １０３．０９最大偏向角
： ｉｏｏ” 、リニアリティ： １０．５％以下第１
４図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す
。
２４ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５
１９ ０．９９７ ２．８８ １０３．０９最大偏向角
： ｉｏｏ” 、リニアリティ： １０．５％以下第１
４図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す
。
寒施例１３
ＲＩ ＲＩ Ｒ２Ｒ轟 Ｄｄｏｏ −
２６，７−９７，０３８−１２，５８７３５２８ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、
４８５１９ ０．９９Ｂ ２．５８ １１４．
９７最大偏向角： １００’ 、リニアリティ： ８
．６％以下第１５図に、この実施例の主・副走査方向の
像面湾曲を示す。
２６，７−９７，０３８−１２，５８７３５２８ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、
４８５１９ ０．９９Ｂ ２．５８ １１４．
９７最大偏向角： １００’ 、リニアリティ： ８
．６％以下第１５図に、この実施例の主・副走査方向の
像面湾曲を示す。
実施例１４
ＲＩＲＩ Ｒ！ Ｒ２Ｄ ｄω −
２２，７−９７，０３８−１２，７１７３３３２ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９ ０．
９９６ ２．５８ １１４．９７最大偏向角：１００°
、リニアリティ：８．６％以下第１６図に、この実施例
の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
２２，７−９７，０３８−１２，７１７３３３２ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９ ０．
９９６ ２．５８ １１４．９７最大偏向角：１００°
、リニアリティ：８．６％以下第１６図に、この実施例
の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例１５
Ｒｉ Ｒｔ Ｒｘ Ｒる Ｄｄ
ｏｏ−１８，９−９７，０３８−１２，８３７３１３６
ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９
０．９９５ ２．５８ １１４．９４最大偏向角：１
００°、リニアリティ：８１部以下第１７図に、この実
施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
ｏｏ−１８，９−９７，０３８−１２，８３７３１３６
ｎ Ａ Ｂ Ｓｌ、４８５１９
０．９９５ ２．５８ １１４．９４最大偏向角：１
００°、リニアリティ：８１部以下第１７図に、この実
施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例１６
Ｌ Ｒｔ Ｒ２Ｒｉ Ｄｄｏｏ−５８，
９−１６０−２２，７４３５５２０ｎ Ａ
Ｂ Ｓｌ、８ １．００春 ２．４１
１４９．２５最大偏向角： １００” 、リニアリテ
ィ： ７．１％以下第１８図に、この実施例の主・副
走査方向の倣ｍｌ湾曲を示す。
９−１６０−２２，７４３５５２０ｎ Ａ
Ｂ Ｓｌ、８ １．００春 ２．４１
１４９．２５最大偏向角： １００” 、リニアリテ
ィ： ７．１％以下第１８図に、この実施例の主・副
走査方向の倣ｍｌ湾曲を示す。
実施例１７
Ｒ，Ｒ； Ｒ２Ｈタ Ｄｄ
ｃｏ−５６ｔ、Ｏ−１８０−２１８８２５５２０ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、８ １．００
４ ２．７７ １２９．８７最大偏向角：１００°、リ
ニアリティ：８．１％以下第１９図に、この実施例の主
・副走査方向の像面湾曲を示す。
Ａ Ｂ Ｓｌ、８ １．００
４ ２．７７ １２９．８７最大偏向角：１００°、リ
ニアリティ：８．１％以下第１９図に、この実施例の主
・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例１８
ＲＩ Ｒ； Ｒ２Ｈ盛 Ｄｄｏｏ −
５３，２−１６０−２１，０７３５５２０ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、８
１．００４ ３．１３ １１４．９４最大偏
向角＝１００°、リニアリティ：囲以下第２０図に、こ
の実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
５３，２−１６０−２１，０７３５５２０ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、８
１．００４ ３．１３ １１４．９４最大偏
向角＝１００°、リニアリティ：囲以下第２０図に、こ
の実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例１９
ＲＩ Ｒｒ Ｒｘ Ｒ２Ｄ ｄ
ω −５５，８−１６０−２３，１５７５４２４ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、８ ０．９９
４ ２．４１ １４９．２５最大偏向角：１００°、リ
ニアリティ： ６．８％以下第２１図に、この実施例の
主・副走査方向の像面湾曲を示す。
ω −５５，８−１６０−２３，１５７５４２４ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、８ ０．９９
４ ２．４１ １４９．２５最大偏向角：１００°、リ
ニアリティ： ６．８％以下第２１図に、この実施例の
主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例２０
ＲＩＲｔ Ｒｚ Ｒｉ Ｄｄｏｏ
−５１，２−１６０−２３，３２３５２２８ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、８ １．００２
２．４１ １４９．２５最大偏向角： １００’ 、
リニアリティ： ６．５％以下第２２図に、この実施例
の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
−５１，２−１６０−２３，３２３５２２８ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、８ １．００２
２．４１ １４９．２５最大偏向角： １００’ 、
リニアリティ： ６．５％以下第２２図に、この実施例
の主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例２１
Ｌ ＲＩ Ｒｚ Ｒ； Ｄ
ｄｏｏ−３４−１６０−２０，４３２４１２８ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、８ １．２
７ ２．４１ １４９−２５最大偏向角：１００°、
リニアリティ：６．４％以下第２３図に、この実施例の
主・副走査方向の像面湾曲を示す。
ｄｏｏ−３４−１６０−２０，４３２４１２８ｎ
Ａ Ｂ Ｓｌ、８ １．２
７ ２．４１ １４９−２５最大偏向角：１００°、
リニアリティ：６．４％以下第２３図に、この実施例の
主・副走査方向の像面湾曲を示す。
実施例２２
Ｒｔ Ｒｔ Ｒｚ Ｒｚ Ｄ
ｄｏｏ−８５，６−１６０−２５，６１６３２８
ｎ Ａ Ｂ
Ｓｒ、８ ０．８２７ ２．４１ １４９．２５最
大偏向角：１００°、リニアリティ：６．３％以下第２
４図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す
。
ｄｏｏ−８５，６−１６０−２５，６１６３２８
ｎ Ａ Ｂ
Ｓｒ、８ ０．８２７ ２．４１ １４９．２５最
大偏向角：１００°、リニアリティ：６．３％以下第２
４図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を示す
。
上記２２の実施例に於いてリニアリティーに付いては、
最大１Ｂ程度であり、何れの場合も電気的な補正が可能
である。
最大１Ｂ程度であり、何れの場合も電気的な補正が可能
である。
（効 果）
以上、本発明によれば新規な光矩査装置を提供できる。
この光走査装置は、上記の如く、単玉の光走査用レンズ
を用いるが、この光走査用レンズは極めて広角であるの
で光走査装置のコンパクト化、低コスト化が可能となる
。また、光走査用レンズが面倒れ補正機能を持つので、
偏向装置と被走査面との開に他の補正光学系を必要とし
ない。従って、このことも光走査装置のコンパクト化、
低コスト化の要因となる。また、光走査用レンズには低
屈折率の材質を用いうるのでプラスチック化も可能であ
る。
を用いるが、この光走査用レンズは極めて広角であるの
で光走査装置のコンパクト化、低コスト化が可能となる
。また、光走査用レンズが面倒れ補正機能を持つので、
偏向装置と被走査面との開に他の補正光学系を必要とし
ない。従って、このことも光走査装置のコンパクト化、
低コスト化の要因となる。また、光走査用レンズには低
屈折率の材質を用いうるのでプラスチック化も可能であ
る。
第１図及び第２図は１本発明の光走査装Ｍを説明するた
めの図、第３図乃至第２４図は、本発明の実施例に関す
る像面湾曲図である。 Ｑ８１．光源装置、２６０．集束光学系としての集光レ
ンズ、３００．第１の結像光学系としてのシリンダーレ
ンズ、４００．偏向装置の偏向面、６００．第２の結像
光学系としての光走査用レンズ、７．、、Ｍ走査面処３
因 化４因 篤５ 因 篤０ ［Ｆ］ 像＆湾曲 檜面侘曲 篤７ ［Ｆ］ 篤８ 因 ａｑｓ ４甲５ イＯ〔リイ
ｉｉう相性ｂ イ
′象、ｉ：’ｓ住すり甲５ イイ Ｇヨ
４甲５ イ２６コイＺ１５〉 イ３
亡＝り 〈７１５≦
イ４ Ｃココ橡ｉ社゛ち曲
イ象面侘曲篤 １５ ５つ り甲５
イｅ びコア（１乏面：哨；Ｃ目〕
イｉｉｉ鷹ａ４象６Ｄ二号曲 線面二
弯曲処４ｑ 口 化２０因 づ１竺し ？イ 因 り％
２２’６コ旭？３■ ５０” イｉｉｉ：潰ジ曲 篤？４［Ｆ 像面湾曲 −１，ｉｄ−
めの図、第３図乃至第２４図は、本発明の実施例に関す
る像面湾曲図である。 Ｑ８１．光源装置、２６０．集束光学系としての集光レ
ンズ、３００．第１の結像光学系としてのシリンダーレ
ンズ、４００．偏向装置の偏向面、６００．第２の結像
光学系としての光走査用レンズ、７．、、Ｍ走査面処３
因 化４因 篤５ 因 篤０ ［Ｆ］ 像＆湾曲 檜面侘曲 篤７ ［Ｆ］ 篤８ 因 ａｑｓ ４甲５ イＯ〔リイ
ｉｉう相性ｂ イ
′象、ｉ：’ｓ住すり甲５ イイ Ｇヨ
４甲５ イ２６コイＺ１５〉 イ３
亡＝り 〈７１５≦
イ４ Ｃココ橡ｉ社゛ち曲
イ象面侘曲篤 １５ ５つ り甲５
イｅ びコア（１乏面：哨；Ｃ目〕
イｉｉｉ鷹ａ４象６Ｄ二号曲 線面二
弯曲処４ｑ 口 化２０因 づ１竺し ？イ 因 り％
２２’６コ旭？３■ ５０” イｉｉｉ：潰ジ曲 篤？４［Ｆ 像面湾曲 −１，ｉｄ−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光束を放射する光源装置と、この光源装置からの光束を
集束光束にするための集束光学系と、この集束光学系に
よる集束光束をさらに一方向的に集束させて主走査対応
方向を長手方向とする線像に結像させる第１の結像光学
系と、この第１の結像光学系による上記線像の結像位置
近傍に偏向反射面を持ち、光束を偏向させる偏向装置と
、この偏向装置により偏向される光束を主走査方向に於
いて被走査面上に結像させるとともに、副走査方向に於
いて上記偏向装置における偏向の起点と被走査面とを幾
何光学的に略共役な関係とし、被走査面を略等速的に走
査させるための第２の結像光学系とを有し、 上記第２の結像光学系は、単レンズであり、その偏向装
置側の面は副走査方向に負の屈折力を持つシリンダー面
であり、被走査面側の面は主走査方向と副走査方向とに
異なる正の屈折力を持つトーリック面であり、主走査方
向の焦点距離をｆ、主走査方向の最大有効偏向角をθ、
中心肉厚をｄ、屈折率をｎ、上記偏向の起点から上記シ
リンダー面までの距離をＤ、主走査方向に関する前側主
点から上記集束光学系による主走査方向集束点迄の距離
をＳとするとき、これらが （ I ）０．８２＜［｛（ｎ−１）ｆ−ｄ｝／Ｄ］・［
ｃｏｓθ／√｛ｎ＾２−ｓｉｎ＾２θ｝］＜１．２８（
II）１．９＜（ｎｆ）／Ｓ＜３．２ なる条件を満足することを特徴とする、光走査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63051159A JPH01224721A (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | 光走査装置 |
| US07/318,259 US4962982A (en) | 1988-03-04 | 1989-03-03 | Light beam scanning device and light beam scanning lens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63051159A JPH01224721A (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01224721A true JPH01224721A (ja) | 1989-09-07 |
Family
ID=12879048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63051159A Pending JPH01224721A (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | 光走査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4962982A (ja) |
| JP (1) | JPH01224721A (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2840356B2 (ja) * | 1989-04-17 | 1998-12-24 | 株式会社リコー | 光走査装置 |
| US5155616A (en) * | 1989-07-20 | 1992-10-13 | Ricoh Company, Ltd. | Scanning optical system |
| US5233455A (en) * | 1989-07-20 | 1993-08-03 | Ricoh Company, Ltd. | Scanning optical system |
| US5128795A (en) * | 1989-08-14 | 1992-07-07 | Ricoh Company, Ltd. | Scanning lens and scanning apparatus using scanning lens |
| US5563729A (en) * | 1993-08-30 | 1996-10-08 | Minolta Co., Ltd. | Image forming light scanning apparatus |
| JP3191538B2 (ja) * | 1993-12-17 | 2001-07-23 | 富士ゼロックス株式会社 | 走査レンズ及び光走査装置 |
| KR0144427B1 (ko) * | 1994-11-30 | 1998-10-01 | 이형도 | 광 주사장치 |
| JP4324019B2 (ja) * | 2004-06-02 | 2009-09-02 | キヤノン株式会社 | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
| JP2015014717A (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-22 | 富士フイルム株式会社 | 走査光学系、光走査装置および放射線画像読取装置 |
| CN113495356A (zh) * | 2020-04-02 | 2021-10-12 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 一种光束偏移装置、扫描方法、扫描装置及显示装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54143659A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-09 | Canon Inc | Image forming optical system for semiconductor laser |
| US4379612A (en) * | 1979-09-04 | 1983-04-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical system having a fall-down correcting function |
| GB2096789B (en) * | 1981-03-03 | 1985-03-13 | Canon Kk | Optical mechanical scanning system |
| JPS61175616A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-07 | Ricoh Co Ltd | 偏向光ビ−ム用レンズ系 |
| JPS61251362A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置における画像走査クロツク発生装置 |
| JPS63106618A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-11 | Ricoh Co Ltd | 面倒れ補正機能をもつ走査光学系 |
| JPS63141020A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-13 | Kyocera Corp | 光走査装置 |
| JP2776465B2 (ja) * | 1987-05-12 | 1998-07-16 | 株式会社リコー | 光走査装置におけるｆθレンズ系 |
| JP2550153B2 (ja) * | 1987-06-17 | 1996-11-06 | 株式会社リコー | 光走査装置 |
-
1988
- 1988-03-04 JP JP63051159A patent/JPH01224721A/ja active Pending
-
1989
- 1989-03-03 US US07/318,259 patent/US4962982A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4962982A (en) | 1990-10-16 |
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