JPH01221202A - Manufacture of ceramic green sheet - Google Patents

Manufacture of ceramic green sheet

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Publication number
JPH01221202A
JPH01221202A JP4800288A JP4800288A JPH01221202A JP H01221202 A JPH01221202 A JP H01221202A JP 4800288 A JP4800288 A JP 4800288A JP 4800288 A JP4800288 A JP 4800288A JP H01221202 A JPH01221202 A JP H01221202A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
ceramic green
sheet
green sheet
carrier film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4800288A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norio Sakai
範夫 酒井
Shoichi Kawabata
川端 章一
Yukio Tanaka
田中 雪夫
Kazuhiro Iida
飯田 和浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP4800288A priority Critical patent/JPH01221202A/en
Publication of JPH01221202A publication Critical patent/JPH01221202A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To contrive to reduce the occurrence of inferiority or swell due to the defect such as bores or pin holes by a method in which the ceramic green sheets of two layers or more are laminated, whereby one ceramic green sheets is integrally formed. CONSTITUTION:A carrier film 16 is coated with the ceramic slurry 20 from inside a vessel 22 into a prescribed thickness by a doctor blade 24. The ceramic slurry 20 is dried in a drier 28 with the transportation of the carrier film 16, and then a ceramic green sheet 28 is obtained and is successively wound up on a take-up roll 14. The take-up roll 14 having wound up the ceramic green sheet 28 is set at the side of sending out, and an empty sending out roller 12 is set at the side of take up. Then similarly to the first process, the ceramic green sheet 28' of a second layer is formed on the green sheet 28 having been formed. Further, in order to obtain the necessary number of laminating the second process may be repeated. Consequently, the ceramic green sheet, in which the green sheets of at least two layers are integrally laminated in a desired thickness, is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はセラミック生シートの製造方法に関し、特に
たとえば積層セラミックコンデンサや積層セラミック基
板などのような積層セラミック電子部品に用いられる、
セラミック生シートの製造方法に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for producing a green ceramic sheet, and in particular, to a method for manufacturing a ceramic raw sheet, which is used for multilayer ceramic electronic components such as a multilayer ceramic capacitor, a multilayer ceramic substrate, etc.
The present invention relates to a method for producing a raw ceramic sheet.

〔従来技術〕[Prior art]

従来の積層セラミック電子部品の製造方法としては、セ
ラミック生シート上に内部電極ペーストを印刷して乾燥
し、このように形成したセラミック生シートを所定の枚
数積層した後プレス圧着する方法がある。
As a conventional method for manufacturing laminated ceramic electronic components, there is a method in which an internal electrode paste is printed on a raw ceramic sheet, dried, and a predetermined number of the thus formed raw ceramic sheets are laminated and then press-bonded.

また、他の方法として、キャリアフィルムが付着した状
態のセラミック生シート上に内部電極ペーストを印刷し
て乾燥し、それを熱圧着で積層してキャリアフィルムを
剥がすという工程を繰り返す方法も案出されている。
In addition, another method has been devised in which the internal electrode paste is printed on a green ceramic sheet with a carrier film attached, is dried, is laminated by thermocompression bonding, and the process of peeling off the carrier film is repeated. ing.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

いずれの方法においても、セラミック生シートはドクタ
ブレード法等による1層ないし単層のものである。した
がって、高容量化のためにセラミック生シートを薄くす
れば、セラミック生シート中にボアやピンホールなどの
欠陥が顕在化し、内部電極材料としての導電ペーストが
その欠陥部分を貫通して下層のものと導通し、耐圧が低
下したり甚だしくは短絡事故を生じてしまうなどの問題
点があった。
In either method, the ceramic raw sheet is a one-layer or single-layer sheet produced by a doctor blade method or the like. Therefore, if the raw ceramic sheet is made thinner to increase the capacity, defects such as bores and pinholes will become apparent in the raw ceramic sheet, and the conductive paste used as the internal electrode material will penetrate through the defective parts and transfer to the lower layer. This has led to problems such as a drop in withstand voltage and even a short circuit.

このような問題点を解決するために、積層するセラミッ
ク生シートと内部電極との間に内部電極が形成されてい
ないセラミック生シート(白シート)を介挿する方法が
あった。
In order to solve these problems, there has been a method of inserting a ceramic raw sheet (white sheet) on which no internal electrode is formed between the ceramic raw sheets to be laminated and the internal electrodes.

しかしながら、この方法では、上述のような内部電極の
導通による耐圧低下や短絡事故は防止できるものの、内
部電極間の誘電体層(セラミック層)を薄くできないの
で高容量化が難しく、また薄くするためにはセラミック
生シート自体を薄(しなければなず、薄すぎると取り扱
いが困難になってしまう。さらに、上述の白シートを作
る場合にも、高価なキャリアフィルムを用いなければな
らず、したがってコスト高になってしまう。
However, although this method can prevent the breakdown voltage drop and short circuit accidents due to conduction of the internal electrodes as described above, it is difficult to increase the capacitance because the dielectric layer (ceramic layer) between the internal electrodes cannot be made thin. To do this, the raw ceramic sheet itself must be made thin, and if it is too thin, it becomes difficult to handle.Furthermore, when making the white sheet mentioned above, an expensive carrier film must be used. This will result in high costs.

それゆえに、この発明の主たる目的は、欠陥のないセラ
ミック生シートをより安価に得ることができる、セラミ
ック生シートの製造方法を提供することである。
Therefore, the main object of the present invention is to provide a method for manufacturing a green ceramic sheet that can produce a green ceramic sheet without defects at a lower cost.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明は、セラミックスラリを塗布してその後乾燥す
る工程を2回以上繰り返し、2層以上が一体的に積層さ
れた1枚のセラミック生シートをキャリアフィルム上に
形成するようにした、セラミック生シートの製造方法で
ある。
This invention is a ceramic green sheet in which the process of applying ceramic slurry and then drying is repeated two or more times to form one ceramic green sheet in which two or more layers are integrally laminated on a carrier film. This is a manufacturing method.

〔作用〕[Effect]

キャリアフィルム上にセラミックスラリを塗布してその
後乾燥させ、乾燥されたセラミック生シート上に、連続
的にさらにセラミックスラリを塗布してその後乾燥させ
る。必要に応じてセラミックスラリの塗布と乾燥とを繰
り返し、2層以上が積層された1枚のセラミック生シー
トをキャリアフィルム上に得る。
A ceramic slurry is applied onto the carrier film and then dried, and further ceramic slurry is continuously applied onto the dried ceramic green sheet and then dried. Application and drying of the ceramic slurry are repeated as necessary to obtain a ceramic raw sheet in which two or more layers are laminated on a carrier film.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明によれば、2層以上のセラミック生シートが積
層されて1枚のセラミック生シートが形成されるため、
1層にボアやピンホールの欠陥があっても他の層でカバ
ーされるので、そのような欠陥に起因する不良の発生を
可及的減じることができる。
According to this invention, two or more layers of ceramic raw sheets are laminated to form one ceramic raw sheet.
Even if there is a defect such as a bore or pinhole in one layer, it is covered by another layer, so that the occurrence of defects caused by such defects can be reduced as much as possible.

また、セラミック生シート1枚あたりの厚みを極端に薄
くする必要はないので、取り扱いが容易になり、薄いと
きに問題になった膨潤(導電ペーストの浸出やそれによ
るセラミック生シートの変形)も緩和される。
In addition, since there is no need to make the thickness of each green ceramic sheet extremely thin, it is easier to handle, and the swelling (leaching of conductive paste and resulting deformation of the green ceramic sheet) that was a problem when the sheet was thin is alleviated. be done.

さらに、白シートを使う場合に比べて、キャリアフィル
ムの消費量を抑えることができるので、高コストが回避
できる。
Furthermore, compared to the case where a white sheet is used, the amount of carrier film consumed can be reduced, so high costs can be avoided.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.

〔実施例〕〔Example〕

第1A図および第1B図はこの発明の一実施例を示す図
解図である。この実施例の製造装置1゜では、送り出し
ローラ12と巻き取りローラ14との間に、キャリアフ
ィルム16を掛は渡す。キャリアフィルム16としては
、その一方面に離型処理が施されたもの、たとえばシリ
コン樹脂がコーティングされたポリエチレンフィルムな
どが利用され得る。
FIG. 1A and FIG. 1B are illustrative views showing one embodiment of the present invention. In the manufacturing apparatus 1° of this embodiment, a carrier film 16 is passed between the feed roller 12 and the take-up roller 14. As the carrier film 16, one that has been subjected to a mold release treatment on one side, such as a polyethylene film coated with a silicone resin, can be used.

そして、送り出しローラ12から送り出されたキャリア
フィルム16は、2つのテンションローラ18によって
平坦にされ、巻き取りローラ14に導かれる。
The carrier film 16 fed out from the feeding roller 12 is flattened by two tension rollers 18 and guided to the take-up roller 14.

キャリアフィルム16の平坦部における通路上には、そ
の中にセラミックスラリ2oを貯留しておくための容器
22が、昇降可能に設けられる。
A container 22 for storing the ceramic slurry 2o therein is provided on the passage in the flat portion of the carrier film 16 so as to be movable up and down.

容器22のキャリアフィルム16の搬送方向下流側には
、ドクタブレード24が設けられる。
A doctor blade 24 is provided on the downstream side of the container 22 in the transport direction of the carrier film 16 .

キャリアフィルム16の搬送経路上には、容器22のさ
らに下流側に、乾燥器26が配置され、この乾燥器26
は、ドクタブレード24によって塗布されたセラミック
スラリ2oを乾燥させてセラミック生シート28とする
On the transport path of the carrier film 16, a dryer 26 is arranged further downstream of the container 22, and this dryer 26
The ceramic slurry 2o applied by the doctor blade 24 is dried to form a green ceramic sheet 28.

まず、ドクタブレード24によって、容器22内のセラ
ミックスラリ20をキャリアフィルム16上に所定の厚
みで塗布する。塗布されるセラミックスラリ20の厚み
は、キャリアフィルム16の上面とドクタブレード24
の下端との間隙の大きさに依存する。したがって、ドク
タブレード24は、必要な厚みのセラミックスラリを塗
布することができるように、上記間隙を任意に調整設定
できるようにされている。
First, the ceramic slurry 20 in the container 22 is applied onto the carrier film 16 to a predetermined thickness using the doctor blade 24 . The thickness of the applied ceramic slurry 20 is the same as that of the top surface of the carrier film 16 and the thickness of the doctor blade 24.
It depends on the size of the gap with the bottom edge of the Therefore, the doctor blade 24 is configured such that the gap can be adjusted as desired so that the ceramic slurry can be applied to a required thickness.

キャリアフィルム16上に塗布されたセラミックスラリ
20は、キャリアフィルム16の移送に伴って、上述の
乾燥器28にもたらされ、そこで乾燥されてセラミック
生シート28となる。このようにして形成された1層の
セラミック生シート2日は、キャリアフィルム16とと
もに、順次巻き取りローラ14に巻き取られ、1回目の
工程が完了する。
The ceramic slurry 20 applied on the carrier film 16 is brought to the above-mentioned dryer 28 as the carrier film 16 is transported, and is dried there to become a green ceramic sheet 28. The single-layer ceramic raw sheet 2 days thus formed is sequentially wound up by the winding roller 14 together with the carrier film 16, and the first step is completed.

続いて2回目の工程に移る。第1B図に示すように、1
回目の工程でセラミック生シート28(およびキャリア
フィルム16)を巻き取った巻き取りローラ14を送り
出し側にセットし、空になった送り出しローラ12を巻
き取り側にセットする。
Then move on to the second process. As shown in Figure 1B, 1
The take-up roller 14 that took up the raw ceramic sheet 28 (and the carrier film 16) in the second step is set on the delivery side, and the empty delivery roller 12 is set on the take-up side.

その後、1回目と同様にして、先に形成されたセラミッ
ク生シート28上に再びドクタブレード24によってセ
ラミックスラリ20を所定厚さで塗布し、乾燥させて2
層目のセラミック生シート28′を形成する。このとき
、1回目の工程で形成されたセラミック生シート28の
厚みを考慮して、容器22を上に上げてから、ドクタブ
レード24の先端とセラミック生シート28との間隙を
調整する必要がある。
Thereafter, in the same manner as the first time, the ceramic slurry 20 is again applied to the previously formed ceramic raw sheet 28 to a predetermined thickness using the doctor blade 24, and dried.
A layered ceramic green sheet 28' is formed. At this time, it is necessary to adjust the gap between the tip of the doctor blade 24 and the ceramic raw sheet 28 after raising the container 22 in consideration of the thickness of the raw ceramic sheet 28 formed in the first process. .

さらに積層数を多くしたければ、2回目の工程を繰り返
せばよい。
If you want to further increase the number of layers, you can repeat the second process.

このようにセラミックスラリの塗布および乾燥を所定回
繰り返すことによって、2層以上のセラミック生シート
が一体的に積層された1枚の所望の厚みを有するセラミ
ック生シートを得る。
By repeating the application and drying of the ceramic slurry a predetermined number of times in this manner, a single ceramic green sheet having a desired thickness and having two or more layers of ceramic green sheets integrally laminated is obtained.

なお、この実施例では、セラミックスラリ20はドクタ
ブレード法によって塗布されたが、塗布方法は第2図の
ようなグラビア転写による方法でもよい。
In this embodiment, the ceramic slurry 20 was applied by a doctor blade method, but the application method may also be a gravure transfer method as shown in FIG.

第2図に示すグラビア転写による場合は、容器30中の
セラミックスラリ20をグラビアローラ32で持ち上げ
、ブレード34でセラミックスラIJ20の量を調節し
、通過するキャリアフィルム16の下面にセラミックス
ラリ20を塗布する。
In the case of gravure transfer shown in FIG. 2, the ceramic slurry 20 in the container 30 is lifted by the gravure roller 32, the amount of the ceramic slurry IJ20 is adjusted by the blade 34, and the ceramic slurry 20 is applied to the lower surface of the carrier film 16 passing through. do.

なお、上述の実施例では、キャリアフィルム16を、1
工程毎に巻き取って再セットしたが、これは、キャリア
フィルム16をエンドレスとしてローラの取り外しや再
セットなしに連続的に繰り返すことができるようにして
もよい。
In addition, in the above-mentioned embodiment, the carrier film 16 is
Although winding and resetting were performed after each step, this may be done by making the carrier film 16 endless so that it can be repeated continuously without removing and resetting the rollers.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1A図および第1B図はその発明の一実施例を示す図
解図であり、第1A図は1層目のセラミック生シートの
製造工程を示し、第1B図は2層目のセラミック生シー
トの製造工程を示す。 第2図はセラミックスラリの塗布方法の変形例を示す。 図において、16はキャリアフィルム、20はセラミッ
クスラリ、28.28”はセラミック生シートを示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 山 1) 義 人 −二1B図 富2図
Figures 1A and 1B are illustrative diagrams showing one embodiment of the invention, with Figure 1A showing the manufacturing process of the first layer of green ceramic sheet, and Figure 1B showing the manufacturing process of the second layer of green ceramic sheet. The manufacturing process is shown. FIG. 2 shows a modification of the ceramic slurry application method. In the figure, 16 indicates the carrier film, 20 indicates the ceramic slurry, and 28.28" indicates the ceramic green sheet. Patent applicant Murata Manufacturing Co., Ltd. Representative Patent attorney Yama 1) Yoshito-21B figure Tomi figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] セラミックスラリを塗布してその後乾燥する工程を2回
以上繰り返し、2層以上が一体的に積層された1枚のセ
ラミック生シートをキャリアフィルム上に形成する、セ
ラミック生シートの製造方法。
A method for producing a ceramic green sheet, in which a step of applying a ceramic slurry and then drying is repeated two or more times to form a single ceramic green sheet in which two or more layers are integrally laminated on a carrier film.
JP4800288A 1988-02-29 1988-02-29 Manufacture of ceramic green sheet Pending JPH01221202A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4800288A JPH01221202A (en) 1988-02-29 1988-02-29 Manufacture of ceramic green sheet

Applications Claiming Priority (1)

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JP4800288A JPH01221202A (en) 1988-02-29 1988-02-29 Manufacture of ceramic green sheet

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Publication Number Publication Date
JPH01221202A true JPH01221202A (en) 1989-09-04

Family

ID=12791104

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4800288A Pending JPH01221202A (en) 1988-02-29 1988-02-29 Manufacture of ceramic green sheet

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JP (1) JPH01221202A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03108502A (en) * 1989-09-22 1991-05-08 Yokogawa Electric Corp Laminating method for green sheet

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS639505A (en) * 1986-06-30 1988-01-16 株式会社村田製作所 Manufacture of ceramic green sheet

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