JPH01219165A - 真空装置内の台盤搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は運搬設備の技術分野で利用され、特に、真空装
置内部で台盤を移動させる搬送装置に関するものである
。

（従来の技術） ワークの表面に薄膜を形成するための成膜設備において
は、通常、入口槽、加熱槽、分配槽および出口槽等の真
空槽を順次配置し、かつこの分配槽の両側にそれぞれ処
理槽等の真空層を配置するとともに、前記各真空槽を連
通させて搬送路が形成されており、この搬送路上を前記
台盤が台盤送り手段により移動して各真空槽に対し進退
可能とされている。さらに、この台盤送り手段には搬送
路における台盤の位置や移動方向を知るためのセンサと
、台盤を各真空槽のたとえば中央位置に固定するための
ストッパとが付設されている。

（発明が解決しようとする課題） しかし、前記センサはリミットスイッチ等を適用する場
合が多く、したがって、真空中の電路ではリミットスイ
ッチ本体と配線部の絶縁が不安定になって機能の信頼性
を欠いたり、寿命に影響をおよぼしたりするだけではな
く、前記ストッパはセンサと別途に槽外の駆動手段とリ
ンク機構等を介して連動させるために、構造が複雑で、
しかも保守点検が容易でないという不具合がある。

本発明はかかる従来の上記課題にかんがみ、センサやス
トッパは槽外（大気側）に設けるとともに、槽内（真空
側）に設けるものは簡単な構造とすることにより、台盤
の搬送動作と停止動作とが確実に行なわれるようにした
搬送装置を提供するにある。

（課題を解決するための手段） 本発明の上記課題を解決するための手段は、複数の真空
槽が連通されてなる搬送路に沿って台盤送り手段が設け
られ、該台盤送り手段によりワークを載置した台盤が前
記各真空槽間を移動可能とされたものにおいて、前記台
盤の四隅部から台盤側ローラが突設される一方、前記真
空槽の内部に前記台盤側ローラとの当接により回動可能
とされたクローバ形回動体が設けられ、該クローバ形回
動体は自転軸の上端部に、該上端部を囲繞する４個の遊
星ローラが保持部材により相互に等間隔を保って枢支さ
れるとともに、自転軸の下端部が貫通路を経て槽外力に
突設され、該下端部にはクローバ形回動体の回動角を検
出するための検出手段と、該検出手段の信号により自転
軸を拘束して台盤を停止させるための制動手段とが連設
されてなることを特徴とするものである。

（作用） 上記の手段による作用は、ワークを載置した台盤が台盤
送り手段によって真空槽内部に搬送されるとき、クロー
バ形回動体は台盤側ローラとの当接によって回動され、
台盤が真空槽の中央位置に進入完了をしたときの回動角
が検出手段で検出されると、その信号で制動手段が作動
してクローバ形回動体を拘束することにより台盤が中央
位置で停止される。そして、ワークの処理が終ると、制
動手段を解除して再び台盤の搬送が行なわれる。

（実施例） 以下１本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。な
お、この説明における方向は、第１図および第５図にお
いて左側を前、右側を後、上側を右、下側を左と呼ぶ。

第２図ないし第４図に示す搬送装置１は、第１図に示し
た真空装置３１に設けられている。該真空装置は入口側
の真空槽３２、加熱用の真空槽３３、分配用の真空槽３
４および出口側の真空槽３５が中間位置にゲート弁３６
，３７を介在させて順次連通され、かつ前記真空槽３４
の左右両側にそれぞれ第１処理用の真空槽３８および第
２処理用の真空槽３９が中間位置にゲート弁４０．４１
を介在させて連通されることによって真空槽３２から真
空槽３４を経て真空槽３５に至る間に主搬送路Ｔ５が、
真空槽３６から真空槽３４を経て真空槽３７に至る間に
分岐搬送路Ｔ６が形成されており、主搬送路Ｔ５および
分岐搬送路Ｔ６には、ワークＷを載置した台盤Ｐが移動
可能に装入されている。

さらに、前記真空槽３２および真空槽３５に入口扉およ
び出口扉（いずれも図示省略）が開閉可能に設けられる
とともに、前記各真空槽３２，３３．３４，３５，３８
，３９には、槽内部を真空と常圧に切換えるための真空
ポンプおよび吸気弁（いずれも図示省略）が接続されて
いる。

前記搬送装置１は、前記主搬送路Ｔ８および分岐搬送路
Ｔ２に沿って設けられた台盤送り手段４２、クローバ形
回動体３、検出手段４および制動手段５と、前記クロー
バ形回動体３を回動させるための台盤側ローラ２とが主
要部として包含されている。

前記台盤送り手段４２は、台盤Ｐの下面を支承して該台
盤を移動させる複数の可逆駆動ローラ４３が台盤Ｐの搬
送可能な間隔（たとえば台盤Ｐの長さの１７３以下）を
保ち、主搬送路Ｔ１および分岐搬送路Ｔ２に沿って配設
され、かつ可逆駆動ローラ４３の近接位置に台盤Ｐの側
面を支承して案内するフリニローラ４４が設けられてお
り、前記可逆駆動ローラ４３の配設状態は第１図におけ
る分配用の真空槽３４の中央位置にだけ示している・４
５は入口リフト、４６は出口リフトである。

前記台盤側ローラ２は、台盤Ｐの四隅部から斜め外方に
ブラケット６が突設され、該ブラケットの先端部に設け
た悲吊軸７によって枢支されている。

前記クローバ形回動体３は、前記台盤側ローラ２の当接
によってのみ回動可能とされたもので、自転軸８の上端
部８ａに、該上端部を囲繞し、かつ自転軸８まわりを公
転する４個の遊星ローラ９がほぼ十字形の上側保持部材
１０と下側保持部材１１の間に介在させたピン１２によ
り相互に等間隔を保って枢支されるとともに、自転軸８
の下端部８ｂが各真空槽３２，３３，３４，３５，３８
゜３９の底抜に穿設した貫通路１３を経て該真空槽の外
方に突設されている。１４は軸封部材である。

さらに、前記下端部８ｂにはクローバ形回動体３の回動
角を検出するための検出手段１５と、該検出手段の信号
により自転軸８を拘束して台盤Ｐを停止させるための制
動手段１６とが連設されている。ちなみに、台盤側ロー
ラ２および遊星ローラ９の直径をｄとするとき、クロー
バ形回動体３の中心と各真空槽３２．３３，３４，３５
，３８゜３９の中央位置に位置する台盤Ｐの各端縁との
相対間隔は、１，５ｄに設定されている。

前記検出手段１５は自転軸８の下端部８ｂに固定した自
転側歯車１７に、従動軸１８の上端部に固定した従動側
歯車１９が噛合され、従動軸１８の中間部に固定した回
動板２０の外周部には、４個のフォトセンサ２１を互い
に９０＠間隔で配設して構成されており、フォトセンサ
２１は１８０°位置で相対する１組でクローバ回動体３
の３／８回転（１３５＠回動）と３／４回転（２７０’
回動）とを検出し、中間位置で相対する他の１組でクロ
ーバ形回動体３の回動力向すなわち台盤Ｐの移動方向を
検出するように設けられている。なお、前記検出手段１
５は、本例に代えて簡易エンコーダ等を適用することも
できる。

前記制御＋手段１６は、前記従動軸１８の下端部に固定
した金属製ディスク２２と、前記検出手段１５の検出信
号によって作動する電磁弁等の出力軸２３に固定した制
動ディスク２４とが離接可能に設けられている。

なお、前記クローバ形回動体３は必要により、前記分配
用の真空槽３４以外の主搬送路Ｔ、および分岐搬送路Ｔ
２において片側のものを省略してもよい。

次に、本実施例の作用について説明する。

第１図において、真空装置１ｆｆ３１は予め各ゲート弁
３６．３７，４０．４１と出口扉（図示省略）を閉じた
状態で入口側の真空槽３２を除く他の真空ｐ！！３３，
３４，３５，３８．３９の内部が真空に減圧されている
。

まず、ワークＷを載置した台盤Ｐが、入口リフト４５に
よって入口側の真空槽３２の高さまで上昇し、入口扉（
図示省略）を開いて該真空槽に進入すると、入口扉を閉
じて真空に減圧される。

次に、ゲート弁３６を開いて台盤Ｐが加熱用の真空槽３
３に搬送されると、ゲート弁３６を閉じてワークＷの加
熱処理が行なわれたのち、分配用の真空槽３４に搬送さ
れる。

そして、ワークＷの成膜条件に適合するように、たとえ
ばゲート弁４０を開いて第１処理用の真空槽３８に台盤
Ｐが搬送されると、ゲート弁４０を閉じてワークＷの成
膜処理が行なわれたのち、再びゲート弁４０を開閉して
台盤Ｐが前記真空槽３４に復帰する。

その後、台盤Ｐはゲート弁３７を開閉して出口側の真空
槽３５に搬送され、続いて出口扉（図示省略）を開閉し
て出口リフト４６上に搬送されたのち、該出口リフトに
よって次工程の搬送手段に受渡される。

上記一連の搬送作用は搬送装置１の台盤送り手段４２の
送り動作と、クローバ形回動体３の制御動作とによって
行なわれるものであって、加熱用の真空槽３３から分配
用の真空槽３４および第１処理用の真空槽３８を経由し
て出口用の真空槽３５に至る間で、台盤Ｐが分配用の真
空槽３４を通過する場合の台盤側ローラ２とクローバ形
回動体３の連係動作を第５図に基づいて述べる。

第５図（＋）に示すように真空槽３４の中央位置が空白
となっているときは、Ａ、Ｂ、ＣおよびＣ位置における
クローバ形回動体３の遊星ローラ９．９・・・・・・が
、いずれも前後および左右方向で相対していて、前部の
台盤側ローラ２，２はＣ位置およびＣ位置のクローバ形
回動体３に当接しようとしている。

次に、台盤Ｐを前方へ移動させると前部の台盤側ローラ
２，２がクローバ形回動体３，３を押し回してＣ位置の
ものが左回りで１／４回転、Ｃ位置のものが右回りで１
７４回転し、続いて台盤Ｐの前端縁で押し回すことによ
って、各クローバ形回動体３がそれぞれ同じ方向でさら
に１／８回転（初期の状態から３／８回転）して、各遊
星ローラ９，９・・・・・・が第５図（ＩＩ）に示すよ
うに、台盤Ｐの左右側面に当接してガイドローラとなる
。

そして、台盤Ｐをさらに前方へ移動させると、後部の台
盤側ローラ２，２がクローバ形回動体３゜３を押し回し
てＣ位置のものが左回りで、Ｃ位置のものが右回りでさ
らに３７８回転（初期の状態から３／４回転）すること
により、台盤Ｐは第５図（１）に示すように真空槽３４
の中央位置に対して進入を完了する。このとき、各検出
手段１５で検出した信号が各制動手段１６に入力される
ことにより、各クローバ形回動体３，３・・・・・・の
自転軸８が制動手段１６の作動によって拘束され、台盤
Ｐは中央位置に固定される。

続いて、台盤Ｐを第１処理用の真空槽３８に対して移動
させるときは、クローバ形回動体３はＢ位置のものが右
回りで、０位はのものが左回りでそれぞれ３／４回転し
て分配用の真空槽３４から左方に退出する。そして、第
１処理用の真空槽３８におけるクローバ形回動体３はＡ
位置のものが右回りで、Ｃ位置のものが左回りでそれぞ
れ３／８回転することにより、台盤Ｐが第５図（ＩＶ）
に示す状態に臨み、さらに３／８回転して該真空槽の中
央位置に停止し、成膜処理が行なわれる。その後、台盤
Ｐは前記と反対の動作により第５図（Ｖ）に示す状態を
経て分配用の真空槽３４に復帰する。

さらに、台盤Ｐを出口用の真空槽３５に対して移動させ
るときは、クローバ形回動体３はＡ位置のものが右回り
で、Ｂ位置のものが左回りでそれぞれ３／８回転して第
５図（ＶＩ）に示す位置まで臨んだのち、さらに３／８
回転して第５図（■）に示すように、分配用の真空槽３
４から前方に退出する。

（発明の効果） 本発明は上記の構成により、台盤の移動動作や停止動作
を制御するための検出手段および制動手段は、いずれも
大気中に設けられているので、検出手段の電気部品や制
動手段の駆動部は構造の簡単なものを適用することがで
きて安価であり、しかも調整、点検が容易であるばかり
でなく、検出手段および制動手段の機能は一つの貫通路
によって発揮させることができるので１作業性および信
頼性が著しく向上するという総合的な利点を有するもの
である。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施態様を例示し、第１図は真空装置の
概要を示す平面図、第２図は搬送装置の要部を示す平面
図、第３図は同正面を一部断面で示す図、第４図は台盤
側ローラの正面図、第５図はクローバ形回動体の作用を
説明する図である。 １・・・・・・搬送装置、２・・・・・・台盤側ローラ
、３・・・・・・クローバ形回動体、８・・・・・・自
転軸、８ａ・・・・・・上端部、８ｂ・・・・・・下端
部、９・・・・・・遊星ローラ、１３・・・・・・貫通
路、１５・・・・・・検出手段、１６・・・・・・制動
手段、３１・・・・・・真空装置、３２，３３，３４，
３５゜３８．３９・・・・・・真空槽、４２・・・・・
・台盤送り手段、Ｔ５・・・・・・主搬送路、Ｔ６・・
・・・・分岐搬送路、Ｐ・・・・・・台盤、Ｗ・・・・
・・ワーク。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の真空槽が連通されてなる搬送路に沿って台
   盤送り手段が設けられ、該台盤送り手段によりワークを
   載置した台盤が前記各真空槽間を移動可能とされたもの
   において、前記台盤の四隅部から台盤側ローラが突設さ
   れる一方、前記真空槽の内部に前記台盤側ローラとの当
   接により回動可能とされたクローバ形回動体が設けられ
   、該クローバ形回動体は自転軸の上端部に、該上端部を
   囲繞する４個の遊星ローラが保持部材により相互に等間
   隔を保って枢支されるとともに、自転軸の下端部が貫通
   路を経て槽外方に突設され、該下端部にはクローバ形回
   動体の回動角を検出するための検出手段と、該検出手段
   の信号により自転軸を拘束して台盤を停止させるための
   制動手段とが連設されてなることを特徴とする真空装置
   内の台盤搬送装置。