JPH01205484A - レーザ装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 abstract 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
- H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はLD(レーザダイオード)もしくはLED(
発光ダイオード)等、半導体素子によって励起されるレ
ーザに関し、特にその励起と冷却の構造の改善に関する
ものである。
発光ダイオード)等、半導体素子によって励起されるレ
ーザに関し、特にその励起と冷却の構造の改善に関する
ものである。
第5図は例えばLl、S、 Patent 3,624
.545に示された従来のLD励起固体レーザの構造を
示す図であり、図において1はLD、2はレーザ媒質、
例えばYAGの丸棒、3,4はレーザ媒質2の端面に形
成された全反射膜と部分反射膜、5は反射鏡である。
.545に示された従来のLD励起固体レーザの構造を
示す図であり、図において1はLD、2はレーザ媒質、
例えばYAGの丸棒、3,4はレーザ媒質2の端面に形
成された全反射膜と部分反射膜、5は反射鏡である。
LDIから出射された励起光はレーザ媒質2に入射し吸
収される。吸収されずに通過した光は反射鏡5によって
反射され、再びレーザ媒質2に入射する。吸収された光
のエネルギーは部分反射膜4と全反射膜3に囲まれて成
る光共振器によって発振状態となり、一部がレーザ光と
なり外部へ放出される。
収される。吸収されずに通過した光は反射鏡5によって
反射され、再びレーザ媒質2に入射する。吸収された光
のエネルギーは部分反射膜4と全反射膜3に囲まれて成
る光共振器によって発振状態となり、一部がレーザ光と
なり外部へ放出される。
LDIの光に対するレーザ媒質2の吸収率は波長依存性
が大きく、例えは808.5nmに対しては0゜75m
m−’、 802nmに対しては0.lmm−’である
。このためレーザ媒質に有効に光を吸収させるためには
LDIのスペクトルを精密にコントロールすることが必
要であった。
が大きく、例えは808.5nmに対しては0゜75m
m−’、 802nmに対しては0.lmm−’である
。このためレーザ媒質に有効に光を吸収させるためには
LDIのスペクトルを精密にコントロールすることが必
要であった。
従来のレーザ装置は以−ヒのように構成されているので
、レーザ媒質にレーザダイオードの光を完全に吸収させ
るのが難しく、従ってレーザ発振のエネルギー効率が低
いという問題点があった。
、レーザ媒質にレーザダイオードの光を完全に吸収させ
るのが難しく、従ってレーザ発振のエネルギー効率が低
いという問題点があった。
また、従来のレーザ装置はレーザ媒質の放熱が不十分で
、出力の増大とともにビームの質が劣化するという問題
点もある。
、出力の増大とともにビームの質が劣化するという問題
点もある。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、発振のエネルギー効率を向」二できるレーザ
装置を得ることを目的とする。
たもので、発振のエネルギー効率を向」二できるレーザ
装置を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ装置はレーザ媒質の光軸に添・う
外面のほとんどを反射面で覆い、その微少部分をL D
光の入射部分としたものである。
外面のほとんどを反射面で覆い、その微少部分をL D
光の入射部分としたものである。
この発明においては、レーザ媒質の光軸に添う外面のほ
とんどを反射面で覆い、その微少部分をLD光の入射部
分としたから、+−Dによる励起光をとしこめて、レー
ザ媒質に効率よく吸収させるため、発振のエネルギー効
率が向」ニする。
とんどを反射面で覆い、その微少部分をLD光の入射部
分としたから、+−Dによる励起光をとしこめて、レー
ザ媒質に効率よく吸収させるため、発振のエネルギー効
率が向」ニする。
以下、この発明の一実施例を第1図について説明する。
(alが縦断面図、(b)が横断面図である。図におい
て50は反射体、51ば開孔、52反射面、6は透明接
着剤、7は放熱フィン、11はL D ]の光を示す。
て50は反射体、51ば開孔、52反射面、6は透明接
着剤、7は放熱フィン、11はL D ]の光を示す。
開孔51の内面は例えば金メツキされて反射性となって
いる。反射面52は多層膜コーティングまたは金等の金
属メツキにより構成されている。
いる。反射面52は多層膜コーティングまたは金等の金
属メツキにより構成されている。
]、、 D lからの光1]は反射体50の一部に設け
られた開イL51からレーザ媒質2に入射し、反則体5
0の内側の反射面52で多重回反射されるうちに完全に
レーザ媒質2に吸収され、これを光励起する。
られた開イL51からレーザ媒質2に入射し、反則体5
0の内側の反射面52で多重回反射されるうちに完全に
レーザ媒質2に吸収され、これを光励起する。
レーザ媒質2と反射面52の間にある光学的に透明な透
明接着剤6の薄い層はL Dの光を有効に透過させなが
ら、熱的にレーザ媒質2と反射体50を結合しレーザ媒
質は有効に冷却される。
明接着剤6の薄い層はL Dの光を有効に透過させなが
ら、熱的にレーザ媒質2と反射体50を結合しレーザ媒
質は有効に冷却される。
また反射面52はスジをつける。荒らし面にする等の手
段によって、光学的に非平滑にされており、これにより
反射面52内での寄生発振を防止している。
段によって、光学的に非平滑にされており、これにより
反射面52内での寄生発振を防止している。
このように本実施例では、レーザ媒質2の周囲を反射体
50で囲み、レーザ光は該反射体50の一部に設けられ
た開孔51からレーザ媒質2へ入射するようにしてLD
Iの光がその波長に最適値から多少のずれがあっても、
はぼ完全にレーザ媒質2に吸収されるようにしたから、
レーザ発振のエネルギー効率を大幅に向上できる効果が
ある。
50で囲み、レーザ光は該反射体50の一部に設けられ
た開孔51からレーザ媒質2へ入射するようにしてLD
Iの光がその波長に最適値から多少のずれがあっても、
はぼ完全にレーザ媒質2に吸収されるようにしたから、
レーザ発振のエネルギー効率を大幅に向上できる効果が
ある。
さらに本実施例では反射体の外側に放熱構造を設はレー
ザ媒質2で発生した熱が接着剤6−反射体5〇−放熱フ
ィン7を経て効率良く放熱されてレーザ媒質2が有効に
冷却されるようにしたから、出力の増大とともに生ずる
ビームを品質劣化を防ぎ、ビームの品質を向上すること
が゛できる。
ザ媒質2で発生した熱が接着剤6−反射体5〇−放熱フ
ィン7を経て効率良く放熱されてレーザ媒質2が有効に
冷却されるようにしたから、出力の増大とともに生ずる
ビームを品質劣化を防ぎ、ビームの品質を向上すること
が゛できる。
第3図は本発明の他の実施例を示す図であり、第3図(
alはその断面構成図、第3図(blは第3図(alの
レーザ媒質2部分のみを示す図である。この実施例では
反射面は直接レーザ媒質2の上に反射膜500として形
成されており、熱伝導性の充填材60が反射膜500と
放熱体70を熱的に結合している。
alはその断面構成図、第3図(blは第3図(alの
レーザ媒質2部分のみを示す図である。この実施例では
反射面は直接レーザ媒質2の上に反射膜500として形
成されており、熱伝導性の充填材60が反射膜500と
放熱体70を熱的に結合している。
第4図は第3図の実施例の変形の実施例を示す図である
。この実施例ではレーザ媒質2の全周を反射膜500で
被覆したのち、一部を切り欠くことにより光を透過する
開孔510を形成している。
。この実施例ではレーザ媒質2の全周を反射膜500で
被覆したのち、一部を切り欠くことにより光を透過する
開孔510を形成している。
なお、」1記実施例はいずれも一方向からL D光を入
射する例を示したが、入射方向を180°。
射する例を示したが、入射方向を180°。
120°等毎に設けると、より対称性の優れたヒームが
得られる効果がある。第2図は入射方向を120°毎に
設けた実施例を示す図である。
得られる効果がある。第2図は入射方向を120°毎に
設けた実施例を示す図である。
また、上記実施例はいずれもレーザ媒質の両端に部分反
射膜4と全反射膜3が形成され、光共振器を形成するも
のを示したが、両方あるいはいずれかの端面を反射防止
膜とし、外部に設置したミラーによって光共振器を構成
し得ることは言うまでもない。
射膜4と全反射膜3が形成され、光共振器を形成するも
のを示したが、両方あるいはいずれかの端面を反射防止
膜とし、外部に設置したミラーによって光共振器を構成
し得ることは言うまでもない。
なお、上記実施例は光励起源としてL Dを示したが、
LED(発光ダイオード)も用いることが可能である。
LED(発光ダイオード)も用いることが可能である。
以上のように、この発明によれば、レーザ媒質の外面を
反射面で覆い、反則面の一部の隙間部分からL Dの励
起光を入射する構成としたのでエネルギー効率の高い光
励起式のレーザ装置が得られる効果がある。
反射面で覆い、反則面の一部の隙間部分からL Dの励
起光を入射する構成としたのでエネルギー効率の高い光
励起式のレーザ装置が得られる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例によるレーザ装置の縦断面
と横断面を示す構成図、第2図、第3図はこの発明の他
の実施例例によるレーザ装置を示す図、第4図は第3同
の実施例の変形例のレーザ媒質の構造を示す図、第5図
は従来のレーザ装置の構成を示す図である。 1はLD(レーザダイオード)、2はレーザ媒質、50
は反射体、52は反射面、500は反射膜、51は開孔
、6は透明接着剤、60は充填材、70.7は放熱フィ
ン。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
と横断面を示す構成図、第2図、第3図はこの発明の他
の実施例例によるレーザ装置を示す図、第4図は第3同
の実施例の変形例のレーザ媒質の構造を示す図、第5図
は従来のレーザ装置の構成を示す図である。 1はLD(レーザダイオード)、2はレーザ媒質、50
は反射体、52は反射面、500は反射膜、51は開孔
、6は透明接着剤、60は充填材、70.7は放熱フィ
ン。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- (1)レーザ媒質を半導体発光素子によって励起するレ
ーザ装置において、 上記レーザ媒質の光軸に添う外周を囲む反射面と、 上記半導体発光素子の光を上記レーザ媒質に入射させる
ための上記反射面の一部に設けられた開孔とを備えたこ
とを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63029205A JP2664392B2 (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 | レーザ装置 |
GB8902856A GB2215906B (en) | 1988-02-10 | 1989-02-09 | Laser device |
DE3943722A DE3943722C2 (de) | 1988-02-10 | 1989-02-10 | Anordnung zum optischen Pumpen eines Lasermediums |
US07/308,586 US4924474A (en) | 1988-02-10 | 1989-02-10 | Laser device with high oscillation efficiency |
DE3904039A DE3904039C2 (de) | 1988-02-10 | 1989-02-10 | Laseranordnung |
GB9202756A GB2253515B (en) | 1988-02-10 | 1992-02-10 | Laser device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63029205A JP2664392B2 (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 | レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01205484A true JPH01205484A (ja) | 1989-08-17 |
JP2664392B2 JP2664392B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=12269692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63029205A Expired - Lifetime JP2664392B2 (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 | レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2664392B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1988
- 1988-02-10 JP JP63029205A patent/JP2664392B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2012530364A (ja) * | 2009-06-15 | 2012-11-29 | パンテック バイオソリューションズ アクチェンゲゼルシャフト | 側面ポンプモノリシック固体レーザー及びその用途 |
US9368931B2 (en) | 2009-06-15 | 2016-06-14 | Pantec Biosolutions Ag | Monolithic, side pumped solid-state laser and applications thereof |
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US8817837B2 (en) | 2010-11-25 | 2014-08-26 | Selex Es Ltd | Laser system and method of operation |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2664392B2 (ja) | 1997-10-15 |
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