JPH01202877A - 封止型co↓2レーザ管 - Google Patents

封止型co↓2レーザ管

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Publication number
JPH01202877A
JPH01202877A JP2710088A JP2710088A JPH01202877A JP H01202877 A JPH01202877 A JP H01202877A JP 2710088 A JP2710088 A JP 2710088A JP 2710088 A JP2710088 A JP 2710088A JP H01202877 A JPH01202877 A JP H01202877A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
catalyzer
catalyst
carrier
tube
insulating tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2710088A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumio Sugata
文雄 菅田
Takayoshi Yutsu
遊津 隆義
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2710088A priority Critical patent/JPH01202877A/ja
Publication of JPH01202877A publication Critical patent/JPH01202877A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/0305Selection of materials for the tube or the coatings thereon

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高周波放電励起を行う封止型C02ガスレー
ザに関するものである。
従来の技術 第2図に従来技術の高周波放電励起を行う封止型CO2
レーザの一般的な構造の概要を示す。図中1は内部にC
o2.N2.Heなどの混合ガスを封入したガラスなど
からなる密閉された絶縁筒で、その両端には全反射鏡2
と一部透過の出力鏡3の光学部品が設置されており光学
共振器を構成している。4.6は絶縁筒1の外側面に絶
縁筒1をはさむように対向して設置された電極で外部か
らの高周波電源6によシ高周波放電励起されレーザ発振
するものである。
発明が解決しようとする課題 しかし、従来の技術では放電による式(1)に示すガス
組成の変化のためレーザ出力は低下し、解離C02:!
co++02   ・・・・・・・・・・・・(1)さ
れたo2がレーザ管の金属部分を酸化し金属部分に吸着
するため消耗され、式(1)の分離再結合機構のバラン
スが崩れ、C02の減少によって更にレーザ出力は低下
していくという問題点がある。
本発明は、上記従来技術の高周波放電励起を行う封止型
Co  レーザにおいて、Co2の解離再結合機構のバ
ランスの崩れによるレーザ出力の低下を防止することを
目的゛とするものである。
課題を解決するための手段 本発明は、絶縁筒の内表面の一部もしくは全面に高誘電
率の物質を触媒担体として形成させ、その表面にCOを
002に酸化する触媒と担持させるものである。
作  用 上記手段によシ、外部からの高周波電源による印加で高
周波放電励起がおこると同時に絶縁筒内面の一部もしく
は全面に形成された触媒担体が加熱され、それに担持さ
れた触媒が触媒担体からの熱伝導により急速に加熱され
て触媒作用が増進され解離したCoをCO□ に再生し
、レーザ出力の低下を防止できる。
実施例 本発明による一実施例の構成を第1図に示す。
第2図と同一番号は同一部材を示す。
同図において、1は内部にCO□、 N 2 、 He
 などの混合ガスを封入したガラスなどから成る密閉さ
れた絶縁筒で、この絶縁筒1の両端には全反射鏡2と一
部透過の出力鏡3が設置されており光学共振器を構成し
ている。4.6は絶縁筒1をはさむように対向して設置
された電極で外部の高周波電源6による高周波放電励起
でレーザ発振するものである。
7は絶縁筒1の内面の一部もしくは全面に熱的に安定で
、かつ大きな表面積を有し、しかも高誘電率のチタン酸
バリウムを触媒の分散媒体として形成させている触媒担
体である。8は触媒担体7の表面にCOをCO3に酸化
するpt を担持させている触媒である。この様な構成
において外部高周波電源6による高周波電圧が電極4.
6に印加されると内部のCo2を励起媒体とする混合ガ
スが高周波放電励起されると同時に触媒担体7の高誘電
率であるチタン酸バリウムは高周波加熱によって加熱さ
れ、その表面に担持されている前記触媒をも熱伝導によ
り急速に加熱し、又、触媒担体7のチタン酸バリウムの
表面構造によシ触媒の担持表面積を拡張でき、触媒効率
を向上させることができる。
更に本実施例においてチタン酸バリウムを触媒の分散媒
体とし、pt  を触媒として説明したが、その他の触
媒の分散媒体に酸化チタン(TiO2)。
シリカ(StO2)、アルミナ(A#203)、触媒に
Pd、Ni、CuO,MgO,ZnO,べoプスカイト
酸化物を用いても同様の効果を発揮することができる。
発明の効果 本発明によれば、外部から特別な手段(触媒を加熱など
)を行うことなく、簡単で安価な構成でレーザ出力の短
期、長期にわたって安定した高周波放電励起封止型C0
2レーザ管が可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による高周波放電励起封止型
Co2レーザ管の構成図、第2図は従来技術による高周
波放電励起封止型Co2レーザ管の構成図である。 1・・・・・・絶縁筒、2・・・・・・全反射鏡、3・
・・・・・出力鏡、4.6・・・・・・電極、6・・・
・・・高周波電源、7・・・・・・触媒担体、8・・・
・・・触媒。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名/ 
−−一胞緑筒 第2図 ?

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  ガラスなどから形成される絶縁筒の両端にミラーを備
    え、その外側面部に絶縁筒を挟むように対向した電極を
    設置し、高周波放電励起を行う封止型CO_2レーザ管
    において、前記絶縁筒内面部の一部もしくは全面に高誘
    電率の触媒担体を形設し、前記触媒担体の表面に触媒を
    担持した封止型CO_2レーザ管。
JP2710088A 1988-02-08 1988-02-08 封止型co↓2レーザ管 Pending JPH01202877A (ja)

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JPH01202877A true JPH01202877A (ja) 1989-08-15

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JP (1) JPH01202877A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06120590A (ja) * 1992-06-16 1994-04-28 Jgc Corp ガスレーザー用のガスを再生する方法および装置
US20210057864A1 (en) * 2019-08-19 2021-02-25 Iradion Laser, Inc. Enhanced waveguide surface in gas lasers

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06120590A (ja) * 1992-06-16 1994-04-28 Jgc Corp ガスレーザー用のガスを再生する方法および装置
US20210057864A1 (en) * 2019-08-19 2021-02-25 Iradion Laser, Inc. Enhanced waveguide surface in gas lasers

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