JPH01216584A - 封止型ｃｏ↓２レーザ管 - Google Patents
封止型ｃｏ↓２レーザ管Info
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- JPH01216584A JPH01216584A JP4317788A JP4317788A JPH01216584A JP H01216584 A JPH01216584 A JP H01216584A JP 4317788 A JP4317788 A JP 4317788A JP 4317788 A JP4317788 A JP 4317788A JP H01216584 A JPH01216584 A JP H01216584A
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- catalyst
- high frequency
- electrodes
- insulating cylinder
- laser
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高周波放電励起を行う封止型ＣＯ，レーザ管
に関する。
に関する。
従来の技術
従来の高周波放電励起を行う封止型ＣＯ，レーザ管は、
たとえば第２図に示すような構造であった。
たとえば第２図に示すような構造であった。
第２図において、絶縁筒体１はガラスなどで形成され、
内部にＣＯ，、Ｎ、、Ｈｅなどの混合ガスを封入されて
いる。また、絶縁筒体１の両端には全反射鏡２と出力鏡
３の光学部品が配置されており１両者により光学共振器
が構成されている。そして。
内部にＣＯ，、Ｎ、、Ｈｅなどの混合ガスを封入されて
いる。また、絶縁筒体１の両端には全反射鏡２と出力鏡
３の光学部品が配置されており１両者により光学共振器
が構成されている。そして。
絶縁筒体１をはさむように対向して配置された一対の電
極４，５には高周波電源６が接続されている。そして高
周波電源６から供給され１両電極４゜５の間で放電され
る高周波により、混合ガスが励起されてレーザ発振する
ものである。
極４，５には高周波電源６が接続されている。そして高
周波電源６から供給され１両電極４゜５の間で放電され
る高周波により、混合ガスが励起されてレーザ発振する
ものである。
しかし、上記した従来の封止型Ｃ０２レーザ管では、放
電により下式（１）のごとく、ＣＯ，がＣＯと０２に解
離され、レーザ出力が低下して平衡状態に達する。
電により下式（１）のごとく、ＣＯ，がＣＯと０２に解
離され、レーザ出力が低下して平衡状態に達する。
ｃ ｏ、 ｓ＝ ｃ ｏ ＋ＨＯ，・・・（１）さらに
、長期的には、生成した０２が、レーザ管の金属部分を
酸化し、これらの金属部分に吸着して消耗される。
、長期的には、生成した０２が、レーザ管の金属部分を
酸化し、これらの金属部分に吸着して消耗される。
このため、（１）式における解離再結合機構のバランス
が崩れ、ＣＯ３かさらに減少し、レーザ出力がしだいに
低下するという問題があった。
が崩れ、ＣＯ３かさらに減少し、レーザ出力がしだいに
低下するという問題があった。
このために、第３図に示すように、両電極４゜５が相対
向する範囲内で、絶縁筒体１の内周面に。
向する範囲内で、絶縁筒体１の内周面に。
触媒７を設けたものがある。
この構成においては１両電極４，５の間に放電される高
周波により、 Ｃｏ、ガスが励起されてレーザ発振する
ときに、触媒７が高周波加熱によって急速に加熱され、
触媒作用を発揮し、ＣＯイがＣＯと０、に解離すること
を抑制し、レーザ出力の低下を防止するようになされて
いる。
周波により、 Ｃｏ、ガスが励起されてレーザ発振する
ときに、触媒７が高周波加熱によって急速に加熱され、
触媒作用を発揮し、ＣＯイがＣＯと０、に解離すること
を抑制し、レーザ出力の低下を防止するようになされて
いる。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記した従来のものにおいては、触媒７を設け
た位置においても、放電が生じるために、長期的には触
媒７が蒸散し、場合によっては全反射鏡２、出力鏡３、
絶縁筒体１の内壁に付着し。
た位置においても、放電が生じるために、長期的には触
媒７が蒸散し、場合によっては全反射鏡２、出力鏡３、
絶縁筒体１の内壁に付着し。
レーザ出力の低下または絶縁不良などを起こす問題があ
った。
った。
本発明はＣＯ２の解離および触媒の蒸散によるＣＯ。
レーザ出力の低下を防止した封止型Ｃ０２レーザ管を提
供することを目的とする。
供することを目的とする。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明は、絶縁筒体の外周
側部に絶縁筒体を挾むように対向して一対の電極が配置
され、この電極間に放電される高周波により絶縁筒体内
の００２ガスが励起されてレーザ発振する封止型ＣＯ２
レーザ管であって、前記絶縁筒体の中で１両電極が相対
向する範囲内の端部位置に、絶縁筒体の内周面に沿った
環状形の触媒を設けた構成としたものである。
側部に絶縁筒体を挾むように対向して一対の電極が配置
され、この電極間に放電される高周波により絶縁筒体内
の００２ガスが励起されてレーザ発振する封止型ＣＯ２
レーザ管であって、前記絶縁筒体の中で１両電極が相対
向する範囲内の端部位置に、絶縁筒体の内周面に沿った
環状形の触媒を設けた構成としたものである。
作用
上記構成により１両電極間に放電される高周波によって
ＣＯ□ガスが励起されてレーザ発振する。
ＣＯ□ガスが励起されてレーザ発振する。
そして、触媒は高周波加熱によって急速に加熱され、触
媒作用を発揮し、ＣＯ２がＣＯと０□に解離することを
抑制する。このとき、触媒は環状形で両電極間を短絡し
ているために、触媒の内部においては放電が起らず、放
電により生ずる触媒の蒸散が防止される。
媒作用を発揮し、ＣＯ２がＣＯと０□に解離することを
抑制する。このとき、触媒は環状形で両電極間を短絡し
ているために、触媒の内部においては放電が起らず、放
電により生ずる触媒の蒸散が防止される。
実施例
以下１本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図において、絶縁筒体１１の内部には、Ｃｏ、、Ｎ、
、Ｈｅなどの混合ガスが封入されており。
１図において、絶縁筒体１１の内部には、Ｃｏ、、Ｎ、
、Ｈｅなどの混合ガスが封入されており。
絶縁筒体１１はガラスなどで形成されている＝この絶縁
筒体１１の一端には全反射鏡１２が配置され、他端には
出力鏡１３が配置されており１両者によって光学共振器
が構成されている。そして、絶縁筒体１１の外周側部に
は、一対の電極１４．１５が絶縁筒体１１を挾むように
対向して配置されて′おり１両電極１４．１５は外部の
高周波電源１６に接続されている。
筒体１１の一端には全反射鏡１２が配置され、他端には
出力鏡１３が配置されており１両者によって光学共振器
が構成されている。そして、絶縁筒体１１の外周側部に
は、一対の電極１４．１５が絶縁筒体１１を挾むように
対向して配置されて′おり１両電極１４．１５は外部の
高周波電源１６に接続されている。
そして、絶縁筒体１１の内周面で両電極１４．１５が相
対向する範囲内の端部位置に、酸化作用を促進する触媒
１７が配置されており、この触媒１７は、ペロブスカイ
ト形酸化物もしくは白金などのセラミック材より成り、
絶縁筒体１１の内周面に沿った環状形に形成されている
。
対向する範囲内の端部位置に、酸化作用を促進する触媒
１７が配置されており、この触媒１７は、ペロブスカイ
ト形酸化物もしくは白金などのセラミック材より成り、
絶縁筒体１１の内周面に沿った環状形に形成されている
。
以下、上記構成における作用について説明する。
まず、高周波電源１６から両電極１４ 、１５に印加さ
れた高周波電圧により１両電極１４．１５の間に高周波
が放電される。そして、絶縁筒体１１の中に封入され、
ＣＯ３ガスを含んだ混合ガスが高周波に励起されてレー
ザ発振する。そして、高周波加熱により触媒１７が急速
に加熱され、触媒作用を発揮する。
れた高周波電圧により１両電極１４．１５の間に高周波
が放電される。そして、絶縁筒体１１の中に封入され、
ＣＯ３ガスを含んだ混合ガスが高周波に励起されてレー
ザ発振する。そして、高周波加熱により触媒１７が急速
に加熱され、触媒作用を発揮する。
そして、この触媒作用により、ＣＯ□がＣＯと０□に解
離することが抑制され、絶縁筒体１１の中のＣＯ□ガス
の減少およびＣ０２ガスの減少によって生ずるレーザ出
力の低下を防止することができ、長期にわたって安定し
たレーザ出力を維持することができる。このとき、触媒
１７は環状形で両電極１４．１５の間を短絡しているた
めに、触媒１７の内部においては放電が起らず、放電□
により生ずる触媒１７の蒸散が防止される。
離することが抑制され、絶縁筒体１１の中のＣＯ□ガス
の減少およびＣ０２ガスの減少によって生ずるレーザ出
力の低下を防止することができ、長期にわたって安定し
たレーザ出力を維持することができる。このとき、触媒
１７は環状形で両電極１４．１５の間を短絡しているた
めに、触媒１７の内部においては放電が起らず、放電□
により生ずる触媒１７の蒸散が防止される。
発明の効果
以上述べたように１本発明によれば、絶縁筒体の内周面
に環状形の触媒を設けることにより、簡単で安価な構成
でＣＯ２の解離を抑制し、かつ触媒の蒸散を防止してレ
ーザ出力の低下を防止できる。
に環状形の触媒を設けることにより、簡単で安価な構成
でＣＯ２の解離を抑制し、かつ触媒の蒸散を防止してレ
ーザ出力の低下を防止できる。
第１図は本発明の一実施例を示す封止型ＣＯ２レーザ管
の全体構成図、第２図および第３図は従来の封止型ＣＯ
２レーザ管の全体構成図である。 ｌｌ・・・絶縁筒体、１２・・・全反射鏡、１３・・・
出力鏡。 １４．１５・・・電極、１６・・・高周波電源、１７・
・・触媒。 代理人 森 本 義 弘 第１図 ／７ １３・−太力硯 ／４．Ｉ！−−・電槽 １６・・膚唱衰覧席 １７・・・炊釦
の全体構成図、第２図および第３図は従来の封止型ＣＯ
２レーザ管の全体構成図である。 ｌｌ・・・絶縁筒体、１２・・・全反射鏡、１３・・・
出力鏡。 １４．１５・・・電極、１６・・・高周波電源、１７・
・・触媒。 代理人 森 本 義 弘 第１図 ／７ １３・−太力硯 ／４．Ｉ！−−・電槽 １６・・膚唱衰覧席 １７・・・炊釦
Claims (1)
- １、絶縁筒体の外周側部に絶縁筒体を挾むように対向し
て一対の電極が配置され、この電極間に放電される高周
波により絶縁筒体内のＣＯ＿２ガスが励起されてレーザ
発振する封止型ＣＯ＿２レーザ管であって、前記絶縁筒
体の中で、両電極が相対向する範囲内の端部位置に、絶
縁筒体の内周面に沿った環状形の触媒を設けた封止型Ｃ
Ｏ＿２レーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4317788A JPH01216584A (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 封止型ｃｏ↓２レーザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4317788A JPH01216584A (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 封止型ｃｏ↓２レーザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01216584A true JPH01216584A (ja) | 1989-08-30 |
Family
ID=12656602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4317788A Pending JPH01216584A (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 封止型ｃｏ↓２レーザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01216584A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20210057864A1 (en) * | 2019-08-19 | 2021-02-25 | Iradion Laser, Inc. | Enhanced waveguide surface in gas lasers |
-
1988
- 1988-02-25 JP JP4317788A patent/JPH01216584A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20210057864A1 (en) * | 2019-08-19 | 2021-02-25 | Iradion Laser, Inc. | Enhanced waveguide surface in gas lasers |
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