JPH01194150A - 光情報記録媒体 - Google Patents
光情報記録媒体Info
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- JPH01194150A JPH01194150A JP63019253A JP1925388A JPH01194150A JP H01194150 A JPH01194150 A JP H01194150A JP 63019253 A JP63019253 A JP 63019253A JP 1925388 A JP1925388 A JP 1925388A JP H01194150 A JPH01194150 A JP H01194150A
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Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザー光によって情報を記録・再生する光情
報記録媒体に関し、更に詳しくは、記録感度に優れ、基
板と記録層との間に下地層を有する光情報記録媒体に関
する。
報記録媒体に関し、更に詳しくは、記録感度に優れ、基
板と記録層との間に下地層を有する光情報記録媒体に関
する。
近年、半導体レーザの実用化に伴い、光ディスク等を記
録媒体とした情報記録手段の開発が盛んに行われている
。光ディスクは、磁気ディスクに比べて、記録密度が1
0倍以上も高いため画像等の大量のデータ保存に好適で
ある。
録媒体とした情報記録手段の開発が盛んに行われている
。光ディスクは、磁気ディスクに比べて、記録密度が1
0倍以上も高いため画像等の大量のデータ保存に好適で
ある。
このような光ディスクに使用される記録材料は記録方式
により種々のもが使用されているが、レーザー光照射に
より記録層にピットを形成させる追記型方式では、一般
に、Te、 Bi等の低融点金属、その合金化合物、ま
たはその分散物等が用いられている。
により種々のもが使用されているが、レーザー光照射に
より記録層にピットを形成させる追記型方式では、一般
に、Te、 Bi等の低融点金属、その合金化合物、ま
たはその分散物等が用いられている。
しかし、コンピューターのデータベース等、高速での記
録・再生が必要とされる用途には記録感度の点で未だ不
十分であるため、記録感度の向上を図る様々な試みが成
されている。
録・再生が必要とされる用途には記録感度の点で未だ不
十分であるため、記録感度の向上を図る様々な試みが成
されている。
そのひとつとして基板上に有機高分子よりなる下地層を
設け、その上に記録層を形成することにより記録感度を
向上させる方法が、特開昭58−166548号公報等
に報告されている。
設け、その上に記録層を形成することにより記録感度を
向上させる方法が、特開昭58−166548号公報等
に報告されている。
しかし、上記有機高分子層を用いた記録媒体は、基板材
料にガラスを用いた場合には記録感度の向上が見られる
が、ポリカーボネートやアクリル等のプラスチック基板
においては記録感度が十分でないという問題が本発明者
等によって明らかとなった。さらに、下地層に有機高分
子を使用するために、製造工程が煩雑化するという問題
があった。特に、上記のような有機高分子層の形成は記
録層を形成するためのスパッタリング法や真空蒸着法に
不向きであり、真空槽内でスピンナー塗布が不可能であ
るた釣下地層及び記録層を連続工程で形成できないとい
う欠点があった。
料にガラスを用いた場合には記録感度の向上が見られる
が、ポリカーボネートやアクリル等のプラスチック基板
においては記録感度が十分でないという問題が本発明者
等によって明らかとなった。さらに、下地層に有機高分
子を使用するために、製造工程が煩雑化するという問題
があった。特に、上記のような有機高分子層の形成は記
録層を形成するためのスパッタリング法や真空蒸着法に
不向きであり、真空槽内でスピンナー塗布が不可能であ
るた釣下地層及び記録層を連続工程で形成できないとい
う欠点があった。
そこで、本発明の目的は、良好なC7N比及び高い記録
感度を有し、簡単な製造工程で製造でき、しかもプラス
チック基板を使用しても高い記録感度を有する光情報記
録媒体を提供することにある。
感度を有し、簡単な製造工程で製造でき、しかもプラス
チック基板を使用しても高い記録感度を有する光情報記
録媒体を提供することにある。
本発明者等は、上記問題点を鋭意検討・研究した結果、
記録媒体を3層構造とし記録層の下地層を所定の無機化
合物等で構成することによって、種々の基板を使用して
も優れた記録感度を有する光情報記録媒体を開発するこ
とに成功した。
記録媒体を3層構造とし記録層の下地層を所定の無機化
合物等で構成することによって、種々の基板を使用して
も優れた記録感度を有する光情報記録媒体を開発するこ
とに成功した。
即ち、本発明は、基板と記録層との間に下地層を含む光
情報記録媒体であって、該下地層が、Si3N4.Si
02、SiC、及びSiからなる群から選ばれる少なく
とも“一種よりなる薄膜であることを特徴とする光情報
記録媒体を提供するものである。
情報記録媒体であって、該下地層が、Si3N4.Si
02、SiC、及びSiからなる群から選ばれる少なく
とも“一種よりなる薄膜であることを特徴とする光情報
記録媒体を提供するものである。
本発明の光情報記録媒体は基本的には、基板、下地層及
び記録層の3層から順次構成されている。本発明で用い
られる下地層は、Si3N、、5iO7、SiC及びS
iよりなる群から選ばれる少な(とも1種よりなる薄膜
で構成される。これらのうち2種以上よりなる場合は、
これらの均一な混合物として薄膜を構成するものである
。このような薄膜は、Si3N、等の原料物質を真空蒸
着法、スパッタリング法等により基板上に堆積させるこ
とよって得られる。薄膜の膜厚は、下地層の種類及び用
途により異なるが、一般に良好なC/N比を維持し且つ
高い記録感度を得るためには、10〜500人が好まし
く、特に10〜300人が好ましい。
び記録層の3層から順次構成されている。本発明で用い
られる下地層は、Si3N、、5iO7、SiC及びS
iよりなる群から選ばれる少な(とも1種よりなる薄膜
で構成される。これらのうち2種以上よりなる場合は、
これらの均一な混合物として薄膜を構成するものである
。このような薄膜は、Si3N、等の原料物質を真空蒸
着法、スパッタリング法等により基板上に堆積させるこ
とよって得られる。薄膜の膜厚は、下地層の種類及び用
途により異なるが、一般に良好なC/N比を維持し且つ
高い記録感度を得るためには、10〜500人が好まし
く、特に10〜300人が好ましい。
本発明は、記録層の下地からの反射光と記録層からの反
射光の干渉効果を利用して記録感度を向上させるという
公知技術とは異なるため、上記膜厚は使用するレーザ光
の波長に対して何等制限されない。
射光の干渉効果を利用して記録感度を向上させるという
公知技術とは異なるため、上記膜厚は使用するレーザ光
の波長に対して何等制限されない。
上記の下地層を堆積させる基板は、光ディスクを対象と
するディスク状のものに限らず、光カード等を対象とし
たカード状、ドラム状等種々の形態の基板が使用できる
。また、基板材料としてはガラス、ポリカーボネート樹
脂、アクリル樹脂(ポリメチルメタクリレート樹脂等)
等のプラスチックスを使用することができる。
するディスク状のものに限らず、光カード等を対象とし
たカード状、ドラム状等種々の形態の基板が使用できる
。また、基板材料としてはガラス、ポリカーボネート樹
脂、アクリル樹脂(ポリメチルメタクリレート樹脂等)
等のプラスチックスを使用することができる。
プラスチックス基板の使用は、従来の下地層に有機材料
を使用した光情報記録媒体では記録感度が不十分であっ
たが、本発明では高い記録感度を有するため特に有効で
ある。
を使用した光情報記録媒体では記録感度が不十分であっ
たが、本発明では高い記録感度を有するため特に有効で
ある。
本発明の光情報記録媒体の表面層である記録層は、レー
ザー光の吸収効率が高くかつ低融点の特性を有する材料
が使用されるが、記録方式に適応した材料により異なる
。追記型の光ディスクに使用される記録材料としては、
例えば、Te−3e、 Te−As、 Te =SbS
Te−In、 Te−3n、 Te−pbSTe−Bi
、Te−3e−Ti、Te−3e−Pb、 Te −3
e−3b、 Te−3e−In、 Te−3e−Bi、
Te−3e−Ti−Ag等のTe系合金;Te−C5T
e−C32、Ten。
ザー光の吸収効率が高くかつ低融点の特性を有する材料
が使用されるが、記録方式に適応した材料により異なる
。追記型の光ディスクに使用される記録材料としては、
例えば、Te−3e、 Te−As、 Te =SbS
Te−In、 Te−3n、 Te−pbSTe−Bi
、Te−3e−Ti、Te−3e−Pb、 Te −3
e−3b、 Te−3e−In、 Te−3e−Bi、
Te−3e−Ti−Ag等のTe系合金;Te−C5T
e−C32、Ten。
等のTeの分散物;フタロシアニン系色素、シアニン系
色素等を含む有機邑素膜が挙げられ、5b−3e/B1
−Te等の多層膜も使用できる。一方、消去可能型の光
ディスクに使用される記録材料としては、例えば、Tb
Fe、 TbFeCo、GdTbFe、 NdDyFe
Co等の希土類−遷移金属の光磁気材料;Te−0−3
n−Ge、 Sn −Te−3e、 1n−3b−Te
、 Ga −Te−3e、 Ge−Te等のTe系合金
が挙げられ、その他、In−3b、 In −3b−5
e、 5iSn、 GeSn、 CuA3AgXn等の
相転移型合金も使用できる。本発明においては、このよ
うな材料のうちTe合金等のTeを含むものが、Teの
融点が低いことに加え、レーザ光による熱吸収特性に優
れ、記録感度の向上に貢献するため好ましく、特にTe
及びSeを主成分とし、T1、Ag、 Cr、 Al、
Sb、 Pb、 As、 In。
色素等を含む有機邑素膜が挙げられ、5b−3e/B1
−Te等の多層膜も使用できる。一方、消去可能型の光
ディスクに使用される記録材料としては、例えば、Tb
Fe、 TbFeCo、GdTbFe、 NdDyFe
Co等の希土類−遷移金属の光磁気材料;Te−0−3
n−Ge、 Sn −Te−3e、 1n−3b−Te
、 Ga −Te−3e、 Ge−Te等のTe系合金
が挙げられ、その他、In−3b、 In −3b−5
e、 5iSn、 GeSn、 CuA3AgXn等の
相転移型合金も使用できる。本発明においては、このよ
うな材料のうちTe合金等のTeを含むものが、Teの
融点が低いことに加え、レーザ光による熱吸収特性に優
れ、記録感度の向上に貢献するため好ましく、特にTe
及びSeを主成分とし、T1、Ag、 Cr、 Al、
Sb、 Pb、 As、 In。
Ga5Ge、 Si及びCuか・らなる群より選ばれた
元素の内生なくとも1種を含むことが、記録・再生特性
を最適にし、信号の読み出し等による記録槽の劣化を防
くため好ましい。
元素の内生なくとも1種を含むことが、記録・再生特性
を最適にし、信号の読み出し等による記録槽の劣化を防
くため好ましい。
このような材料を上記の下地層の上に記録層として堆積
するには、真空蒸着法、スパンクリング法等が使用でき
るが、上記の下地層の形成方法との関係上、同一の薄膜
形成方法が利用できるため下地層および記録層を連続的
に同一装置内で形成できるという製造上の利点がある。
するには、真空蒸着法、スパンクリング法等が使用でき
るが、上記の下地層の形成方法との関係上、同一の薄膜
形成方法が利用できるため下地層および記録層を連続的
に同一装置内で形成できるという製造上の利点がある。
以下、実施例により本発明をより詳細に説明するが本発
明はこれらに何等限定されない。
明はこれらに何等限定されない。
実施例1
φ130 mmポリカーボネート樹脂製スパイラル溝付
ディスク基板上に、RFマグネトロンスパッタリング法
により、Si、N、をターゲツト材に使用して、100
Aの厚さでSi3N4よりなる下地層を成膜した。次
いで、記録層として、DCCスパッタング法により、T
e、 Se、 Ti及びAgよりなる4元合金を、30
0人の厚さで成膜した。
ディスク基板上に、RFマグネトロンスパッタリング法
により、Si、N、をターゲツト材に使用して、100
Aの厚さでSi3N4よりなる下地層を成膜した。次
いで、記録層として、DCCスパッタング法により、T
e、 Se、 Ti及びAgよりなる4元合金を、30
0人の厚さで成膜した。
このようにして得られたディスクを2400rpmで回
転させディスクの中心から118mmの円周上に、半導
体レーザー(λ=830nm ’)を用いて、周波数5
MHz、duty 40%の反復信号を、レーザー光
出力を変化させながら書込み、その記録感度及びC,/
N比を測定した。得られた結果を第1表に示す。第1表
中、記録感度は再生RF出力がその最大値の90%に達
する時の記録レーザ光出力を示す。
転させディスクの中心から118mmの円周上に、半導
体レーザー(λ=830nm ’)を用いて、周波数5
MHz、duty 40%の反復信号を、レーザー光
出力を変化させながら書込み、その記録感度及びC,/
N比を測定した。得られた結果を第1表に示す。第1表
中、記録感度は再生RF出力がその最大値の90%に達
する時の記録レーザ光出力を示す。
比較例1
下地層を形成させず基板上に直接、Te、 Se、Ti
及びAgよりなる4元合金の薄膜を成膜した以外は、実
施例1と同様にしてディスクを得た。
及びAgよりなる4元合金の薄膜を成膜した以外は、実
施例1と同様にしてディスクを得た。
このディスクについて実施例1と同様の方法及び条件に
よって記録感度とC/N比を測定した。得られた結果を
第1表に示す。
よって記録感度とC/N比を測定した。得られた結果を
第1表に示す。
比較例2
実施例1で使用したディスク基板と同様の基板上にニト
ロセルロース(ダイセル化学工業■製R31/2、以下
NCと略す)をスピンコード法によって100 人の膜
厚で塗布した。さらに、この薄膜上に、実施例1と同様
にしてTe、 Se、 Ti及びAgよりなる4元合金
膜を300Aの膜厚で成膜した。
ロセルロース(ダイセル化学工業■製R31/2、以下
NCと略す)をスピンコード法によって100 人の膜
厚で塗布した。さらに、この薄膜上に、実施例1と同様
にしてTe、 Se、 Ti及びAgよりなる4元合金
膜を300Aの膜厚で成膜した。
こうして得られたディスクについて、実施例1と同様の
方法及び条件で記録感度及びC/ N比を測定した。得
られた結果を第1表に示す。
方法及び条件で記録感度及びC/ N比を測定した。得
られた結果を第1表に示す。
実施例2
実施例1で使用したポリカーボネート樹脂製ディスク基
板の代わりにポリメチルメタクリレート樹脂製スパイラ
ル溝付ディスク基板を用いた以外は、実施例1と同様に
して下地層及び記録層を順次形成した。こうして得られ
たディスクにつき、実施例1と同様にして記録感度及び
C/N比を測定した。得られた結果を第1表に示す。
板の代わりにポリメチルメタクリレート樹脂製スパイラ
ル溝付ディスク基板を用いた以外は、実施例1と同様に
して下地層及び記録層を順次形成した。こうして得られ
たディスクにつき、実施例1と同様にして記録感度及び
C/N比を測定した。得られた結果を第1表に示す。
実施例3
実施例1で使用した下地層であるSi3N4の代わりに
5iO7を10OAの厚さでRFマグネトロンスパンタ
リング法により成膜した以外は、実施例1と同様にして
記録層を形成したディスクを得た。このディスクについ
て実施例1と同様にして記録感度及びC/N比を測定し
た。得られた結果を第1表に示す。
5iO7を10OAの厚さでRFマグネトロンスパンタ
リング法により成膜した以外は、実施例1と同様にして
記録層を形成したディスクを得た。このディスクについ
て実施例1と同様にして記録感度及びC/N比を測定し
た。得られた結果を第1表に示す。
実施例4
実施例1で使用した下地層であるSi3N4の代わりに
SiCを100Aの厚さでRFマグネトロンスパッタリ
ング法により下地層として成膜した以外は、実施例1と
同様にして記録層を形成したディスクを得た。このディ
スクについて実施例1と同様にして記録感度及びC/N
比を測定した。得られた結果を第1表に示す。
SiCを100Aの厚さでRFマグネトロンスパッタリ
ング法により下地層として成膜した以外は、実施例1と
同様にして記録層を形成したディスクを得た。このディ
スクについて実施例1と同様にして記録感度及びC/N
比を測定した。得られた結果を第1表に示す。
実施例5
実施例1で使用した下地層であるSi、N、の代わりに
Siを3OAの厚さでRFマグネトロンスパッタリング
法により成膜した以外は、実施例1と同様にして記録層
を形成したディスクを得た。
Siを3OAの厚さでRFマグネトロンスパッタリング
法により成膜した以外は、実施例1と同様にして記録層
を形成したディスクを得た。
このディスクについて実施例1と同様にして記録感度及
びC/ N比を測定した。得られた結果を第1表に示す
。
びC/ N比を測定した。得られた結果を第1表に示す
。
第1表より、実施例1と比較例1.2の結果の比較及び
実施例2〜5の結果の評価をすることにより、本発明に
よる所定の下地層を有する光ディスクは記録時のレーザ
光強度が低く記録感度において優れ、しかも従来のディ
スクと同程度のC/N比が維持されていることがわかる
。
実施例2〜5の結果の評価をすることにより、本発明に
よる所定の下地層を有する光ディスクは記録時のレーザ
光強度が低く記録感度において優れ、しかも従来のディ
スクと同程度のC/N比が維持されていることがわかる
。
以上の説明してきたように、本発明の光情報記録媒体は
、従来の光ディスクに対して十分高い記録感度を有する
。さらに、本発明ではプラスチック基板を使用した場合
にも記録感度が向上するという従来の3層構造の記録媒
体では得られなかった効果を有する。
、従来の光ディスクに対して十分高い記録感度を有する
。さらに、本発明ではプラスチック基板を使用した場合
にも記録感度が向上するという従来の3層構造の記録媒
体では得られなかった効果を有する。
さらに、下地層及び記録層を同一装置内で連続的に形成
できるため製造工程が複雑化せず、下地層に有機材料を
使用した光ディスクの製造方法に比べ生産性を向上でき
るという利点がある。
できるため製造工程が複雑化せず、下地層に有機材料を
使用した光ディスクの製造方法に比べ生産性を向上でき
るという利点がある。
出願人代理人 古 谷 馨
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 基板と記録層との間に下地層を含む光情報記録媒体
であって、 該下地層が、Si_3N_4、SiO_2、SiC、及
びSiからなる群から選ばれた少なくとも一種よりなる
薄膜であることを特徴とする光情報記録媒体。 2 上記薄膜の膜厚が、10〜500Åである特許請求
の範囲第1項に記載の光情報記録媒体。 3 上記基板が、ポリカーボネート樹脂又はポリメチル
メタクリレート樹脂よりなる特許請求の範囲第1項又は
第2項に記載の光情報記録媒体。 4 上記記録層が、Teを含む特許請求の範囲第1項〜
第3項のうちいずれか一項に記載の光情報記録媒体。 5 上記記録層が、Te合金よりなる特許請求の範囲第
4項に記載の光情報記録媒体。 6 上記記録層が、Te及びSeを主成分とし、Ti、
Ag、Cr、Al、Sb、Pb、As、In、Ga、G
e、Si及びCuからなる群より選ばれた少なくとも1
種の元素を含む特許請求の範囲第4項に記載の光情報記
録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63019253A JPH01194150A (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 | 光情報記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63019253A JPH01194150A (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 | 光情報記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01194150A true JPH01194150A (ja) | 1989-08-04 |
Family
ID=11994259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63019253A Pending JPH01194150A (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 | 光情報記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01194150A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08111035A (ja) * | 1994-10-12 | 1996-04-30 | Nec Corp | 光ディスク媒体及びその再生方法 |
-
1988
- 1988-01-29 JP JP63019253A patent/JPH01194150A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08111035A (ja) * | 1994-10-12 | 1996-04-30 | Nec Corp | 光ディスク媒体及びその再生方法 |
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