JPH01188728A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、回転軸制動装置に関する。

（従来の技術） 一般に、液晶画面（ＬＣＤ）の表示の検査は目視検査で
行われており、この目視検査する際に凝視角と直交する
支持面が必要不可決である。そのために、従来のように
支持台が水平方向にのみ移動する構造から水平方向に対
して目視する凝視線と沿うように支持面を傾斜、例えば
４５°の傾斜をさせて検査をする目視検査装置が求めら
れている。

上記目視検査装置の構成は、第５図に示すように凝視線
■と直交した基台面■に沿って、支持台■を移動させる
ようにポールスクリュに）が配置されている。このポー
ルスクリュに）の両端は支持体■で回転自在に固定され
ており、このポールスクリュに）の端部にはパルスモー
タ０が連動してポールスクリュに）を回転するように設
けられている。

上記パルスモータ（０は、ＣＰＪＩ■の指令信号により
駆動回路を介して、パルスモータ０が回転されるように
構成されている。このパルスモータ■の回転によりポー
ルスクリュに）が支持台■を移動させるように螺合結合
されている。この支持台■及びこの支持台■を移動させ
るポールスクリュに）は凝視線■に対して直交するよう
に傾斜して設けられている。この傾斜した支持台■の荷
重Ｗは、傾斜方向に傾斜移動する分力Ｗｃｍ、θの荷重
で落下する方向に働いている。

また、上記ポールスクリュに）の反端部には、電源が遮
断されると同時にこのポールスクリュに）の回転をロッ
クせしめる回転ロック手段（ロ）は例えば電磁ブレーキ
（１０）がＤ／Ａコンバータ（１１）を有し設けられて
いるのが一般的である。

（発明が解決しようとする課題） 上記電磁ブレーキ（１０）は支持台■を傾斜方向に沿っ
て移動させる軸、すなわち、ポールスクリュ（へ）の端
部をインナドライバ（１２）と称する部材を挿着する。

このインナドライバ（１２）は外周がギア形状に設けら
れ、このギア形状部（１２ａ）にブレーキデスク（１３
）がスラスト方向に摺動自在に挿着されている。

即ち、第４図で示すように上記ブレーキデスク（１３）
の中央にギア形状のギア穴部（１３ａ）が穿設されて、
ブレーキデスク（１３）がアーマチュア（１４）の押込
みによって摺動される構造のために１通電・状態時には
常にインナドライバとブレーキデスク（１３）のギア穴
部（１３ａ）との結合部の間隙から衝撃音をともなって
回転駆動しているので騒音発生の欠点があった。

本発明の目的とするところは、上述した従来の課題に対
処してなされたもので、電源が遮断された場合であって
も通電された状態であっても、電磁ブレーキ部材の間隙
から生じる騒音を生じさせない構成にした回転軸制動装
置を提供することにある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は、回転軸に設けられたブレーキデスクを制動す
る回転軸制動装置において。

上記ブレーキデスクの摺動部と上記回転軸間を弾性部材
で構成したことを特徴としている。

（作　用） 本発明の回転軸制動装置によれば、ブレーキデスクが移
動体によってスラスト方向に押圧されると弾性変形して
制動が実行され、この抑圧が解除されると同時にブレー
キデスクの変形がちとに戻るようにして、衝撃音を発生
しない構造の回転軸制動装置を得ることができる。

（実施例） 以下、本発明回転軸制動装置を目視検査装置に適用した
一実施例について１図面を参照して説明する。先ず１本
実施例目視検査装置の外観について第３図を参照して説
明する。

上述した従来例の説明中において、同一部品について同
一符号で説明する。

上記目視検査装置（１５）はＬＣＤを搬送するローダ部
（１６）と、搬送されたＬＣＤを検査する検査部（１７
）とから構成されている。

上記ローダ部（１６）は例えば５インチ角のＬＣＤを多
数収容されるＬＣＤカセット（１８）より取出しアーム
（１９）を進退させて取出し、これをプリアライメント
した後に、・Ｘ軸搬送部（２０）の移動体（２１）に授
受される。

さらに、この移動体（２０ａ）は授受したＬＣＤを吸着
した後に、移動体（２０ａ）自身が二点鎖線で示すよう
に搬送された状態から４５°まで傾斜される。傾斜され
た状態のＬＣＤは支持台■の支持面（３ａ）上に載置す
る位置まで搬送される。また、検査終了したＬＣＤはＬ
ＣＤカセット（１８）内に戻すようになっている。

上記検査部（１７）は上述したローダ部（１６）の側部
に設けられており、上述したローダ部（１６）から授受
されたＬＣＤをアライメントしたのちＬＣＤに通電し、
このＬＣＤを上側に設けた顕微鏡で目視検査するもので
ある。

上記ＬＣＤを吸着された支持台■の上側には、ヘッドプ
レート（２１）と称するプローブ端子電極（第５図中２
１８）を配設した固定台が設けられている。

このヘッドプレート（２１）にはＬＣＤの電極とプロー
ブ端子電極（２１ａ）との接触状態確認及びＬＣＤの画
素を目視検査するための顕微鏡（２２）が配置されてい
る。

上記支持台■は傾斜角が水平面から４５°角の基台面■
に沿って平行に設けられている。

上記支持台■は上記４５＠角の基台面■に対して見た時
に、Ｘ軸・Ｙ軸方向及びθ回転に駆動制御されてＬＣＤ
の所望位置を選び出して目視検査するものである。

このような目視検査装置（１５）において、上記支持台
■は水平面に対して傾斜されてボールスクリュに）に螺
合結合された構成であるために、ポールスクリュに）を
回転させるパルスモータ■の通電が遮断されると、上記
ポールスクリュに）をコントロール能力を欠くばかりで
なく、支持台■の荷重Ｗが下向に降下しようとする力が
発生し、ボール°スクリュに）を回転させて、支持台■
自信が自走してしまうものである。

この自走を生じさせない機構として、ポールスクリュに
）の端部に電磁ブレーキ（１０）を設けられたのである
。

上記電磁ブレーキ（１０）はパルスモータ（へ）に通電
されている時には上記ポールスクリュに）の回転につい
ては解放であり、電流が遮断されているときはポールス
クリュに）の回転をロック状態に切替わるように構成さ
れている。

上記電磁ブレーキ（１０）は、回転されるポールスクリ
ュに）に固定されたブレーキデスク（１３）と称する回
転部材と、このブレーキデスク（１３）を制動させる固
定部材とから形成されている。

そして、ブレーキデスク（１３）の端部にインナドライ
バ（１２）と称するボス部材が固着されており、二のイ
ンナドライバ（１２）は第４図に示すように。

外周がギア形状に設けられ、このギア形状部（１２ａ）
にブレーキデスク（１３）、ギア穴部（１３ａ）がスラ
スト方向に移動可能に挿着されている。

上記ブレーキデスク（１３）の両面には摩擦部材が配設
されており、この摩擦部材をアーマチュア（１４）がサ
イドプレート（２４）と共に挟持させて押込み、ブレー
キデスク（１３）の回転力を制動して停止させる構成に
なっている。従って、ポールスクリュに）が回転される
際にポールスクリュに）に固着されたインナドライバ（
１２）と、ブレーキデスク（１３）のギア穴部（１３ａ
）との間隙から生じる雑音を発しながら回転されるよう
になっている。

本実施例の特徴的な構成はブレーキデスク（１３）に設
、けたポールスクリュに）が回転する際に、雑音を生じ
ない機構を設けた点にある。

即ち、第１Ｉ！Ｉに示すように上記ブレーキデスク部材
（２５）は、ポールスクリュに）に固着されるボス部材
（２６）と、このボス部材（２６）にスラスト方向に弾
性変形可能なブレーキデスク（２７）とこのブレーキデ
スク（２７）の周縁固着した摩擦体（２８）とを配置し
た構成にある。

上述したブレーキデスク部材（２５）について詳細に第
２図を参照して説明する。

上記ブレーキデスク部材（２５）の構成及び作用は、先
ず、ポールスクリュ（至）の直径方向にボス部材（２６
）を嵌合したのち押ネジで固定されている。このボス部
材（２６）の端面にポールスクリュに）と直交するよう
にブレーキデスク（２７）が固着されている。

このブレーキデスク（２７）は例えばポールスクリュに
）に嵌合されるφ６ＩＩＩＩＨ７穴が中心に書記された
ボス部材（２６）に直径３３ｍＸ厚０　、２　ｍ％５Ｕ
Ｓ３０４−　ＣＳＰステンレスのブレーキデスク（２７
）が同心軸方向にカシメて固定されている。さらに、こ
のステンレスのブレーキデスク（２７）には、バネ性を
有するために打抜き穴、例えば幅２ｍｌ×長５ｍの打抜
き穴（２７ａ）が設けられている。また、このブレーキ
デスク（２７）の周縁に沿って両面に摩擦体のシュ（２
８ｃ）が固着されている。この摩擦による制動力は６ｋ
ｇ−ｃｓｉのトルクを制動されるようになっている。

上記ブレーキデスク（２７）に摩擦体（２８）を直径３
３■×内径２５■×厚１■の大きさで両側にエポキシ系
のアラルタイト（日本スイスチバガイギ社製造）で固着
されている。

例えば、摩擦体（２８）による最大制動荷重６ｋｇとす
れば、ブレーキデスク（２７）の両面に摩擦体が設けら
れているので６ｋｇＸ２＝１２ｋｇである。この時の支
持台■の荷重をＷとすれＪｉ、００１１４５°＝ムが成
り立つ、これからＷ＝１７ｋｇが導びかれ、支持台■の
荷重が１７瞳であればパルスモータ０に通電されなくと
もポールスクリュに）を制動させることができる。すな
わち、ポールスクリュに）を駆動させているパルスモー
タ０の通電が遮断されると。

フィールド（２９）に内設されたコイルバネ（３０）に
よってアーマチュア（１４）がブレーキデスク（２７）
の面を押込む方向に移動することになる。

上記アーマチュア（１４）がブレーキデスク（２７）の
シュ（２８ａ）を押込むのでこのブレーキデスク（２７
）は弾性変形しながらブレーキデスク（２７）の裏面に
固着されているシュ（２８ｂ）　（第４図中の二点鎖線
で示す）がサイドプレート（２４）と接触されるように
なる。

また、サイドプレート（２４）と裏面のシュ（２８ｂ）
とが押込む圧力によって圧接されると同時にブレーキデ
スク（２７）の表面に固着されているシュ（２８ａ）も
アーマチュア（１４）と圧接されるようになる。そして
、ポールスクリュに）の自走による回転力を制動させる
ことができる。

以上でブレーキデスク部材（２５）の構成及び作用につ
いて説明を終了する。

次に作用について説明する。

ローダ部（１６）でＬＣＤカセット（１８）より一枚の
ＬＣＤを取出し、そのＬＣＤは水平方向に対して４５＠
角傾斜し、この状態で支持台■の支持面（３ａ）にＬＣ
Ｄを載置する位置までＸ軸方向に搬送し載置する。また
、検査部（１７）ではこの載置されたＬＣＤを支持面（
３ａ）上に例えば真空吸着によって支持され、ＸＹ子テ
ーブル構及びθ方向回転機構によってＬＣＤのアライメ
ントを実行し、ヘッドプレート（２１）に設けられたプ
ローブ端子電極（２１ａ）をＬＣＤの電極に接触させて
ＬＣＤを検査することになる。

上記動作時における傾斜方向に沿って移動させている駆
動シャフトのポールスクリュ（至）はパルスモータ０の
駆動で回転している。しかし上記ポールスクリュ（へ）
の端部に固着されたブレーキデスク部材（２５）は一体
化されているのでポールスクリュに）が回転しても雑音
の発生することもなく、スムーズに支持台■が傾斜方向
に移動することになる。

また、停電により、駆動中の目視検査装置が通電を遮断
されても、フィールド（２９）に内股されている励磁コ
イル（３１）がアーマチュア（１４）の吸着ができなく
なり、コイルバネ（３０）がアーマチュア（１４）を介
して、ブレーキデスク（２７）が押込まれるように作用
する。そして、押込まれたブレーキデスク（２７）は弾
性体であるので、スラスト方向に弾性変形される。

さらに９弾性変形されたブレーキデスク（２７）は裏面
側のシュ（２８ｂ）と１表面側のシュ（２８ａ）がアー
マチュア（１４）の押圧によりサイドプレート（２４）
とを介して挟持して、摩擦力が発生しポールスクリュ（
至）の回転力を制動することができる。従って。

ブレーキデスク（２））がスラスト方向に弾性変形する
ように弾性体部材を用いたので、アーマチュア（１４）
でブレーキデスク（２７）を押込むように作用しても、
この作用した時にのみブレーキデスク（２７）がスラス
ト方向に弾性変形して、ポールスクリュに）の回転力を
吸収することができる。

実施例の作用効果は、電源が遮断された場合にはポール
スクリュに）に設けたブレーキデスク（２７）が弾性変
形されて制動し１通電されている場合にはポールスクリ
ュ扮とブレーキデスク（２７）と一体化されているので
、従来のようにギア形状部とギア穴の間隔から生じる駄
雑音がなくなる。

〔発明の効果〕

検査装置の稼働中に停電が生じても、また、検査装置の
稼働中に誤って通電状態から遮断状態にしても検査装置
の支持台の自重により落下して検査装置を破損させるこ
とのない安全でかつ安定した検査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図本発明回転軸制動装置の一実施例の構成を説明す
るための説明図、第２図は第１図のブレーキデスクの構
成を説明するための上面図及び断面図、第３図は本発明
を適用した目視検査装置の実施例の外観を説明するため
の外観説明図、第４図は従来のブレーキデスクとインナ
ドライバとの構成を説明するための説明斜視図、第５図
は従来の目視検査装置の概略を説明するための説明図で
ある。 ３・・・支持台　　　　　４・・・ポールスクリュ５・
・・支持体　　　　　６・・・パルスモータ７・・・ｃ
ｐｕ　　　　　　　　ａ・・・駆動回路９・・・回転ロ
ック手段　ｌＯ・・・電磁ブレーキ１１・・・Ｄ／Ａコ
ンバータ　　１２・・・インナドライバ１３・・・ブレ
ーキデスク　１３ａ・・・ギア穴部１４・・・アーマチ
ュア　　１５・・・目視検査装置１６・・・ローダ部　
　　　１７・・・検査部１８・・・ＬＣＤカセット　　
１９・・・取出アーム２０・・・Ｘ軸搬送部　　　２０
ａ・・・移動体２１・・・ヘッドプレート　２１ａ・・
・プローブ端子電極２２・・・顕微鏡　　　　　２３・
・・基台２４・・・サイドプレート　２５・・・ブレー
キデスク部材２６・・・ボス部材　　　　２７・・・ブ
レーキデスク２７ａ・・・ギア形状部　　２８・・・摩
擦体（シュ）２８ａ・・・表面シュ　　　２８ｂ・・・
裏面シュ２９・・・フィールド　　　３０・・・コイル
バネ３１・・・励磁コイル 特許出願人　東京エレクトロン株式会社第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 回転軸に設けられたブレーキデスクを制動する回転軸制
   動装置において、 上記ブレーキデスクの摺動部と上記回転軸間を弾性部材
   で構成したことを特徴とする回転軸制動装置。