JPH01186332A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH01186332A JPH01186332A JP1173988A JP1173988A JPH01186332A JP H01186332 A JPH01186332 A JP H01186332A JP 1173988 A JP1173988 A JP 1173988A JP 1173988 A JP1173988 A JP 1173988A JP H01186332 A JPH01186332 A JP H01186332A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- lower plate
- plate
- glass
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 abstract 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
インクジェットヘッドの製造方法に関し、インクジェッ
トヘッドのインクが噴射されるノズルの断面形状を所定
の真円形状に形成するのを目的とし、 それぞれがガラス板より成る上板と下板とが相互に接合
され、咳下板の内面にインク溜部、圧力室、ノズルとな
る凹部が形成されて成るインクジェットヘッドの製造に
於いて、 前記下板の一面にインク溜部、圧力室、ノズル用の各凹
部を形成する工程と、前記ノズル面凹部に金属ワイヤを
嵌合する工程と、上板と下板とを重ねてから加熱してそ
れらの接触部を溶融接合する工程と、この接合体の金属
ワイヤが挿入されたノズルの露出面を研磨する工程と、
前記ワイヤをエツチング除去する工程とからなることで
構成する。
トヘッドのインクが噴射されるノズルの断面形状を所定
の真円形状に形成するのを目的とし、 それぞれがガラス板より成る上板と下板とが相互に接合
され、咳下板の内面にインク溜部、圧力室、ノズルとな
る凹部が形成されて成るインクジェットヘッドの製造に
於いて、 前記下板の一面にインク溜部、圧力室、ノズル用の各凹
部を形成する工程と、前記ノズル面凹部に金属ワイヤを
嵌合する工程と、上板と下板とを重ねてから加熱してそ
れらの接触部を溶融接合する工程と、この接合体の金属
ワイヤが挿入されたノズルの露出面を研磨する工程と、
前記ワイヤをエツチング除去する工程とからなることで
構成する。
本発明はインクジェットヘッドの製造に係り、特にイン
クが噴射するノズルの断面形状が真円形状となるような
インクジェットヘッドの製造方法に関する。
クが噴射するノズルの断面形状が真円形状となるような
インクジェットヘッドの製造方法に関する。
印刷記録用インクが収容されているインクジェットヘッ
ドの圧力室上に設置さている圧電素子に印字情報に基づ
いて電圧を印加することで該圧電素子を歪ませ、この歪
による圧力を圧力室に伝達し、圧力室に連通して設けら
れているノズルより圧力室内に収容されているインクを
記録紙上に噴射記録するインクジェット記録方法は周知
である。
ドの圧力室上に設置さている圧電素子に印字情報に基づ
いて電圧を印加することで該圧電素子を歪ませ、この歪
による圧力を圧力室に伝達し、圧力室に連通して設けら
れているノズルより圧力室内に収容されているインクを
記録紙上に噴射記録するインクジェット記録方法は周知
である。
このインクジェット記録方法はノンインパクト記録方法
であり、印刷記録する際の騒音の発生が少ないため、事
務所等の静かな環境を必要とする場所に多用されている
。
であり、印刷記録する際の騒音の発生が少ないため、事
務所等の静かな環境を必要とする場所に多用されている
。
このようなインクジェット記録方法に用いるインクジェ
ットヘッドは、ステンレス板等にエンチングによりイン
クを噴射するノズル、インクに圧力を伝達する圧力室と
なる凹部を形成し、その上に他のステンレス板を重ねて
溶接等により貼り合わせて形成する方法や、或いはステ
ンレス板の代わりに樹脂板を用いて形成する場合がある
が、最近このようなステンレス板に代わって内部のイン
クの状態が容易に観察できるガラス板を用いてインクジ
ェットヘッドが形成されるようになっている。
ットヘッドは、ステンレス板等にエンチングによりイン
クを噴射するノズル、インクに圧力を伝達する圧力室と
なる凹部を形成し、その上に他のステンレス板を重ねて
溶接等により貼り合わせて形成する方法や、或いはステ
ンレス板の代わりに樹脂板を用いて形成する場合がある
が、最近このようなステンレス板に代わって内部のイン
クの状態が容易に観察できるガラス板を用いてインクジ
ェットヘッドが形成されるようになっている。
従来、このようなガラス製のインクジェットヘッドを形
成する方法として、第４図に示すようにガラス板より成
る下板１にインクタンク（図示せず）から供給されるイ
ンク溜部２、インク溜部よりのインクを一時的に収容す
るとともに圧電素子の圧力を伝達する圧力室３、その圧
縮されたインクを記録紙に噴射するノズル４となる凹部
が、ホトレジスト膜をマスクとした弗化水素酸によるエ
ツチングによって形成されている。
成する方法として、第４図に示すようにガラス板より成
る下板１にインクタンク（図示せず）から供給されるイ
ンク溜部２、インク溜部よりのインクを一時的に収容す
るとともに圧電素子の圧力を伝達する圧力室３、その圧
縮されたインクを記録紙に噴射するノズル４となる凹部
が、ホトレジスト膜をマスクとした弗化水素酸によるエ
ツチングによって形成されている。
そしてこの下板１に他のガラス板を上板５として溶接等
の手法により接合させた後、この接合体のノズル４が露
出している一方の端面を研磨してノズル４の先端部４Ａ
が所定の寸法に成るようにしてインクジェットヘッドを
形成している。
の手法により接合させた後、この接合体のノズル４が露
出している一方の端面を研磨してノズル４の先端部４Ａ
が所定の寸法に成るようにしてインクジェットヘッドを
形成している。
ところでインクが所定の方向に、所定量噴射して正確な
印字記録をするためには、第６図に示すようにノズルの
先端部４Ａの幅ｄは０．０８５±０．００５ｍｍの寸法
が必要とされており、またノズルの長さ２も０．２５±
０．０３ｍｍの寸法となるように高精度に形成すること
が必要とされている。
印字記録をするためには、第６図に示すようにノズルの
先端部４Ａの幅ｄは０．０８５±０．００５ｍｍの寸法
が必要とされており、またノズルの長さ２も０．２５±
０．０３ｍｍの寸法となるように高精度に形成すること
が必要とされている。
またノズル４の先端部４Ａの断面形状は半円でこの断面
の深さ寸法ｄ ′は第７図に示すように０．０４±０．
００３ ｍｍの寸法が必要とされている。
の深さ寸法ｄ ′は第７図に示すように０．０４±０．
００３ ｍｍの寸法が必要とされている。
然し、従来のホトレジスト膜をマスクとした弗化水素酸
によるエツチング方法では、ホトレジスト膜の下部にエ
ツチング液が浸透する形となり、どうしてもエツチング
される箇所が凹凸状に腐蝕されるようになり、上記した
寸法を高精度に得ることは困難である。
によるエツチング方法では、ホトレジスト膜の下部にエ
ツチング液が浸透する形となり、どうしてもエツチング
される箇所が凹凸状に腐蝕されるようになり、上記した
寸法を高精度に得ることは困難である。
また従来の方法ではノズルの断面形状を真円の一４＝
状態で形成することは不可能である。
更にガラス面を研磨してノズル部の先端部の寸法を所定
の寸法に形成する際に、ノズルの周囲が破損したり、亀
裂が入ったりする不都合がある。
の寸法に形成する際に、ノズルの周囲が破損したり、亀
裂が入ったりする不都合がある。
本発明は上記した問題点を除去し、研磨の際にノズルの
周辺のガラス面が破損したり、亀裂が入らないようにし
、かつノズルの断面形状が真円状態で得られるようにし
た新規なインクジェットヘッドの製造方法の提供を目的
とする。
周辺のガラス面が破損したり、亀裂が入らないようにし
、かつノズルの断面形状が真円状態で得られるようにし
た新規なインクジェットヘッドの製造方法の提供を目的
とする。
上記問題点を解決する本発明のインクシエンドヘッドの
製造方法は、第１図（ａ）および（ｂ）に示すように、
それぞれがガラス板より成る上板１１と下板１２とが相
互に接合され、該下板１２の内面にインク溜部１３、圧
力室１４、ノズル１５となる凹部が形成されて成るイン
クジェットヘッドの製造に於いて、前記下板１２の一面
にインク溜部、圧力室、ノズル用の各凹部を形成する工
程と、前記ノズル面凹部に金属ワイヤ１６を嵌合する工
程と、上板１１と下−６＝ 板１２とを重ねてから加熱してそれらの接触部を溶融接
合する工程と、この接合体の金属ワイヤが挿入されたノ
ズル１５の露出面を研磨する工程と、前記ワイヤ１６を
エツチング除去する工程とからなる。
製造方法は、第１図（ａ）および（ｂ）に示すように、
それぞれがガラス板より成る上板１１と下板１２とが相
互に接合され、該下板１２の内面にインク溜部１３、圧
力室１４、ノズル１５となる凹部が形成されて成るイン
クジェットヘッドの製造に於いて、前記下板１２の一面
にインク溜部、圧力室、ノズル用の各凹部を形成する工
程と、前記ノズル面凹部に金属ワイヤ１６を嵌合する工
程と、上板１１と下−６＝ 板１２とを重ねてから加熱してそれらの接触部を溶融接
合する工程と、この接合体の金属ワイヤが挿入されたノ
ズル１５の露出面を研磨する工程と、前記ワイヤ１６を
エツチング除去する工程とからなる。
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、ガラス板
よりなる下板１２に形成したノズル１５用の凹部に金属
ワイヤ１６をはめこみ、この状態で上板１１を重ねてそ
の接触面を溶融接合するので、その接合体のワイヤ１６
が挿入されたノズル周辺のガラス面の機械的強度は増加
する。これによってノズルが露出しているガラス面を研
磨する際にノズル周辺が欠けたり破損しなくなる。また
上板と下板のガラス板はノズル用凹部に挿入されている
ワイヤの周囲の曲面形状に対応した形で溶融するため、
ガラス板を研磨後、ワイヤ１６をエツチング除去すれば
、ワイヤの周囲の曲面に対応した形の真円形状の断面を
有するノズルが得られる。
よりなる下板１２に形成したノズル１５用の凹部に金属
ワイヤ１６をはめこみ、この状態で上板１１を重ねてそ
の接触面を溶融接合するので、その接合体のワイヤ１６
が挿入されたノズル周辺のガラス面の機械的強度は増加
する。これによってノズルが露出しているガラス面を研
磨する際にノズル周辺が欠けたり破損しなくなる。また
上板と下板のガラス板はノズル用凹部に挿入されている
ワイヤの周囲の曲面形状に対応した形で溶融するため、
ガラス板を研磨後、ワイヤ１６をエツチング除去すれば
、ワイヤの周囲の曲面に対応した形の真円形状の断面を
有するノズルが得られる。
以下、凹面を用いながら本発明の一実施例に付き詳細に
説明する。
説明する。
第１図に示すように厚さが例えば５〜１０ｍｍ程度、縦
×横の寸法が３０ｍｍＸ５０＋ｎ＋ｎ程度のソーダガラ
スよりなるガラス板を下板１２として用意し、この下板
１２にホトリソグラフィ法を用いて所定のパターンに形
成したホトレジスト膜をマスクとして用いて弗化水素酸
によるエンチング法を用いてインク溜部１３、圧力室１
４およびノズル１５となる凹部を形成する。
×横の寸法が３０ｍｍＸ５０＋ｎ＋ｎ程度のソーダガラ
スよりなるガラス板を下板１２として用意し、この下板
１２にホトリソグラフィ法を用いて所定のパターンに形
成したホトレジスト膜をマスクとして用いて弗化水素酸
によるエンチング法を用いてインク溜部１３、圧力室１
４およびノズル１５となる凹部を形成する。
第２図に示すようにノズル用凹部１５の幅ｄは０゜０１
〜０．０５ｍｍと許容範囲を大きくとっても良（、また
ノズル１５の長さ２も０．３ｍｍ以上と許容範囲を大き
く採って形成しても良い。
〜０．０５ｍｍと許容範囲を大きくとっても良（、また
ノズル１５の長さ２も０．３ｍｍ以上と許容範囲を大き
く採って形成しても良い。
また第３ワに示すように下板１２の断面のノズル用凹部
１５の深さｄ ′は０．０１〜０．０５となるように許
容範囲を大きく採って形成しても良い。
１５の深さｄ ′は０．０１〜０．０５となるように許
容範囲を大きく採って形成しても良い。
次いで第１図（ｂ）に示すようにノズル用凹部１５に直
径ｄか０．０５±０．００５ ｍｍ、長さが５ ｍｍ程
度の銅線よりなるワイヤ１６をはめこみ、その下板１２
の上に咳下板より厚さの寸法が小さいガラス板を上板１
１として設置し、上記上板１１と下板１２とを適当なハ
ネ材よりなる治具等を用いて挾み、ガラスの軟化点より
やや低い温度まで上板１１と下板１２とを加熱してガラ
ス板同志の接触部を溶融接合する。
径ｄか０．０５±０．００５ ｍｍ、長さが５ ｍｍ程
度の銅線よりなるワイヤ１６をはめこみ、その下板１２
の上に咳下板より厚さの寸法が小さいガラス板を上板１
１として設置し、上記上板１１と下板１２とを適当なハ
ネ材よりなる治具等を用いて挾み、ガラスの軟化点より
やや低い温度まで上板１１と下板１２とを加熱してガラ
ス板同志の接触部を溶融接合する。
次いでこの接合体の金属ワイヤ１６が挿入されたノズル
１５の露出している端面を水と混練した金剛砂、或いは
湿式砥石等を用いて湿式研磨する。
１５の露出している端面を水と混練した金剛砂、或いは
湿式砥石等を用いて湿式研磨する。
このようにすればノズル１５の周辺はワイヤ１６によっ
て補強されているので、研磨の際に一部が破損したり欠
けたりすることが無くなり、所定の寸法まで精度良く研
磨できる。
て補強されているので、研磨の際に一部が破損したり欠
けたりすることが無くなり、所定の寸法まで精度良く研
磨できる。
次いてこのように研磨を終了した上板１１と下板１２と
よりなるガラス板を硝酸のようなエツチング液に浸漬し
てノズル１５内に挿入されている金属ワイヤ１６をエツ
チング除去する。
よりなるガラス板を硝酸のようなエツチング液に浸漬し
てノズル１５内に挿入されている金属ワイヤ１６をエツ
チング除去する。
このようにすれば、形成されたノズル１５の断面形状は
、ワイヤ１６の断面に沿った形となり真円構造のノズル
を有するガラス製のインクジェットへソドが容易に得ら
れる。
、ワイヤ１６の断面に沿った形となり真円構造のノズル
を有するガラス製のインクジェットへソドが容易に得ら
れる。
またエツチングでインク通路を形成する寸法の許容範囲
も従来に比較して大きくなり、製造が容易となる。
も従来に比較して大きくなり、製造が容易となる。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、研磨過
程でノズルの周辺のガラスが破損しなく、断面か真円形
状のノズルを有する高品位のガラス製のインクシエンド
ヘッドが容易に得られる効果がある。
程でノズルの周辺のガラスが破損しなく、断面か真円形
状のノズルを有する高品位のガラス製のインクシエンド
ヘッドが容易に得られる効果がある。
第１１Ｄ（ａ）より第１図（ｂ）までは本発明の方法の
工程を示す説明図、 第２回は第１図（ａ）の要部平面図、 第３図は第２図のｎ−ｎ ’線に沿った断面図、第４図
は従来のインクシエンドヘッドの下板の平面図、 第５回は従来のインクジェットヘッドの断面図、第６図
は従来のインクジェットヘンドの要部平面図、 第７回は従来のインクジェットヘンドの要部断面図を示
す。 図において、 １１は上板、１２は下板、１３はインク溜部、１４は圧
１５ノズブレ ｔｔ、ｈ
ｉｔ（Ｑｌ 本発明４宏はｎ１ＪＺＧ末を撹Ｅ’１ｆｆｉ第１図□ 才ｒ口（ａ）／Ｉ要要部画面 図−−＾ＲＣＭ 果ｌ凶
工程を示す説明図、 第２回は第１図（ａ）の要部平面図、 第３図は第２図のｎ−ｎ ’線に沿った断面図、第４図
は従来のインクシエンドヘッドの下板の平面図、 第５回は従来のインクジェットヘッドの断面図、第６図
は従来のインクジェットヘンドの要部平面図、 第７回は従来のインクジェットヘンドの要部断面図を示
す。 図において、 １１は上板、１２は下板、１３はインク溜部、１４は圧
１５ノズブレ ｔｔ、ｈ
ｉｔ（Ｑｌ 本発明４宏はｎ１ＪＺＧ末を撹Ｅ’１ｆｆｉ第１図□ 才ｒ口（ａ）／Ｉ要要部画面 図−−＾ＲＣＭ 果ｌ凶
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 それぞれがガラス板より成る上板（１１）と下板（１２
）とが相互に接合され、該下板（１２）の内面にインク
溜部（１３）、圧力室（１４）、ノズル（１５）となる
凹部が形成されて成るインクジェットヘッドの製造に於
いて、 前記下板（１２）の一面にインク溜部、圧力室、ノズル
用の各凹部を形成する工程と、前記ノズル面凹部に金属
ワイヤ（１６）を嵌合する工程と、上板（１１）と下板
（１２）とを重ねてから加熱してそれらの接触部を溶融
接合する工程と、この接合体の金属ワイヤが挿入された
ノズル（１５）の露出面を研磨する工程と、前記ワイヤ
（１６）をエッチング除去する工程とからなることを特
徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1173988A JPH01186332A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1173988A JPH01186332A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01186332A true JPH01186332A (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=11786399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1173988A Pending JPH01186332A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01186332A (ja) |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP1173988A patent/JPH01186332A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6530653B2 (en) | Ultrasonic bonding of ink-jet print head components | |
| EP0495663B1 (en) | Liquid jet unit with orifices and recording apparatus using the same | |
| US5665249A (en) | Micro-electromechanical die module with planarized thick film layer | |
| JP2909773B2 (ja) | 液滴付着装置及びその製造方法 | |
| EP0755793A2 (en) | Printer apparatus and method of production of same | |
| JPS62202741A (ja) | 液体噴射記録ヘツドの作成方法 | |
| US6843554B2 (en) | Ink jet head and method of production thereof | |
| JPH01186332A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH11334088A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP3879117B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPS5839069B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPS6132761A (ja) | 噴射ヘツド | |
| US6588883B2 (en) | Liquid injector, method of manufacturing the injector, and ink-jet spray using the injector | |
| US6315385B1 (en) | Self-locating orifice plate construction for thermal ink jet printheads | |
| JPH06206315A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP4432100B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH01188349A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2004001436A (ja) | インクジェットヘッド、その製造方法、及び該インクジェットヘッドを備えるインクジェットプリンタ | |
| JP2855892B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPS6087056A (ja) | インクジエツトヘツド | |
| JP3900277B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
| JPH05155022A (ja) | 液体噴射記録ヘッド用基体、該基体の製造方法、該基体を用いた液体噴射記録ヘッド、該記録ヘッドの製造方法及び該記録ヘッドを具備する記録装置 | |
| JPH01253453A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2000108343A (ja) | インクジェットヘッド | |
| EP0231790A2 (en) | Process for fabricating laminated structures of improved structural integrity |