JPH01184405A - 物体計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、物体計測装置に関し、特に投光装置によつて
発生されたのち被計測物体で反射された光の収束によっ
てその光の反射点の像が光センサ装置の各光センサ上に
結像される時刻を計測し計測結果からその光の反射点の
位置を算出してなる物体計測装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来この種の物体計測装置としては、投光装置によつて
発生されたのち被計測物体で反射された光の収束に伴な
って動作せしめられる光センサ装匿の各光センサに対し
て共通に計数回路を配設し、かつその光センサ装置の各
光センサに対して列ごとに″ｌ対１”で記憶装置を付設
しておき、光センサをスイッチング回路によつて各行ご
とに動作状態とし、被計測物体で反射された光が各光セ
ンサ上に結像されたときに計数回路の計数内容を記憶装
置に一時的に記憶せしめ、その記憶装置の記憶内容を別
の記憶装置に移動したのち被計測物体における光の反射
点の位置を算出するものが提案されていた（国中等　［
高速３次元物体計測装置の試作」　電子情報通信学会技
術研究報告社団法人電子情報通信学会　ＰＲＯ−８７−
４１１９８７年ｌＯ月　１日）。

［解決すべき問題点］ しかしながら従来の物体計測装置においては。

光センサに対して列ごとに“ｌ対ｌ”で記憶装置が付設
されており、かつ光センサをスイッチング回路によって
各行ごとに動作状態としていたので、（ｉ）光センサの
行数に応じた回数だけ被計測領域を操作する必要があり
、計測に多大の時間を要する欠点があり、またＯｌ）反
射点の像が結像される可能性のない光センサおよび記憶
装置まて同時に動作状態としておく必要があり、記憶装
置ならびにそれに付随する比較増幅回路などの個数を削
減できない欠点があった。

そこで本発明は、これらの欠点を除去するために、光セ
ンサに付設された記憶＃置ならびにそれに付随する比較
増幅回路の個数の増加を抑制し。

かつ被計測領域の走査回数を１回に削減して計測に要す
る時間を大幅に節減してなる物体計測＃置を提供せんと
するものである。

（２）発明の構成 ［問題点の解決手段］ 本発明により提供される問題点の解決手段は。

「（ａ）被計測領域を走査するための光を発生する投光
ＩＲ置と、 （ｂ）前記投光装置によって発生された光が被計測領域
に配置された被計測物体に よって反射されることにより得られた 反射光を収束して前記被計測物体にお ける光の反射点の像を結像せしめる結 像装置と、 （ｃ）前記結像装置によつて結像された反射点の像によ
って動作せしめられるよう 配設された複数の光センサからなる第 １の光センサ装置と、 （ｄ）前記投光装置で被計測領域を走査するために発生
された光によって動作せし められる第２の光センサ装置と。

（ｅ）前記第２の光センサ装置の光検知によって発生さ
れた走査信号に応じて制 御パルスを発生する制御パルス発生回 路と、 （ｆ）前記制御パルス発生回路に対してデータ入力端が
接続されており、前記制御 パルスを受け取ったのち順次シフトせ しめてスイッチング信号を発生するシ フトレジスタと、 （ｇ）前記第１の光センサ装置に属する光セサと前記シ
フトレジスタとの間に対 し、前記投光装置による被計測領域の 走査方向に対応してそれデれ配設され ており、前記スイッチング信号に応じ て前記第１の光センサ装置に属する光 センサに対し保持電圧を一定時間だけ 供給するための少なくとも１つのス イッチング回路と、 （ｈ）前記第２の光センサ装置に対してリセット端が接
続されており、前記第２ の光センサ装置の光検知によりて発生 された走査信号によってリセットされ たのち入力端に与えられるクロックパ ルスの数を計数する計数回路と、 （＋）前記第１の光センサ装置に属する光センサを前記
投光装置による被計測領域 の走査方向に対応して少なくとも１つ 置きに選択して作成した複数の群に対 し各群ごとにそれぞれｌ対ｌで付設さ れており、前記第１の光センサ装置に 属する光センサが動作されたときに前 記計数回路から入力されている計数内 容を記憶する複数の記憶装置と、 Ｕ）前記記憶装置の記憶内容を受け取り。

前記投光装置による反射点の走査角を 算出し、かつ算出された走査角から前 記反射点の位置を算出するデータ処理 装置と」 を備えてなることを特徴とする物体計測装置」 である。

［作用］ 本発明にかかる物体計測装置は、投光装置によって発生
されかつ被計測物体で反射された光を結像装置により収
束せしめて結像されたその反射点の像によって動作せし
められる第１の光センサ装置が、複数の光センサを投光
装置による被計測領域の走査方向に対応して少なくとも
１つ鐙きに選択して作成された複数の群に対し各群ごと
にそれぞれｌ対ｌで記憶装置を配設することによって形
成され、かつ投光装置による被計測領域の走査方向に対
応して光センサをスイッチング回路により順次動作状態
としてなるので、記憶装置および比較増幅回路の個数の
増加を抑制しつつ投光装置による被計測領域の走査時間
を大幅に短縮する作用をなす。

［実施例］ 次に本発明について、添付図面を参照しつつ具体的に説
明する。

第１図は１本発明にかかる物体計測装置の一実施例を示
す斜視図である。

第２図（ａ）（ｂ）は、第１図実施例の一部を拡大して
示す拡大部分斜視図である。

第３図は、第１図実施例の一部を拡大して示す拡大部分
回路図である。

第４図は、第１図実施例の動作を説明するための動作説
明図である。

まず本発明にかかる物体計測装置の一実施例について、
その構成を詳細に説明する。

刊は、本発明にかかる物体計測装置の投光装置であって
、被計測領域を走査するための光を発生しており、−次
元すなわち線状に拡張されたスリット光を発生するスリ
ット光発生装置１２と、前記スリット光の進行方向をそ
の拡張方向に直交する方向（以下、“走査方向”という
）に向けて時間的に一定割合（すなわち一定角速度ω）
で変化せしめつつ被計測領域を走査する走査装ｆｆ１１
４とを包有している。

スリット光発生装置１２は、たとえば気体レーザ光源、
半導体レーザ光源１発光ダイオード光源あるいはタング
ステンランプ光源などの適宜の光源１２１と、光源１２
１によって発生されたビーム光を一次元すなわち線状の
スリット光とする適宜の手段たとえば円筒レンズ１２２
とを包有している。

光源１２１が気体レーザ光源である場合には、その発生
するレーザ光がビーム光となっているので、円筒レンズ
１２２に対してそのまま与えればよい。これに対し光源
１２１が半導体レーザ光源である場合には、その発生す
るレーザ光が二次元すなわち面状に拡散されているので
、適宜の手段たとえば球面レンズ（図示せず）を用いて
ビーム光に収束せしめたのち、円筒レンズ１２２に対し
て与えればよい。また光源１２１が発光ダイオード光源
あるいはタングステンランプ光源などである場合には、
その発生する光がビーム光となっていないので、適宜の
手段によりビーム光に変えたのち、円筒レンズ１２２に
対して与えればよい。

走査装置１４は、たとえばスリット光を反射するための
ミラー１４１とスリット光の拡張方向に平行する回転軸
についてミラー１４１を一定角速度ωで回転せしめるた
めの回転駆動装置１４２とを包有する回転ミラー装置に
よって構成されている。走査装置１４は、また所望によ
り、スリット光発生装置１２を載置するためのテーブル
（図示せず）と、前記テーブルを一定角速度ωで回転せ
しめるための回転駆動装置ｔ（図示せず）とによって構
成されていてもよい。

並は１本発明にかかる物体計測装置の被計測領域に配置
された被計測物体であって、投光装置艮によって与えら
れたスリット光が照射されている。

凹は、本発明にかかる物体計測装置の受光装置であって
、被計測物偉観によって反射されたスリット光すなわち
反射スリット光を収束し被計測物偉観の像すなわちスリ
ット光の反射点Ｐの像を結像せしめるための結像装置１
１１３１と、結像装置３１によって結像された被計測物
体赳の像すなわちスリット光の反射点Ｐの像を撮像する
ための撮像装置ａ３２と、投光装置」に含まれた走査装
置１４の近傍に配設されておりスリット光によって被計
測領域が走査されていることを検出する走査検出装＠３
３とを包有している。

結像装置１３１は、被計測領域すなわちスリット光によ
る走査領域を見込んでおり、反射スリット光を収束せし
める収束レンズによりて形成されている。

撮像装置！３２は、結像装置３１によって反射スリット
光を収束せしめることにより結像された被計測物偉観の
像すなわちスリット光の反射点Ｐの像を撮像するために
適宜にマトリックス状に配列された複数の光センサたと
えば光トランジスタＣ以下この場合について主として説
明するが、これに限定する意図はない）１２１ｔ□、３
２１ｂｔ、・・・、　３２１＋、ｓｌｌ：　コ２１ｚ、
ｔ、３２１ｇ、ｇ、・・・、３２１＊、ユイ　；　・・
・　；　　３２１−、ｔ。

３２Ｌ、ｔ、・・・、３２１−．３．ｌからなる第１の
光センサ装置３２１と、第１の光センサ装置３２１に属
する光トタンジスタ３２１＋、　＋、３２１＋、　＊、
・Φ・、　３２１＋、＋ｌｌ；　３２１ｔ、＋。

３２１□、２．・・・、３２ｂ、　３．％；・・・；３
２１−、　ｔ、３２１−、　＊−・・・。

３２１−０ｓ−を投光装置用による被測定領域の走査方
向に対応して少なくとも１つ置きたとえば２つ置き（以
下この場合について詳述するが、これに限定する意図は
ない）に選択して作成した複数の群の光トランジスタ３
２１１．　ｔ、３２１＋、　４．・・・、３２１１．３
１％−２；　３２１＋、ｔ、３２１＋、％ｅ・・、３２
ｂ、　３ｎ−ｔ；３２１ｔ、　ｓ、３２１ｓ、　ｔ、。

・・舎、コ２１＊、３１１；　　３２１ｔ、１．コ２１
ｔ、４．’・・、３２１＊、　３ｎ−＊；：１２１＊、
　ｔ、３２１ｔ、　ｓｏ”＋：１２１ｔ、　１ｆ１−ｔ
；　３２１ｇ、　３，３２１ｔ、　ａ。

・”、３２１ｔ、　ｚｎ；・・・、　３２１．□、３２
１．．　、、・・・、３２１−、　＊ｆｌ−＊；３２１
−．　＊、３２１−０＊、・・・、３２１−．３゜−＋
；　３２１−、　ｓ、３２１−、ｒ、。

・・・、３２１−、　ｚｎの出力端に対して各群ごとに
それでれｌ対ｌに接続された複数の比較増幅回路３２２
ｓ、　ｓ、３２２＋、ｔ、３２２ｔ、ｘ：　　コ２２＊
１，３２２ｔ、ｔｅ３２２＊、ｓ；　　３２２−、ｓ、
　３２２−、　ｍ　、コ２２−．　ｓと、複数の比較増
幅回路３２２．、鳳。

３２２＋、　＊、３２２＋、　ｉ；　３２２ｔ、　＋、
３２２＊、２，３２２＊、　＊；・・ψ；３２２−１，
３２２．．．．コ２２−０ｚの出力端に対してトリガ端
がそれでれ１対１に接続されておりトリガ端に対して比
較増幅回路：１２２ｔ、　ｔ、３２２ｘ、　ｔ、３２２
ｔ、ユ；　：１２２ｔ、　１、コ２２□、２．コ２２□
　７：・・・、　　３２２．、ｌ、コ２２．．．，３２
２−．．からトリガ信号が与えられたとき入力端に与え
られている入力信号の内容を記憶して保持するための複
数の記憶装ｇ１３２３　ｒ、　＋　、コ２コ＋、　２，
３２３１．　ｚ；　３２：Ｉｔ、　＋。

３２コ＊、ａ、：＋２３ｔ、ｉ；・・・；　コ２３−．
ｉ　　３２３．、＊、：１２３．　、、と。

複数の記憶装ｇ１３２３ｔ□、３２３＋、　１３２３１
．３；　３２３ｔ□。

３２３．０．．３２コ２．３：・・・；　３２３−、　
ｌ＋　３２３−、１３２３ｍ、　３の入力端に対して出
力端が接続された計数回路３２４と、第１の光センサ装
置３２１に属する複数の群の光トランジスタ３２１＋、
　＋、３２Ｌ、　ｔ、・・・、３２１１．３ｎ；３２１
＊、ｔ、３２１ｔ、ｘ、・・・、３２１＊、　３１１：
・・・：３２１．、　　□、コ２１−、ｔ。

・・・、３２１．、ユ。の保持電圧端に対して各列ごと
にそれぞれｌ対ｌに接続された複数のスイッチング回路
３２５＋、３２Ｓ＊、・・・、３２５２．１と、複数の
スイッチング回路３２５ｓ、３２５□、・・・、３２５
ユ、の制御端に対して出力端がそれぞれ１対１に接続さ
れかつ縦列に接続された複数のフリップフロップ回路３
２１ｉｔ、３２６ｔ、・・・。

３２６わがうなるシフトレジスタ３２６と、計数回路３
２４の入力端に対して出力端が接続されており一定周期
のクロックパルスＣＬＰを発生するクロツクパルス発生
回路３２７Ａと、複数の記憶装置ｉｔ　３２：ｌ　ｒ、
　＋　。

コ２コ＋、　２，３２３＋、　３；　　３２３２．１，
３２３Ｌ　２，３２３Ｌ　：ｌ；争・・；３２３、　ｌ
、３２３３０ｇ、３２３−、３の出力端に対して入力端
が接続されたデータ集積装ｆ１３２Ｂと、シフトレジス
タ３２６のデータ入力端（すなわちフリップフロップ回
路３２６１のデータ入力端）に対して出力端か接続され
た制御パルス発生回路３２９と、シフトレジスタコ２６
のクロック端（すなわち複数のツリツブフロップ回路３
２６．．３２６□、・・・、３２６ｚ、のクロック端）
および制御パルス発生回路３２９の入力端とに対して出
力端が接続されており他の一定周期のクロックパルス５
ＣＬＰを発生する他のクロックパルス発生回路３２７Ｂ
とを包有している。データ集積装置３２８には、複数の
記憶波！ｔ３２３＋、　ｔ、３２３ｔ、　ｔ、３２３ｔ
、　３；　３２３Ｌ　ｘ、３２３＊、　２，３２３□、
３：・・・；　３２３−１＋　３２：ｌ−、＊。

３２３．３ひいては光トランジスタ３２１．、　、、コ
２１＋、ｔ。

・・・、３２１□、　、、１；３２１□、、、３２１□
、２．・・・、３２１ａ、　ｓｌｌ：・・・；３２１゜
、　＋、３２１−．　ｚ、・・・、３２１−．２ｆ１に
それぞれ対応した記憶領域３２８ｍ、　ｒ、３２８１．
　＊、・・・、３２８１．　ｘ。；　　３２８．．１゜
３２ｈ、　＊、・・・、３２８＊、ｘｎ：・・・：　３
２８．、、．３２ｇ、　２．・・−：１２８．、　、、
が包有されている。

走査検出装置３３は、ミラー１４１に対して対向されて
おりミラー１４１によって反射されたスリット光を検出
するための光センサたとえば光トランジスタ（以下この
場合について説明するが、これに限定する意図はない）
３３１からなる第２の光センサ装置と、光トランジスタ
３コ１の出力端と撮像装置３２の計数回路３２４のリセ
ット端および制御パルス発生回路３２９の他の入力端と
の間に配置された比較増幅回路３３２とを包有している
。

並は１本発明にかかる物体計測装置のデータ処理装置で
あって、受光装置並中のデータ集積装置３２Ｂノ記憶領
域３２Ｌ、　１，３２８１．　ｔ、”’、３２Ｌ、　：
ｌ。；３２８ｚ、　ｒ　、　３２８ｔ、　＊　、・・・
、３２８□、ｉｎ；・・・；３２８−、、．３２＆、、
２゜・・・、３２８−．３、のうちから記憶領域を１つ
ずつ選択して指定するための読込信号ＳＥＬを発生して
受光装置並中のデータ集積装＠　３２８に与えるための
読込信号発生回路４１と、読込信号発生回路４１の出力
端Ｓよび受光装Ｈ！！！中のデータ集積装置３２８の出
力端に対して接続されており、データ集積装置３２８の
記憶領域３２８ｍ、　１．３２Ｂ１．２．・・・、３２
Ｂ□、　Ｉｎ：３２８＊、　１，３２８□、２．・・・
、３２８ｔ、　ｓｎ；・・・、　３２Ｌ、、　３２ｇ−
、、。

・・・、３２８−．３ｎからそこに保持された記憶内容
すなわち結像データＩＭＧを読込信号ＳＥＬの内容に応
じて受け取り記憶するための記憶装置４２と、記憶波ｆ
ｉ４２に記憶された結像データｒｌｌｌＧの内容から被
測定物偉観におけるスリット光の反射点Ｐの位置を算出
する演算回路４３とを包有している。データ処理装置並
は、更に所望により、演算回路４３に接続されておりそ
の演算結果すなわち被測定物体跋におけるスリット光の
反射点Ｐの位置を記憶するための他の記憶装置４４と、
他の記憶波Ｍ４４に接続されておりその記憶内容を視認
可能に表示するためのブラウン管などの表示装！ｆ４５
と、他の記憶装置４４に接続されておりその記憶内容を
記録するためのフロッピーディスクなどの記Ｉｒ１装置
ｔ４６とを包有している。

次に本発明にかかる物体計測装置の一実施例について、
その作用を詳細に説明する。

以下の説明を簡潔とし、かつ十分な理解をなすために、
最初に三次元座標系を導入する。

すなわち結像装置３１の中心を原点Ｏとし、結像装ｆｆ
１３１すなわち原点Ｏを通りかつスリット光の拡張方向
すなわちミラー１４１の回転軸Ｍに平行するようにＺ軸
をとり、結像装置３１すなわち原点Ｏとミラー１４１の
回転軸Ｍとを結ぶ線分ＯＭすなわち基線（その長さをａ
とする）上にのりかつＺ軸に直交するようにＸ軸をとり
、かつ結像装置１３１すなわち原点Ｏを通りかつＸ軸お
よびＺ軸に直交するようにＹ軸をとる。更にスリット光
とＸ軸とのなす角すなわち走査角をαとし、スリット光
を反射した被計測物体刈上の点すなわち反射点Ｐを座標
（Ｘ、Ｙ、Ｚ）とする、加えて原点０を通る反射スリッ
ト光が、ＸＹ平面においてＹ軸となす角をβ８とし、か
つＹＺ平面においてＹ軸となす角をβ２とする０反射点
ｐ　（ｘ、ｙ、ｚ）において反射され結像装Ｍ３１の中
心すなわち原点０を通過した反射スリット光が、結像装
置３１から距離ｆだけ離間された撮像面すなわち光トラ
ンジスタ３２１＋、＋。

：１２Ｌ、　＊、・・・、：１２１＋、　＊１１；３２
１ｇ、　１，３２１２．　ｔ、・・・、３２１ｔ、　２
１１；−−−；：＋ｚｔ−１，３２１−．　ｔ、””、
３２１−１３ｎ上に結像された点（すなわち反射点Ｐの
像）Ｑの座標を（ｘ、ｙ、ｚ）とする０反射点Ｐ（Ｘ、
Ｙ、Ｚ）　のＸ、Ｙ、Ｚ軸上ニおケル門形点をソｔｌｆ
しＲ（Ｘ、０．０）　、　Ｓ（０，Ｙ、０）　。

Ｔ　（０，０，２）とする。

このとき第１図から明らかなように ＯＭ＝ＯＲ＋ＲＭ の関係が成立するので、 ａ＝Ｙｔａｎβ×＋Ｙ　ｃｏｔａ が成立し、これを整理して Ｙ＝ａ［ｔａｎβ＋ｃ　＋　ｃｏｔａ］　−’の関係を
求め得る。ここでｔａｎβ、＝ｘｆ−’であるので、 Ｙ＝ａｆ　［ｘ＋ｆ　ｃｏｔａｌ　−’　−−−−（１
）と表現できる。

また Ｏ　Ｒ＝　ＯＳ　ｔａｎβ× の関係が成立するので、 Ｘ＝ＹｔａｎβＸ の関係を求め得る。ここでｔａｎβ、＝ｘｆ−”である
ので、 Ｘ＝ａｘ　［ｘ＋ｆ　　ｃｏｔａ］　−”　−−−−（
２）と表現できる。

同様に ０Ｔ＝Ｏ３ｔａｎβ２ の関係が成立するので、 Ｚ＝Ｙｔａｎβ２ の関係を求め得る。ここでｔａｎβ、＝ｚｆ−であるの
で、 Ｚ＝ａ　ｚ　［ｘ＋ｆ　　ｃｏｔａｌ　−’　−−−−
（３）と表現できる。

加えて走査角αが、ｘＹ平面における走査検出装置３３
とミラー１４１とを結ぶ線分とＸ軸とのなす角度すなわ
ち基準走査角α。とミラー１４１の一定角速度ωと時間
ｔとによって α＝ωｔ＋α。　　−−−−−−−−−−”−−−−（
４）と表現できる。

ここで時間ｔは、ミラー１４１によって反射されたスリ
ット光が走査検出装置３３によって検出された時刻すな
わち基準時刻（たとえば“θ″）から、光トランジスタ
３２１＋、　１，３２１１．　＊、・・・、３２１ｔ、
　ｚイ；　３２１＊、　＋、３２１＊、　２．・・・、
３２ｂ、　２＝　；・・・：　’１２１−１ｓ。

３２Ｌ、　ｉ・・・、３２１−、　ｘｎの各列に対して
反射スリット光が結像装置３１により結像される時刻ま
でに所要の時間である。

被計測物偉観の計測に際して、まず受光装Ｎ２！！に含
まれた複数の記憶装置３２３＋、　＋、３２３ｔ、　ｚ
、・・・。

３２３、、、；コ２３＊１，３２３□、２．・・・、３
２３．、ｎ；・・・；３２３．１゜３２３、、、・・・
、３２３．、ｆｉの記憶内容が除去される。

投光装置刊のスリット光発生装置１２によってスリット
光が作成されている。すなわち光源１２１の発生したビ
ーム光を円筒レンズ１２２によってスリット光に変えて
いる。スリット光は、走査装置１４のミラー１４１に照
射されている。このとき、ミラー１４１が回転駆動装置
１４２により一定角速度ωで回転されているので、スリ
ット光は、ミラー１４１によって反射されたのち、被計
測領域に向けそこを一定の回転速度すなわち一定の回転
角速度ωで走査するように送出される。

ここで走査検出装置３３の光トランジスタ３３１は、走
査装ｆｉ１４のミラー１４１によって反射されたスリウ
ド光が照射されたとき、導通されてそのスリット光の光
量に応じた電流Ｉを発生する。電流Ｉは、光トランジス
タ３３１に付設された比較増幅回路３３２によって所望
に応じて増幅されかつ基準値と比較されたのち、走査基
準信号ＳＩとして撮像装置３２の計数回路３２４および
制御パルス発生回路３２９に与えられる。

制御パルス発生回路３２９は、スリット光による被計測
領域の走査すなわち一定角速度ωに応じ走査基準信号Ｓ
Ｌを受け取ったとき、クロックパルス発生回路３２７Ｂ
の発生するクロックパルスの立上りに応じて立上り一定
時間だけ高レベル状態を維持して立下る制御パルスＳＷ
Ｐを発生し、シフトレジスタ３２６のデータ入力端すな
わちフリッププロップ回路３２６．のデータ入力端に対
して与えられている。制御パルスＳｗＰが高レベル状態
にある時間は、複数の記憶装置３２３＋、　ｔｊ２３＋
、　２．・・・、３２コ０．ゎ；３２３ｔ、、、３２３
．．２．・・−、：１２３＊、−；・・・；３２３−０
Ｉｔ　　３２コ、１．。

・・・、３２３．ｎに対し光トランジスタ３２１＋、　
１．３２１＋、　２．０・、３２１＋、　ｚｎ；３２１
ｔ□、３２１２．　ｔ、・・・、：１２１ｔ、　：＋−
；・・・：３２１、、．３２１．、　！　、・・・、３
２１−、ｚｌｌがそれぞれ２つ置きに接続されているの
で、ここではたとえばクロックパルス５ＣＬＰの３パル
スに対応した時間とされている（第４図参照）。

シフトレジスタ３２６すなわちフリップフロップ回路３
２［ｉ＋、３２６ｔ、・・・、３２６ユ。は、クロック
パルス発生回路３２７Ｂの発生するクロックパルス５Ｃ
ＬＰがクロック端に与えられるごとに、それぞれのデー
タ入力端に与えられたデータを出力端から出力して後続
のフリップフロップ回路に与える。これにより制御パル
ス発生回路３２９の発生した制御パルスＳＷＰが、クロ
ックパルス発生回路３２７Ｂの発生したクロックパルス
５ＣＬＰの１パルスに対応した時間だけ順次シフトされ
、スイッチング信号ｓｗ、、ｓｗ２゜・・・＋５Ｗ３１
％としてスイッチング回路３２５１．３２５．、・・・
、３２５．．１の制御端に与えられる。スイッチング回
路３２５、、：１２５□・−，３２５３，は、スイッチ
ング信号ＳＷ、。

Ｓｉ２．・・・、Ｓｉ３．、が与えられると、それぞれ
光トランジスタ３２１１．　ｒ　、３２１＋、　ｉ、・
・・、３２１□、ユ。；３２１ｇ、　＋。

３２１□、２．・・・、３２１ｇ、　３ｎ；・・・；３
２１−４，３２１−、　ｚ、・・・。

３２１、３．ｌの各列に反射スリット光か結像される時
刻の前後の一定時間だけ導通され、これにより光トラン
ジスタ３２１□、　１，３ｚＬ、　２＋・・・、コ２１
□、　３ｎ；３２１ｔ、　１．３２１ａ、ｚ、・・・、
３２１ｔ、　＊ｌ、；・・−；３２１．１，３２１．．
２．・・・。

３２Ｌ、　ｚｏの各列の保持電圧端に対してその一定時
間だけ保持電圧か与えられる。

計数回路３２４は、走査検出装置３３の比較増幅回路３
３２から与えられた走査基準信号Ｓｌをリセット信号と
しており、その走査基準信号Ｓｌが与えられたときに計
数内容がリセットされ計数開始時刻が７Ａ節されたのち
、再びクロックパルス発生回路３２７＾から与えられた
クロックパルスＣＬＰの数を計数し始める。計数回路３
２４の計数内容は、リセット信号すなわち走査基準信号
Ｓｌによってリセットされたときに最小値（たとえば“
０″）とされており、クロックパルスＣＬＰが到来する
ごとにｌずつ増加せしめられる。計数回路３２４の計数
内容は、ツレ−ｅ’し記憶装ｆａ３２３．１，３２３＋
、２．：１２３＋、ｚ；−３２３ｔ、　ｓ、３２３＊、
　＊、３２３＊、　ｓ；＠・・；　３２３．、、．３２
３．．２゜３２３１．３に与えられている。

またスリット光は、被計測領域にある被計測物休廷を線
状に照射している。このときスリット光の進行方向が走
査装置１４によって一定角速度ωで変化せしめられてい
るので、スリット光の照射されている被計測物休廷の領
域は、それに応じて移動している。したがって被計測物
休廷によるスリット光の反射点ｐ　（ｘ、ｙ、ｚ）の位
置が、変化している。

被計測物体２０によって反射されたスリット光すなわち
反射スリット光は、受光？Ｃ置川用結像装置３１によっ
て収束され、撮像装置３２の撮像面すなわち複数の光ト
ランジスタ３２１．、、．３２１．、２．・・・。

：１２１＋、　ｓｎ；３２１ｔ１，３２ｔ２．　＊、”
”、３２１ｚ、　＊ｎ；””；３２１−、　＋、３２１
−、ｔ、・・・、３２１．、ユ。上で結像されている。

反射スリット光の結像位２ｔＱ（ｘ、ｙ、ｚ）は、スリ
ット光による被計測領域の走査に応じて複数の光トラン
ジスタ３２１＋、　＋、３２１ｔ、　ｔ、・・・、３２
１＋、　ｘ＋ａ；３２１２．　Ｉｎ：１２１ｔ、　ｔ、
・・・、３２１２．３゜；・・・、３２１．１，３２１
−１．・・・。

３２１−、　：Ｉｎの列方向に序々に移動している０反
射スリット光が結像されるとき保持電圧が与えられてい
るので、光トランジスタ３２１＋、　ｔ、３２１＋、　
２．・・・。

３２１＋、　：Ｉｎ；３２１ｔ、　１，３２１２．　ｔ
、””、３２１ｔ、　：＋、１；・・・；３２１−、　
＋、３２１−、ｚ、・・・、３２１．、ユ、は、それぞ
れ導通し、その結像された反射スリット光の光量に応じ
た電流１＋、　１ｕ１１．　ｌ・・・＋Ｉ１．５ｎ：Ｔ
２□、Ｉｌ、２．・・・、Ｉｔ、ｓｎ；・・・；Ｉｓ、
　ｌ　、　Ｉｓ、　ｔｏ・・・＋ｌｌ１１．３１１を発
生する。電ｆＩｔｌ＋、＋。

１１．４・・”＋Ｉ１．ａｎ−＊；Ｉｔ、ｔ、１１、’
ｉｎ”’＋１１．　２ｎ−１ｕ１１．３＋Ｉ１．６．・
・・＋１１．　：Ｉｎ；１２．　ＩｎＩＬ　４＋・・・
、！２．ユ。−＊；Ｉｔ、ｔｏ１２．５＋・・・、■２
．ユ。−ｔ；ｌｔ、１１１２．１＋＋・・・１１２．：
Ｉｎ；・・・；１１１１、１　＋　Ｌ、　４　＋・・・
ｌ　ｌ１１１１．３ｎ−１；　Ｌ−２１Ｌ　Ｓ　Ｉ・・
・、Ｌ、：ｌｎ−１；１”Ｌ　：ｌ　ｌ　Ｉｌｌ、　６
１・・・１Ｌ、ｆｆｎは、それぞれ比較増幅回路３２Ｌ
、　１，３２２＋、　２．３２２＋、　ｉ；　３２２２
．　＋、３２２＊、　ｘ、３２２ｘ、　＊：・・・；　
３２２−、　＋、：１２２．．　ｔ、３２２．、　ｘに
よって所望に応じて増幅されかつ基準値と比較されたの
ち、トリガ信号ＳＩ＋、　１．ＳＩＩ、　ｔ・ＳＩＩ、
ゴ；Ｓｌｚ、　Ｉ　、ＳＩＲ，ｔ、Ｓｉｇ、　３；・・
・；５ｌ−１，３１，、２，ＳＴ、、　：ｌとしてそれ
デれ記憶装置３２：ｌｌ、　１，３２３＋、　２，３２
３＋、　ｚ；　３２３ｇ、　１，３２３Ｌ　ｚ、３２３
ｔ、　＊；・・・：３２］　−、＋、３２３−．　ｚ、
：１２３−、　：ｌに与えられる。

記憶装置１２３．、．３２３１．２，３２３．、　：＋
；　３２３．、　ｌ。

３２３、、、．３２３□、、：・・・；　３２：ｌ、　
、、３２３，２，３２３．、、は。

トリガ信号ＳＩ＋１．ＳＩＮ、　ｘ、ＳＩＩ、　：＋；
　ＳＴ２□、ｓｔｙ、　２゜Ｓ１□、；・・・：５Ｉ−
１，Ｓｌ、、　２．Ｓｌ　−、＊が与えられたときに計
数回路３２４から与えられているその計数内容を記憶し
保持する。記憶装置３２３＋、　ｒ　、３２３ｔ、　２
゜：１２３．．３．３２３□、　、３２３２．　ｔ、：
１２３ａ、　ｚ；・・・；３２３−、ｔ。

３２：Ｌ、　２，３２３．、、　、に記憶し保持された
計数内容は。

順次、データ集ｔａ装置３２８に移送され、データ集積
装Ｍ３２８の記憶領域３２８□、　＋、３２Ｌ、　ｔ、
・・・。

：Ｉ２８．、　、、；３２８□、、、３２８□、２．・
・・、３２８２．ユ、、：・・・：３２８゜。

、：１２８−．２．・・・、：１２８．、　）。にそれ
ぞれ記憶される。このとき記憶領域３２Ｌ、　ｒ、　３
２８ｔ、　２．・・・、３２８ｔ、　ｓｌｌ；：１２８
２．１，３２８□、２．・・・、３２８ｔ、　ｚ１％；
・・・；３２８．１，３２８−、２゜・・・、３２ｇ−
、ｘ。の記憶内容を、光トランジスタ３２１＋、＋、３
２１＋、ｌ・・・、：Ｉ２１＋、ｚｎ；３２１ｔ、ｔ、
３２１ｔ、、、ｓｅｅ。

：１２１２．　：Ｉｌｌ；・・・；３２１−、　＋、３
２１−．　？・・・、３２１−、３−に対応して時間ｔ
１．　＋、ｔ＋、　ｔｚ・・・＋ｊ１．３゜；　ｔ、１
＋　ｊＬ　２　＊・・・。

Ｉ２．３ｎ；・・・；　Ｌｍ、　ｌ　＋　ｊｓ、　２　
＋・・・＋１ｌ１１．３１１とする。

データ処理装置４０は、読込信号発生回路４１から読込
信号ＳＥＬを発生し、受光装置用中のデータ集積装２ｉ
　３２８に与えている。データ集積装！！３２８は、読
込信号ＳＥＬに応じて複数の記憶領域：＋２８ｂ　ｒ、
３２８１．２．・・・、３２８ｔ、　＊ｎ；　３２８２
１，３２８ｔ、　２．・・・。

３２８□３ｎ：・・・、　：１２８＝□、３２８−、＊
、・・・、３２８．、　＊１１からその記憶内容すなわ
ち時間ｔ１、ＩＩｔ１．２＋・・・１　ｔ　ｌ　、　２
　ＩＩ　；Ｌ２□、Ｉ２．’ｔ＋・・・、Ｉ２．ユ、；
　・番・；　　Ｌ、ｊ’＋Ｌ、２＋・・・。

ｔｌｌ、ユ、を結像データＩＭＧとして順次、データ処
理装置赳の記憶装置４２に向けて出力する。

記憶装置４２は、受光装ｆｉ３０から与えられた結像デ
ータＩＭＧすなわち記憶内容ＬＬ、ｌ＋ｊｌ、２．・・
・。

ｔｚ、　：ｌｎ；ｔｔ、　＋＋ｔ２．　ｉ・・・、Ｉ２
．：ｌｎ；・・・；　ｔ、、　Ｉ　ｒ　Ｌ、　２　＊・
・・。

’−ｍ、　：ｌｎを記憶し保持する。記憶装置４２に記
憶された結像データＩＭＧは、演算回路４３に与えられ
ており、そこで被測定物休廷におけるスリット光の反射
点Ｐの位２２（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を算出するために供される
。

すなわち演算回路４３は、光トランジスタ３２Ｌ、　ｒ
、３２１１．２．”・、３２Ｌ、　ｚｎ；３２１ｔ、　
＋、３２１ｔ、　２．＋ｅ＋。

３２１２、　＊ｎ；・・・；３２１．、　＋、３２１．
２．・・・、３２１−１：ｌｎについて、それぞれ上記
（４）式により α１、Ｉ：ωｔ　１．　Ｉ　＋αＯ α１．１”ωｔ１．２＋α０ α１．２ｎ＝ωｔ１．１ｎ＋αＯ α２．Ｉ：ωｔ２．Ｉ　＋αＯ α２．２＝ωｔ　Ｌ　２＋α。

αＬ　ｉｎ＝　ω　ｔｚ、：＋ｎ＋　αＯα１．ｌ　＝
ωｔ＋＋＋、ｌ　　＋α。

α−０２８ω　ｔｗａ、２　　＋　αＯα−１３ｎ：ω
ｔ―、コロ＋　αＯ の如く、走査角αを算出する。この走査角αすなわ号゛
α１．ｌ＋α！、２．・°・・α１．３ｎ；α２．ｌ、
α２．２＋””１α２．３ｎ；””；　α―ｈα醜、２
＋”・°、α１．コ、を上記（１）〜（３）式に代入す
ることにより、光トランジスタ：１２１＋、　＋、３２
１＋、　ｚ、”、１２１＋、　ｚｎ；３２１２．１，３
２１ｔ、　、、＋＋＋。

３２１２、　：＋ｌ、；・・・；：１２１−、　＋、３
２１−８ｔ、・・・、３２，１．、　ｓｎに結像された
反射点Ｐの位置（ｘ、ｙ、ｚ）すなわち反射点Ｐ　ｒ、
　ｌｎＰ　Ｌ　２＋・・・＋Ｐ　Ｌ、　Ｉｎ　；ｐ　２
．＋、ｐ　ｔ、　２＊・・・。

ｐ　２１．ｎ：＠＊・：ｐ、　、、ｐ、　２，６＠、ｐ
、、　、ｌｌの位置（Ｌｌ、Ｙｌ、　ｌｌＺ１１）、（
Ｘｌ、　２．Ｙｌ、　２．Ｚｌ、　２）　、・・・、（
Ｌ、　３ｎ、Ｙｌ、　：＋ｎ、Ｚ１．　ｉ−）　；（Ｘ
２１．Ｙｔ、　ｌ　、Ｚ２．　ｔ）、（Ｘｌ、　２．Ｙ
Ｌ　２゜ＺＬ　２）　、　・”　、　（Ｘｌ、　：ｌｌ
？ＹＬ　３ｎ１　ｚ！、　：ｌｎ）　；ｌ１ｌｌｅ　；
（Ｘ−、ｒ　、Ｙ、’、０、Ｚ　−、＋）　、（Ｘ−、
２，Ｙ　−、！、Ｚ　−、ｔ）　、・・・、（Ｘ−、ｉ
−、Ｙ−、：Ｉｎｌｚ−、ｉ、１）を算出する。

演算回路４３の演算結果すなわち被測定物体廷における
スリット光の反射点Ｐの位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の算出結果
は、他の記憶装置４４に与えられて記憶され保持される
。記憶装置４４の記憶内容は、所望により、表示装置４
５により視認可能に表示され、また記録装置４６により
記録される。

なお上述においては、第１の光センサ装置３２に属する
光センサの列に関して比較増幅回路、記憶装置、遅延回
路およびスイッチング回路を配設しかつ被計測領域を走
査しているが１本発明は、これに限定されるものではな
く、第１の光センサ装とに属する光センサの行に関して
比較増幅回路。

記憶装置、遅延回路およびスイッチング回路を配設しか
つ被計測領域を走査する場合も包摂している。比較増幅
回路、記憶装置、遅延回路およびスイッチング回路を列
に関して配列するか行に関して配列するかは、投光装置
による被計測領域の走査方向との関連において決定され
るものであるが、行に対する場合の構成および作用は、
列に対する上記の説明から殆ど明らかであるので、その
詳細な説明を省略する。

また上述においては、撮像装置３２がマトリックス状に
配列された複数の光センサによって形成される場合につ
いて主として説明したが、本発明′は、これに限定され
るものではなく、所望の形状（たとえば曲線状）に複数
の光センサを配列して撮像装置を形成する場合も包摂し
ている。

更に投光装ｊｉ！１１０がスリット光を発生しているが
１本発明は、これに限定されるものではなく、たとえば
投光装置によって発生される光の強度を確保したい場合
などのために、投光装置がビーム光を発生する場合も包
摂している。この場合には、撮像装置の光センサを１行
に配列してもよかろう。

加えて撮像装２ｉ３２がデータ集積装置３２８を包有し
ているが、本発明は、これに限定されるものではなく、
データ集積装置３２８を除去し記憶装と：１２３＋、　
＋、３２３＋、　＊、３２３＋、　３；　３２３□１，
３２３□、　＊、：＋２３ｇ、　ｚ：・・・：コ２３−
．１，３２３−、　ｔ、：＋２３−１ｓをデータ処理装
置赳に対し直接接続してなる場合も包摂している。この
場合には、記憶装！ｔ３２：Ｌ、　＋、３２３＋、　ｔ
、３２コ８．む゛３２コ、０．，３２コ＊、ｚ＋３２３
＊、ｚ；　　・・・；　　３２３−、ｒ　、３２３−、
＊。

３２３−９３に計数回路３２４の計数内容が記憶される
ごとに、直ちにその記憶内容がデータ処理装置ａ４０に
対して転送される。その他の作用ないし効果は。

上述より殆ど自明であるのて、省略する。

（３）発明の効果 上述より明らかなように本発明にかかる物体計測装置は
、 （ａ）被計測領域を走査するための光を発生する投光装
置と。

（ｂ）前記投光装置によって発生された光が被計測領域
に配置された被計測物体に よって反射されることにより得られた 反射光を収束して前記被計測物体にお ける光の反射点の像を結像せしめる結 像装置と、 （Ｃ）前記結像装置によって結像された反射点の像によ
フて動作せしめられるよう 配設された複数の光センサからなる第 １の光センサ装置と。

（ｄ）前記投光装置で被計測領域を走査するために発生
された光によって動作せし められる第２の光センサ装置と。

（ｅ）前記第２の光センサ装置の光検知によつて発生さ
れた走査信号に応じて制 御パルスを発生する制御パルス発生回 路と、 （ｆ）前記制御パルス発生回路に対してデータ入力端が
接続されており、前記制御 パルスを受け取ったのち順次シフトせ しめてスイッチング信号を発生するシ フトレジスタと、 （ｇ）前記第１の光センサ装置に属する光センサと前記
シフトレジスタとの間に対 し、前記投光装置による被計測領域の 走査方向に対応してそれぞれ配設され ており、前記スイッチング信号に応じ て前記第１の光センサ装置に属する光 センサに対し保持電圧を一定時間だけ 供給するための少なくとも１つのス イッチング回路と、 （ｈ）前記第２の光センサ装置に対してリセット端が接
続されており、前記第２ の光センサ装置の光検知によりて発生 された走査信号によりてリセットされ たのち入力端に与えられるクロックパ ルスの数を計数する計数回路と、 （ｉ）前記第１の光センサ装置に属する光センサな前記
投光装置による被計測領域 の走査方向に対応して少なくとも１つ 置きに選択して作成した複数の群に対 し各群ごとにそれぞれｌ対ｌで付設さ れており、前記第１の光センサ装置に 屈する光センサが動作されたときに前 記計数回路から入力されている計数内 容を記憶する複数の記憶装置と。

（ｊ）前記記憶装置の記憶内容を受け取り、前記投光装
置による反射点の走査角を 算出し、かつ算出された走査角から前 記反射点の位置を算出するデータ処理 装置と を備えてなるので、 （ｉ）投光装置による被計測領域の走 査方向に対応して第１の光セン サ装置に属する光センサを所定 時間だけ順次動作せしめること ができる効果 を有し、ひいては （ｉｉ）第１の光センサ装置に属する少なくとも１つ置
きの光センサに 対して比較増幅回路および記憶 装置を共用できる効果 を有し、結果的に （ｉｉｉ）物体の計測に所要の時間を増加せしめること
なく、比較増幅回 路および記憶装置の個数を大幅 に削減できる効果 を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる物体計測装置の一実施例を示す
斜視図、第２図（ａ）　（ｂ）は第１図実施例の一部を
拡大して示す拡大部分回路図、第３図は第１図実施例の
一部を拡大して示す拡大部分回路図、第４図は第１図実
施例の動作を説明するための動作説明図である。 ■・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・投光装置
１２・・・・・・・・・・・・・・・・・・スリット光
発生装置１２１・・・・・・・・・・・・・・光源１２
２・・・・・・・・・・・・・・同情レンズ１４・・・
・・・・・・・・・・・・・・・走査装置１４１・・−
・・・・・・・・・・・ｑツー１４２・・・・・・・・
・・・・・・回転駆動装置２０・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・被計測物体３０・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・受光装置３１・・・・・・・・
・・・・・・・・・・結像装置３２・・・・・・・・・
・・・・・・・・・撮像装置３２１、、〜３２１−、：
Ｉ、・・光トランジスタ３２２□１〜３２２．、　！　
　・・比較増幅回路３２Ｌ、　ｒ〜３２３．、ユ　・・
記憶装置３２４　　・・・・・・・・・・・・計数回路
３２５、〜３２５３ｎ・・・・・・スイッチング回路３
２６・・・・・・・・・・・・・・シフトレジスタゴ２
６．〜３２６３１１・・・・・・フリップフロップ３２
１Ａ、　３２７Ｂ−・・・・・・・クロックパルス発生
回路 ３２８・・・・・・・・・・・・・・データ集積装置３
２８＋、　ｒ〜３２８．、　ｚｎ・・記憶葡城３２９・
・・・・・・・・・・・・・制御パルス発生回路３３・
・・・・・・・・・・・・・・・・・走査検出装置３３
１・・・・・・・・・・・・・・光トランジスタ３３２
・・・・・・・・・・・・・・比較増幅回路４０・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・データ処理装置旧
・・・・・・・・・・・・・・・・・・読込信号発生回
路４２・・・・・・・・・・・・・・・・・・記憶装置
４３・・・・・・・・・・・・・・・・・・演算回路４
４・・・・・・・・・・・・・・・・・・記憶装置４５
・・・・・・・・・・・・・・・・・・表示装置４６・
・・・・・・・・・・・・・・・・・記録装置特許出願
人　財団法人　熊木テクノポリス財団代理人　　　弁理
士　　工　藤　　　隆　夫第３図

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）（ａ）被計測領域を走査するための光を発生する
   投光装置と、 （ｂ）前記投光装置によって発生された光が被計測領域
   に配置された被計測物体によって反射されることにより
   得られた反射光を収束して前記被計測物体における光の
   反射点の像を結像せしめる結像装置と、 （ｃ）前記結像装置によって結像された反射点の像によ
   って動作せしめられるよう配設された複数の光センサか
   らなる第１の光センサ装置と、 （ｄ）前記投光装置で被計測領域を走査するために発生
   された光によって動作せしめられる第２の光センサ装置
   と、 （ｅ）前記第２の光センサ装置の光検知によって発生さ
   れた走査信号に応じて制御パルスを発生する制御パルス
   発生回路と、 （ｆ）前記制御パルス発生回路に対してデータ入力端が
   接続されており、前記制御パルスを受け取ったのち順次
   シフトせしめてスイッチング信号を発生するシフトレジ
   スタと、 （ｇ）前記第１の光センサ装置に属する光センサと前記
   シフトレジスタとの間に対し、 前記投光装置による被計測領域の走査方向に対応してそ
   れぞれ配設されており、 前記スイッチング信号に応じて前記第１の光センサ装置
   に属する光センサに対し保持電圧を一定時間だけ供給す
   るための少なくとも１つのスイッチング回路と、 （ｈ）前記第２の光センサ装置に対してリセット端が接
   続されており、前記第２の光センサ装置の光検知によっ
   て発生された走査信号によってリセットされたのち入力
   端に与えられるクロックパルスの数を計数する計数回路
   と、 （ｉ）前記第１の光センサ装置に属する光センサを前記
   投光装置による被計測領域の走査方向に対応して少なく
   とも１つ置きに選択して作成した複数の群に対し各群ご
   とにそれぞれ１対１で付設されており、 前記第１の光センサ装置に属する光センサが動作された
   ときに前記計数回路から入力されている計数内容を記憶
   する複数の記憶装置と、 （ｊ）前記記憶装置の記憶内容を受け取り、前記投光装
   置による反射点の走査角を算出し、かつ算出された走査
   角から前記反射点の位置を算出するデータ処理装置と を備えてなることを特徴とする物体計測装置。
2. （２）複数の記憶装置とデータ処理装置との間にデータ
   集積装置を配置しておき、前記複数の記憶装置の記憶内
   容を前記データ集積装置に一旦集積したのち前記データ
   処理装置に対して与えてなることを特徴とする特許請求
   の範囲第（１）記載の物体計測装置。
3. （３）投光装置によって発生される光が、ビーム光でな
   ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項もしくは
   第（２）項記載の物体計測装置。
4. （４）投光装置によって発生される光が、スリット光で
   なることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項もしく
   は第（２）項記載の物体計測装置。
5. （５）投光装置が、スリット光を発生するスリット光発
   生装置と、前記スリット光の進行方向を一定速度で変化
   せしめて被計測領域を走査する走査装置とを包有してな
   ることを特徴とする特許請求の範囲第（４）項記載の物
   体計測装置。
6. （６）走査装置が、スリット光発生装置の発生したスリ
   ット光を反射するためのミラーと、前記ミラーを回転せ
   しめる回転装置とを包有してなることを特徴とする特許
   請求の範囲第（５）項記載の物体計測装置。
7. （７）スリット光発生装置が、気体レーザ光源と前記気
   体レーザ光源によって発生されたレーザ光からスリット
   光を生成するための円筒レンズとによって形成されてな
   ることを特徴とする特許請求の範囲第（５）項もしくは
   第（６）項記載の物体計測装置。
8. （８）スリット光発生装置が、半導体レーザ光源と、前
   記半導体レーザ光源によって発生されたレーザ光を収束
   してビーム光を生成するための球面レンズと、前記ビー
   ム光からスリット光を生成するための円筒レンズとによ
   って形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第
   （５）項もしくは第（６）項記載の物体計測装置。
9. （９）第１、第２の光センサ装置が、光トランジスタで
   形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第（１
   ）項ないし第（８）項のいずれか一項記載の物体計測装
   置。