JPH01180266A - 塗布ノズル - Google Patents
塗布ノズルInfo
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- JPH01180266A JPH01180266A JP457588A JP457588A JPH01180266A JP H01180266 A JPH01180266 A JP H01180266A JP 457588 A JP457588 A JP 457588A JP 457588 A JP457588 A JP 457588A JP H01180266 A JPH01180266 A JP H01180266A
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 133
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 83
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、フィルム、紙などに代表される薄膜状ウェブ
に塗布液を一定量均一に塗布する塗布装置の塗布ノズル
に関するものである。
に塗布液を一定量均一に塗布する塗布装置の塗布ノズル
に関するものである。
従来の技術
各種の写真用フィルム、磁気テープ、印画紙などに代表
される薄膜状ウェブへの塗布液塗布には。
される薄膜状ウェブへの塗布液塗布には。
従来からグラビア塗工方式、キス塗工方式、ダイ塗工方
式など数々の塗工方式が用いられ、各々の使用目的に応
じて使い分けがなされてきた。たとえば磁気テープの塗
工に有効とされるダイ塗工方式の塗布ノズルは、第5図
のように構成されている。すなわち、塗布ノズル11は
、幅方向に亘って形成された貫通穴12およびこの貫通
穴12から先端外面に亘って形成されたスロット14と
を有するノズル本体14と1貫通穴12の開口端を塞ぐ
ようにノズル本体14の両側端面にそれぞれ貼付けられ
た側板15A、15Bと、この一方の側板15Aに接続
されて塗布液を矢印Aで示すように貫通穴12の一端側
′に供給する塗布液供給管16と、他方の側板1
5Bに接続されて貫通穴12の塗布液を矢印Bで示すよ
うに他端側から排出する塗布液排出管17とから構成さ
れていた。この構成において、塗布液供給管16より貫
通穴12の内部に矢印Aで示すように塗布液が供給され
ると、その一部は貫通穴12の内部を流れて矢印Bで示
すように塗布液排出管17から排出され、また残りの塗
布液は、矢印Cで示すようにスロット13を通してノズ
ル本体14の先端部から吐出される。
式など数々の塗工方式が用いられ、各々の使用目的に応
じて使い分けがなされてきた。たとえば磁気テープの塗
工に有効とされるダイ塗工方式の塗布ノズルは、第5図
のように構成されている。すなわち、塗布ノズル11は
、幅方向に亘って形成された貫通穴12およびこの貫通
穴12から先端外面に亘って形成されたスロット14と
を有するノズル本体14と1貫通穴12の開口端を塞ぐ
ようにノズル本体14の両側端面にそれぞれ貼付けられ
た側板15A、15Bと、この一方の側板15Aに接続
されて塗布液を矢印Aで示すように貫通穴12の一端側
′に供給する塗布液供給管16と、他方の側板1
5Bに接続されて貫通穴12の塗布液を矢印Bで示すよ
うに他端側から排出する塗布液排出管17とから構成さ
れていた。この構成において、塗布液供給管16より貫
通穴12の内部に矢印Aで示すように塗布液が供給され
ると、その一部は貫通穴12の内部を流れて矢印Bで示
すように塗布液排出管17から排出され、また残りの塗
布液は、矢印Cで示すようにスロット13を通してノズ
ル本体14の先端部から吐出される。
発明が解決しようとする問題点
ところで、上述した従来の塗布ノズルによると。
貫通穴12の内径りが小さすぎたり、ノズル本体14の
幅すなわちスロット13の幅りが広すぎたりすると、貫
通穴12の内部での一方の側板15Aから他方の側板1
5Bへ向けての、塗布液の圧力降下が大きくなる。塗布
ノズル先端部から矢印Cで示されるように吐出される塗
布液の量は、貫通穴12の内部における塗布液の圧力と
大気圧との差圧に依存して変化する。すなわち1貫通穴
12の内径りが小さすぎたり、スロット13の幅りが広
すぎたりすると、一方の側板15Aから他方の側板15
Bへ向けて塗布液の圧力が大きく降下することとなって
、塗布ノズル先端部から吐出される塗布液の量が塗布ノ
ズル幅方向に大きく変化する。したがって、ウェブに直
接塗布液を転移させるダイ塗工方式の塗布装置にこの塗
布ノズルを使用する場合、貫通穴12の内径りが小さす
ぎたり、スロット13の幅りが広すぎたりすると、転移
させた時点で、幅方向に膜厚むらが生じるという問題を
有していた。
幅すなわちスロット13の幅りが広すぎたりすると、貫
通穴12の内部での一方の側板15Aから他方の側板1
5Bへ向けての、塗布液の圧力降下が大きくなる。塗布
ノズル先端部から矢印Cで示されるように吐出される塗
布液の量は、貫通穴12の内部における塗布液の圧力と
大気圧との差圧に依存して変化する。すなわち1貫通穴
12の内径りが小さすぎたり、スロット13の幅りが広
すぎたりすると、一方の側板15Aから他方の側板15
Bへ向けて塗布液の圧力が大きく降下することとなって
、塗布ノズル先端部から吐出される塗布液の量が塗布ノ
ズル幅方向に大きく変化する。したがって、ウェブに直
接塗布液を転移させるダイ塗工方式の塗布装置にこの塗
布ノズルを使用する場合、貫通穴12の内径りが小さす
ぎたり、スロット13の幅りが広すぎたりすると、転移
させた時点で、幅方向に膜厚むらが生じるという問題を
有していた。
また、第5図に示した塗布ノズルにおいては、スロット
13のすきま量tが大きすぎると、スロット13での流
路抵抗が低下するため、塗布液供給管16を通して貫通
穴12の内部に供給された塗布液が、塗布液排出管17
に至るまでに大量に塗布ノズル先端部から吐出されてし
まい、この場合も塗布ノズル幅方向に吐出むらが生じ、
ウェブに転移させたとき、結局幅方向に膜厚むらを引き
起こすという問題を有していた。
13のすきま量tが大きすぎると、スロット13での流
路抵抗が低下するため、塗布液供給管16を通して貫通
穴12の内部に供給された塗布液が、塗布液排出管17
に至るまでに大量に塗布ノズル先端部から吐出されてし
まい、この場合も塗布ノズル幅方向に吐出むらが生じ、
ウェブに転移させたとき、結局幅方向に膜厚むらを引き
起こすという問題を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、塗布ノズルの構成を変える
ことなく、塗布ノズルの各部の寸法および供給排出する
塗料の流量比を限定することのみによって1幅方向の吐
出むらを±0.5%以下におさえることのできる塗布ノ
ズルを提供するものである。
ことなく、塗布ノズルの各部の寸法および供給排出する
塗料の流量比を限定することのみによって1幅方向の吐
出むらを±0.5%以下におさえることのできる塗布ノ
ズルを提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の塗布ノズルは、ノ
ズル本体の内部に形成された貫通穴に、その一端側から
塗布液を供給してその一部を他端側から排出し、残りの
塗布液を、ノズル本体内でかつ貫通穴とノズル本体外面
とに亘って形成されたスロットから吐出する塗布ノズル
であって、前記貫通穴の内径D、前記スロットのすきま
量t。
ズル本体の内部に形成された貫通穴に、その一端側から
塗布液を供給してその一部を他端側から排出し、残りの
塗布液を、ノズル本体内でかつ貫通穴とノズル本体外面
とに亘って形成されたスロットから吐出する塗布ノズル
であって、前記貫通穴の内径D、前記スロットのすきま
量t。
前記貫通穴から前記ノズル本体の先端外面までの前記ス
ロットの長さS、前記スロットの吐出幅し、および前記
貫通穴の一端から供給される塗布液供給量Qi、前記貫
通穴の他端がら排出される塗布液排出量Q2を、 上式を満足するように選定したものである。
ロットの長さS、前記スロットの吐出幅し、および前記
貫通穴の一端から供給される塗布液供給量Qi、前記貫
通穴の他端がら排出される塗布液排出量Q2を、 上式を満足するように選定したものである。
作用
上式を満足するように、ノズル本体の各部の寸法を選定
したので、塗布ノズルの構成を変更することなく、塗布
ノズル幅方向における塗布液の吐出むらを±0.5%以
下に抑えることができる。
したので、塗布ノズルの構成を変更することなく、塗布
ノズル幅方向における塗布液の吐出むらを±0.5%以
下に抑えることができる。
実施例
以下、本発明の一実施例を第1図に基づき説明する。
第1図において、1は塗布ノズルで、幅方向に亘って形
成された貫通穴2およびこの貫通穴2から先端外面に亘
って形成されたスロット3とを有するノズル本体4と、
貫通穴2の開口端を塞ぐようにノズル本体4の両側端面
にそれぞれ貼付けられた側板5A、5Bと、この一方の
側板5Aに接続されて塗布液を矢印Aで示すように貫通
穴2の一端側に供給する塗布液供給管6と、他方の側板
5Bに接続されて貫通穴2の塗布液を矢印Bで示すよう
に他端側から排出する塗布液排出管7とがら構晟されて
いる。そして、さらに貫通穴2の内径D、スロット3の
すきま量t1貫通穴2がらノズル本体4の先端外面まで
の距離すなわちスロット3の長さS、ノズル本体4の幅
すなわちスロット3の吐出幅L、および貫通穴2の一端
側から供給される塗布液供給量Qい貫通穴2の他端側か
ら排出される塗布液排出量Q2が、 (1)式を満足するように選定されている。
成された貫通穴2およびこの貫通穴2から先端外面に亘
って形成されたスロット3とを有するノズル本体4と、
貫通穴2の開口端を塞ぐようにノズル本体4の両側端面
にそれぞれ貼付けられた側板5A、5Bと、この一方の
側板5Aに接続されて塗布液を矢印Aで示すように貫通
穴2の一端側に供給する塗布液供給管6と、他方の側板
5Bに接続されて貫通穴2の塗布液を矢印Bで示すよう
に他端側から排出する塗布液排出管7とがら構晟されて
いる。そして、さらに貫通穴2の内径D、スロット3の
すきま量t1貫通穴2がらノズル本体4の先端外面まで
の距離すなわちスロット3の長さS、ノズル本体4の幅
すなわちスロット3の吐出幅L、および貫通穴2の一端
側から供給される塗布液供給量Qい貫通穴2の他端側か
ら排出される塗布液排出量Q2が、 (1)式を満足するように選定されている。
上記(1)式を満足させるようにノズル本体4の各部の
寸法を選定すると、塗布ノズルの幅方向における塗布液
(矢印Cで示す)の吐出むらが±0.5%以下に抑えら
れ、ウェブに形成される膜厚むらの発生が防止される。
寸法を選定すると、塗布ノズルの幅方向における塗布液
(矢印Cで示す)の吐出むらが±0.5%以下に抑えら
れ、ウェブに形成される膜厚むらの発生が防止される。
ここで、上記のような関係に選定した理由について説明
する。
する。
第1図の側板5Aから側板5Bに至る方向に座標軸Xを
とる。座標軸Xの原点は、側板5Aとノズル本体4の接
する所にとる。ノズル本体4の内部を流れる塗布液の圧
力をP(位置Xの関数)とし、貫通穴2の内部での塗布
液の流れが円管内のハーゲンポアズイユ流れにしたがう
とし、またスロット3の内部での貫通穴2からノズル本
体4の先端部へ向かう塗布液の流れが平行平板内のハー
ゲンボアズイユ流れにしたがうとする。また、スロット
3を通してノズル本体4の先端部から単位幅当り吐出さ
れる塗布液の流量が、貫通穴2の内部を通して流れる塗
布液の流動に影響を及ぼさない程度に小さいとする。こ
のとき、貫通穴2の位[Xにおける断面を通過する塗布
液の量と1位置X十ΔXのにおける断面を通過する塗布
液の量との差が、位置XからX+ΔXの範囲でノズル本
体4の先端部から吐出される塗布液の量と等しく、かつ
スロット3の内部では貫通穴2の主軸と平行な方向の塗
布液流れが無視できるとすることから。
とる。座標軸Xの原点は、側板5Aとノズル本体4の接
する所にとる。ノズル本体4の内部を流れる塗布液の圧
力をP(位置Xの関数)とし、貫通穴2の内部での塗布
液の流れが円管内のハーゲンポアズイユ流れにしたがう
とし、またスロット3の内部での貫通穴2からノズル本
体4の先端部へ向かう塗布液の流れが平行平板内のハー
ゲンボアズイユ流れにしたがうとする。また、スロット
3を通してノズル本体4の先端部から単位幅当り吐出さ
れる塗布液の流量が、貫通穴2の内部を通して流れる塗
布液の流動に影響を及ぼさない程度に小さいとする。こ
のとき、貫通穴2の位[Xにおける断面を通過する塗布
液の量と1位置X十ΔXのにおける断面を通過する塗布
液の量との差が、位置XからX+ΔXの範囲でノズル本
体4の先端部から吐出される塗布液の量と等しく、かつ
スロット3の内部では貫通穴2の主軸と平行な方向の塗
布液流れが無視できるとすることから。
次の微分方程式を得ることができる。
ここに、μ:塗布液粘度、D:貫通穴2の内径。
tニスロット3のすきま量、Sニスロット3の長さ、モ
してn:円周率である。微分方程式(2)は解析的に一
般解を求めることができ、C,、C,をここで、スロッ
ト3の吐出幅をLとし。
してn:円周率である。微分方程式(2)は解析的に一
般解を求めることができ、C,、C,をここで、スロッ
ト3の吐出幅をLとし。
とおくと、式(3)は次のように簡略化される。
一方、式(5)中の定数C1,C,は、X=O(7)面
を通してJ塗布液供給管6により供給される塗布液の量
Q1と、X=Lの面を通して、塗布液排出管7により排
出される塗布液の量Q2により定まる。
を通してJ塗布液供給管6により供給される塗布液の量
Q1と、X=Lの面を通して、塗布液排出管7により排
出される塗布液の量Q2により定まる。
ところで、ノズル本体4の先端部から吐出される単位幅
当りの塗布液の量をQとすると、Qは貫通穴2の内部の
圧力Pにより、 t3 p−・・・・・(6) Q=12.8 と表わされる。したがって、吐出量Qの分布は。
当りの塗布液の量をQとすると、Qは貫通穴2の内部の
圧力Pにより、 t3 p−・・・・・(6) Q=12.8 と表わされる。したがって、吐出量Qの分布は。
式(6)に式(5)を代入し、定数C1,C,を供給量
Q1、排出量Q2によって定めることにより、次の式で
表わされる。
Q1、排出量Q2によって定めることにより、次の式で
表わされる。
RX
Q=Lsi、h(R) [Qlcosh(R(1−L
))−Q、cosh(R)] ”・(7)式(7
)の両辺を、次式で定義されるノズル本体4の先端部か
らの平均吐出量−6−で無次元化する。
))−Q、cosh(R)] ”・(7)式(7
)の両辺を、次式で定義されるノズル本体4の先端部か
らの平均吐出量−6−で無次元化する。
その結果、次式で表わされるノズル本体4の先端部から
の無次元化された吐出量分布が求まる。
の無次元化された吐出量分布が求まる。
Q/ζ−” 、 [cosh(R(1−盈))(
1−Qz/ Qx)sxnh(R) L−
”cash(RX)] ”・(9)Qt L したがって、平均吐出量Qに対する吐出量Qの幅方向の
ばらつきを±ε[%]とすると、式(9)より、 2g=[(Q/Q)x−o (Q/Q)x−tlX1
00同値)として、パラメータである種々のQ2/Q。
1−Qz/ Qx)sxnh(R) L−
”cash(RX)] ”・(9)Qt L したがって、平均吐出量Qに対する吐出量Qの幅方向の
ばらつきを±ε[%]とすると、式(9)より、 2g=[(Q/Q)x−o (Q/Q)x−tlX1
00同値)として、パラメータである種々のQ2/Q。
に対してグラフにしたものが第2図である。第2と、幅
方向の吐出ばらつきが小さいことがわかる。
方向の吐出ばらつきが小さいことがわかる。
さて第2図より、吐出ばらつきεを十分小さくt 3
t、 2 するためには、D4s(1,0が必要である。このとき
、式(4)より、Rの値自体も十分小さくなり、tan
h(’虜’ ・・・・・(11)が成立
する。したがって、幅方向の吐出ばらつき表は、その値
が十分小さいとき1式(lo) 、 (11)および式
(4)より。
t、 2 するためには、D4s(1,0が必要である。このとき
、式(4)より、Rの値自体も十分小さくなり、tan
h(’虜’ ・・・・・(11)が成立
する。したがって、幅方向の吐出ばらつき表は、その値
が十分小さいとき1式(lo) 、 (11)および式
(4)より。
=−玉シ”−X100
’ 1−Q、/Q。
よび供給排出する塗布液流量と1幅方向の吐出ばらつき
の関係を与える式である。したがって、16t”L”ゝ
−−≦0.005 3HD’5(Ql Q*) を満足するよう、塗布ノズル1の各部の寸法および供給
排出する塗布液流量を定めるとき、塗布ノズル1の先端
部から吐出される塗布液の幅方向の吐出ばらつきを、±
0.5%以下に抑えることが可能となる。
の関係を与える式である。したがって、16t”L”ゝ
−−≦0.005 3HD’5(Ql Q*) を満足するよう、塗布ノズル1の各部の寸法および供給
排出する塗布液流量を定めるとき、塗布ノズル1の先端
部から吐出される塗布液の幅方向の吐出ばらつきを、±
0.5%以下に抑えることが可能となる。
なお、ビデオテープ用磁気テープ塗工後の幅方向塗膜厚
さのばらつきの基準値は、通常±5%以下が使用されて
いる。そのため、塗布ノズル1の先端部から吐出される
塗布液の幅方向のばらつきを、±0.5%以下に抑える
ようにすれば十分である6式(1)の右辺をo、oos
と設定したのは、この理由による。
さのばらつきの基準値は、通常±5%以下が使用されて
いる。そのため、塗布ノズル1の先端部から吐出される
塗布液の幅方向のばらつきを、±0.5%以下に抑える
ようにすれば十分である6式(1)の右辺をo、oos
と設定したのは、この理由による。
次に、上記の(1)式を満足するように製作した3個の
塗布ノズルについて、塗布液を吐出させた結果について
説明する。
塗布ノズルについて、塗布液を吐出させた結果について
説明する。
具体例1
第1図に示された塗布ノズル1の各部の寸法および塗布
液の供給量、排出量を第1表に示す値にそれぞれ設定し
、塗布ノズル1の先端部かもビデオテープ用レギュラー
塗料を吐出させ1幅方向の塗布液吐出量分布を測定した
。第1表に示す各部の寸法および供給・排出量を用いて
、式(1)の左辺を計算すると、9.7 X 10″″
′となり1式(1)の不等式を゛十分満足する。そして
、塗布ノズル1の先端部から吐出される一塗布液量Qの
平均吐出量すに対する幅方向のばらつきΔQは、ノズル
本体4の両端から3騰園の範囲を除いて、±0.1%未
満のばらつきどなった(ΔQの測定値は、測定誤差と同
等またはそれ以下)。
液の供給量、排出量を第1表に示す値にそれぞれ設定し
、塗布ノズル1の先端部かもビデオテープ用レギュラー
塗料を吐出させ1幅方向の塗布液吐出量分布を測定した
。第1表に示す各部の寸法および供給・排出量を用いて
、式(1)の左辺を計算すると、9.7 X 10″″
′となり1式(1)の不等式を゛十分満足する。そして
、塗布ノズル1の先端部から吐出される一塗布液量Qの
平均吐出量すに対する幅方向のばらつきΔQは、ノズル
本体4の両端から3騰園の範囲を除いて、±0.1%未
満のばらつきどなった(ΔQの測定値は、測定誤差と同
等またはそれ以下)。
第1表
以上のように、式(1)を満足する塗布ノズル1を、第
1表にしたがって作成し塗布液を吐出させてみたところ
、ノズル本体4の両端から3m鵬の範囲を除いて1幅方
向の塗布液の吐出ばらつきを、±0.1%未満に抑える
ことができた。なお、ノズル本体4の両端から31園の
範囲で、吐出量が均一とならないのは、この範囲でのス
ロット3の内部での塗布液の流れが、両端の側板5Aお
よび側板5Bから影響を受けるためである。
1表にしたがって作成し塗布液を吐出させてみたところ
、ノズル本体4の両端から3m鵬の範囲を除いて1幅方
向の塗布液の吐出ばらつきを、±0.1%未満に抑える
ことができた。なお、ノズル本体4の両端から31園の
範囲で、吐出量が均一とならないのは、この範囲でのス
ロット3の内部での塗布液の流れが、両端の側板5Aお
よび側板5Bから影響を受けるためである。
具体例2
第1図に示された塗布ノズル1の各部の寸法および塗布
液の供給量、排出量を第2表に示す値にそれぞれ設定し
、塗布ノズル1の先端部からビデオテープ用レギュラー
塗料を吐出させ、幅方向の塗布液吐出量分布を測定した
。第2表に示す各部の寸法および供給・排出量を用いて
1式(1)の左辺を計算すると、9.6 X 10−’
となり1式(1)の不等式を満足する。そして、塗布ノ
ズル1の先端部から吐出される塗布液量Qの平均吐出量
可に対する幅方向のばらつきΔQの測定結果を、第3図
に示す、第3図より、幅方向の吐出量のばらつきΔQは
、塗布ノズル本体の両端から3■Iを除いて、±0.1
6%以下のばらつきとなった。
液の供給量、排出量を第2表に示す値にそれぞれ設定し
、塗布ノズル1の先端部からビデオテープ用レギュラー
塗料を吐出させ、幅方向の塗布液吐出量分布を測定した
。第2表に示す各部の寸法および供給・排出量を用いて
1式(1)の左辺を計算すると、9.6 X 10−’
となり1式(1)の不等式を満足する。そして、塗布ノ
ズル1の先端部から吐出される塗布液量Qの平均吐出量
可に対する幅方向のばらつきΔQの測定結果を、第3図
に示す、第3図より、幅方向の吐出量のばらつきΔQは
、塗布ノズル本体の両端から3■Iを除いて、±0.1
6%以下のばらつきとなった。
第2表
以上のように1式(1)を満足する塗布ノズル1を、第
2表にしたがって作成し塗布液を吐出させてみたところ
、ノズル本体4の両端から3mmの範囲を除いて、幅方
向の塗布液の吐出ばらつきを、±0.16%以下に抑え
ることができた。
2表にしたがって作成し塗布液を吐出させてみたところ
、ノズル本体4の両端から3mmの範囲を除いて、幅方
向の塗布液の吐出ばらつきを、±0.16%以下に抑え
ることができた。
具体例3
第1図に示された塗布ノズル1の各部の寸法および塗布
液の供給量、排出量を第3表に示す値にそれぞれ設定し
、塗布ノズル1の先端部からビデオテープ用レギュラー
塗料を吐出させ、幅方向の塗布液吐出量分布を測定した
。第3表に示す各部の寸法および供給・排出量を用いて
1式(1)の左辺を計算すると、1.83 X 10−
”となり、式(1)の不等式を満足する。そして、塗布
ノズル1の先端部から吐出される塗布液量Qの平均吐出
量子に対する幅方向のばらつきΔQの測定結果を、第4
図に示す、第4図より1幅方向の吐出量のばらつきΔQ
は、ノズル本体4の両端から31を除いて、±0.27
%以下のばらつきとなった。
液の供給量、排出量を第3表に示す値にそれぞれ設定し
、塗布ノズル1の先端部からビデオテープ用レギュラー
塗料を吐出させ、幅方向の塗布液吐出量分布を測定した
。第3表に示す各部の寸法および供給・排出量を用いて
1式(1)の左辺を計算すると、1.83 X 10−
”となり、式(1)の不等式を満足する。そして、塗布
ノズル1の先端部から吐出される塗布液量Qの平均吐出
量子に対する幅方向のばらつきΔQの測定結果を、第4
図に示す、第4図より1幅方向の吐出量のばらつきΔQ
は、ノズル本体4の両端から31を除いて、±0.27
%以下のばらつきとなった。
(以下余白)
第3表
以上のように、式(1)を満足する塗布ノズル1を、第
3表にしたがって作成し塗布液を吐出させ −て
みたところ、ノズル本体4の両端から3mmの範囲を除
いて1幅方向における塗布液の吐出ばらつきを、±0.
27%以下に抑えることができた。
3表にしたがって作成し塗布液を吐出させ −て
みたところ、ノズル本体4の両端から3mmの範囲を除
いて1幅方向における塗布液の吐出ばらつきを、±0.
27%以下に抑えることができた。
発明の効果
以上のように本発明の構成によると、ノズル本体の内部
に形成された貫通穴に、その一端側がら塗布液を供給し
てその一部を他端側から排出し、残りの塗布液を、ノズ
ル本体内でかつ貫通穴とノズル本体外面とに亘って形成
されたスロットから吐出する塗布ノズルであって、前記
貫通穴の内径D、前記スロットのすきま量t、前記貫通
穴から前記ノズル本体の先端外面までの前記スロットの
長さS、前記スロットの吐出幅L、および前記貫通穴の
一端から供給される塗布液供給量Qい前記貫通穴の他端
から排出される塗布液排出量Q。
に形成された貫通穴に、その一端側がら塗布液を供給し
てその一部を他端側から排出し、残りの塗布液を、ノズ
ル本体内でかつ貫通穴とノズル本体外面とに亘って形成
されたスロットから吐出する塗布ノズルであって、前記
貫通穴の内径D、前記スロットのすきま量t、前記貫通
穴から前記ノズル本体の先端外面までの前記スロットの
長さS、前記スロットの吐出幅L、および前記貫通穴の
一端から供給される塗布液供給量Qい前記貫通穴の他端
から排出される塗布液排出量Q。
を、
上式を満足するように選定したので、塗布ノズルの構成
を変更することなく、塗布ノズル幅方向における吐出む
らを±0.5%以下に抑えることができ、したがってウ
ェブに形成される塗布膜厚にむらが生じるのを防止する
ことができる。
を変更することなく、塗布ノズル幅方向における吐出む
らを±0.5%以下に抑えることができ、したがってウ
ェブに形成される塗布膜厚にむらが生じるのを防止する
ことができる。
第1図は本発明の一実施例における塗布ノズルの一部切
欠斜視図、第2図はQ、/Q、をパラメーけるばらつき
ξとの関係を示す特性図、第3図および第4図はそれぞ
れ具体例2および具体例3における塗布ノズル先端部か
ら吐出される塗布液量の幅方向におけるばらつき測定結
果を示す特性図。 第5図は従来の塗布ノズルの一部切欠斜視図である。 1・・・塗布ノズル、2・・・貫通穴、3・・・スロッ
ト。 4・・・ノズル本体、5A、5B・・・側板、6・・・
塗布液供給管、7・・・塗布液排出管。 代理人 森 本 義 弘 −一 第2図 t3ぴ 0’s 第3図 第6図 側1励°6の距離χ(cm)
欠斜視図、第2図はQ、/Q、をパラメーけるばらつき
ξとの関係を示す特性図、第3図および第4図はそれぞ
れ具体例2および具体例3における塗布ノズル先端部か
ら吐出される塗布液量の幅方向におけるばらつき測定結
果を示す特性図。 第5図は従来の塗布ノズルの一部切欠斜視図である。 1・・・塗布ノズル、2・・・貫通穴、3・・・スロッ
ト。 4・・・ノズル本体、5A、5B・・・側板、6・・・
塗布液供給管、7・・・塗布液排出管。 代理人 森 本 義 弘 −一 第2図 t3ぴ 0’s 第3図 第6図 側1励°6の距離χ(cm)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ノズル本体の内部に形成された貫通穴に、その一端
側から塗布液を供給してその一部を他端側から排出し、
残りの塗布液を、ノズル本体内でかつ貫通穴とノズル本
体外面とに亘って形成されたスロットから吐出する塗布
ノズルであって、前記貫通穴の内径D、前記スロットの
すきま量t、前記貫通穴から前記ノズル本体の先端外面
までの前記スロットの長さS、前記スロットの吐出幅L
、および前記貫通穴の一端から供給される塗布液供給量
Q_1、前記貫通穴の他端から排出される塗布液排出量
Q_2を、 ▲数式、化学式、表等があります▼ 上式を満足するように選定した塗布ノズル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63004575A JP2557437B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 塗布ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63004575A JP2557437B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 塗布ノズル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01180266A true JPH01180266A (ja) | 1989-07-18 |
JP2557437B2 JP2557437B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=11587833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63004575A Expired - Fee Related JP2557437B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 塗布ノズル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2557437B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1419827A2 (en) | 2002-11-12 | 2004-05-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Extrusion type nozzle and coating apparatus using the same |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101304418B1 (ko) * | 2006-02-03 | 2013-09-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 제조용 슬릿 코터와 이를 이용한 표시장치의제조방법 |
-
1988
- 1988-01-12 JP JP63004575A patent/JP2557437B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1419827A2 (en) | 2002-11-12 | 2004-05-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Extrusion type nozzle and coating apparatus using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2557437B2 (ja) | 1996-11-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |