JPH01179377A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH01179377A JPH01179377A JP11188A JP11188A JPH01179377A JP H01179377 A JPH01179377 A JP H01179377A JP 11188 A JP11188 A JP 11188A JP 11188 A JP11188 A JP 11188A JP H01179377 A JPH01179377 A JP H01179377A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser gas
- main electrodes
- electrode
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は特に放電電極部におけるレーザガス流を均一化
した高繰返し可能なレーザ発振器に関するものである。
した高繰返し可能なレーザ発振器に関するものである。
（従来の技術）
一般にレーザ発振を得るためには、レーザガス中での空
間的に均一な放電の発生を必要とする。
間的に均一な放電の発生を必要とする。
しかしＴＥＡ−ＣＯ２レーザやエキシマレーザ等の短パ
ルスレーザ光を発生させるパルスレーナ発振装置におい
ては、放電電極部に流入するレーザガス流に部分的な乱
れが生じてガス流か均一とならず、主・放電にむらがで
き特に高繰返し発振時に安定したレーザ出力が得られな
い。
ルスレーザ光を発生させるパルスレーナ発振装置におい
ては、放電電極部に流入するレーザガス流に部分的な乱
れが生じてガス流か均一とならず、主・放電にむらがで
き特に高繰返し発振時に安定したレーザ出力が得られな
い。
従来の放電電極部の構造を第３図に示す。主電極１．２
は光軸中心に相対向して配置されて電極支え板５に固定
されている。一方主電極間で均一なグロー放電を起すた
めには、主電極１，２間のレーザガスを予備電離する必
要があり、このための予備電離電極３はコンデンサー４
を介して上下の電極支え板５に相対向して取付けられて
いる。
は光軸中心に相対向して配置されて電極支え板５に固定
されている。一方主電極間で均一なグロー放電を起すた
めには、主電極１，２間のレーザガスを予備電離する必
要があり、このための予備電離電極３はコンデンサー４
を介して上下の電極支え板５に相対向して取付けられて
いる。
予備電離電極３及び主電極１，２が放電することにより
、この付近のレーザガスが劣化し又ガス温度も上昇して
当然安定した放電が得られない。
、この付近のレーザガスが劣化し又ガス温度も上昇して
当然安定した放電が得られない。
これを避ける為放電部の劣化したレーザガスを新しいレ
ーザガスに換え、又周囲のガス温度を下げるようレーザ
ガスを循環させる方法が一般に採用されている。
ーザガスに換え、又周囲のガス温度を下げるようレーザ
ガスを循環させる方法が一般に採用されている。
従来は第３図の如くガス流に対して主電極１゜２が突出
している構造が一般的であり、コンデンサー５付近でガ
ス流が乱れる上、主電極１，２部分ではガス流路断面積
が急激に小さくなって乱流。
している構造が一般的であり、コンデンサー５付近でガ
ス流が乱れる上、主電極１，２部分ではガス流路断面積
が急激に小さくなって乱流。
渦巻流等が発生する。この様な状態では、レーザガス流
が均一とならない結果、主放電にむらができ、レーザ出
力に大きな変動が生じ、安定した高出力レーザ光を得る
ことができなかった。
が均一とならない結果、主放電にむらができ、レーザ出
力に大きな変動が生じ、安定した高出力レーザ光を得る
ことができなかった。
（発明が解決しようとする問題点）
上記の様に、従来のパルスレーザ発（辰装置においては
、放電電極部に流入するレーザガス流に部分的な乱れが
生じたり、対向して配置された２つの主電極の全長にわ
たって、レーザガス流が均一なものとならないと、主放
電にむらができ、レーザ光の出力に大きな変動が生じ、
安定した高出力レーザ光が得られなかった。
、放電電極部に流入するレーザガス流に部分的な乱れが
生じたり、対向して配置された２つの主電極の全長にわ
たって、レーザガス流が均一なものとならないと、主放
電にむらができ、レーザ光の出力に大きな変動が生じ、
安定した高出力レーザ光が得られなかった。
レーザのパルス繰返し数を上げると、これにほぼ比例し
て放電部のガス流速を速くする必要があるが、従来構造
ではレーザガス流速を速くすると構造上ますますレーザ
ガス流の乱れが増加する傾向があり、高繰返し時に安定
したレーザ光が１ｑら机なかった。
て放電部のガス流速を速くする必要があるが、従来構造
ではレーザガス流速を速くすると構造上ますますレーザ
ガス流の乱れが増加する傾向があり、高繰返し時に安定
したレーザ光が１ｑら机なかった。
そこで、本発明の目的は、主電極部のレーザガス流を均
一化し、安定した放電が行なえ、高出力レーザ光を得る
ことができる高繰返し可能なレーザ発振器を提供するこ
とにおる。
一化し、安定した放電が行なえ、高出力レーザ光を得る
ことができる高繰返し可能なレーザ発振器を提供するこ
とにおる。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本発明のレーザ発振器は、レーザガスを封入した容器と
、この容器内にあってレーザガス中に相対向する陰極お
よび陽極からなる主電極と予価電流電極とを備え、主電
極長手方向に光軸を持ちその先軸直交方向にレーザガス
を流す横方向励起レーデ発振器において、前記主電極の
ガス流方向の前後部に主電極の対向間隙と同じ間隙を介
して対向しレーザガスの入口、出口に向ってその対向間
隙が漸増する整流板を設けたことを特徴とするものであ
る。
、この容器内にあってレーザガス中に相対向する陰極お
よび陽極からなる主電極と予価電流電極とを備え、主電
極長手方向に光軸を持ちその先軸直交方向にレーザガス
を流す横方向励起レーデ発振器において、前記主電極の
ガス流方向の前後部に主電極の対向間隙と同じ間隙を介
して対向しレーザガスの入口、出口に向ってその対向間
隙が漸増する整流板を設けたことを特徴とするものであ
る。
（作 用）
本発明においては、整流板を設けたことにより、主電極
間を流れるレーザガス流を層流とすることができ、安定
した放電現象を１ｑることができる。
間を流れるレーザガス流を層流とすることができ、安定
した放電現象を１ｑることができる。
（実施例）
以下本発明を第１図に示す実施例について説明する。陽
極１および陰極２を電極支え板５に相対向して取り付け
、その両側にコンデンサ４を介して予備電離電極３を取
り付けて放電電極部２０を構成し、これをレーザガス８
を封入した容器６内に配設している。なお図示していな
いが、容器６内にはレーザガス８を矢示Ｙの方向に循環
させる送風機およびこのレーザガス８を冷却する熱交換
器も設けられている。
極１および陰極２を電極支え板５に相対向して取り付け
、その両側にコンデンサ４を介して予備電離電極３を取
り付けて放電電極部２０を構成し、これをレーザガス８
を封入した容器６内に配設している。なお図示していな
いが、容器６内にはレーザガス８を矢示Ｙの方向に循環
させる送風機およびこのレーザガス８を冷却する熱交換
器も設けられている。
この容器６内のレーザガス８は、第１図においては矢示
Ｙのように左方から主電極１．２間を通過して右方へ央
けるガス流路を形成している。そして本発明においては
、レーザガス流か主電極間に流入する直前と流出した直
後に、レーザガス流を制御する相対向した整流板７をそ
の中心軸か主電極１，２間を流れるガス流路の中心軸と
同一直線上になる様配設したことを特徴とするものであ
る。
Ｙのように左方から主電極１．２間を通過して右方へ央
けるガス流路を形成している。そして本発明においては
、レーザガス流か主電極間に流入する直前と流出した直
後に、レーザガス流を制御する相対向した整流板７をそ
の中心軸か主電極１，２間を流れるガス流路の中心軸と
同一直線上になる様配設したことを特徴とするものであ
る。
又、前記相対向した整流板７は、第２図に示すように対
向する端部に予備電離電極３が突出する切欠き１０を有
し、固定ブロック９により電極支え板５に固定される。
向する端部に予備電離電極３が突出する切欠き１０を有
し、固定ブロック９により電極支え板５に固定される。
ざらに整流板７の間隔は、少なくとも主電極１，２に近
い側の間隙９１ と同一の寸法となっており、整流板７
のガス流入口、出口側の間隔ｇ２は漸増しており、全体
は整流板固定ブロック９により電極支え板５に固定され
ると共に、このブロックで整流板７と電極支え板間をレ
ーザガスが通過しないような構造としている。
い側の間隙９１ と同一の寸法となっており、整流板７
のガス流入口、出口側の間隔ｇ２は漸増しており、全体
は整流板固定ブロック９により電極支え板５に固定され
ると共に、このブロックで整流板７と電極支え板間をレ
ーザガスが通過しないような構造としている。
この様に構成された本発明のレーザ発振器においては、
レーザガス流が主電極部１．２で急激に絞られることも
なく、ガス流の乱れの原因の１つであるコンデンサーも
整流板７で覆われてガス流路の外側に配置されているた
め、例えガス流が整流板のガス流入口側で絞られたとし
ても、主電極１．２（”ｊ近でのガス流は層流に近い状
態となる。
レーザガス流が主電極部１．２で急激に絞られることも
なく、ガス流の乱れの原因の１つであるコンデンサーも
整流板７で覆われてガス流路の外側に配置されているた
め、例えガス流が整流板のガス流入口側で絞られたとし
ても、主電極１．２（”ｊ近でのガス流は層流に近い状
態となる。
さらに送風機（図示せず）から整流板７のガス流入口側
までのガス流断面が整流板ガス入口側断面積とほぼ同等
まで順次なだらかに絞ってあれば、より層流に近い状態
が１昇られることは明らかである。
までのガス流断面が整流板ガス入口側断面積とほぼ同等
まで順次なだらかに絞ってあれば、より層流に近い状態
が１昇られることは明らかである。
又、第１図において予備電離電極３は陰、陽極主電極１
，２の電位差の中間電位となるが、整流板７を予備電離
電極３．主型４ｆ！１．２と接しないように配設するこ
とにより整流板７を通しての予備電離電極、主電極間の
沿面絶縁破壊を防ぐことが可能となる。
，２の電位差の中間電位となるが、整流板７を予備電離
電極３．主型４ｆ！１．２と接しないように配設するこ
とにより整流板７を通しての予備電離電極、主電極間の
沿面絶縁破壊を防ぐことが可能となる。
その結果、主放電が安定化してレーザ出力の変動が大幅
に減少すると共に、高速でガスを循環させても、放電部
１，２のガス流の乱れが少なく、高繰返しパルス動作で
も安定したレーザ光を得ることができる。
に減少すると共に、高速でガスを循環させても、放電部
１，２のガス流の乱れが少なく、高繰返しパルス動作で
も安定したレーザ光を得ることができる。
［発明の効果］
以上述べた様に本発明によれば、相対向する主電極のガ
ス流前後部に主電極と平行して相対向する整流板を配設
するという簡単な手段により主電極部のガス流を均一化
して安定した放電か行え、安定したレーザ出力でかつ高
繰返し可能なパルスレーザ発振器を提供することができ
る。
ス流前後部に主電極と平行して相対向する整流板を配設
するという簡単な手段により主電極部のガス流を均一化
して安定した放電か行え、安定したレーザ出力でかつ高
繰返し可能なパルスレーザ発振器を提供することができ
る。
第１図は本発明のレーザ発振器の放電電極の一実施例を
示す断面図、第２図は本発明に使用する整流板を示す斜
視図、第３図は従来のレーザ発（辰器を示す断面図であ
る。 １．２・・・主電極 ３・・・予備電離Ｎ極 ４・・・コンデンサー ５・・・電極支え板 ６・・・容器 ７・・・整流板 ８・・・レーザガス ２０・・・放電電極部 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健
示す断面図、第２図は本発明に使用する整流板を示す斜
視図、第３図は従来のレーザ発（辰器を示す断面図であ
る。 １．２・・・主電極 ３・・・予備電離Ｎ極 ４・・・コンデンサー ５・・・電極支え板 ６・・・容器 ７・・・整流板 ８・・・レーザガス ２０・・・放電電極部 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健
Claims (1)
- （１）レーザガスを封入した容器と、この容器内にあっ
てレーザガス中に相対向する陰極および陽極からなる主
電極と予備電流電極とを備え、主電極長手方向に光軸を
持ちその光軸直交方向にレーザガスを流す横方向励起レ
ーザ発振器において、前記主電極のガス流方向の前後部
に主電極の対向間隙と同じ間隙を介して対向しレーザガ
スの入口、出口に向ってその対向間隙が漸増する整流板
を設けたことを特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11188A JPH01179377A (ja) | 1988-01-05 | 1988-01-05 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11188A JPH01179377A (ja) | 1988-01-05 | 1988-01-05 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01179377A true JPH01179377A (ja) | 1989-07-17 |
Family
ID=11464959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11188A Pending JPH01179377A (ja) | 1988-01-05 | 1988-01-05 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01179377A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
-
1988
- 1988-01-05 JP JP11188A patent/JPH01179377A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
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