JPH01178390A - クラッド板の製造方法 - Google Patents

クラッド板の製造方法

Info

Publication number
JPH01178390A
JPH01178390A JP173788A JP173788A JPH01178390A JP H01178390 A JPH01178390 A JP H01178390A JP 173788 A JP173788 A JP 173788A JP 173788 A JP173788 A JP 173788A JP H01178390 A JPH01178390 A JP H01178390A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron beam
clad
rolling
alloy
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP173788A
Other languages
English (en)
Inventor
Takehisa Seo
武久 瀬尾
Akira Kawakami
章 川上
Yoshihiro Minaki
義博 三奈木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP173788A priority Critical patent/JPH01178390A/ja
Publication of JPH01178390A publication Critical patent/JPH01178390A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K20/00Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
    • B23K20/04Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating by means of a rolling mill

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、主として電子部品のリードフレーム材に使用
されるクラッド板の製造方法に関するものである。
〔従来の技術〕
電子部品のリードフレーム用のクラッド板には、42%
N i−F e合金基板に被着材料としてAI板、 A
gろう板を圧着したもの、あるいは複数の被着材料を積
層圧着した多層クラッド板等が用いられている。
上述のクラッド板の製造方法として従来は、基板の圧着
予定表面を機械的研磨法により清浄化し、被着材料を基
板表面に冷間圧接する方法が一般的である。この方法は
、研磨熱によって研磨表面に微細な亀裂が発生し、金属
粉および他の異物が付着、残存する可能性が大きい、こ
の亀裂や異物の付着によって圧接が不完全となり、被着
材表面に膨れを生じる問題点がある。
この解決策として、特開昭62−89586号公報に開
示されたクラッド板の製造方法は、レザービームを照射
して基板表面を清浄化し、従来の研磨法による亀裂の発
生や異物の残存によって起こる被着材料の膨れを防止し
、さらに基板材表面に硬化層を形成して冷間圧接時に新
生面を出現させることにより基板と被着材料との密着強
度を向上させるものである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述のレーザービームを用いたクラッド板の製造方法で
は、Ar雰囲気下でレーザービーム照射を行なっている
が、基板表面に付着物、油脂、水分等の付着が多い場合
には、高速の照射による付着物の除去にエネルギーを多
く消費するので基板表面の硬化層の厚さにばらつきが生
じ、その結果。
冷間圧接時に新生面の出現にもばらつきが大きくなり、
十分な接合強度が得られない場合がある。
また、レーザー照射時、被着材料の幅に応じたビームの
偏向はミラーを用いて機械的に行なうため、高速でビー
ムを移動する必要がある場合、または2次元的にランダ
ムな照射を行なう場合には、照射精度が下がるという問
題点もある。
本発明は、前述した問題点を解消し、基板表面を清浄化
するとともに、圧延圧着時に均一で微細な新生面を出現
させることにより、圧着強度が優れ良好な表面品質を有
するクラッド板の製造方法を提供することを目的とする
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、金属または合金の圧着基板表面に減圧雰囲気
下で電子ビームを照射し、該照射により形成された照射
面に金属または合金の被着材料を圧延圧着することを特
徴とするクラッド板の製造方法である。
さらに詳しく説明すれば、本発明は減圧雰囲気下で金属
または合金の圧着基板表面に電子ビームを照射し、付着
物、油分、水分等の除去を行なうとともに電子ビームを
偏向操作することによって、基板上に被着材料の幅に応
じた表面硬化層を形成させ、この硬化層上に被着材料を
圧延圧着するものである。
減圧雰囲気とする理由は、電子ビームを使用すること、
油分、水分等の蒸発速度を高め、電子ビームのエネルギ
ーが油分、水分等の蒸発のため多く消費されてしまうの
を防止すること、さらに電子ビーム照射後の清浄な活性
面を維持すること、の3点の目的があるためである。
電子ビームは偏向速度、偏向角度を電磁界により自由に
変えることができるため、圧着基板に所定の幅とサブミ
クロンオーダーの深さを有する表面硬化層を得ることが
でき、従来のレーザービームの照射を偏向する時のよう
なメカニカルなミラーの駆動は不要であり、高速から低
速まで幅広い高精度のビーム制御が可能である。
このようにして形成した表面硬化層に被着材料を圧延圧
着すると表面硬化層は、内部のすべり変形に応じた細分
化を生じ、内部の新生面を露出させることにより、基板
と被着材料との密着強度を著しく向上することができる
〔実施例〕
次に本発明を一実施例に基づいて詳しく説明する。第1
図は、本発明によるクラッド板の製造方法を示す概念図
である。ここでは、42%N1−Fa合金帯板の基板の
幅方向中央にA1箔を1条ストライプ状に圧延圧着する
例を説明する。
42%Ni−Fe合金板1はコイル化されており、図示
しない巻出機から繰出され冷間圧延ロール7の方向へ進
行する。冷間圧延ロール7の後方には電子ビーム3の照
射装置が設置されている。電子ビーム3の照射装置は、
電子銃4.フォーカスレンズ5、偏向レンズ6から構成
されており、電子銃4から発生した電子ビーム3の焦点
位置をフォーカスレンズ5によって調整し、さらに偏向
レンズ6によってA1箔2を圧着するのに必要な幅だけ
電子ビーム3をオシレートするように、磁界を変化させ
る。
42%Ni−Fe合金板1は、幅方向中央位置に所要幅
部分を電子ビーム照射されて極表面層が溶融凝固し、硬
化層を形成すると同時に表面の付着物。
水分、油分等が蒸発除去される。
一方Al箔2は、合金板1の上方から圧延ロール7に送
られ、前記の電子ビーム照射面上に圧延圧着される。こ
の際、照射面の硬化層が内部のすべり変形の影響により
細分化され、内部の新生面が露出した部分にA1箔2が
圧延圧着される。
これらの工程をすべて図示しない減圧槽内において行な
うことにより、油分、水分等の除去速度を高め、外部か
らの異物等の付着を防止するとともに、電子ビーム3の
減衰を防止している。また、A1箔を圧延圧着する工程
、すなわち圧延ロール7とAl箔のコイルは減圧槽外に
出しても1本発明の実施が可能である。
電子ビーム3のエネルギー密度およびオシレート速度等
は、圧着基板および被着材料の寸法や材質等の組合せに
よって依存するため、適宜選択する必要がある。
圧着基板として42%N1−Fe合金板の板厚0.32
+m、板幅35Iを用い、被着材料はAl箔板厚0.0
1m、板幅Lovnとし、減圧槽内圧5×10”’ t
orr以下、基板移動速度100m八scで基板幅方向
中央部の10震幅部分を電子ビーム照射した。
電子ビーム照射装置には出力3KVのものを用い、基板
の幅方向中央部の幅10+mを連続して500Hzでオ
シレートした。上述の硬化処理を行なった後、前記42
%N i−F e合金板にAl箔を圧延ロールによって
、圧延率10%で圧延圧着した。その後、圧延率13〆
の仕上げ圧延を行ない、この実施例の目標である板幅3
5mm、板厚0.25mのストライプ状クラッド板を得
た。得られたクラッド板に550’CX 3分の焼なま
しを施したが、熱処理時に被着材料の膨れの発生は見ら
れず、良好な表面品質を有するクラッド材が得られた。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、減圧雰囲気下で
電子ビームを照射するので水分、油分等の付着物は直ち
に除去され、さらに電子ビームの偏向は電気的に容易に
制御できるため、多種多様なりラッド板の製造に適用で
き、被着材料面に膨れのない良好な表面品質のクラッド
板を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に基づくクラッド板の製造方法を示す
概念図である。 1:42%Ni−Fe合金板、2:Al箔、3:電子ビ
ーム、4:電子銃、5:フォーカスレンズ、6:偏向レ
ンズ、7:圧延ロール

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 金属または合金の圧着基板表面に減圧雰囲気下で電子ビ
    ームを照射し、該照射により形成された照射面に金属ま
    たは合金の被着材料を圧延圧着することを特徴とするク
    ラッド板の製造方法。
JP173788A 1988-01-07 1988-01-07 クラッド板の製造方法 Pending JPH01178390A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP173788A JPH01178390A (ja) 1988-01-07 1988-01-07 クラッド板の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP173788A JPH01178390A (ja) 1988-01-07 1988-01-07 クラッド板の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01178390A true JPH01178390A (ja) 1989-07-14

Family

ID=11509878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP173788A Pending JPH01178390A (ja) 1988-01-07 1988-01-07 クラッド板の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01178390A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11226753A (ja) * 1998-02-19 1999-08-24 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 帯板多層圧着設備
JP2008302370A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Panasonic Corp 接合方法
JP2009028796A (ja) * 2008-11-10 2009-02-12 Toyo Kohan Co Ltd 帯板多層圧着設備

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11226753A (ja) * 1998-02-19 1999-08-24 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 帯板多層圧着設備
JP2008302370A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Panasonic Corp 接合方法
JP2009028796A (ja) * 2008-11-10 2009-02-12 Toyo Kohan Co Ltd 帯板多層圧着設備

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4190759A (en) Processing of photomask
EP0337658B1 (en) Selective plating by laser ablation
EP0205183B1 (en) Clad sheet and process and apparatus for producing same
EP0623957B1 (en) Lead frame manufacturing method
EP1262271A1 (en) Laser machining device and laser machining mask and production method therefor
JPH01178390A (ja) クラッド板の製造方法
EP0419069A2 (en) System for selective laser assisted plating
JPH01184218A (ja) レーザ焼入れ方法
US4941734A (en) Beam allocation and delivery system for excimer laser
JPH07323383A (ja) 金属板の加工方法及びリードフレームの加工方法並びにリードフレーム
JPS61289986A (ja) 電子部品用クラッド板の製造方法
JPS63192261A (ja) ストライプ状クラツド板
US20220032399A1 (en) Metal member and manufacturing method for metal member
JPH079180A (ja) レーザ加工装置
JPS62263878A (ja) クラツド板の製造方法
JPS63212084A (ja) レ−ザ加工装置
JPS62263879A (ja) 電子部品用クラッド板の製造方法
JPS63141733A (ja) クラツド板
JP2684259B2 (ja) クラッド材とその製造方法
JPH0256193B2 (ja)
JP2005243468A (ja) 電子部品及びその製造方法
WO2023112395A1 (ja) レーザ加工装置、レーザ加工方法、および半導体装置の製造方法
JPS63141734A (ja) クラツド板
JPH0571358B2 (ja)
JPS62218587A (ja) レ−ザを利用した選択的エツチング方法