JPH01155283A - 磁気ディスク評価装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁性膜の磁気特性評価装置に係り、特に磁気デ
ィスクの磁気特性分布を精度よく、非接触、非破壊で測
定するのに好適な微小領域磁気特性評価装置に関する。

〔従来の技術〕

近年、磁気記憶装置は小形、大容量化がますます要求さ
れる傾向にあり、これに用いる磁気ディスクでは小形化
、記録の高密度化が図られている。

磁気ディスクの高密度化に伴ってこれに使用される磁性
膜には、保磁力、角形比、残留磁束密度など磁気特性の
向上改善が必要とされるとともに、磁気特性分布などの
均一性が要求されている。

従来・、磁気ディスク等の磁性膜の磁気特性の測定には
振動形磁力計（Ｖ　Ｓ　Ｍ）や誘導形磁力計などが使用
されているが、これらの装置を用いた測定には次のよう
な問題があり、その解決が望まれていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記の測定装置において、 （ａ）　　振動形磁力計では、精度の高い測定ができる
がサンプルサイズが限定されているため。

実質的には磁気ディスクを例えば１０×１０ｍ園程度の
小さなテストサンプルになるよう切断加工して使用する
必要がある。そのうえ、この装置を使用して得られるデ
ータはテストサンプル全体の平均的な磁気特性しか得ら
れず、例えば１１１１ｍ２程度の微小面積の特性評価は
実質的にできない。また。

（ｂ）　　誘導形磁力計では、例えば直径５インチ程度
の磁気ディスクを破壊することなく測定できるが、印加
磁界が振動しているため、大きな磁界を振動させる必要
があり、この点にも電気的問題をかかえており、そのう
え、保磁力が１，０００工−ルステツド程度の磁気ディ
スクでは測定精度が低下することや、さらに上記振動形
磁力計の場合以上に磁気ディスク全面の平均的特性を測
定するものであり、分布の測定には不向である。

などの問題があった。

本発明の目的は、上記のような問題点を根本的に解決し
、非接触、非破壊で、しかも微小面積の磁気特性が測れ
る磁気ディスク用の評価装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するため本発明では、偏光した光を集光
して磁気ディスクに斜に入射する集光光学装置と、該磁
気ディスクに水平磁場を印加する磁場発生装置と、上記
磁気ディスクからの反射光の偏光状態を検出する検出装
置と、上記磁気ディスクを回転し任意の位置に移動し位
置決めできる回転位置決め装置とを備える構成とした。

〔作　用〕

偏光子によって偏光したレーザ光を水平方向に磁化した
磁性体表面に照射すると１例えば文献゛１光マイクロ波
磁気光学”、丸善、１９７６に詳述されているように、
光磁気的相互作用により偏光面が若干回転する、いわゆ
る縦カー効果を生ずる。この効果により回転偏光した反
射光は、検光子を通ることにより光の磁化方向の変化に
応じて光の強弱（明暗）として観測することができる。

そしてこの場合に、水平方向の磁界を掃引すると光の強
度と掃引磁界との関係がヒステリシス曲線を画くように
変化し、結果的に振動形磁力計（ＶＳ　Ｍ　、　Ｖｉｂ
ｒａｔｉｎｇ　Ｓａｍｐｌｅ　Ｍａｇｎｅｔｏｎ＋ｅｔ
ｅｒ）等の通常の磁気特性評価手段によって得られるＢ
−Ｈヒステリシス曲線に相当する。光−磁界ヒステリシ
ス曲線を得ることができる。これにより磁性膜の基本的
諸量である。保磁力（Ｈｅ）、角形比（Ｓ＊）を正確に
測定できる。

上記の光学系において、光源とコリメータレンズと集光
レンズとの選択によって入射光の照射面積を変えるよう
にすることができる。また対物レンズの選択によって受
光面積を変えることができる０両者の面積は等しいこと
が好ましく、このとき最大出力の光信号が得られる。そ
してこれらの照射面積や受光面積を直径１層■以下の円
に相当させるように小さくすることができる。

すなわち前記の、偏光した光を集光して磁気ディスクに
斜に入射する集光光学装置と、該磁気ディスクに水平磁
場を印加する磁場発生装置と、上記ディスクからの反射
光の偏光状態を検出する検出装置との構成は、受光面積
または照射面積に応じた微小領域での磁性膜の特性を非
接触、非破壊で測定することを可能とするものである。

したがってさらに磁気ディスクを回転した任意の位置に
移動し位置決めできる装置を備えるようにした構成は、
磁気ディスク上で二次元的に測定点を移動させながら上
記測定を繰り返すことにより磁気特性の分布を測定する
ことを可能にする。

〔実施例〕

以下本発明を実施例により詳細に説明する。

第１図は１本発明に係る磁気ディスク評価装置の一実施
例を示す説明図である。

１は水銀灯またはＨｅ−Ｎｅ等のレーザ光源である。１
から発射した光束２はコリメータレンズ３を通り偏光子
４により偏光され、集光レンズ５によって磁気ディスク
６を照射する０次に磁気ディスク６で微小に回転偏光し
反射した反射光７は対物レンズ８、検光子９を通り、光
検出器１０で光信号が電気信号に変換される。このとき
磁気ディスクの照射面の直下に設置゛されたワイス形水
平磁界印加装置を掃引することによる反射光７の偏光状
態の変化は、光信号すなわち電気信号の変化として検出
器１０から取り出される。

偏光子４、検光子９は消光比の大きいグラントムソンプ
リズムが好ましく、これらは、ワイス形磁界印加装置に
よる水平磁界の掃引に対し、最大のカー回転角が得られ
るように調整される。

また掃引磁界をＸ−Ｙレコーダ（図示してない）のＸ軸
に、光検出器１０好ましくはホトマル出力をＸ−Ｙレコ
ーダのＹ軸とし、これにより光−磁界ヒステリシス曲線
を得る。そして定盤１２上の回転系１３と縦カー効果測
定光学系およびワイス形磁界印加装置を搭載した移動部
１４を用い、磁気ディスクを移動させる毎に繰り返して
得られる光−磁界ヒステリシス曲線から保持力、角形比
の分布を得る。

第２図は評価フローチャート例である。

磁気ディスクは第１図の評価装置にセットされた後に光
軸調整を行う、これは被測定ディスクから正確な光−磁
界ヒステリシス曲線を得る作業であり、主としてディス
ク面への光の焦点合わせ、最大の光量変化、および正常
なヒステリシス曲線の形状を得るための偏光子、コリメ
ータレンズ、検光子の調整である。またこの調整は磁界
を掃引しながら行うのが好ましく、実際に画いたヒステ
リシス曲線を見ながら調整を繰り返す、所定のデータが
取得できたらこれを記憶させ１次に測定点を移動させる
。これは上記の回転系１３と移動部１４により行い、同
様の動作を繰り返してデータを蓄積記憶させる。こうし
て蓄積されたデータは必要に応じて出力される。出力の
形式は、光−磁界曲線が基本形であるが、データ処理を
加えることによって保磁力、角形比、あるいはそれらの
分布を出力することが可能である。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、磁気ディスクの磁
気特性を、磁気ディスクを破壊することなく、非接触で
、迅速に測定できる。これはインラインの測定装置とし
ては有用であり、磁気ディスクの品質管理を容易にし、
歩留りの向上に大きく貢献するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の説明図、第２図は本発明の
評価フローチャート何回である。 １・・・光源、２・・・入射光束、３・・・コリメータ
レンズ、４・・・偏光子、５・・・集光レンズ、６・・
・磁気ディスク、７・・・反射光束、８・・・対物レン
ズ、９・・・検光子、１０・・・光検出器、１１・・・
ワイス形磁界印加装置、１２・・・定盤、１３・・・回
転系、１４・・・移動機構部。 第　１　面 乙−Ｊｏ第ｙ１喀スク

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、偏光した光を集光して磁気ディスクに斜に入射する
   集光光学装置と、該磁気ディスクに水平磁場を印加する
   磁場発生装置と、上記磁気ディスクからの反射光の偏光
   状態を検出する検出装置と、上記磁気ディスクを回転し
   任意の位置に移動し位置決めできる回転位置決め装置と
   を備えて構成され、磁気ディスクの磁気特性の均一性を
   評価するようなされたことを特徴とする磁気ディスク評
   価装置。