JPH01148319A - 循環濾過システムのモニタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】 本発明は、半導体ウェーハ洗浄用処理液等の化学薬液を
循環ｆ遇するためのプラントシステムの運転状態をモニ
タするための装置に係り、特に、処理液搬送手段として
の空気駆動ポンプを用いるシステムにおいて、その運転
状態をモニタするための装置に関するものである。

【発明の技術的背景およびその問題点】従来、半導体ウ
ェーハ洗浄用処理液等の化学薬液を循環を遇するプラン
トシステムとして、処理槽、処理液用搬送手段およびこ
の搬送手段により搬送される処理液をｔ遇するためのｔ
過手段等を備え、これら各構成が処理液循環用配管で連
結された循環濾過装置が知られている。また、そのシス
テムの処理液搬送手段としては、一般にベローズポンプ
やダイヤプラムポンプ等の空気駆動ポンプが用いられて
いる。このような空気駆動ポンプを用いた循環ｒ過装置
にあって、その運転情況をモニタすることは保守管理上
きわめて重要である。 例えばポンプの運転速度（単位時間当たりの複行程数）
を知ることによって処理液の循環流量が把握でき、この
ことから運転速度の変動によって循環流量の変動も把握
できる。すなわち、運転速度に異常な変動があった場合
には、循環濾過装置内でのフィルタ目詰まり等の流路閉
塞や処理液の漏洩等を早期発見でき、装置の損傷はもと
より、この装置を含む系の被害を最小限にくい止めるこ
とも可能となる。また、ポンプのトータル運転時間を積
算することによってベローズあるいはダイヤフラムの寿
命を予測することも可能となり、計画的な保守管理を行
なってベローズ等が損傷する前にこれを交換する等、損
傷および被害を未然に防ぐことができる。 ところが、モータ駆動によるポンプ等、電気的に駆動さ
れるポンプであればその運転情況を表す電気信号、すな
わちモータに入力される電圧や電流等の値を取り出すこ
とは容易であり、そのモニタリングも容易に行なえるが
、例えば防爆機構が要求されるような系での使用にはモ
ータ駆動ポンプよりも空気駆動ポンプの方が好ましい。 また、例えば精密工学系で用いられる場合には塵埃の発
生を極端に嫌うが、モータ駆動では回転による塵埃の撹
はんや、発熱・対流による塵埃の撹はんが生じやすく、
この点においても空気駆動の方が好まれる。しかしなが
ら空気駆動ポンプでは、駆動力としてポンプに入力され
る空気圧から直接または間接的に十分に精度の高い制御
を行なうだけのモニタリングを行なうことが難しく、従
来では有効なモニタリングシステムがなかった。

【発明の目的】

本発明は上述のごとき従来技術の問題点に鑑み、これら
を有効に解決すべく創案されたものである。 したがってその目的は、空気駆動ポンプを有する循環濾
過システムのモニタリングを可能にするモニタ装置を提
供することにある。

【問題点を解決するための手段】

本発明に係る循環濾過システムのモニタ装置は、従来技
術の問題点を解決し、その目的を達成するために以下の
ような構成を備えている。 すなわち、ベローズまたはダイヤフラム等の柔軟な二つ
の拡縮膜材を交互に拡縮運動させるべく、これら拡縮膜
材をそれぞれ両端に連結させて軸方向へピストン運動す
るシャフト部材を備え、該ンヤフト部材のピストン運動
が駆動空気圧によって駆動される空気駆動ポンプを備え
る化学薬液用循環濾過システムにおいて、上記駆動空気
圧の供給系には、該駆動空気圧を交互に切り替える切り
替え弁とともに該駆動空気圧を供給・停止する主弁が設
けられ、上記空気駆動ポンプには、上記拡縮膜材の拡縮
運動に伴って生じる該拡縮膜材内の変動圧力を大気圧側
へ逃がすべく、膜材内空間と上記空気駆動ポンプのケー
シングの外側とを連通する空気逃がし溝が形成されると
ともに、該ケーシングの外から該空気逃がし溝内へ挿通
され、導通状態で上記薬液のリーク検知信号を出力する
とともに上記主弁を閉じる電極センサが上記膜材内空間
に臨んで設置され、且つ上記シャフト部材がピストン運
動の各死点位置にあることを検知し、その検知信号を出
力する位置センサが設置され、上記位置センサの検知信
号に基づいて上記空気駆動ポンプの運転速度を演算し、
該運転速度の表示信号を出力する信号発生手段と、上記
電極センサのリーク検知信号に基づいて警報を発する警
報発生手段とを備えている。 また好ましくは、上記信号発生手段は、上記検知信号に
基づいて上記空気駆動ポンプの１往復動毎に１回のパル
ス信号を発生する分周手段と、上記パルス信号から単位
時間当たりの複行程数を算出する演算手段と、上記算出
された複行程数が、予め設定された上限値と下限値との
間であるか否かを判断し、これら限界値外の複行程数状
態が所定時間以上連続した場合に上記警報発生手段に警
報発生命令信号を出力する制御手段と、上記単位時間当
たりの複行程数を表示する表示手段とを備えている。ま
た、上記制御手段は比較回路およびタイマ回路を備え、
上記上限値および下限値が該比較回路に設定され、上記
所定時間が該タイマ回路に設定される。

【作用】

本発明に係る循環ｒ過システムのモニタ装置によれば、
拡縮膜材内の圧力変動を吸収する空気逃がし溝を利用し
て膜材内へ電極センサの電極を挿通できる。一方、膜材
に亀裂等の損傷が生じて薬液の膜材内への漏洩があった
場合には、薬液が膜材内の空気の流動に伴って空気逃が
し溝から外部へ流出しようとする。このとき、この溝内
に設置された電極センサは薬液中に浸漬されて導通状態
となり、薬液のリーク検知信号を出力する。また、この
検知信号は、警報発生手段に対して警報を発生さ仕る命
令信号として作用するとともに、駆動空気圧の供給系に
設置されている主弁に対してこれを閉じさせる命令信号
とし７ても作用し、ポンプへの駆動空気圧の供給を停止
してその運転を直ちに停止させる。すなわち、緊急時停
止信号として作用する。なお、この電極センサの芯線は
、薬液が強酸・強アルカリ性である場合には、金あるい
は白金を用い、その被覆にフッ素樹脂を用いれば侵され
ない。 また、位置センサは、二つの膜材を交互に拡縮運動させ
るべくピストン運動するシャフト部材が各死点位置にあ
ることを検知し、その検知信号を出力する。この検知信
号は、拡縮膜材の拡縮運動を忠実に反映して外乱の影響
を殆ど受けないので、信号発生手段はシステムの状態を
より的確に反映するモニタ信号を出力する。この信号発
生手段から出力される信号は信頼性が高く、システムの
運転状態を自動制御により管理するための入力信号とし
て用いることが可能である。すなわち、空気駆動ポンプ
を用いていても外乱の影響が少ないモニタリングが可能
であり、制御動作においても外乱の影響による誤動作を
少なくできる。

【実施例】

以下に本発明の好適一実施例について第１図ないし第６
図を参照して説明する。 まず第１図を参照して、本発明に係るモニタ装置によっ
てモニタリングが行なわれる循環濾過システムの概略構
成を説明する。図中１は半導体ウェーハ等を洗浄するた
めの処理槽であり、洗浄用の薬液によっては侵食されず
、また金属類を溶出しない素材で形成されている。フッ
素樹脂製、フッ素樹脂ライニング製または石英製等いず
れであってもよいが、従来この種の処理に一般的に用い
られているものが使用されている。処理用の薬液は限定
的ではないが、半導体ウェーハの場合は濃硫酸、過酸化
水素を含む濃硫酸であり、一般には８０〜１５０℃で使
用される。 薬液は次第に不純物によって汚染されるため、これをｒ
過手段２で処理し、清浄化して処理液とする。処理液を
処理槽ｌから濾過手段２へ圧送するための搬送手段とし
て、全フッ素樹脂製の空気駆動ポンプ３が用いられ、特
に本実施例ではその具体例としてベローズポンプが用い
られているが、その他の実施例としてベローズポンプに
代わってダイヤフラムポンプが用いられてもよい。 濾過手段２によって清浄化された処理液（ｆ液）は処理
槽１に返される。また、第１図に図示されるように、処
理液が過酸化水素含有硫酸のごとき揮発性物質を含有す
る場合には、濾過手段２と処理槽Ｉとの間にガスセパレ
ータ４およびニードルバルブ５が設けられ、ガスセパレ
ータ４に溜まった処理液は処理槽ｌに返される。また、
分離された気化ガスは排気管６を介して外部へ排出され
る。 ベローズポンプ３は、第２図にその概略構成を示すよう
に、その略中央に作動部７を有しており、その両端に配
置された略対称な一対のベローズ８゜８°が、ケーシン
グ９内の両側端部に区画形成されるポンプ室１０，１０
°内で交互に伸縮（拡縮）運動すること、により、吐出
圧および吸入圧を生み出す。図中１１．１２，１３．１
４はそれぞれ逆止弁であり、１５は吸入口、１６は吐出
口である。 一方のベローズ８′が縮長し、他方のベローズ８が伸長
するとき、逆止弁１１，１３が開、他の逆止弁１２．１
４が閉となって圧送されろ処理液は吸入口１５から逆止
弁１３を経て一方のポンプ室ｌＯ°内へ吸い込まれ、他
方のポンプ室ｌＯ内にあった処理液が逆止弁１１を経て
吐出口１６から濾過手段２（第１図に示す）へ圧送され
る。なお、このとき閉となっている逆止弁１２，１４は
それぞれ吐出側、吸入側の逆流を防止して整流機能を果
たしている。各ベローズ８，８°が逆の動作をするとき
、それぞれの逆止弁１１，１２，１３．１４も逆の動作
をし、同様に処理液を吸入口１５から吸入し、吐出口１
６から上述の濾過手段２へ圧送する。 また、ベローズ８．８°の伸縮運動は、両端が各ベロー
ズ８．８°の先端部内側に固定されたシャフト部材１７
を軸方向へピストン運動させることによってその駆動が
行なわれる。このシャフト部材１７のピストン運動は、
シャフト部材１７の略中央を気密に且つ摺動自在に保持
するケーシング側隔壁部１８と、このケーシング側隔壁
部１８の両側部１ご位置してシャフト部材１７から鍔状
に径方向外方へ延出し、その周縁部がケーシング９の内
周面に気密に摺接するシャフト側隔壁部１９との間に形
成される二つの圧力室２０．２０’内に、交互に駆動空
気圧を作用させることによってその駆動を行なっている
。このようにして駆動されるベローズポンプ３の運転情
況を表す信号を取り出してモニタリングを行なうため、
作動部７には位置センサ２１，２ビが設置されており、
シャフト部材１７がそのピストン運動において各死点位
置に達したときにそのことを検知し、その検知信号を出
力するように構成されている。即ちこの検知信号は、ベ
ローズポンプ３のストローク情況すなわち運転情況を表
す信号として、後述する信号発生手段３７（第６図に示
す）へ出力される。また、ベローズ８゜８°内空間の容
積はベローズ８，８′の伸縮運動に伴って変化するので
、これに伴うベローズ８，８“内空間の圧力変動を吸収
するため、大気圧側に開放された空気逃がし孔２２が形
成されている。なお、図中２３は駆動空気圧の供給系で
あり、２４はその切り替え弁、２５は主弁である。 第３図は第２図に示したベローズポンプ３の詳細な構造
を示す要部拡大半断面正面図である。以下、左右対称の
ものについては一方のみについて説明する。シャフト部
材１７は、左右対称の両端部が各ベローズ８，８”（一
方は図示せず）の頭部２７の内側面中央にコネクティン
グプッシュ２６を介して接続されており、このシャフト
部材１７がケーシング９内でピストン運動することによ
ってベローズ８．８′が交互に伸縮運動を行なう。この
シャフト部材１７の駆動に関与すべく駆動空気圧を受け
るシャフト側隔壁部としてのディスク状受圧部１９がこ
のシャフト部材１７に形成されている。 なお、ベローズ８による吐出圧を稼ぐため、ベローズ８
の頭部２７の面積よりも大きな受圧面積となるようにそ
のディスク径が設定されている。このディスク状受圧部
１９を含めてシャフト部材［７のピストン運動およびベ
ローズ８の伸縮運動を許容しつつこれらを保持するケー
シング９は、以下に説明する中央ドラム部２８、第１シ
リンダ部２９、第２シリンダ部５４および保持部３０の
四つの主な構成からなっている。まずケーシング９の中
央部には、シャフト部材１７の中央部（左右一対のディ
スク状受圧部間の連結部分）を摺動自在に且つ気密に保
持するとともに、駆動空気圧の導入口３２を備えた中央
ドラム部２８が設けられている。 第３図には図示されていないが、この中央ドラム部２８
内には駆動空気圧の供給を左右の各作動部構成へ切り替
えるための諸機構が収納されている。 この中央ドラム部２８の両側に隣接して第１シリンダ部
２９が設けられ、中央ドラム部２８の端面がケーシング
側隔壁部１８となって、これと第１シリンダ部２９の内
周面とディスク状受圧部１９とによって圧力室２０が形
成されている。すなわち、シャフト部材１７のディスク
状受圧部１９は、その周側面が第１シリンダ部２９の内
周面に対して、それとの間でシールされつつ摺接し、こ
の圧力室２０を拡縮すべくピストン運動をする。なお、
第１シリンダ部２９は、第３図に示すように、筒状部３
４と盤状部３５とから大略なっており、盤状部３５の中
央部でシャフト部材１７の端部を摺動自在に保持してい
る。さらにこの第１シリンダ部２９に隣接して第２シリ
ンダ部５４内にはベローズ８が収納され、また処理液が
吸入吐出されるポンプ室ＩＯが形成される。そして、こ
の第２シリンダ部５４の周縁部に嵌合してこれを第１シ
リンダ部２９に締め付は固定するリング状の保持部３０
が設けられている。その締め付は固定手段としてはボル
ト３１が用いられている。これらケーシング９の各構成
部は、それぞれの組み付は部で気密性を保持しなければ
ならず、ボルト３１等の強力な締め付は力に対して耐え
られる強度が必要である。したがって、ベローズ８や第
２シリンダ部５４のように処理液に接触する部分以外の
構成部は温度変化に対しても強いステンレス鋼によって
形成されており、特に第１シリンダ部２９は、万一の処
理液のリークに対しても備えるため、その表面にフッ素
樹脂がコーティングされている。 ベローズ８のケーシング９への固定は、ベローズ８の端
部で径方向外方へ延出されてなるフランジ部３３が第１
シリンダ部２９と第２シリンダ部５４との間に挾持され
て締め付けられることによってなされている。さらに、
フランジ部３３の内周面側には第１シリンダ部２９の盤
状部３５から突出する環状凸部３６がこれに沿って接触
している。 これは、保持部３０による第１シリンダ部２９と第２シ
リンダ部５４との締め付は力がフランジ部３３に対して
径方向外方斜めから作用するので、ベローズ８が伸縮運
動繰り返すうちにフランジ部３３が径方向内方へ徐々に
ずれこむのを防止するための構造である。すなわち、フ
ランジ部３３が幅広にされてシール而を大きくするのみ
ならず、摩擦力を大きくして上述のフランジ部３３の内
傾を防止する。 次に第１シリンダ部２９の盤状部３５の構造について説
明する。第４図は本実施例の第１シリンダ部２９を盤状
部３５側から見た側面図である。 図示するように、中央にシャフト部材１７を挿通させて
支持するボス部４７が形成されている。このボス部４７
の周囲に３箇所形成されている穴は、ベローズ８の伸縮
に伴うベローズ８内の空気圧変動の大部分を第１シリン
ダ部２９内の盤状部３５とシャフト部材■７のディスク
状受圧部１９との間に形成される室４８へ逃がすための
連通孔４９である。これらの連通孔４９は、例えばベロ
ーズ８が損傷したり、あるいはベローズ８のフランジ部
３３の気密性が破れたりして、万一ベローズ８内に処理
液が流入した場合でも、その処理液が連通孔４９を通っ
て室４８側へ流入することがないよう、３箇所とも中央
から上の高い位置に形成されている。図中３６は、ベロ
ーズ８のフランジ部３３の内周面側に沿って環状に突出
している環状凸部であり、盤状部３５の最下端部から中
心へ向かって環状凸部よりも内側へ至るまで、上記連通
孔４９では逃がしきれないベローズ８内の空気圧変動を
大気圧へ開放する空気逃がし溝２２が上述の空気逃がし
孔２２として形成されている。また、この空気逃がし溝
２２内には、２本の白金芯線５０゜５０を有する電極セ
ンサ５１が挿通されている。 この電極センサ５１は、第５図に示すように、それぞれ
の芯線５０，５０が四フッ化エチレンーパーフルオルア
ルキルビニルエーテル共重合樹脂（ＰＦＡ）のチューブ
５２によって被覆されており、ベローズ内空気の流動の
影響を受けて互いの先端が接触することのない程度にそ
の被覆チューブ５２から露出され、その露出部分がベロ
ーズ内空間に臨んで空気逃がし溝２２内に位置されてい
る。したがって、ベローズ８に亀裂やピンホールが生じ
て処理液のリークがあった場合には、ベローズ８内に流
出した処理液がベローズ内空気の流動とともに空気逃が
し溝２２を通って重力方向下方へ且つケーシング９の外
へ流下しようとする。白金およびフッ素樹脂は強酸・強
アルカリ性の薬液に対して安定しており、侵されること
はない。芯線５０゜５０は、処理液のリークに伴って処
理液中に浸漬されると電気的に導通し、リレーユニット
（図示せず）における接点を遮断させ、駆動空気圧の供
給系２３に設置されている電磁弁の主弁２５を閉じる。 したがって、ベローズポンプ３の運転は処理液のリーク
とともに自動的に停止され、それ以上リークが進展する
のを防止できる。また、ＰＦＡチューブ５２で被覆され
た状態のそれぞれの線は１本に束ねられてさらに熱収縮
性のＰＦＡチューブ５３で被覆されている。なお、空気
逃がし溝２２は、ベローズ８内の圧力変動を吸収するだ
けの機能のためには、外周端から径方向内方へ延在して
環状凸部に僅かにかかる程度の位置（図中仮想線で示す
）まで延びていれば十分であるが、この場合には、芯線
５０，５０の先端が環状凸部３６の壁面に極めて接近し
て位置することになるため、この壁面に接触して誤動作
するおそれがあり、これを防止するため空気逃がし溝２
２は環状凸部３６を貫通してさらに内方へ延びている。 次に、上述のごとく構成されたベローズポンプ３を備え
た循環ｒ過装置におけるモニタリングシステムについて
説明する。第６図に示すように、ベローズポンプ３の位
置センサ２１，２１’からの信号は信号発生手段３７へ
出力される。この信号は、シャフト部材１７の実際のピ
ストン運動を検知しているものであって、駆動空気圧の
変動を検知する場合よりもはるかに外乱が少なく、また
、シャフト部材Ｉ７のピストン運動において各死点で出
力されるパルス信号すなわちデジタル信号となって出力
されるものである。したがって、１ストロークに対して
二つのパルス信号が出力されるので、これを１ストロ一
ク分の信号と見なすため、位置センサ２＋、２＋からの
信号は先ず最初に分周手段としてのフリップ・フロップ
回路３８に入力される。このフリップ・フロップ回路３
８で分周されたパルス信号は、さらに切り替え弁を駆動
する駆動手段４４と演算手段としてのデジタル回転計３
９へ入力され、その単位時間当たりの出力回数が演算さ
れて単位時間当たりの複行程数として算出される。この
算出された複行程数は、デジタル回転計３９の出力信号
を受ける適当な表示手段４０によって表示される。 また、単位時間当たりの複行程数から、ベローズポンプ
３ないしはシステムの運転情況が異常であるか正常であ
るかが判断できるので、デジタル回転計３９の出力信号
は、比較回路４２およびタイマ回路４３を備えた制御手
段４１へ出力される。 比較回路４２には、予め適正な複行程数の範囲としてそ
の上限値および下限値のそれぞれが設定されており、運
転中の複行程数が適正範囲内であるか否かが常に判別さ
れている。また、タイマ回路４３には、複行程数が異常
状態となったとき、その状態が一定時間以上継続するか
否かを判別するため、この一定時間に相当する所定時間
が設定されており、異常状態がこの所定時間以上継続し
た場合には、制御手段４１から警報発生手段４６へ警報
発報を命令する信号が出力され、この信号により警報発
生手段４６が警報を発する。 なお、フリップ・フロップ回路３８に人力される信号は
、シャフト部材１７がその各死点位置にあることを示す
信号であるので、このフリップ・フロップ回路３８で切
り替えられる信号に基づいて駆動空気圧供給系２３の切
り替え弁２４を切り替えることができる。したがって本
実施例では、フリップ・フロップ回路３８からの出力信
号が切り替え弁２４の駆動手段４４に入力されている。 このように、本実施例のモニタ装置にあっては、分周手
段としてのフリップ・フロップ回路３８と、演算手段と
してのデジタル回転計３９と、表示手段４０と、上記制
御手段４１とによって信号発生手段３７が構成されてい
る。なお、演算手段としてはデジタル回転計３９に加え
て積算計４５を加えることも可能であり、この積算計４
５でパルス信号の積算値を自己保持することによってベ
ローズポンプ３のトータル複行程数（累積運転時間）を
表示することも可能であり、ベローズ８，８°の寿命を
予測してメインテナンス周期を決定し、予防保全にも役
立てられる。また制御手段４Ｉは、パルス信号間隔の変
動が大きすぎる場合には、適当な時間帯を設定し、その
間の信号の移動平均をとり、その値が所定の値を超えた
場合に警報を発するように設定してもよい。さらには、
制御手段４１から出力される信号によって、警報を発す
ると同時に主弁２５を閉じさせるようにしてもよい。 また、上述の実施例では、電極センサ５！をベローズポ
ンプ３の空気逃がし溝２２だけに設けているが、例えば
ベローズポンプ３とｔ過手段２を一つのユニットとして
構成する場合に、そのユニットのハウジング５５（第６
図に模式的に示す）の底部にも設ける等、処理液のリー
クの恐れかあるその他の箇所にも設けてもよい。

【発明の効果】

以上の説明より明らかなように、本発明によれば次のご
とき優れた効果が発揮される。 すなわち、空気駆動ポンプを有する循環濾過システムに
おいて、外乱の影響が少ない高精度なモニタリングが可
能となり、特にポンプの運転状態に異常が発生した場合
には警報によってこれを直ちに知ることができ、循環ｒ
過システムの故障等を未然に防止すべく対処できる。ま
た、空気駆動ポンプの最もリークの生じやすい箇所であ
るベローズやダイヤフラムの柔軟な拡縮膜材において亀
裂やピンホール等の損傷が生じた場合にも、これを直ち
に検知し、警報を発するとともにポンプの運転を強制的
に停止するので被害が拡大するのを防止できる。このよ
うに、空気駆動ポンプを有する循環濾過システムの正常
状態および異常状態のいずれの場合をも総合的に管理す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るモニタ装置によってモニタリング
が行なわれる循環ｒ過システムの一実施例を示す概略構
成図、第２図は本実施例に用いられろベローズポンプの
概略構成を示す模式図、第３図は第２図に示したベロー
ズポンプの詳細な構造を示す要部拡大半断面正面図、第
４図は第３図の第１シリンダ部を盤状部側から見た側面
図、第５図は本実施例に用いられるベローズポンプの電
極センサの先端部分の概略構成を示す斜視図、第６図は
本実施例のモニタ装置の概略構成を示すブロック図であ
る。 ３・・・空気駆動ポンプとしてのベローズポンプ、８．
８°・・・拡縮膜材としてのベローズ、９・・・ポンプ
のケーシング、Ｉ７・・・シャフト部材、２１．２１’
・・・位置センサ、２２・・・空気逃がし溝、２３・・
・駆動空気圧の供給系、２４・・・切り替え弁、２５・
・・主弁、３７・・・信号発生手段、３８・・・分周手
段としてのフリップ・フロップ回路、３９・・・演算手
段としてのデジタル回転計、４０・・・表示手段、４１
・・・制御手段、４２・・・比較回路、４３・・・タイ
マ回路、４６・・・警報発生手段、５１・・・電極セン
サ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）、ベローズまたはダイヤフラム等の柔軟な二つの
   拡縮膜材（８、８′）を交互に拡縮運動させるべく、こ
   れら拡縮膜材（８、８′）をそれぞれ両端に連結させて
   軸方向へピストン運動するシャフト部材（１７）を備え
   、該シャフト部材（１７）のピストン運動が駆動空気圧
   によって駆動される空気駆動ポンプ（３）を備える化学
   薬液用循環濾過システムにおいて、 上記駆動空気圧の供給系（２３）には、該駆動空気圧を
   交互に切り替える切り替え弁（２４）とともに該駆動空
   気圧を供給・停止する主弁（２５）が設けられ、上記空
   気駆動ポンプ（３）には、上記拡縮膜材（８、８′）の
   拡縮運動に伴って生じる該拡縮膜材（８、８′）内の変
   動圧力を大気圧側へ逃がすべく、膜材内空間と上記空気
   駆動ポンプ（３）のケーシング（９）の外側とを連通す
   る空気逃がし溝（２２）が形成されるとともに、該ケー
   シング（９）の外から該空気逃がし溝（２２）内へ挿通
   され、導通状態で上記薬液のリーク検知信号を出力する
   とともに上記主弁（２５）を閉じる電極センサ（５１）
   が上記膜材内空間に臨んで設置され、且つ上記シャフト
   部材（１７）がピストン運動の各死点位置にあることを
   検知し、その検知信号を出力する位置センサ（２１、２
   １′）が設置され、上記位置センサ（２１、２１′）の
   検知信号に基づいて上記空気駆動ポンプ（３）の運転速
   度を演算し、該運転速度の表示信号を出力する信号発生
   手段（３７）と、上記電極センサ（５１）のリーク検知
   信号に基づいて警報を発する警報発生手段（４６）とを
   備えたことを特徴とする循環濾過システムのモニタ装置
   。
2. （２）、上記信号発生手段（３７）は、 上記検知信号に基づいて上記空気駆動ポンプ（３）の１
   往復動毎に１回のパルス信号を発生する分周手段（３８
   ）と、 上記パルス信号から単位時間当たりの複行程数を算出す
   る演算手段（３９）と、 上記算出された複行程数が、予め設定された上限値と下
   限値との間であるか否かを判断し、これら限界値外の複
   行程数状態が所定時間以上連続した場合に上記警報発生
   手段（４６）に警報発生命令信号を出力する制御手段（
   ４１）と、 上記単位時間当たりの複行程数を表示する表示手段（４
   ０）とを備えた特許請求の範囲第１項記載の循環濾過シ
   ステムのモニタ装置。
3. （３）、上記制御手段（４１）は比較回路（４２）およ
   びタイマ回路（４３）を備え、上記上限値および下限値
   が該比較回路に設定され、上記所定時間が該タイマ回路
   （４３）に設定される特許請求の範囲第２項記載の循環
   濾過システムのモニタ装置。