JPH01146641A - 工作機械 - Google Patents
工作機械Info
- Publication number
- JPH01146641A JPH01146641A JP30475787A JP30475787A JPH01146641A JP H01146641 A JPH01146641 A JP H01146641A JP 30475787 A JP30475787 A JP 30475787A JP 30475787 A JP30475787 A JP 30475787A JP H01146641 A JPH01146641 A JP H01146641A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- oil
- static pressure
- grinding fluid
- pressure slide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 57
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 23
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 18
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 18
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
「産業上の利用分野」
この発明は工作機械、就中研削盤に適する装置に関する
。
。
「従来の技術」
研削盤のテーブルは直線運動における高い精度と起動抵
抗が少なく変化の小さい摺動抵抗となる摺動構造を要求
される。直線運動における精度が確保されないと例えば
円筒研削盤においてワークの円筒度が得られず、平面研
削盤においては平面度に影響を与える。従来の研削盤テ
ーブルとベツド間の摺動面は油で潤滑した摺動面である
が、静圧スライドとして直線運動精度の向上及び摺動抵
抗の減少、減衰能の増加による振動軽減に著しい効果を
達成できるものである。
抗が少なく変化の小さい摺動抵抗となる摺動構造を要求
される。直線運動における精度が確保されないと例えば
円筒研削盤においてワークの円筒度が得られず、平面研
削盤においては平面度に影響を与える。従来の研削盤テ
ーブルとベツド間の摺動面は油で潤滑した摺動面である
が、静圧スライドとして直線運動精度の向上及び摺動抵
抗の減少、減衰能の増加による振動軽減に著しい効果を
達成できるものである。
一方研削液は研削液用のタンクから砥石がワークに作用
する近傍に送られ放出され、テーブル上からベツドに設
けた誘導路を通じて上記タンクに回収される。研削液は
研削によって発生する熱を砥石及びワークから取り去る
冷却作用があり、砥石気孔の内面に浸透して研削屑の付
着を防止すると共に砥粒を潤滑して研削熱の量を抑制し
、砥石の寿命を長くシ、研削屑及び脱落した砥粒を洗い
流して、ワークにきすがつくのを防ぐ役目をしている。
する近傍に送られ放出され、テーブル上からベツドに設
けた誘導路を通じて上記タンクに回収される。研削液は
研削によって発生する熱を砥石及びワークから取り去る
冷却作用があり、砥石気孔の内面に浸透して研削屑の付
着を防止すると共に砥粒を潤滑して研削熱の量を抑制し
、砥石の寿命を長くシ、研削屑及び脱落した砥粒を洗い
流して、ワークにきすがつくのを防ぐ役目をしている。
切削液についても同様の作用がある。
このような従来の工作機械ではテーブル上に落下する加
工液とテーブルを支持する流体静圧スライドの圧力媒体
の液体、例えば油とは夫々別個に関係のない供給源より
供給している。
工液とテーブルを支持する流体静圧スライドの圧力媒体
の液体、例えば油とは夫々別個に関係のない供給源より
供給している。
「発明が解決しようとする問題点」
研削盤の例でいうと静圧スライドはテーブルとベツド間
の隙間に圧油を加えてテーブルとベツドが固体接触しな
いようにするもので圧力媒体としては通常油が用いられ
る。研削液は砥石のワークに作用する近傍に放出される
が通常の研削盤ではテーブル上に研削液が落ちる。従っ
て、テーブルは通常上面が水平又は運動方向に直交する
方向に傾いており、該上面は研削液により加温され、テ
ーブル下面は静圧スライドの圧油で加温される。
の隙間に圧油を加えてテーブルとベツドが固体接触しな
いようにするもので圧力媒体としては通常油が用いられ
る。研削液は砥石のワークに作用する近傍に放出される
が通常の研削盤ではテーブル上に研削液が落ちる。従っ
て、テーブルは通常上面が水平又は運動方向に直交する
方向に傾いており、該上面は研削液により加温され、テ
ーブル下面は静圧スライドの圧油で加温される。
これらの静圧スライド用の油と、研削液は全く別々のタ
ンクから別個に配管されて供給されている。そして常に
は研削液と静圧スライド用の油の温度は異っているから
、テーブルは上下両面から異なる温度で加温され、該両
面の温度は異なる。従ってテーブルは長手方向に曲りを
生じ、テーブルの直線運動性能に悪影響を与え、テーブ
ル上の工作物主軸台と該主軸台に対向する心押台の主軸
中心線とセンター中心線の方向にくい違いが出てくる。
ンクから別個に配管されて供給されている。そして常に
は研削液と静圧スライド用の油の温度は異っているから
、テーブルは上下両面から異なる温度で加温され、該両
面の温度は異なる。従ってテーブルは長手方向に曲りを
生じ、テーブルの直線運動性能に悪影響を与え、テーブ
ル上の工作物主軸台と該主軸台に対向する心押台の主軸
中心線とセンター中心線の方向にくい違いが出てくる。
即ち、静的な機械精度も低下させる。
この発明は上記問題点を解消してテーブルに曲りの生じ
難い研削盤を提供することを目的とするものである。
難い研削盤を提供することを目的とするものである。
「問題点を解決するための手段」
この発明はテーブルを流体静圧スライドで支承され、供
給した加工液がテーブル上面に落下して回収される工作
機械において、静圧スライドに用いる液体と加工液の温
度差を少なくする装置を設けた工作機械である。
給した加工液がテーブル上面に落下して回収される工作
機械において、静圧スライドに用いる液体と加工液の温
度差を少なくする装置を設けた工作機械である。
「実施例」
以下、この発明の実施例を図面に従って説明する。第１
図はフローシートを示す。研削盤のテーブル１はベツド
２上に支持される。ベツド２の摺動面３，４は平面と■
溝いわゆるＶひらであってテーブル１の下面にはベツド
の摺動面３゜４に対向して静圧スライドとなるように夫
々に対して圧力流体が通過するパッド５，６が設けられ
ている。テーブル１は往復動によってはベツドの摺動面
３，４の長手方向からはみ出ないように長さが選ばれて
いる。パッド５，６から夫々テーブル１内の油路７，８
が管接手９部分に集まり、テーブル１の運動を許すよう
にした配管１１を通じて熱交換器１０を介して静圧スラ
イド用ポンプ１２の吐出側に連結されている。１３，１
４゜１５は配管１１に設けたフィルタ、圧力調整弁、圧
力計である。
図はフローシートを示す。研削盤のテーブル１はベツド
２上に支持される。ベツド２の摺動面３，４は平面と■
溝いわゆるＶひらであってテーブル１の下面にはベツド
の摺動面３゜４に対向して静圧スライドとなるように夫
々に対して圧力流体が通過するパッド５，６が設けられ
ている。テーブル１は往復動によってはベツドの摺動面
３，４の長手方向からはみ出ないように長さが選ばれて
いる。パッド５，６から夫々テーブル１内の油路７，８
が管接手９部分に集まり、テーブル１の運動を許すよう
にした配管１１を通じて熱交換器１０を介して静圧スラ
イド用ポンプ１２の吐出側に連結されている。１３，１
４゜１５は配管１１に設けたフィルタ、圧力調整弁、圧
力計である。
パッド５，６とベツドの摺動面３，４間のテーブル１の
運動方向で両側に設けた回収溝１６．１７に静圧スライ
ド用の油は回収され、回収溝１６の油は戻り管１８に集
められ、回収溝１７の油はＶ溝の摺動面４の底の逃げ溝
から出た油と併せて戻り管１９に集められる。戻り管１
８．１９は戻り主管２１に集合して静圧スライド用のタ
ンク２２に戻るようになっている。
運動方向で両側に設けた回収溝１６．１７に静圧スライ
ド用の油は回収され、回収溝１６の油は戻り管１８に集
められ、回収溝１７の油はＶ溝の摺動面４の底の逃げ溝
から出た油と併せて戻り管１９に集められる。戻り管１
８．１９は戻り主管２１に集合して静圧スライド用のタ
ンク２２に戻るようになっている。
上述した熱交換器１０は研削液タンク２３中において、
研削液に没するように設けてあり、静圧スライド用ポン
プ１２の吸込側は静圧スライド用タンク２２の油中に開
口している。
研削液に没するように設けてあり、静圧スライド用ポン
プ１２の吸込側は静圧スライド用タンク２２の油中に開
口している。
研削液タンク２３にはその吸込口が貯留されている研削
液に連通ずるように研削液用ポンプ２４が固定されてい
る。研削液用ポンプ２４の吐出口に連結した配管２５は
砥石２６のワーク２７に対する作用位置近傍に導かれ、
配管２５の先端にはワーク２７に対して作用位置にある
砥石２６及びワーク２７に研削液がふりか＼るようにノ
ズル２８が設けである。
液に連通ずるように研削液用ポンプ２４が固定されてい
る。研削液用ポンプ２４の吐出口に連結した配管２５は
砥石２６のワーク２７に対する作用位置近傍に導かれ、
配管２５の先端にはワーク２７に対して作用位置にある
砥石２６及びワーク２７に研削液がふりか＼るようにノ
ズル２８が設けである。
テーブル１には砥石２６、ワーク２７に供給し、流下し
た研削液をベツド２の流路２９に導くための側溝３０が
設けてあり、テーブルの側溝３０に設けた出口３１から
流路２９に流れるようになっている。テーブル１上から
はね飛んだ研削液はベツド２上に落ち流路２９に集まる
。
た研削液をベツド２の流路２９に導くための側溝３０が
設けてあり、テーブルの側溝３０に設けた出口３１から
流路２９に流れるようになっている。テーブル１上から
はね飛んだ研削液はベツド２上に落ち流路２９に集まる
。
流路２９からは配管３２によりセパレータ３３を介して
研削液タンク２３に還流できるようになっている。
研削液タンク２３に還流できるようになっている。
研削盤運転中は静圧スライド用ポンプ１２、研削液用ポ
ンプ２４は共に運転される。
ンプ２４は共に運転される。
静圧スライド用ポンプ１２から吐出された静圧スライド
用の油は研削液タンク２３中の熱交換器１０をとおり、
研削液タンク２３中の研削液との間で熱交換される。そ
して研削液と静圧スライド用の油の温度差を小さくして
から、静圧スライドに向う配管１１をとおって途中でフ
ィルタ１３により清浄とされ、圧力調整弁１４で調圧さ
れて、管接手９からテーブル１内に入り、油路７，８に
分岐して、夫々テーブルのパッド５，６に入る。こ−で
ベツドの摺動面３，４とパッド５，６間において加圧さ
れた油の静圧力によってテーブル１は浮上し、固体摩擦
なく、一定の運動抵抗下に円滑な往復動を行なう。テー
ブル１の下面はこの油とほぼ同温度を呈する。ベツドの
摺動面３，４とテーブルのパッド５，６間から洩れた油
はベツドの回収溝１６，１７及び摺動面４の底の溝を通
じ、還流用の戻り管１８．１９から戻り主管２１を通じ
て静圧スライド用の油タンク２２に還流する。
用の油は研削液タンク２３中の熱交換器１０をとおり、
研削液タンク２３中の研削液との間で熱交換される。そ
して研削液と静圧スライド用の油の温度差を小さくして
から、静圧スライドに向う配管１１をとおって途中でフ
ィルタ１３により清浄とされ、圧力調整弁１４で調圧さ
れて、管接手９からテーブル１内に入り、油路７，８に
分岐して、夫々テーブルのパッド５，６に入る。こ−で
ベツドの摺動面３，４とパッド５，６間において加圧さ
れた油の静圧力によってテーブル１は浮上し、固体摩擦
なく、一定の運動抵抗下に円滑な往復動を行なう。テー
ブル１の下面はこの油とほぼ同温度を呈する。ベツドの
摺動面３，４とテーブルのパッド５，６間から洩れた油
はベツドの回収溝１６，１７及び摺動面４の底の溝を通
じ、還流用の戻り管１８．１９から戻り主管２１を通じ
て静圧スライド用の油タンク２２に還流する。
研削液用ポンプ２４から吐出された研削液は研削液用配
管２５をとおり、ノズル２８から砥石２６のワーク２７
に対する作用位置近傍において砥石２６及びワーク２７
にかけられ、砥石２６に対しては研削屑の付着を防止し
て砥粒を潤滑し、砥石２６の寿命を長くする。ワーク２
７に対しては研削屑を洗い流してワーク２７にきずがつ
くのを防止する。砥石２６とワーク２７間に発生する研
削熱を抑制すると共にワーク２７、砥石２６の昇温を抑
制する。研削液は研削による発生熱に対して充分大量が
供給されるため、その昇温はわずかである。
管２５をとおり、ノズル２８から砥石２６のワーク２７
に対する作用位置近傍において砥石２６及びワーク２７
にかけられ、砥石２６に対しては研削屑の付着を防止し
て砥粒を潤滑し、砥石２６の寿命を長くする。ワーク２
７に対しては研削屑を洗い流してワーク２７にきずがつ
くのを防止する。砥石２６とワーク２７間に発生する研
削熱を抑制すると共にワーク２７、砥石２６の昇温を抑
制する。研削液は研削による発生熱に対して充分大量が
供給されるため、その昇温はわずかである。
砥石２６、ワーク２７にかけられた研削液はテーブル１
上面に落ちるがこの位置での研削液の温度は研削液タン
ク２３内の研削液の温度と殆んど等しい。テーブル１上
に落ちた研削液はテーブル１が運動しているため、テー
ブル１の大部分にかけられ、又テーブル１上に落ちた研
削２液の大部分はテーブルの側溝３０に流入するのでテ
ーブル１の上面側はテーブル１上面側に落ちた研削液の
温度にほぼ等しい。
上面に落ちるがこの位置での研削液の温度は研削液タン
ク２３内の研削液の温度と殆んど等しい。テーブル１上
に落ちた研削液はテーブル１が運動しているため、テー
ブル１の大部分にかけられ、又テーブル１上に落ちた研
削２液の大部分はテーブルの側溝３０に流入するのでテ
ーブル１の上面側はテーブル１上面側に落ちた研削液の
温度にほぼ等しい。
テーブル１上に落ちた研削液はテーブルの側溝３０、出
口３１からベツドの流路２９に出る。
口３１からベツドの流路２９に出る。
一方テーブル１上ではねた研削液もベツドの流路２９に
集まる。ベツドの流路２９に集った研削液は還流用の配
管３２を通じて途中セパレータ３乙によって研削屑及び
分離砥粒を除去されて研削液タンク２３に戻る。
集まる。ベツドの流路２９に集った研削液は還流用の配
管３２を通じて途中セパレータ３乙によって研削屑及び
分離砥粒を除去されて研削液タンク２３に戻る。
このようにテーブル１の上面と下面に温度差を小さくし
た研削液と静圧スライド用の油を供給しており、テーブ
ル１の上下面は温度差の小さい液体で加温され、テーブ
ル１全体はほぼ一定温度となるので熱変形が少ない。
た研削液と静圧スライド用の油を供給しており、テーブ
ル１の上下面は温度差の小さい液体で加温され、テーブ
ル１全体はほぼ一定温度となるので熱変形が少ない。
実施例は往復動するテーブルを備えた研削盤であって特
に効果が著しいが回転テーブルを備えた研削盤にも適用
できる。又、ＸＹθテーブルを備え位置決めした位置に
おいて穴の内径研削を行う治具研削盤にも適用できる。
に効果が著しいが回転テーブルを備えた研削盤にも適用
できる。又、ＸＹθテーブルを備え位置決めした位置に
おいて穴の内径研削を行う治具研削盤にも適用できる。
第２図はこの考案の他の実施例を示す。研削液タンク２
３に研削液タンク２３内の研削液の温度を検出する温度
センサ３４を設けると共に静圧スライド用の油タンク２
２中の油の温度を検出する温度センサ３５を該油タンク
２２に設け、センサ３４，３５の出力端子を比較回路３
６の入力端子に夫々接続し、比較回路３６の出力端子に
その入力端子が接続された冷又は温水器３７の出力側を
静圧用スライド用の油タンク２２中の熱交換器３８に接
続する。
３に研削液タンク２３内の研削液の温度を検出する温度
センサ３４を設けると共に静圧スライド用の油タンク２
２中の油の温度を検出する温度センサ３５を該油タンク
２２に設け、センサ３４，３５の出力端子を比較回路３
６の入力端子に夫々接続し、比較回路３６の出力端子に
その入力端子が接続された冷又は温水器３７の出力側を
静圧用スライド用の油タンク２２中の熱交換器３８に接
続する。
この実施例では研削液及び静圧スライド用の油の温度は
静圧スライド用の油タンク２２、夫々研削液タンク２３
において温度センサ３４．３５で検出され、比較回路３
６に入力される。比較回路３６は該温度を比較してその
差を求めて冷又は温水器６７に入力する。比較回路３６
からの正負の温度差信号により、研削液か静圧スライド
用の油の何れの方が温度が高いかによって冷又は温水器
３７は冷水又は温水を出力する。
静圧スライド用の油タンク２２、夫々研削液タンク２３
において温度センサ３４．３５で検出され、比較回路３
６に入力される。比較回路３６は該温度を比較してその
差を求めて冷又は温水器６７に入力する。比較回路３６
からの正負の温度差信号により、研削液か静圧スライド
用の油の何れの方が温度が高いかによって冷又は温水器
３７は冷水又は温水を出力する。
即ち、静圧スライド用の油の温度が研削液の温度よりも
高い場合は冷水を熱交換３８に送り、逆の場合は温水を
熱交換器３８に送る。これにより、供給側で研削液と静
圧スライド用の油との温度差は小さくなるのでセンサ３
４，３５で検出される温度の差は小さくなり、温度差が
比較回路３６に設定しである値以下になると比較回路３
６は信号を出力しなくなるので冷又は温水器３７は停止
する。
高い場合は冷水を熱交換３８に送り、逆の場合は温水を
熱交換器３８に送る。これにより、供給側で研削液と静
圧スライド用の油との温度差は小さくなるのでセンサ３
４，３５で検出される温度の差は小さくなり、温度差が
比較回路３６に設定しである値以下になると比較回路３
６は信号を出力しなくなるので冷又は温水器３７は停止
する。
この発明はテーブルを流体静圧スライドで支承され、供
給した加工液がテーブル上面に落下して回収される工作
機械において、静圧スライドに用いる液体と加工液の温
度差を少なくする装置を設けた工作機械としたから、テ
ーブルの上下面が温度差の少ない加工液と静圧スライド
用の液体により熱交換されるため、テーブル１の上下面
には熱勾配は生ぜずテーブルの曲りを生じない工作機械
を提供でき、加工精度の低下を防止できる。
給した加工液がテーブル上面に落下して回収される工作
機械において、静圧スライドに用いる液体と加工液の温
度差を少なくする装置を設けた工作機械としたから、テ
ーブルの上下面が温度差の少ない加工液と静圧スライド
用の液体により熱交換されるため、テーブル１の上下面
には熱勾配は生ぜずテーブルの曲りを生じない工作機械
を提供でき、加工精度の低下を防止できる。
第１図はこの発明の実施例のフローシート、第２図は他
の実施例のフローシートである。 １・・テーブル ２・・ベツド ３，４−・摺動面 ５
，６・・パッド ７，８・−油路 ９◆・管接手 １０
・・熱交器 １１・・配管 １２０．ポンプ １３０．
フィルタ １４６．圧力調整弁 １５・・圧力計 １６
．１７・・回収溝１８．１９・・戻り管 ２１・・戻り
主管 ２２・・タンク ２３・・研削液タンク ２４・
・研削液用ポンプ ２５・・配管 ２６・・砥石２７・
Φワーク ２８・・ノズル ２９−・流路 ３０・・側
溝 ３１・ｅ出口 ３２・争配管 ３３・・セパレータ
３４，３５−・温度センサ ３６・・比較回路 ３７
・・冷又は温水器 ３８・・熱交換器。 特許出願人 株式会社日平トヤマ
の実施例のフローシートである。 １・・テーブル ２・・ベツド ３，４−・摺動面 ５
，６・・パッド ７，８・−油路 ９◆・管接手 １０
・・熱交器 １１・・配管 １２０．ポンプ １３０．
フィルタ １４６．圧力調整弁 １５・・圧力計 １６
．１７・・回収溝１８．１９・・戻り管 ２１・・戻り
主管 ２２・・タンク ２３・・研削液タンク ２４・
・研削液用ポンプ ２５・・配管 ２６・・砥石２７・
Φワーク ２８・・ノズル ２９−・流路 ３０・・側
溝 ３１・ｅ出口 ３２・争配管 ３３・・セパレータ
３４，３５−・温度センサ ３６・・比較回路 ３７
・・冷又は温水器 ３８・・熱交換器。 特許出願人 株式会社日平トヤマ
Claims (1)
- １、テーブルを流体静圧スライドで支承され、供給した
加工液がテーブル上面に落下して回収される工作機械に
おいて、静圧スライドに用いる液体と加工液の温度差を
少なくする装置を設けた工作機械。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62304757A JPH0818224B2 (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | 工作機械 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62304757A JPH0818224B2 (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | 工作機械 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01146641A true JPH01146641A (ja) | 1989-06-08 |
| JPH0818224B2 JPH0818224B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=17936861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62304757A Expired - Fee Related JPH0818224B2 (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | 工作機械 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818224B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002127012A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 研削盤 |
| JP2010017772A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Yamatake Corp | 空気軸受けを備えた加工機械 |
| CN108274252A (zh) * | 2018-04-16 | 2018-07-13 | 安徽普瑟斯智能科技股份有限公司 | 一种重型机床的静压浮动旋转工作台 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101492440B1 (ko) * | 2013-08-08 | 2015-02-11 | 주식회사 에스엠에스비 | 습동면 정압윤활 장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5053971A (ja) * | 1973-09-13 | 1975-05-13 |
-
1987
- 1987-12-02 JP JP62304757A patent/JPH0818224B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5053971A (ja) * | 1973-09-13 | 1975-05-13 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002127012A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 研削盤 |
| JP2010017772A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Yamatake Corp | 空気軸受けを備えた加工機械 |
| CN108274252A (zh) * | 2018-04-16 | 2018-07-13 | 安徽普瑟斯智能科技股份有限公司 | 一种重型机床的静压浮动旋转工作台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0818224B2 (ja) | 1996-02-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0706855A3 (en) | Polishing machine for semiconductor wafers | |
| US9278418B2 (en) | Device for supplying a liquid cooling lubricant to a cutting edge of a lathe tool | |
| EP1552902A2 (en) | Cylindrical grinding machine | |
| JPH0811356B2 (ja) | ポリッシング方法およびポリッシング装置 | |
| JPH01146641A (ja) | 工作機械 | |
| US5833523A (en) | Variable volume coolant system | |
| EP1072360A1 (en) | Device and method for machining in which cool air cooling is used | |
| JPH0644595Y2 (ja) | 研削盤 | |
| Barbosa et al. | The use of alternative coolant techniques to reduce the environmental impact in the use of water in through-feed centreless grinding | |
| JP2571488B2 (ja) | ワイヤーソーによるワークの切断方法及び切断装置 | |
| CN102615576A (zh) | 自清洁磨抛工具 | |
| JP2005271088A (ja) | クーラント供給装置および方法 | |
| CN210968369U (zh) | 一种钢带在线抛光装置 | |
| CN218613278U (zh) | 一种精密轴承内圈沟道磨沟装置 | |
| JPH07100738A (ja) | 半導体基板の鏡面研磨方法 | |
| JPS59156649A (ja) | 工作機械用の調温装置 | |
| CN220074380U (zh) | 一种精密磨床冷却控制系统 | |
| CN205435139U (zh) | 分流式切削液过滤装置 | |
| CN221936165U (zh) | 一种磨管机 | |
| CN218746653U (zh) | 一种抛光机 | |
| JP2000127035A (ja) | 熱変形対策ベッド及び研削盤 | |
| JP2000354964A (ja) | 局所カバーを備えた研削盤 | |
| CN210650215U (zh) | 一种磨刀机的冷却装置 | |
| CN219819346U (zh) | 一种磨床的数控砂轮修整装置 | |
| CN220498534U (zh) | 一种新型冷却液集成过滤装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |