JPH01143783A - 同軸多焦点式レーザビーム集光装置 - Google Patents
同軸多焦点式レーザビーム集光装置Info
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- JPH01143783A JPH01143783A JP62300197A JP30019787A JPH01143783A JP H01143783 A JPH01143783 A JP H01143783A JP 62300197 A JP62300197 A JP 62300197A JP 30019787 A JP30019787 A JP 30019787A JP H01143783 A JPH01143783 A JP H01143783A
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
- B23K26/0608—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams in the same heat affected zone [HAZ]
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- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、レーザ加工装置のビーム集光装置に関する。
〈従来の技術〉
レーザ加工装置は第3図に示すような構成で、レーザ発
振襞1、全反射!!!2、出力n13、全反射鏡5、集
光レンズ6、ワーク7よりなり、伝送ビーム4は集光系
である集光レンズ6によりワーク7上の焦点8に集光さ
れる。
振襞1、全反射!!!2、出力n13、全反射鏡5、集
光レンズ6、ワーク7よりなり、伝送ビーム4は集光系
である集光レンズ6によりワーク7上の焦点8に集光さ
れる。
第4図は、ワーク7の材料温度とレーザ光の吸収率を示
しており、溶融点上及びそれ以上の温度にて吸収が甚だ
しい。すなわち、レーザ加工に当ってレーザ吸収率を考
慮しないと溶断などの加工ができないことが判明する。
しており、溶融点上及びそれ以上の温度にて吸収が甚だ
しい。すなわち、レーザ加工に当ってレーザ吸収率を考
慮しないと溶断などの加工ができないことが判明する。
また、第5図は2個の全反射塵5a、5bを備えると共
に2個の集光レンズ6a、6bを備えて焦点8に集光さ
せた例を示している。
に2個の集光レンズ6a、6bを備えて焦点8に集光さ
せた例を示している。
〈発明が解決する問題点〉
このように第3図や第5図に示すレーザ加工装置があり
、第4図に示す加工に当ってレーザ吸収があるものであ
るが、次の問題がある。
、第4図に示す加工に当ってレーザ吸収があるものであ
るが、次の問題がある。
■ 第3図に示す1焦点レーザ光による母材溶は込み形
状は、焦点位置との関係で第7図(イ)、(ロ)、し→
の如くとなる。即ち、適正深さh = h、、以外では
、(イ)の三角状や(ハ)の錨箪型となり、73感度ハ
イセンサーを搭載しても、高速溶接時には溶は込み形状
9のばらつきが問題であった。すなわち、第7図(ロ)
の好適な形状になりにくい。
状は、焦点位置との関係で第7図(イ)、(ロ)、し→
の如くとなる。即ち、適正深さh = h、、以外では
、(イ)の三角状や(ハ)の錨箪型となり、73感度ハ
イセンサーを搭載しても、高速溶接時には溶は込み形状
9のばらつきが問題であった。すなわち、第7図(ロ)
の好適な形状になりにくい。
■ レーザ光では、相当な長焦点レンズを使用しない限
り、第6図に示すようにエネルギー密度の高い焦点8近
傍のビームウェスト部の長さIが短く、このため厚板の
溶接。
り、第6図に示すようにエネルギー密度の高い焦点8近
傍のビームウェスト部の長さIが短く、このため厚板の
溶接。
溶断が困難となる一因があった。他方、長大焦点レンズ
を用いる方法もあるが、溶接、溶断ヘッド機構が大型化
し実用的でなかった。
を用いる方法もあるが、溶接、溶断ヘッド機構が大型化
し実用的でなかった。
■ 1焦点レーザ光による深情は込み溶接手段として、
第4図の特公昭56−49195号で示すごとく、波長
10.6μmのCO,レーザ光のアルミニウムに対する
吸収率の特性結果から、アルミニウムが溶融すると吸収
率が大幅に向上する特性を利用して、予めTIG溶接で
先行溶融させた領域にレーザ光を後行照射させるという
TAGとレーザ光の併用溶接法の有効性を提案している
。
第4図の特公昭56−49195号で示すごとく、波長
10.6μmのCO,レーザ光のアルミニウムに対する
吸収率の特性結果から、アルミニウムが溶融すると吸収
率が大幅に向上する特性を利用して、予めTIG溶接で
先行溶融させた領域にレーザ光を後行照射させるという
TAGとレーザ光の併用溶接法の有効性を提案している
。
水沫で(よ、2つの加熱手段が不可欠となるものである
。
。
■ 第5図に示す2焦点レーザ光を用いる方式では、2
光線は交叉するため板厚直交方向へのエネルギ分散効果
が悪い。
光線は交叉するため板厚直交方向へのエネルギ分散効果
が悪い。
そこで、本発明は、上述の問題点を解決して、母材溶は
込み形状を正常化し、ビームウェストを長<t、、TI
Gとレーザとの併用を回避し、そしてエネルギ分散を良
化したレーザビーム集光装置を提供する。
込み形状を正常化し、ビームウェストを長<t、、TI
Gとレーザとの併用を回避し、そしてエネルギ分散を良
化したレーザビーム集光装置を提供する。
く問題点を解決するための手段〉
上述の目的を達成する本発明は、レーザ発am及びビー
ム伝送系を経たビームを集光させるビーム集光装置にお
いて、周辺部が均一厚さで中央部が凸形状を有する一方
のレンズと、周辺部が凸形状で中央部が均一厚さを有す
る他方のレンズとを光軸を一致させて配置したことを特
徴とする。
ム伝送系を経たビームを集光させるビーム集光装置にお
いて、周辺部が均一厚さで中央部が凸形状を有する一方
のレンズと、周辺部が凸形状で中央部が均一厚さを有す
る他方のレンズとを光軸を一致させて配置したことを特
徴とする。
く作 用〉
光軸に沿って一方のレンズによる焦点と他方のレンズに
よる焦点を形成することにより、夫々のレンズにより、
エネルギー密度の高い焦点を板厚方向に分散でき、レン
ズ間距離を可変とすることにより、板厚の任意の所望位
置に集光できる。特別の場合として、焦点を合致させ、
レーザの全エネルギーを一点集光できる。
よる焦点を形成することにより、夫々のレンズにより、
エネルギー密度の高い焦点を板厚方向に分散でき、レン
ズ間距離を可変とすることにより、板厚の任意の所望位
置に集光できる。特別の場合として、焦点を合致させ、
レーザの全エネルギーを一点集光できる。
く実 施 例〉
ここで、第1図および第2図を参照して本発明の詳細な
説明する。第1図は光軸に沿って2枚のレンズを配置し
、第2図は3枚のレンズを配置した例を示す。第1図に
おいて、光軸を一致させた2枚の平凸レンズ6Aと6B
を配置し、レンズ6A(焦点距離fA)は中央部fgが
平ら(平坦部)で周辺部ef、ghが凸部になっており
、レンズ6B(焦点距離f)は中央部bcが凸で周辺部
ab、cdが平らになっている。そして、レンズ6Aの
中央部fgとレンズ6Bの中央部bcとが光学的に対処
し、レンズ6Aの周辺部ef、ghとレンズ6Bの周辺
部ab、cdが光学的に対応している。そして、両しン
ズ6A、6B間距11f1gは可変機構により調節でき
るようになっており、光軸方向に2つの実焦点8A、8
Bが得られる。
説明する。第1図は光軸に沿って2枚のレンズを配置し
、第2図は3枚のレンズを配置した例を示す。第1図に
おいて、光軸を一致させた2枚の平凸レンズ6Aと6B
を配置し、レンズ6A(焦点距離fA)は中央部fgが
平ら(平坦部)で周辺部ef、ghが凸部になっており
、レンズ6B(焦点距離f)は中央部bcが凸で周辺部
ab、cdが平らになっている。そして、レンズ6Aの
中央部fgとレンズ6Bの中央部bcとが光学的に対処
し、レンズ6Aの周辺部ef、ghとレンズ6Bの周辺
部ab、cdが光学的に対応している。そして、両しン
ズ6A、6B間距11f1gは可変機構により調節でき
るようになっており、光軸方向に2つの実焦点8A、8
Bが得られる。
なお、本装置に於て、レンズ6Aによる焦点を8Bの位
置に、レンズ6Bによる焦点を8Aの位置に逆転配置し
てもよい。又レンズ6Aとレンズ6Bのレンズ配置を逆
転配置しても良い。但しこの場合、一部集光しきれない
平行ビーム処理対策が必要となる。
置に、レンズ6Bによる焦点を8Aの位置に逆転配置し
てもよい。又レンズ6Aとレンズ6Bのレンズ配置を逆
転配置しても良い。但しこの場合、一部集光しきれない
平行ビーム処理対策が必要となる。
また、両凸レンズ6A、6Bの焦点距i1 fA、 f
6Lt、gを一定値に固定する場合にはfA\f6とす
るが、gが可変の場合にはfA=f、であってもfA\
faであっても良い。又、両者の凸レンズ面の面積比S
A/S、(SA二Aレンズの凸部面積、SB:Bレンズ
の凸部面積、SA+s、−i)は目的1;より設定する
ものとする。
6Lt、gを一定値に固定する場合にはfA\f6とす
るが、gが可変の場合にはfA=f、であってもfA\
faであっても良い。又、両者の凸レンズ面の面積比S
A/S、(SA二Aレンズの凸部面積、SB:Bレンズ
の凸部面積、SA+s、−i)は目的1;より設定する
ものとする。
第2図は3枚の平凸レンズ6A、68.6Gを備えてお
り、レンズ6A、(焦点距glIfA)、しンズ6B(
焦点圧glf、)、レンズ6C(焦点距離f)の光軸が
一致され、レンズ6Cの凸部とレンズ6B、6Aの平坦
部レンズ6Bの凸部とレンズ6C,6Aの平坦部、レン
ズ6Aの凸部とレンズ6B、6Cの平坦部とが光学的に
対応する。
り、レンズ6A、(焦点距glIfA)、しンズ6B(
焦点圧glf、)、レンズ6C(焦点距離f)の光軸が
一致され、レンズ6Cの凸部とレンズ6B、6Aの平坦
部レンズ6Bの凸部とレンズ6C,6Aの平坦部、レン
ズ6Aの凸部とレンズ6B、6Cの平坦部とが光学的に
対応する。
また、レンズ6A、6B、6C相互間の距f11g、p
g、は可変にできるようにし、レンズ6A、6B、6C
及び焦点8A、8B、8Cを逆転配置しても良い。更に
レンズを4枚以上としても良い。
g、は可変にできるようにし、レンズ6A、6B、6C
及び焦点8A、8B、8Cを逆転配置しても良い。更に
レンズを4枚以上としても良い。
〈発明の効果〉
以上の構成により次の効果を有する。
(1) 板が方向に焦点を分散させているので、1焦
点レーザ光に比べて、板厚方向の焦点位置が変動しても
、溶は込み形状のばらつき感受性が鈍感となり、均一な
溶は込み形状を得ることができる。
点レーザ光に比べて、板厚方向の焦点位置が変動しても
、溶は込み形状のばらつき感受性が鈍感となり、均一な
溶は込み形状を得ることができる。
(2)板厚方向に高エンルギー密度領域を分散させろこ
とにより、擬似的にビームウェストの長いレーザビーム
光となる。即ち板厚表層側の焦点で、微小溶融金属プー
ルを形成でき、第2.第3のレーザ光吸収率を向上でき
るため、同一出力でより厚板の溶接、溶断が可能となる
。
とにより、擬似的にビームウェストの長いレーザビーム
光となる。即ち板厚表層側の焦点で、微小溶融金属プー
ルを形成でき、第2.第3のレーザ光吸収率を向上でき
るため、同一出力でより厚板の溶接、溶断が可能となる
。
(3)長焦点レンズを用いることなく板厚方向に焦点分
散できるので、ヘッド機構が小型となる。
散できるので、ヘッド機構が小型となる。
(4)他の予熱手段(T I G加熱など)が不要とな
り操作性が向上する。
り操作性が向上する。
第1図、第2図は、本発明の実施例で、第1図は2焦点
レーザ集光装置の構成図、第2図は3焦点レーザ集光装
置の構成図、第3図、第5図は従来のレーザ加工装置の
構成図、第4図はワークと材料温度とのレーザ光の吸収
率を示す特性図、第6図はビームウェストを示す説明図
、第7図(イ)、(ロ)、(ハ)は溶は込み形状を示す
説明図である。 図 中、 6A、6B、6Cは集光レンズ、 8A、8B、8Gは焦点、 gp g11g2はレンズ間距離 fA、 fB、 foは焦点距離である。
レーザ集光装置の構成図、第2図は3焦点レーザ集光装
置の構成図、第3図、第5図は従来のレーザ加工装置の
構成図、第4図はワークと材料温度とのレーザ光の吸収
率を示す特性図、第6図はビームウェストを示す説明図
、第7図(イ)、(ロ)、(ハ)は溶は込み形状を示す
説明図である。 図 中、 6A、6B、6Cは集光レンズ、 8A、8B、8Gは焦点、 gp g11g2はレンズ間距離 fA、 fB、 foは焦点距離である。
Claims (1)
- レーザ発振器及びビーム伝送系を経たビームを集光さ
せるビーム集光装置において、周辺部が均一厚さで中央
部が凸形状を有する一方のレンズと、周辺部が凸形状で
中央部が均一厚さを有する他方のレンズとを光軸を一致
させて配置したことを特徴とする同軸多焦点式レーザビ
ーム集光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62300197A JPH0767633B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 同軸多焦点式レーザビーム集光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62300197A JPH0767633B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 同軸多焦点式レーザビーム集光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01143783A true JPH01143783A (ja) | 1989-06-06 |
JPH0767633B2 JPH0767633B2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=17881902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62300197A Expired - Lifetime JPH0767633B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 同軸多焦点式レーザビーム集光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0767633B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04344882A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-12-01 | Matsushita Electric Works Ltd | レーザ切断方法 |
JPH0780672A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-28 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | レーザ切断方法および装置 |
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US6175096B1 (en) * | 1996-09-30 | 2001-01-16 | Force Instituttet | Method of processing a material by means of a laser beam |
US6489588B1 (en) | 1999-11-24 | 2002-12-03 | Applied Photonics, Inc. | Method and apparatus for separating non-metallic materials |
GB2402230A (en) * | 2003-05-30 | 2004-12-01 | Xsil Technology Ltd | Focusing laser beams to different points |
EP2716398A1 (en) * | 2012-10-05 | 2014-04-09 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Optical systems and laser processing apparatus comprising such optical system |
CN104807818A (zh) * | 2014-01-29 | 2015-07-29 | 西安交通大学 | 三维静态及动态显微检测系统及方法 |
CN106695113A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-05-24 | 华中科技大学 | 一种轴向的双焦点镜头 |
CN107335915A (zh) * | 2017-06-12 | 2017-11-10 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 激光焊接装置及其焊接方法 |
CN112305702A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-02-02 | 电子科技大学中山学院 | 一种便捷的多焦点光路系统 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109128530B (zh) * | 2018-09-27 | 2021-05-25 | 广东工业大学 | 一种动态调整多焦点的激光微孔加工方法 |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP62300197A patent/JPH0767633B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04344882A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-12-01 | Matsushita Electric Works Ltd | レーザ切断方法 |
JPH0780672A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-28 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | レーザ切断方法および装置 |
US5728993A (en) * | 1995-08-05 | 1998-03-17 | The Boc Group Plc | Laser cutting of materials with plural beams |
EP0929376B2 (en) † | 1996-09-30 | 2007-04-04 | L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des | A method of processing a material by means of a laser beam |
US6175096B1 (en) * | 1996-09-30 | 2001-01-16 | Force Instituttet | Method of processing a material by means of a laser beam |
US6489588B1 (en) | 1999-11-24 | 2002-12-03 | Applied Photonics, Inc. | Method and apparatus for separating non-metallic materials |
US6660963B2 (en) | 1999-11-24 | 2003-12-09 | Applied Photonics, Inc. | Method and apparatus for separating non-metallic materials |
GB2402230A (en) * | 2003-05-30 | 2004-12-01 | Xsil Technology Ltd | Focusing laser beams to different points |
GB2402230B (en) * | 2003-05-30 | 2006-05-03 | Xsil Technology Ltd | Focusing an optical beam to two foci |
EP2716398A1 (en) * | 2012-10-05 | 2014-04-09 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Optical systems and laser processing apparatus comprising such optical system |
US9500781B2 (en) | 2012-10-05 | 2016-11-22 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Optical system and laser processing apparatus |
CN104807818A (zh) * | 2014-01-29 | 2015-07-29 | 西安交通大学 | 三维静态及动态显微检测系统及方法 |
CN104807818B (zh) * | 2014-01-29 | 2017-12-15 | 西安交通大学 | 三维静态及动态显微检测系统及方法 |
CN106695113A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-05-24 | 华中科技大学 | 一种轴向的双焦点镜头 |
CN106695113B (zh) * | 2016-12-08 | 2018-11-06 | 华中科技大学 | 一种轴向的双焦点镜头 |
CN107335915A (zh) * | 2017-06-12 | 2017-11-10 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 激光焊接装置及其焊接方法 |
CN112305702A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-02-02 | 电子科技大学中山学院 | 一种便捷的多焦点光路系统 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0767633B2 (ja) | 1995-07-26 |
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