JPH01142401A - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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- JPH01142401A JPH01142401A JP30194087A JP30194087A JPH01142401A JP H01142401 A JPH01142401 A JP H01142401A JP 30194087 A JP30194087 A JP 30194087A JP 30194087 A JP30194087 A JP 30194087A JP H01142401 A JPH01142401 A JP H01142401A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、物体の３次元の変位を同時に非接触で測定す
る変位計に関するものである。
る変位計に関するものである。
（従来の技術）
３次元の変位を同時に測定する変位計の先行技術の第１
は、物体に変位測定のスケールとなる一定ピッチの格子
のついた再帰反射性テープ（反射光が入射光と同一の光
路を戻る性質のある光反射テープ）を貼り、この格子の
移動を光学的に読取ることでＸ、Ｙ方向での変位を測定
し、さらにマイケルソンの干渉計を用いて干渉縞の移動
を検出することによりＺ方向の変位測定を行うものであ
る。
は、物体に変位測定のスケールとなる一定ピッチの格子
のついた再帰反射性テープ（反射光が入射光と同一の光
路を戻る性質のある光反射テープ）を貼り、この格子の
移動を光学的に読取ることでＸ、Ｙ方向での変位を測定
し、さらにマイケルソンの干渉計を用いて干渉縞の移動
を検出することによりＺ方向の変位測定を行うものであ
る。
先行技術の第２は第４図および第５図に示すように２次
元の変位計を組合せて測定するものがある。第４図では
２次元の変位計４１．４２を直角に配置したものを示し
、第５図は２次元の変位計５１およびＺ軸方向１次元の
変位計５２を同一方向に配置したものを示す。
元の変位計を組合せて測定するものがある。第４図では
２次元の変位計４１．４２を直角に配置したものを示し
、第５図は２次元の変位計５１およびＺ軸方向１次元の
変位計５２を同一方向に配置したものを示す。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、第１の方法の場合には２方向の測定が安
定にできないという問題があり、第２の方法の場合には
安定な変位測定はできても、ある１点の３次元の変位を
測るのは不可能である。また、据付けに時間がかかると
いう欠点もある。
定にできないという問題があり、第２の方法の場合には
安定な変位測定はできても、ある１点の３次元の変位を
測るのは不可能である。また、据付けに時間がかかると
いう欠点もある。
本発明は上記のような問題点を解決するなめになされた
もので、ある−点の３次元の変位を同時に非接触で安定
に測定できる光学式変位測定装置を実現することを目的
とする。
もので、ある−点の３次元の変位を同時に非接触で安定
に測定できる光学式変位測定装置を実現することを目的
とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明はターゲットの反射光を利用してイメージセンサ
上にターゲットの像を結ばせターゲットの変位に応じた
結像の動きをイメージセンサにより検出するようにした
光学式変位測定装置に係るもので、その特徴とするとこ
ろは反射光軸と垂直な平面内でのターゲットの変位を検
出する第１のイメージセンサと、前記反射光軸と所定の
角度を成す方向から前記ターゲットの変位を検出する第
２のイメージセンサと、前記２つのイメージセンサによ
る変位出力から前記ターゲットの前記平面と垂直な方向
の変位を演算する処理回路とを備えた点にある。
上にターゲットの像を結ばせターゲットの変位に応じた
結像の動きをイメージセンサにより検出するようにした
光学式変位測定装置に係るもので、その特徴とするとこ
ろは反射光軸と垂直な平面内でのターゲットの変位を検
出する第１のイメージセンサと、前記反射光軸と所定の
角度を成す方向から前記ターゲットの変位を検出する第
２のイメージセンサと、前記２つのイメージセンサによ
る変位出力から前記ターゲットの前記平面と垂直な方向
の変位を演算する処理回路とを備えた点にある。
（作用）
楯１のイメージセンサがターゲットを見込む方向に対し
第２のイメージセンサは所定の角度をなしてターゲット
を見込むことになるので、第２のイメージセンサにより
検出される変位には第１のイメージセンサによって検出
される平面内の変位に加えて垂直方向の変位の成分が含
まれ、第１゜第２のイメージセンサ出力からこれを処理
回路で分離することができる。
第２のイメージセンサは所定の角度をなしてターゲット
を見込むことになるので、第２のイメージセンサにより
検出される変位には第１のイメージセンサによって検出
される平面内の変位に加えて垂直方向の変位の成分が含
まれ、第１゜第２のイメージセンサ出力からこれを処理
回路で分離することができる。
（実施例）
以下本発明を図面を用いて詳しく説明する。
第１図は本発明に係る光学式変位測定装置の一実施例を
示す構成ブロック図である。１は偏光ビームスプリッタ
２に対して４５゛の偏光面を待つ直線偏光を出射する半
導体レーザ等の光源、２は入射光の偏光方向によって入
射光を２つに分けるための偏光ビームスプリッタ（以下
ＰＢＳと呼ぶ）、３は結像光学系を椙成しＰＢＳ２の反
射光を入射するテレセントリック光学系、４はこのテレ
セントリック光学系３を通過した光を入射する１／４波
長板（以下λ／４板と呼ぶ）、５はこのλ／４板４を通
過した光が垂直に照射し一定ピッチの格子模様つきの再
帰反射性テープからなるターゲツト、５０はこのターゲ
ット・テープ５が貼られた被測定物体、６はＰＢＳ２の
透過光が入射しＰＢＳ２と同一方向の偏光面を持って配
置するＰＢＳ、７はこのＰＢＳ６の透過光が入射するミ
ラー、８はこのミラー７の反射光が入射する第２のテレ
セントリック光学系、９はこのテレセントリック光学系
８を通過した光が入射しその通過光がターゲット５を斜
めに照射する第２のλ／４板、１０はＰＢＳ２のターゲ
ット５からの透過光が入射しこれを２分するハーフミラ
−１１１はイメージセンサを棺成しハーフミラ−１０の
反射光が入射してＹ軸方向の変位を検出するＹ軸用フォ
トダイオードアレイ（以下ＰＤＡと呼ぶ）、１２はこの
ＰＤＡｌｌの電気出力を変位出力に変換するＹ軸重変換
回路、１３は第１のイメージセンサとなるものでハーフ
ミラ−１０の透過光が入射しＸ方向の変位を検出するＸ
軸出ＰＤＡ、１４はこのＰＤＡ１３の電気出力を変位出
力に変換するＸ軸用変換回路、１５は第２のイメージセ
ンサとなるものでターゲット５からの斜めの反射光が入
射するＺ軸重ＰＤＡ、１６はこのＰＤＡ１５の電気出力
を変位出力に変換するＺ軸用変換回路、１７は変換回路
１４および変換回路１６からの出力を入力しＺ方向の変
位を演算する処理回路である。テレセントリック光学系
３（８）は物体までの距離が変っても結像倍率が一定で
、その２枚のレンズ３１（８１）、３３ （８３）はそ
れぞれの焦点距Ｍｆ１．ｆ２の和に等しい間隔で配置さ
れており、ＰＢＳ２（６）から出射された光を平行光の
ままでターゲット５に照射するとともに、ターゲット５
上の格子像をＰＤＡＩＩ、１３ （１５）上に結像する
。さらに焦点位置には絞り３２ （８２）が配置されて
いる。ＰＤＡ１３とＰＤＡ１５は同じ方向（ここではＸ
方向）のターゲット５の移動を検出するように配置し、
ＰＤＡＩＩはＰＤＡ１３゜１５に対して９０゛回転した
方向（ここではＸ方向）に配置する。
示す構成ブロック図である。１は偏光ビームスプリッタ
２に対して４５゛の偏光面を待つ直線偏光を出射する半
導体レーザ等の光源、２は入射光の偏光方向によって入
射光を２つに分けるための偏光ビームスプリッタ（以下
ＰＢＳと呼ぶ）、３は結像光学系を椙成しＰＢＳ２の反
射光を入射するテレセントリック光学系、４はこのテレ
セントリック光学系３を通過した光を入射する１／４波
長板（以下λ／４板と呼ぶ）、５はこのλ／４板４を通
過した光が垂直に照射し一定ピッチの格子模様つきの再
帰反射性テープからなるターゲツト、５０はこのターゲ
ット・テープ５が貼られた被測定物体、６はＰＢＳ２の
透過光が入射しＰＢＳ２と同一方向の偏光面を持って配
置するＰＢＳ、７はこのＰＢＳ６の透過光が入射するミ
ラー、８はこのミラー７の反射光が入射する第２のテレ
セントリック光学系、９はこのテレセントリック光学系
８を通過した光が入射しその通過光がターゲット５を斜
めに照射する第２のλ／４板、１０はＰＢＳ２のターゲ
ット５からの透過光が入射しこれを２分するハーフミラ
−１１１はイメージセンサを棺成しハーフミラ−１０の
反射光が入射してＹ軸方向の変位を検出するＹ軸用フォ
トダイオードアレイ（以下ＰＤＡと呼ぶ）、１２はこの
ＰＤＡｌｌの電気出力を変位出力に変換するＹ軸重変換
回路、１３は第１のイメージセンサとなるものでハーフ
ミラ−１０の透過光が入射しＸ方向の変位を検出するＸ
軸出ＰＤＡ、１４はこのＰＤＡ１３の電気出力を変位出
力に変換するＸ軸用変換回路、１５は第２のイメージセ
ンサとなるものでターゲット５からの斜めの反射光が入
射するＺ軸重ＰＤＡ、１６はこのＰＤＡ１５の電気出力
を変位出力に変換するＺ軸用変換回路、１７は変換回路
１４および変換回路１６からの出力を入力しＺ方向の変
位を演算する処理回路である。テレセントリック光学系
３（８）は物体までの距離が変っても結像倍率が一定で
、その２枚のレンズ３１（８１）、３３ （８３）はそ
れぞれの焦点距Ｍｆ１．ｆ２の和に等しい間隔で配置さ
れており、ＰＢＳ２（６）から出射された光を平行光の
ままでターゲット５に照射するとともに、ターゲット５
上の格子像をＰＤＡＩＩ、１３ （１５）上に結像する
。さらに焦点位置には絞り３２ （８２）が配置されて
いる。ＰＤＡ１３とＰＤＡ１５は同じ方向（ここではＸ
方向）のターゲット５の移動を検出するように配置し、
ＰＤＡＩＩはＰＤＡ１３゜１５に対して９０゛回転した
方向（ここではＸ方向）に配置する。
上記のような構成の光学式変位測定装置の動作を次に説
明する。光源１から出力された光はＰＢＳ２で２つの方
向に分離され、反射光はテレセントリック光学系３およ
びλ／４板４を通過した後ターゲット５に垂直に照射さ
れる。ターゲット５の反射光は同一の光路を戻り、λ／
４板４を２回通ることにより偏光方向が９０°回転した
光がＰＢＳ２を透過し、ハーフミラ−１０で２方向に分
離し、反射光および透過光がＰＤＡＩＩ、ＰＤＡ１３上
に同じ像をそれぞれ結像する。光源１の出射光のうちＰ
ＢＳ２を透過した部分はＰＢＳ６を透過した後ミラー７
で方向を変えられ、テレセントリック光学系８およびλ
／４板９を通過した後ターゲット５に斜めに照射される
。この反射光は同一の斜めの光路を戻り、λ／４板９を
２回通ることにより偏光方向が９０°回転した光がＰＢ
Ｓ６で反射され、ＰＤＡ１５上に結像する。ここでテレ
セントリック光学系８は斜めからターゲット５を見込ん
でいるためｃｏｓｉｎｅエラーが生じるので、テレセン
トリック光学系３とは結像倍率を変えておく必要がある
。次に各ＰＤＡ上に結ばれた格子像の移動を検出して変
位出力を発生する。
明する。光源１から出力された光はＰＢＳ２で２つの方
向に分離され、反射光はテレセントリック光学系３およ
びλ／４板４を通過した後ターゲット５に垂直に照射さ
れる。ターゲット５の反射光は同一の光路を戻り、λ／
４板４を２回通ることにより偏光方向が９０°回転した
光がＰＢＳ２を透過し、ハーフミラ−１０で２方向に分
離し、反射光および透過光がＰＤＡＩＩ、ＰＤＡ１３上
に同じ像をそれぞれ結像する。光源１の出射光のうちＰ
ＢＳ２を透過した部分はＰＢＳ６を透過した後ミラー７
で方向を変えられ、テレセントリック光学系８およびλ
／４板９を通過した後ターゲット５に斜めに照射される
。この反射光は同一の斜めの光路を戻り、λ／４板９を
２回通ることにより偏光方向が９０°回転した光がＰＢ
Ｓ６で反射され、ＰＤＡ１５上に結像する。ここでテレ
セントリック光学系８は斜めからターゲット５を見込ん
でいるためｃｏｓｉｎｅエラーが生じるので、テレセン
トリック光学系３とは結像倍率を変えておく必要がある
。次に各ＰＤＡ上に結ばれた格子像の移動を検出して変
位出力を発生する。
ＰＤＡ１３，１１の検出出力はそれぞれ変換回路１４．
１２でＸ、Ｙ軸方向の変位出力Ｓχ＋Ｓｆｆに変換され
る。ＰＤＡ１５の検出出力は変換回路１６でいったんＳ
χ゛出力に変換された後、処理回路１７でＳχとの間で
演算されＺ軸方向の変位出力Ｓ２となる。
１２でＸ、Ｙ軸方向の変位出力Ｓχ＋Ｓｆｆに変換され
る。ＰＤＡ１５の検出出力は変換回路１６でいったんＳ
χ゛出力に変換された後、処理回路１７でＳχとの間で
演算されＺ軸方向の変位出力Ｓ２となる。
次に処理回路１７における演算方法について第２図を用
いて説明する。第２図において、１００は第１図装置の
光学系の部分、ａは物体５０（実際にはターゲット５）
に垂直に入射する光ビーム、ｂは斜めに入射する光ビー
ムである。説明を簡単にするためｘ−ｚ平面で考える。
いて説明する。第２図において、１００は第１図装置の
光学系の部分、ａは物体５０（実際にはターゲット５）
に垂直に入射する光ビーム、ｂは斜めに入射する光ビー
ムである。説明を簡単にするためｘ−ｚ平面で考える。
実線の部分にあった物体５０が破線の位置にＬ（ベクト
ル）だけ移動したときのＸ、Ｚ軸方向の変位量をそれぞ
れｘ、ｚとし、光ビームｂが物体５０を照射する位置の
Ｘ軸方向の変位量をＸ−とする、このとき変換回路１４
の出力ＳχはＸに対応する変位出力となり、変換回路１
５の出力Ｓχ−はＸ−に対応する変位出力となる。処理
回路１７はＺ軸方向の変位ｉｚを次式を用いて演算し、
変位出力ｓ２とする。
ル）だけ移動したときのＸ、Ｚ軸方向の変位量をそれぞ
れｘ、ｚとし、光ビームｂが物体５０を照射する位置の
Ｘ軸方向の変位量をＸ−とする、このとき変換回路１４
の出力ＳχはＸに対応する変位出力となり、変換回路１
５の出力Ｓχ−はＸ−に対応する変位出力となる。処理
回路１７はＺ軸方向の変位ｉｚを次式を用いて演算し、
変位出力ｓ２とする。
ｚ＝ （ｘ＋ｘ−）／ｌａｎθ ・（１）ここ
でθは固定となるので、ｔａｎθは定数である。
でθは固定となるので、ｔａｎθは定数である。
このような構成の光学式変位測定装置によれば、物体上
のある点の３次元の変位を同時に非接触で測定できる。
のある点の３次元の変位を同時に非接触で測定できる。
この場合Ｚ軸方向に移動すると多少見ている点はずれる
が、移動の範囲が小さければ、はぼ−点と見做すことが
できるし、表面が平面的な物体であれば問題はない。
が、移動の範囲が小さければ、はぼ−点と見做すことが
できるし、表面が平面的な物体であれば問題はない。
またＺ軸方向の変位もＸ軸、Ｙ軸方向と同じ原理で測定
しているので、信号が安定している。
しているので、信号が安定している。
また光源として半導体レーザ等を用いることにより、光
学系をコンパクトにできる。
学系をコンパクトにできる。
第３図は本発明に係る光学式変位測定装置の他の実施例
を示す構成ブロック図である。２１，２２はそれぞれ第
１．第２のイメージセンサを構成する。これは光電子増
倍管を用いた市販のイメージセンサで、例えばオプティ
カル・サーボ等と呼ばれ、明／暗の境界線を待つ被測定
物が視野内にあるとき、非接触で光学的に被測定物の運
動・変位を検出することができるもので、変位の方向お
よびその大きさは符号を含めてアナログ量で出力される
。イメージセンサ２１，２２の内部は主に結像光学系と
電子増倍管とから構成されている。
を示す構成ブロック図である。２１，２２はそれぞれ第
１．第２のイメージセンサを構成する。これは光電子増
倍管を用いた市販のイメージセンサで、例えばオプティ
カル・サーボ等と呼ばれ、明／暗の境界線を待つ被測定
物が視野内にあるとき、非接触で光学的に被測定物の運
動・変位を検出することができるもので、変位の方向お
よびその大きさは符号を含めてアナログ量で出力される
。イメージセンサ２１，２２の内部は主に結像光学系と
電子増倍管とから構成されている。
イメージセンサ２１はＸ、Ｙ軸方向の２次元平面内の変
位を検出し、イメージセンサ２２はＸ軸と方向を合せる
とともにターゲットを見込む角度をθ傾けてＺ軸方向の
変位が検出できるように配置される。５１は物体５０の
表面に貼られた明／暗の境界線を待つターゲットで、イ
メージセンサ２１．２２は別置の照明によるターゲット
５１からの反射光ｃ、ｄをそれぞれ入射して境界線の移
動を検出する。第２図の場合と同様に物体５０がＬ移動
した時のＸ軸方向の変位量をＸとし、光ｄの光路と直角
方向の変位量をＸ−とすると、ターゲット５１のＺ軸方
向の変位Ｚは次式で得られる。
位を検出し、イメージセンサ２２はＸ軸と方向を合せる
とともにターゲットを見込む角度をθ傾けてＺ軸方向の
変位が検出できるように配置される。５１は物体５０の
表面に貼られた明／暗の境界線を待つターゲットで、イ
メージセンサ２１．２２は別置の照明によるターゲット
５１からの反射光ｃ、ｄをそれぞれ入射して境界線の移
動を検出する。第２図の場合と同様に物体５０がＬ移動
した時のＸ軸方向の変位量をＸとし、光ｄの光路と直角
方向の変位量をＸ−とすると、ターゲット５１のＺ軸方
向の変位Ｚは次式で得られる。
ｚ＝ （−ｘ −−ｘｃ ｏ ｓθ） ／ ｓ ｉ ｎ
θ＝−ｘ−／ｓｉｎθ−Ｘ ／ ｔ ａ ｎθ・・・
（２） すなわちイメージセンサ２１．２２の出力について処理
回路で上式の演算を行えば、Ｚ軸方向の変位出力を得る
ことができる。Ｘ、Ｙ軸方向の変位出力については第２
図の場合同様、イメージセンサ２１の出力をそのまま用
いればよい。
θ＝−ｘ−／ｓｉｎθ−Ｘ ／ ｔ ａ ｎθ・・・
（２） すなわちイメージセンサ２１．２２の出力について処理
回路で上式の演算を行えば、Ｚ軸方向の変位出力を得る
ことができる。Ｘ、Ｙ軸方向の変位出力については第２
図の場合同様、イメージセンサ２１の出力をそのまま用
いればよい。
なお上記の各実施例ではターゲット・テープとして再帰
反射性テープを用いているが、入射光量の問題はあるが
、通常の拡散反射性テープを用いてもよい。例えば第１
図の場合にターゲットに垂直な照射光のみを用いれば、
ＰＢＳ６を省略することができる。
反射性テープを用いているが、入射光量の問題はあるが
、通常の拡散反射性テープを用いてもよい。例えば第１
図の場合にターゲットに垂直な照射光のみを用いれば、
ＰＢＳ６を省略することができる。
また物＊５０がもともと明／暗の境界線を持っていれば
、それを利用することができる。
、それを利用することができる。
（発明の効果）
以上述べたように本発明によれば、ある−点の３次元の
変位を同時に非接触で安定に測定できる光学式変位測定
装置を簡単な構成で実現することができる。
変位を同時に非接触で安定に測定できる光学式変位測定
装置を簡単な構成で実現することができる。
第１図は本発明に係る光学式変位測定装置の一実施例を
示す構成ブロック図、第２図は第１図装置の測定方法を
示すための動作説明図、第３図は本発明に係る光学式変
位測定装置の他の実施例を示す構成ブロック図、第４図
および第５図は光学式変位測定装置の従来例を示す構成
斜視図である。 ５・・・ターゲット、１３．２１・・・第１のイメージ
センサ、１５．２２・・・第２のイメージセンサ、１７
・・・処理回路、θ・・・所定の角度、Ｓχ、Ｓχ−・
・・変位出力。 第２図 第４図 第３図 第５図
示す構成ブロック図、第２図は第１図装置の測定方法を
示すための動作説明図、第３図は本発明に係る光学式変
位測定装置の他の実施例を示す構成ブロック図、第４図
および第５図は光学式変位測定装置の従来例を示す構成
斜視図である。 ５・・・ターゲット、１３．２１・・・第１のイメージ
センサ、１５．２２・・・第２のイメージセンサ、１７
・・・処理回路、θ・・・所定の角度、Ｓχ、Ｓχ−・
・・変位出力。 第２図 第４図 第３図 第５図
Claims (1)
- ターゲットの反射光を利用してイメージセンサ上にタ
ーゲットの像を結ばせターゲットの変位に応じた結像の
動きをイメージセンサにより検出するようにした光学式
変位測定装置において、反射光軸と垂直な平面内でのタ
ーゲットの変位を検出する第１のイメージセンサと、前
記反射光軸と所定の角度を成す方向から前記ターゲット
の変位を検出する第２のイメージセンサと、前記２つの
イメージセンサによる変位出力から前記ターゲットの前
記平面と垂直な方向の変位を演算する処理回路とを備え
たことを特徴とする光学式変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301940A JPH07122566B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 光学式変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301940A JPH07122566B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 光学式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01142401A true JPH01142401A (ja) | 1989-06-05 |
| JPH07122566B2 JPH07122566B2 (ja) | 1995-12-25 |
Family
ID=17902941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62301940A Expired - Lifetime JPH07122566B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122566B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010002248A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Sigma Koki Kk | 変位計 |
| JP2016095167A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | 株式会社竹中工務店 | レーザ測定装置、及び除振システム |
| JP2017208557A (ja) * | 2011-06-13 | 2017-11-24 | ワイ−チャージ リミテッド | 空間分布レーザ共振器 |
| CN115325937A (zh) * | 2022-10-11 | 2022-11-11 | 光量信息科技(宁波)有限公司 | 一种基于硅光电倍增管的反光靶点中心快速自动定位方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5537982A (en) * | 1978-09-11 | 1980-03-17 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Solid-shape detector for characteristic test of deformation of curved-surface body |
| JPS62182602A (ja) * | 1985-11-04 | 1987-08-11 | アクテル・パ−トナ−シツプ | 物体の位置および配向を測定する方法およびセンサ |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP62301940A patent/JPH07122566B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5537982A (en) * | 1978-09-11 | 1980-03-17 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Solid-shape detector for characteristic test of deformation of curved-surface body |
| JPS62182602A (ja) * | 1985-11-04 | 1987-08-11 | アクテル・パ−トナ−シツプ | 物体の位置および配向を測定する方法およびセンサ |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010002248A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Sigma Koki Kk | 変位計 |
| JP2017208557A (ja) * | 2011-06-13 | 2017-11-24 | ワイ−チャージ リミテッド | 空間分布レーザ共振器 |
| JP2016095167A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | 株式会社竹中工務店 | レーザ測定装置、及び除振システム |
| CN115325937A (zh) * | 2022-10-11 | 2022-11-11 | 光量信息科技(宁波)有限公司 | 一种基于硅光电倍增管的反光靶点中心快速自动定位方法 |
| CN115325937B (zh) * | 2022-10-11 | 2023-02-07 | 光量信息科技(宁波)有限公司 | 一种基于硅光电倍增管的反光靶点中心快速自动定位方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07122566B2 (ja) | 1995-12-25 |
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