JPH01142074A - イオンプレーテイングの前処理法 - Google Patents
イオンプレーテイングの前処理法Info
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- JPH01142074A JPH01142074A JP30028687A JP30028687A JPH01142074A JP H01142074 A JPH01142074 A JP H01142074A JP 30028687 A JP30028687 A JP 30028687A JP 30028687 A JP30028687 A JP 30028687A JP H01142074 A JPH01142074 A JP H01142074A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、粉末焼結部品の表面にイオンプレーティン
グする際に行なう前処理法に関するものである。
グする際に行なう前処理法に関するものである。
［従来の技術］
技術の進歩と需要の要請によって新材料の研究開発が急
速に進展しており、そのうちの−分野である物質の表面
に各種の被服を行なう技術においてもかなりの技術の進
歩が認められる。
速に進展しており、そのうちの−分野である物質の表面
に各種の被服を行なう技術においてもかなりの技術の進
歩が認められる。
この表面処理技術の内には、真空状態を利用して行なわ
れる真空蒸着技術や、最近特に注目されているスパッタ
リングの技術がある。
れる真空蒸着技術や、最近特に注目されているスパッタ
リングの技術がある。
この技術の範時に入るイオンプレーティング方法は、適
当な高エネルギーを与えられた原子（主としてイオン）
により物質の表面に衝撃を与えることによって、その物
質の表面から原子を放出させ、これを基板上に析出させ
ようとするものであり、基本的には、真空容器中に被蒸
発材料と、これを蒸発させるための熱源と、蒸着が進行
する基板とが収容させたことから構成されていて、第３
図で示したような装置により行なわれる。
当な高エネルギーを与えられた原子（主としてイオン）
により物質の表面に衝撃を与えることによって、その物
質の表面から原子を放出させ、これを基板上に析出させ
ようとするものであり、基本的には、真空容器中に被蒸
発材料と、これを蒸発させるための熱源と、蒸着が進行
する基板とが収容させたことから構成されていて、第３
図で示したような装置により行なわれる。
この第３図において、１は真空容器、２はるつは、３は
被蒸着物、４は治具、５はホローカソードカン、６は予
熱ヒータ、７はノズル、１１は温度測定試料、１２は熱
電対である。
被蒸着物、４は治具、５はホローカソードカン、６は予
熱ヒータ、７はノズル、１１は温度測定試料、１２は熱
電対である。
この方法を使用することにより、例えは、ＴｉＮなどの
イオンプレーティングをドリルなどの切削工具の表面に
使用し、切削性や耐摩耗性の改善に寄与し、工具寿命を
延ばすことが従来行なわれていた。
イオンプレーティングをドリルなどの切削工具の表面に
使用し、切削性や耐摩耗性の改善に寄与し、工具寿命を
延ばすことが従来行なわれていた。
［発明が解決しようとする問題点］
しかし、この技術を例えば、粉末焼結法により得た機械
部品に応用しようとしても、この方法によって得た材料
が多孔質であって一般に５〜２０％の空隙率を有し、か
つ１０〜１５０μｍ程度の鉄粉を使用しているため、そ
の表面が１２ｓ程度の粗さとなっており、しかも、その
空隙に存在している含有ガスや表面酸化、粗さなどの表
面性状の観点からイオンプレーティングを行なうことは
難しく、溶製材の工具は別として、一般焼結機械部品に
はＴｉＮなとのイオンプレーティングを行なうことはな
かった。
部品に応用しようとしても、この方法によって得た材料
が多孔質であって一般に５〜２０％の空隙率を有し、か
つ１０〜１５０μｍ程度の鉄粉を使用しているため、そ
の表面が１２ｓ程度の粗さとなっており、しかも、その
空隙に存在している含有ガスや表面酸化、粗さなどの表
面性状の観点からイオンプレーティングを行なうことは
難しく、溶製材の工具は別として、一般焼結機械部品に
はＴｉＮなとのイオンプレーティングを行なうことはな
かった。
このような材料の表面を処理するにあたって、前処理で
ある樹脂含浸を行なうことにより表面状態を整えること
も考えられるが、この場合もガスの発生などの観点から
イオンプレーティングの前処理としては難しい。
ある樹脂含浸を行なうことにより表面状態を整えること
も考えられるが、この場合もガスの発生などの観点から
イオンプレーティングの前処理としては難しい。
具体的には例えば、多孔質で面粗度の粗い焼結機械部品
の表面に対して表面高度２０００〜２５００、膜厚１〜
５μｍのＴｉＮの硬質イオンプレーティング面を付与す
ることによって耐摩耗性を向上させようとしても、通常
の焼結機械部品は、製品の空孔内に油が残存しておりこ
れが蒸着時に揮発して表面を覆うためにイオンプレーテ
ィングにより蒸着が不能となるばかりでなく、仮にイオ
ンプレーティングが行なわれも面粗度の粗い表面に蒸着
していることから、耐摩耗性が期待したほどのものとは
ならず、現実にはイオンプレーティングを行なうことが
できなかった。
の表面に対して表面高度２０００〜２５００、膜厚１〜
５μｍのＴｉＮの硬質イオンプレーティング面を付与す
ることによって耐摩耗性を向上させようとしても、通常
の焼結機械部品は、製品の空孔内に油が残存しておりこ
れが蒸着時に揮発して表面を覆うためにイオンプレーテ
ィングにより蒸着が不能となるばかりでなく、仮にイオ
ンプレーティングが行なわれも面粗度の粗い表面に蒸着
していることから、耐摩耗性が期待したほどのものとは
ならず、現実にはイオンプレーティングを行なうことが
できなかった。
この発明は、上述のような不都合を解消して焼結体材料
に対してもイオンプレーティングを行なうことのできる
前処理方法を提供することを目的としているものである
。
に対してもイオンプレーティングを行なうことのできる
前処理方法を提供することを目的としているものである
。
［問題点を解決するための手段］
この発明は、前述の目的を達成するために種々検討した
結果到達したものであフて、粉末焼結部品の表面に対し
てイオンプレーティングを行なうにあたり、あらかじめ
、そのものにスチーム処理を施すか、ブラスト処理ある
いはバレル操作により粉末焼結部品に表面処理を施すこ
とによって封孔と面粗度の改善、および表面硬化被膜の
除去を行なうことにより、イオンプレーティングを行な
い得ることを知り完成したものである。
結果到達したものであフて、粉末焼結部品の表面に対し
てイオンプレーティングを行なうにあたり、あらかじめ
、そのものにスチーム処理を施すか、ブラスト処理ある
いはバレル操作により粉末焼結部品に表面処理を施すこ
とによって封孔と面粗度の改善、および表面硬化被膜の
除去を行なうことにより、イオンプレーティングを行な
い得ることを知り完成したものである。
［作用］
第１図は、焼結機械部品にショツトブラスト処理を施し
た時間とその処理時間の経過に伴って焼結部品内の含油
率（開気孔率）の低下していく挙動を示したものであり
、この挙動から処理時間が約４０分を経過すると開気孔
が１％以下に押さえられることが示されている。
た時間とその処理時間の経過に伴って焼結部品内の含油
率（開気孔率）の低下していく挙動を示したものであり
、この挙動から処理時間が約４０分を経過すると開気孔
が１％以下に押さえられることが示されている。
そして、当然のことながらどのショツトブラスト処理を
行なうことによって、蒸着時におけるガス発生量が減少
し、また面粗度も１２３から６ｓ程度に改良されるので
ある。
行なうことによって、蒸着時におけるガス発生量が減少
し、また面粗度も１２３から６ｓ程度に改良されるので
ある。
なお、このような表面処理は、ショツトブラストを使用
した時にのみ、あるいは、バレル仕上げ処理を行なった
ときにのみに得られる現象ではなく、例えば、グリット
・ブラスト、ソフトグリット・ブラスト、サンド・ブラ
ストなどの処理を行なったときにも相応の結果を期待す
ることができる。
した時にのみ、あるいは、バレル仕上げ処理を行なった
ときにのみに得られる現象ではなく、例えば、グリット
・ブラスト、ソフトグリット・ブラスト、サンド・ブラ
ストなどの処理を行なったときにも相応の結果を期待す
ることができる。
［実施例］
以下、実施例を示してこの発明の構成および効果を、さ
らに具体的に説明する。
らに具体的に説明する。
実施例 １
試料として、密度６．９ ｇ／ｃｃのＦｅ系焼結機械部
品を使用し、そのショット処理時間を０〜６０分かけて
、含油率（開気孔）の現象との関係を調査したところ、
ショット時間４０分でほぼ含油率は飽和した。
品を使用し、そのショット処理時間を０〜６０分かけて
、含油率（開気孔）の現象との関係を調査したところ、
ショット時間４０分でほぼ含油率は飽和した。
実施例 ２
試料として、密度６．６ ｇ／ｃｃのＳｕＳ系焼結機械
部品を使用し、バレル処理したものにイオンプレーティ
ングを施したところ、添付の参考写真１（Ｘ５０）、参
考写真２（Ｘ１００）、参考写真３（ｘ ２００）及び
参考写真４（Ｘ４００）で示したような表面状態か得ら
れた。
部品を使用し、バレル処理したものにイオンプレーティ
ングを施したところ、添付の参考写真１（Ｘ５０）、参
考写真２（Ｘ１００）、参考写真３（ｘ ２００）及び
参考写真４（Ｘ４００）で示したような表面状態か得ら
れた。
この写真から明らかなように、気孔かつふれた部分にＴ
ｉＮ膜かコーティングされているのが観察できる。
ｉＮ膜かコーティングされているのが観察できる。
実施例 ３
密度６．９ ｇ／ｃｃのＦｅ系焼結機械部品を使用して
、バレル仕上げ処理を１時間かけて行ない、その表面の
粗さを検査したところ、第２図ａ、ｂのようになり、そ
の最大粗さの挙動は、Ｒｍａｘ−１３、！Ｂｚｍ（未処
理肌）からＲｍａｘ ＝ ７．０７１ ｍに変化した。
、バレル仕上げ処理を１時間かけて行ない、その表面の
粗さを検査したところ、第２図ａ、ｂのようになり、そ
の最大粗さの挙動は、Ｒｍａｘ−１３、！Ｂｚｍ（未処
理肌）からＲｍａｘ ＝ ７．０７１ ｍに変化した。
［発明の効果コ
この発明は、粉体成形品表面に対してブラスト法あるい
はバレル操作による表面処理を施すことからなるイオン
プレーティングの前処理法、としたことによりその次に
行なわれるイオンプレーティングが効果的に実施され、
例えば、軸受やその他の機械部品の摺動面の摩耗を著し
く減少させることが可能となり、また、イオンプレーテ
ィングにより肉盛りを行なうという意味からも前記摺動
面の寿命を伸ばすことができるという効果を有する。
はバレル操作による表面処理を施すことからなるイオン
プレーティングの前処理法、としたことによりその次に
行なわれるイオンプレーティングが効果的に実施され、
例えば、軸受やその他の機械部品の摺動面の摩耗を著し
く減少させることが可能となり、また、イオンプレーテ
ィングにより肉盛りを行なうという意味からも前記摺動
面の寿命を伸ばすことができるという効果を有する。
第１図はショット・ブラスト処理の時間とこの時間経過
による開気孔率の低下の挙動を示したグラフ、第２図は
表面粗さの検査結果を示すグラフ、第３図はイオンプレ
ーティング装置の概念図である。 １は真空容器５．２はるつぼ、３は被蒸着物、４は治具
、５はホローカソードガン、６は予熱ヒータ、７はノズ
ル、１１は温度測定材料、１２は熱電対を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年
による開気孔率の低下の挙動を示したグラフ、第２図は
表面粗さの検査結果を示すグラフ、第３図はイオンプレ
ーティング装置の概念図である。 １は真空容器５．２はるつぼ、３は被蒸着物、４は治具
、５はホローカソードガン、６は予熱ヒータ、７はノズ
ル、１１は温度測定材料、１２は熱電対を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年
Claims (2)
- （１）粉末焼結部品の表面に対してイオンプレーティン
グを行なうにあたり、あらかじめ、ブラスト処理あるい
はバレル操作により粉体成形品の表面処理を施すことか
らなるイオンプレーティングの前処理法。 - （２）ショット・ブラスト、グリット・ブラスト、ソフ
トグリット・ブラスト、サンド・ブラストなどのうちか
ら選択された処理を行なう特許請求の範囲第１項に記載
の前処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30028687A JPH01142074A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | イオンプレーテイングの前処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30028687A JPH01142074A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | イオンプレーテイングの前処理法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01142074A true JPH01142074A (ja) | 1989-06-02 |
Family
ID=17882961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30028687A Pending JPH01142074A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | イオンプレーテイングの前処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01142074A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6132293A (en) * | 1992-07-10 | 2000-10-17 | Sandvik Ab | Method of blasting cutting tool inserts |
| US6360011B1 (en) | 1995-07-31 | 2002-03-19 | Fujitsu Limited | Data medium handling apparatus and data medium handling method |
| JP2014001414A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Nagoya Industries Promotion Corp | 窒化処理方法及び窒化処理装置 |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP30028687A patent/JPH01142074A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6132293A (en) * | 1992-07-10 | 2000-10-17 | Sandvik Ab | Method of blasting cutting tool inserts |
| US6360011B1 (en) | 1995-07-31 | 2002-03-19 | Fujitsu Limited | Data medium handling apparatus and data medium handling method |
| US6501864B1 (en) | 1995-07-31 | 2002-12-31 | Fujitsu Limited | Data medium handling apparatus and data medium handling method |
| US6567546B1 (en) | 1995-07-31 | 2003-05-20 | Fujitsu Limited | Data medium handling apparatus medium handling method |
| JP2014001414A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Nagoya Industries Promotion Corp | 窒化処理方法及び窒化処理装置 |
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