JPH01141324A - 回折格子分光器 - Google Patents
回折格子分光器Info
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- JPH01141324A JPH01141324A JP30062987A JP30062987A JPH01141324A JP H01141324 A JPH01141324 A JP H01141324A JP 30062987 A JP30062987 A JP 30062987A JP 30062987 A JP30062987 A JP 30062987A JP H01141324 A JPH01141324 A JP H01141324A
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- JP
- Japan
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- diffraction grating
- grating
- different
- substrate
- inclination angles
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- Granted
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- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
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Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は分光光度計に用いられる反射型の回折格子分光
器に関するものである。
器に関するものである。
（従来技術）
一般に広く用いられているエシェレット型反射回折格子
は、第３図に示すように、基板ｌに多数の平行な三角溝
Ｇを刻設して形成され、表面に−様な反射皮膜Ａが被設
されたものであり、この型の回折格子ばあ一波長範囲で
高い回折効率が得られるという利点がある反面、使用目
的によっては測定波長範囲が広くて一つの格子でカバー
できないという問題があった。
は、第３図に示すように、基板ｌに多数の平行な三角溝
Ｇを刻設して形成され、表面に−様な反射皮膜Ａが被設
されたものであり、この型の回折格子ばあ一波長範囲で
高い回折効率が得られるという利点がある反面、使用目
的によっては測定波長範囲が広くて一つの格子でカバー
できないという問題があった。
そこで従来は所要の波長範囲をカバーするために、２種
類の回折格子を切り替えて使用しているが、２個の回折
格子が必要な上に切り替え機構が複雑となり、コストが
かかる上に切り替え機構の精度か問題となることが多か
った。
類の回折格子を切り替えて使用しているが、２個の回折
格子が必要な上に切り替え機構が複雑となり、コストが
かかる上に切り替え機構の精度か問題となることが多か
った。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は上記の点に鑑み、１個の回折格子で従来２個を
要した広い波長範囲をカバーすることができる上に、切
り替え機構が簡単であり、従って安価でしかも精度の高
いエシェレット型反射回折格子を提供せんとするもので
ある。
要した広い波長範囲をカバーすることができる上に、切
り替え機構が簡単であり、従って安価でしかも精度の高
いエシェレット型反射回折格子を提供せんとするもので
ある。
（問題点を解決するための手段）
上記の目的を達成するために本発明による回折格子は、
傾斜角θ３．θ、の互いに異なる２つの斜面３．４で構
成された三角ｉＭＧを多数平行に刻設して格子面を形成
すると共に、格子面に垂直な回転軸５により１８０度反
転切り替え自在に軸支したものである。
傾斜角θ３．θ、の互いに異なる２つの斜面３．４で構
成された三角ｉＭＧを多数平行に刻設して格子面を形成
すると共に、格子面に垂直な回転軸５により１８０度反
転切り替え自在に軸支したものである。
（作用）
格子を形成する三角溝Ｇの傾斜角の互いに７”１１なる
山斜面を反射面として利用するものであり、ブレーズ角
として２つの傾斜角θ０．θ、を用いることができるの
で、従来２枚の回折格子でカバーしていた波長範囲を１
枚でカバーすることができる上に、格子面に垂直な回転
軸５によって反転するようにｊしたので、構造が簡単と
なり精度も向上し得るものである。
山斜面を反射面として利用するものであり、ブレーズ角
として２つの傾斜角θ０．θ、を用いることができるの
で、従来２枚の回折格子でカバーしていた波長範囲を１
枚でカバーすることができる上に、格子面に垂直な回転
軸５によって反転するようにｊしたので、構造が簡単と
なり精度も向上し得るものである。
（実施例）
第１図は回折格子本体の構造の一例を示したもので、光
学平面を構成するガラス製基板Ｉの上面には、ホトレノ
スト２によって互いに対向し且つ傾斜角θ１．θ、が異
なる山斜面３．４よりなる溝Ｇが形成されており、山斜
面３．４の表面には互いに異なった物質による光反射皮
膜Ａ、、Ａ、が形成されている。なお上記ホトレジスト
２はホログラフィック回折格子の場合であり、レプリカ
回折格子の場合にはホトレジスト２の部分がエポキシ樹
脂などの熱硬化性樹脂層で形成される。また基板１に直
接溝を刻設する方式のホログラフィック回折格子では、
２は基板Ｉと同一材料となる。
学平面を構成するガラス製基板Ｉの上面には、ホトレノ
スト２によって互いに対向し且つ傾斜角θ１．θ、が異
なる山斜面３．４よりなる溝Ｇが形成されており、山斜
面３．４の表面には互いに異なった物質による光反射皮
膜Ａ、、Ａ、が形成されている。なお上記ホトレジスト
２はホログラフィック回折格子の場合であり、レプリカ
回折格子の場合にはホトレジスト２の部分がエポキシ樹
脂などの熱硬化性樹脂層で形成される。また基板１に直
接溝を刻設する方式のホログラフィック回折格子では、
２は基板Ｉと同一材料となる。
第２図は回折格子本体の支持構造を示したもので、基板
１の背面から格子面に垂直に突設した回転軸５によって
、回折格子本体が格子面内で１８０度反転自在に支持さ
れており、この反転によって格子のブレーズ角がθ３．
θ、の２様に切り替えられ、それと同時に表面の光反射
皮膜もＡ ＋ 、 Ａ ｔの２様に切り替えらるように
なっている。
１の背面から格子面に垂直に突設した回転軸５によって
、回折格子本体が格子面内で１８０度反転自在に支持さ
れており、この反転によって格子のブレーズ角がθ３．
θ、の２様に切り替えられ、それと同時に表面の光反射
皮膜もＡ ＋ 、 Ａ ｔの２様に切り替えらるように
なっている。
具体例として、格子定数が１６００本／ ｍ ｍの場合
、ブレーズ角θ、＝２１”でブレーズ波長は４４８ｎｍ
、θ、＝４５°で８８４ｎｍとなり、それぞれ可視領域
、近赤外領域で適した条件となる。また可視赤外領域で
はアルミニウムの反射率が高く、極短紫外領域（１００
ＯＡ以下）ではアルミニウムの反射率は急に低下するが
金が比較的反射率が高いので、極短紫外から可視あるい
は近赤外領域をカバーしたい場合には、光反射皮膜Ａ、
。
、ブレーズ角θ、＝２１”でブレーズ波長は４４８ｎｍ
、θ、＝４５°で８８４ｎｍとなり、それぞれ可視領域
、近赤外領域で適した条件となる。また可視赤外領域で
はアルミニウムの反射率が高く、極短紫外領域（１００
ＯＡ以下）ではアルミニウムの反射率は急に低下するが
金が比較的反射率が高いので、極短紫外から可視あるい
は近赤外領域をカバーしたい場合には、光反射皮膜Ａ、
。
Δ、としてこれらの材質が選ばれる。
（発明の効果）
本発明による回折格子は上述のように、傾斜角の互いに
異なる２つの斜面で構成された三角溝の山斜面に、互い
に異なった物質による光反射皮膜を形成すると共に、格
子面内で１８０度反転切り替え自在に軸支したので、山
斜面の傾斜角をブレーズ角として利用することができ、
それにより従来２枚の回折格子でカバーしていた波長範
囲を１枚でカバーすることができるという利点があり、
また格子面に垂直な回転軸によって反転させるようにし
たので、２枚の回折格子を交互にスライドさせる方式や
差し替える方式などに比して構造が極めて簡単となり、
且つ精度も向上し得るという利点がある。
異なる２つの斜面で構成された三角溝の山斜面に、互い
に異なった物質による光反射皮膜を形成すると共に、格
子面内で１８０度反転切り替え自在に軸支したので、山
斜面の傾斜角をブレーズ角として利用することができ、
それにより従来２枚の回折格子でカバーしていた波長範
囲を１枚でカバーすることができるという利点があり、
また格子面に垂直な回転軸によって反転させるようにし
たので、２枚の回折格子を交互にスライドさせる方式や
差し替える方式などに比して構造が極めて簡単となり、
且つ精度も向上し得るという利点がある。
第１図は本発明による回折格子の本体部分の断面図、第
２図は同上の支持構造を示す斜視図、第３図は従来例の
斜視図である。 １・・基板、２・・ホトレジスト、３．４・・・斜面、
５・−・回転軸、Ａ＋、Ａｔ・・・光反射皮膜、θ１．
θ、・・・傾斜角。 １１ 図
２図は同上の支持構造を示す斜視図、第３図は従来例の
斜視図である。 １・・基板、２・・ホトレジスト、３．４・・・斜面、
５・−・回転軸、Ａ＋、Ａｔ・・・光反射皮膜、θ１．
θ、・・・傾斜角。 １１ 図
Claims (1)
- （１）傾斜角の互いに異なる２つの斜面で構成された三
角溝を多数平行に刻設して格子面を形成したエシェレッ
ト型反射回折格子を格子面に垂直な回転軸により１８０
度反転切り替え自在に軸支して成る回折格子分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62300629A JPH07117456B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 回折格子分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62300629A JPH07117456B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 回折格子分光器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141324A true JPH01141324A (ja) | 1989-06-02 |
| JPH07117456B2 JPH07117456B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=17887161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62300629A Expired - Fee Related JPH07117456B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 回折格子分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07117456B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020053950A1 (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | 株式会社島津製作所 | ブレーズド回折格子 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55112229U (ja) * | 1979-01-30 | 1980-08-07 |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP62300629A patent/JPH07117456B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55112229U (ja) * | 1979-01-30 | 1980-08-07 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020053950A1 (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | 株式会社島津製作所 | ブレーズド回折格子 |
| JPWO2020053950A1 (ja) * | 2018-09-11 | 2021-08-30 | 株式会社島津製作所 | ブレーズド回折格子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07117456B2 (ja) | 1995-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |