JPH01139454U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01139454U JPH01139454U JP3539588U JP3539588U JPH01139454U JP H01139454 U JPH01139454 U JP H01139454U JP 3539588 U JP3539588 U JP 3539588U JP 3539588 U JP3539588 U JP 3539588U JP H01139454 U JPH01139454 U JP H01139454U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric layer
- capacitive element
- protrusions
- semi
- insulating substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は
本考案の第２実施例の一部断面とした斜視図、第
３図は従来の静電容量素子の一例の断面図、第４
図は従来の他の例の断面図である。 １……半導体基板、２，５，６……下層金属電
極層、２ａ，５ａ……凸条、３，７……誘電体層
、４，８……上層金属電極層。
本考案の第２実施例の一部断面とした斜視図、第
３図は従来の静電容量素子の一例の断面図、第４
図は従来の他の例の断面図である。 １……半導体基板、２，５，６……下層金属電
極層、２ａ，５ａ……凸条、３，７……誘電体層
、４，８……上層金属電極層。
Claims (1)
- 半導体素子が形成される半絶縁性基板の平坦な
一主面上に、誘電体層をはさんでその上面と下面
に設けられた電極層により形成される静電容量素
子において、前記誘電体層の下面に設けられる電
極層が複数の凸条を有していることを特徴とする
静電容量素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3539588U JPH01139454U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3539588U JPH01139454U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01139454U true JPH01139454U (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=31262043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3539588U Pending JPH01139454U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01139454U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009010371A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Headway Technologies Inc | キャパシタおよびその製造方法並びにキャパシタユニット |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP3539588U patent/JPH01139454U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009010371A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Headway Technologies Inc | キャパシタおよびその製造方法並びにキャパシタユニット |
| JP2013065902A (ja) * | 2007-06-26 | 2013-04-11 | Headway Technologies Inc | キャパシタおよびその製造方法並びにキャパシタユニット |