JPH01138563U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01138563U JPH01138563U JP3229088U JP3229088U JPH01138563U JP H01138563 U JPH01138563 U JP H01138563U JP 3229088 U JP3229088 U JP 3229088U JP 3229088 U JP3229088 U JP 3229088U JP H01138563 U JPH01138563 U JP H01138563U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- mount
- aspherical surface
- deformable member
- surface polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
第１図は、本考案に係る非球面研磨装置の概念
図、第２図および第３図は、本考案の第１実施例
を示す断面図、第４図ａ，ｂは、被加工物の撓み
を制御しかつ創成された曲面形状を測定する説明
図、第５図および第６図は、本考案に係る被球面
研磨装置の第２実施例を示す断面図、第７図およ
び第８図は、本考案に係る非球面研磨装置の第３
実施例を示す断面図、第９図は、本考案に係る非
球面研磨装置の第４実施例を示す断面図、第１０
図は、本考案に係る非球面研磨装置の第５実施例
を示す断面図、第１１図は、本考案に係る非球面
研磨装置の第６実施例を示し、第１１図ａは平面
図、第１１図ｂは断面図、第１２図から第１４図
は従来技術を説明するための断面図である。 ２０……被加工物、２１……取付台、２２……
固定手段、２３……圧電素子。
図、第２図および第３図は、本考案の第１実施例
を示す断面図、第４図ａ，ｂは、被加工物の撓み
を制御しかつ創成された曲面形状を測定する説明
図、第５図および第６図は、本考案に係る被球面
研磨装置の第２実施例を示す断面図、第７図およ
び第８図は、本考案に係る非球面研磨装置の第３
実施例を示す断面図、第９図は、本考案に係る非
球面研磨装置の第４実施例を示す断面図、第１０
図は、本考案に係る非球面研磨装置の第５実施例
を示す断面図、第１１図は、本考案に係る非球面
研磨装置の第６実施例を示し、第１１図ａは平面
図、第１１図ｂは断面図、第１２図から第１４図
は従来技術を説明するための断面図である。 ２０……被加工物、２１……取付台、２２……
固定手段、２３……圧電素子。
Claims (1)
- 被加工物を取付ける取付台と、上記被加工物を
上記取付台に固定する固定手段と、上記被加工物
を所定の形状に弾性変形させるべく上記被加工物
に変形力を付与する上記取付台に固着した変形部
材とからなる非球面研磨装置において、上記変形
部材を圧電素子としたことを特徴とする非球面研
磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3229088U JPH01138563U (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3229088U JPH01138563U (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01138563U true JPH01138563U (ja) | 1989-09-21 |
Family
ID=31258692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3229088U Pending JPH01138563U (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01138563U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487769A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Okuma Mach Works Ltd | バツクアツプ力可変工作物支持装置 |
| WO2009088106A1 (ja) * | 2008-01-10 | 2009-07-16 | Nano-Optonics Research Institute, Inc. | 光学素子を製造するための研削装置、光学素子の製造方法、及び光学素子を製造するための金型または光学素子の形状・寸法を精密に測定する精密測定装置 |
-
1988
- 1988-03-11 JP JP3229088U patent/JPH01138563U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487769A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Okuma Mach Works Ltd | バツクアツプ力可変工作物支持装置 |
| WO2009088106A1 (ja) * | 2008-01-10 | 2009-07-16 | Nano-Optonics Research Institute, Inc. | 光学素子を製造するための研削装置、光学素子の製造方法、及び光学素子を製造するための金型または光学素子の形状・寸法を精密に測定する精密測定装置 |
| JP2009166136A (ja) * | 2008-01-10 | 2009-07-30 | Nano-Optonics Research Institute | 光学素子を製造するための研削装置、光学素子の製造方法、及び光学素子を製造するための金型または光学素子の形状・寸法を精密に測定する精密測定装置 |