JPH0179829U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0179829U JPH0179829U JP1987175110U JP17511087U JPH0179829U JP H0179829 U JPH0179829 U JP H0179829U JP 1987175110 U JP1987175110 U JP 1987175110U JP 17511087 U JP17511087 U JP 17511087U JP H0179829 U JPH0179829 U JP H0179829U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- epi
- wafer chuck
- air cylinder
- spike
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例を示す説明図、第
2図は従来のエピスパイククラツシユ装置の一例
の構造を示す説明図である。 1……ベースプレート、2……エアシリンダー
、3……ウエハチヤツク、4……ウエハ、5……
マスクプレート、6a,6b……超音波振動子。
なお各図中同一符号は同一または相当する部分を
示す。
2図は従来のエピスパイククラツシユ装置の一例
の構造を示す説明図である。 1……ベースプレート、2……エアシリンダー
、3……ウエハチヤツク、4……ウエハ、5……
マスクプレート、6a,6b……超音波振動子。
なお各図中同一符号は同一または相当する部分を
示す。
Claims (1)
- ウエハをウエハチヤツクに固定し、該ウエハチ
ヤツクをエアシリンダーで駆動し、上記ウエハを
マスクプレートに押し付けて該ウエハのエピスパ
イクをクラツシユするエピスパイククラツシユ装
置において、ウエハチヤツクまたはマスクプレー
トあるいは双方に超音波振動子によつてエアシリ
ンダーによる上記ウエハチヤツクの駆動方向に直
角な振動を与えることができる構成としたことを
特徴とするエピスパイククラツシユ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987175110U JPH0179829U (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987175110U JPH0179829U (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0179829U true JPH0179829U (ja) | 1989-05-29 |
Family
ID=31466924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987175110U Pending JPH0179829U (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0179829U (ja) |
-
1987
- 1987-11-18 JP JP1987175110U patent/JPH0179829U/ja active Pending