JPH01124276A - 多波長レーザ装置 - Google Patents
多波長レーザ装置Info
- Publication number
- JPH01124276A JPH01124276A JP28110787A JP28110787A JPH01124276A JP H01124276 A JPH01124276 A JP H01124276A JP 28110787 A JP28110787 A JP 28110787A JP 28110787 A JP28110787 A JP 28110787A JP H01124276 A JPH01124276 A JP H01124276A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- output
- pieces
- reflected
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 21
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2383—Parallel arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ装置に係わり、多種類の波長のレーザ光
を出力することのできる多波長レーザ装置に関する。
を出力することのできる多波長レーザ装置に関する。
一般に、第４図に示すようなレーザ装置が知られている
。図中、１は励起レーザ光、２はレーザ媒質、３は全反
射鏡、４は出力鏡、５は出力レーザ光である。
。図中、１は励起レーザ光、２はレーザ媒質、３は全反
射鏡、４は出力鏡、５は出力レーザ光である。
図において、励起レーザ光１によって、レーザ媒質２を
励起し、全反射鏡３と出力鏡４との間にレーザ発振を起
こして、レーザ媒質２による波長の出力レーザ光５を得
ている。
励起し、全反射鏡３と出力鏡４との間にレーザ発振を起
こして、レーザ媒質２による波長の出力レーザ光５を得
ている。
このような装置では異なった波長の出力レーザ光を発生
するためには、レーザ媒質を交換する必要があり、その
場合、光学的な再調整も必要となって多（の時間を要す
ることとなる。
するためには、レーザ媒質を交換する必要があり、その
場合、光学的な再調整も必要となって多（の時間を要す
ることとなる。
これを解決するため、短時間で励起する媒質を換え、２
種類以上の波長のレーザ光を発生する装置として、第５
図に示すような多波長レーザ装置が開発されている。図
中、第４図と同一番号は同−内容を示している。なお、
ｌは励起レーザ光、２Ａ、２Ｂは互いに異なるレーザ媒
質、５Ａおよび５Ｂは出力レーザ光、６は全反射鏡であ
る。
種類以上の波長のレーザ光を発生する装置として、第５
図に示すような多波長レーザ装置が開発されている。図
中、第４図と同一番号は同−内容を示している。なお、
ｌは励起レーザ光、２Ａ、２Ｂは互いに異なるレーザ媒
質、５Ａおよび５Ｂは出力レーザ光、６は全反射鏡であ
る。
図において、全反射鏡６が励起レーザ光１から離れた位
置にセットされている場合は、励起レーザ光１は直進し
、レーザ媒質２Ａを励起し、レーザ媒ｉ２Ａによる波長
の出力レーザ光５Ａを得る。
置にセットされている場合は、励起レーザ光１は直進し
、レーザ媒質２Ａを励起し、レーザ媒ｉ２Ａによる波長
の出力レーザ光５Ａを得る。
出力レーザ光の波長を切り換える場合は、全反射鏡６を
励起レーザ光１が照射される位置に移動して励起レーザ
光を反射し、反射励起レーザ光ＩＢによってレーザ媒質
２Ｂを励起して異なる波長の出力レーザ光５Ｂを発生さ
せる。そして、自動的に出力レーザ光の波長を切り換え
る場合には、励起レーザ光１を直角に反射するように全
反射鏡６を移動ステージに固定し、電動モーフ等で移動
ステージを移動させて全反射鏡の位置を変え、励起レー
ザ光１を直進、又は反射して方向を変えることにより、
励起するレーザ媒質を変えるようにすればよい、この場
合、複数の移動ステージと全反射鏡の組合せにより複数
のレーザ媒質を励起することができ、多種類の波長の出
力レーザ光を発生することが可能である。
励起レーザ光１が照射される位置に移動して励起レーザ
光を反射し、反射励起レーザ光ＩＢによってレーザ媒質
２Ｂを励起して異なる波長の出力レーザ光５Ｂを発生さ
せる。そして、自動的に出力レーザ光の波長を切り換え
る場合には、励起レーザ光１を直角に反射するように全
反射鏡６を移動ステージに固定し、電動モーフ等で移動
ステージを移動させて全反射鏡の位置を変え、励起レー
ザ光１を直進、又は反射して方向を変えることにより、
励起するレーザ媒質を変えるようにすればよい、この場
合、複数の移動ステージと全反射鏡の組合せにより複数
のレーザ媒質を励起することができ、多種類の波長の出
力レーザ光を発生することが可能である。
しかしながら、このような従来の多波長レーザ装置では
波長の異なる出力レーザ光の切り換えに移動ステージを
使用するため、移動ステージの移動に時間を要し、瞬時
のレーザ光の切換が困難であるとともに、移動ステージ
の光学的位置の再現性がレーザ光学系の結合に影響して
、励起レーザ光によるレーザ媒質の励起効率などを低下
させてしまい、また、移動ステージが高価である等の不
都合がある。さらに、２波長以上の出力レーザ光を同時
発振させることが不可能であると言う問題がある。
波長の異なる出力レーザ光の切り換えに移動ステージを
使用するため、移動ステージの移動に時間を要し、瞬時
のレーザ光の切換が困難であるとともに、移動ステージ
の光学的位置の再現性がレーザ光学系の結合に影響して
、励起レーザ光によるレーザ媒質の励起効率などを低下
させてしまい、また、移動ステージが高価である等の不
都合がある。さらに、２波長以上の出力レーザ光を同時
発振させることが不可能であると言う問題がある。
本発明は、上記の問題点を解決するためのもので、移動
ステージを使用せず、異なる波長の出力レーザ光を瞬時
に切り換えることができると共に、２波長以上の出力レ
ーザ光を同時発振させることができる多波長レーザ装置
を提供することを目的とする。
ステージを使用せず、異なる波長の出力レーザ光を瞬時
に切り換えることができると共に、２波長以上の出力レ
ーザ光を同時発振させることができる多波長レーザ装置
を提供することを目的とする。
本発明の多波長レーザ装置は、レーザ光路上に配置され
、レーザ光を反射、透過させる任意の反射率と透過率を
持つＮ個のビームスプリッタと、各ビームスプリッタの
反射光、及び最後段のビームスプリンタの透過光による
励起レーザ光で励起され、出力レーザ光を発するＮ＋１
個のレーザ媒質と、励起レーザ光または出力レーザ光中
に配置されたＮ＋１個のオプティカルシャッタとを備え
たことを特徴とする。
、レーザ光を反射、透過させる任意の反射率と透過率を
持つＮ個のビームスプリッタと、各ビームスプリッタの
反射光、及び最後段のビームスプリンタの透過光による
励起レーザ光で励起され、出力レーザ光を発するＮ＋１
個のレーザ媒質と、励起レーザ光または出力レーザ光中
に配置されたＮ＋１個のオプティカルシャッタとを備え
たことを特徴とする。
本発明は、１つのレーザ光源からの光を順次反射、透過
させる任意の反射率と透過率を持つビームスプリッタを
Ｎ細光路上に配置し、各ビームスプリッタの反射光、及
び最後段のビームスプリッタの透過光を励起光としてＮ
＋１個の異なる波長のレーザ媒質を照射してレーザ発振
を起こさせ、このレーザ発振を励起光路中、または出力
レーザ光路中に配置したＮ＋１個のオプティカルシャッ
タで制御することにより、多波長の出力レーザ光を得る
ことができる。
させる任意の反射率と透過率を持つビームスプリッタを
Ｎ細光路上に配置し、各ビームスプリッタの反射光、及
び最後段のビームスプリッタの透過光を励起光としてＮ
＋１個の異なる波長のレーザ媒質を照射してレーザ発振
を起こさせ、このレーザ発振を励起光路中、または出力
レーザ光路中に配置したＮ＋１個のオプティカルシャッ
タで制御することにより、多波長の出力レーザ光を得る
ことができる。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は、本発明による多波長レーザ装置の一実施例を
示す図で、図中、第４図及び第５図と同一番号は同一内
容を示す、なお、ＩＡは透過レーザ光、ＩＢは反射レー
ザ光、７はビームスプリッタ、８はオプティカルシャッ
タである。
示す図で、図中、第４図及び第５図と同一番号は同一内
容を示す、なお、ＩＡは透過レーザ光、ＩＢは反射レー
ザ光、７はビームスプリッタ、８はオプティカルシャッ
タである。
図において、励起レーザ光１の光路に設けたビームスプ
リッタ７は励起レーザ光ｌに対して所定の反射率および
透過率を有しており、ビームスプリッタの透過レーザ光
ＩＡと反射レーザ光ＩＢは、レーザ媒１２Ａ、レーザ媒
１ｆ２Ｂをそれぞれ同時に励起して全反射ｆｉ３と出力
鏡４との間でレーザ発振を起こし、レーザ媒質２Ａ又は
２Ｂへの励起レーザ光ＩＡ又はＩＢの光路に設けたソレ
ノイド、電磁力等により開閉するオプティカルシャッタ
８を開閉することによって出力レーザ光５Ａ％５Ｉ３を
出力する。この場合、２個のオプティカルシャッタ８の
一方を開ければ一種類のレーザ光を、同時に両方を開け
ることによって２種類のレーザ光を同時に出力する。こ
れらのオプティカルシャ７りの開閉は電磁力を使ってい
るので瞬時に行うことができ、瞬時に発振波長の切換を
行うことができる。また、ビームスプリンタフの反射率
、透過率を変えれば、それに応じてレーザ光５Ａおよび
５Ｂの出力比も変えることができる。
リッタ７は励起レーザ光ｌに対して所定の反射率および
透過率を有しており、ビームスプリッタの透過レーザ光
ＩＡと反射レーザ光ＩＢは、レーザ媒１２Ａ、レーザ媒
１ｆ２Ｂをそれぞれ同時に励起して全反射ｆｉ３と出力
鏡４との間でレーザ発振を起こし、レーザ媒質２Ａ又は
２Ｂへの励起レーザ光ＩＡ又はＩＢの光路に設けたソレ
ノイド、電磁力等により開閉するオプティカルシャッタ
８を開閉することによって出力レーザ光５Ａ％５Ｉ３を
出力する。この場合、２個のオプティカルシャッタ８の
一方を開ければ一種類のレーザ光を、同時に両方を開け
ることによって２種類のレーザ光を同時に出力する。こ
れらのオプティカルシャ７りの開閉は電磁力を使ってい
るので瞬時に行うことができ、瞬時に発振波長の切換を
行うことができる。また、ビームスプリンタフの反射率
、透過率を変えれば、それに応じてレーザ光５Ａおよび
５Ｂの出力比も変えることができる。
なお、レーザ媒質としては有機色素、光学結晶等を使用
する。
する。
第２図は本発明の他の実施例を示す図で、本実施例にお
いては、オプティカルシャッタ８を出力側に設けている
点以外は第１図の場合と同様であり、第１図の場合と同
様の効果が得られる。
いては、オプティカルシャッタ８を出力側に設けている
点以外は第１図の場合と同様であり、第１図の場合と同
様の効果が得られる。
第３図は３種類以上の波長のレーザ光出力を得る多波長
レーザ装置の実施例である０図中、第１図と同一番号は
同一内容を示し、１１１．１１！・・・１１．１は反射
レーザ光、ＬＬ、１２ｔ・・・１２７はレーザ媒質、１
５＋、１５＊・・・１５．は出力レーザ光、ＬＬ−１７
ｇ・・・１７．はビームスプリッタ、１９は全反射鏡で
ある。
レーザ装置の実施例である０図中、第１図と同一番号は
同一内容を示し、１１１．１１！・・・１１．１は反射
レーザ光、ＬＬ、１２ｔ・・・１２７はレーザ媒質、１
５＋、１５＊・・・１５．は出力レーザ光、ＬＬ−１７
ｇ・・・１７．はビームスプリッタ、１９は全反射鏡で
ある。
本実施例においては、ビームスブリック１７゜、１７ｔ
・・・１７７をシリーズに光路中に配置し、順次前段の
ビームスプリッタの透過光を後段のビームスプリッタで
反射及び透過させ、最後段のビームスプリッタの透過光
を全反射鏡１９で反射し、各ビームスプリッタの反射光
、及び全反射鏡の反射レーザ光１１１．１１！・・・１
１．％を、オプティカルシャッタを介して異なるレーザ
媒質１２１．１２冨・・・１２３に照射してそれぞれ異
なる周波数でレーザ発振を起こさせている０周波数の異
なるＮ種類の出力レーザ光を得るためには、Ｎ個のレー
ザ媒質とＮ個のオプティカルシャッタ、および（Ｎ−１
）個のビームスプリッタを置けばよい。
・・・１７７をシリーズに光路中に配置し、順次前段の
ビームスプリッタの透過光を後段のビームスプリッタで
反射及び透過させ、最後段のビームスプリッタの透過光
を全反射鏡１９で反射し、各ビームスプリッタの反射光
、及び全反射鏡の反射レーザ光１１１．１１！・・・１
１．％を、オプティカルシャッタを介して異なるレーザ
媒質１２１．１２冨・・・１２３に照射してそれぞれ異
なる周波数でレーザ発振を起こさせている０周波数の異
なるＮ種類の出力レーザ光を得るためには、Ｎ個のレー
ザ媒質とＮ個のオプティカルシャッタ、および（Ｎ−１
）個のビームスプリッタを置けばよい。
なお、全反射鏡１９は、出力レーザ光１５ｈの出力方向
を他の出力レーザ光１５．．１５．・・・と同方向にす
るためのもので、必要に応じて配置すればよい、この全
反射鏡は第１図および第２図の実施例においても適用す
ることができることは言うまでもない。
を他の出力レーザ光１５．．１５．・・・と同方向にす
るためのもので、必要に応じて配置すればよい、この全
反射鏡は第１図および第２図の実施例においても適用す
ることができることは言うまでもない。
また、第３図において、オプティカルシャック８は反射
レーザ光１１ｔ、ｌ１ｇ・・・の光路に設けであるが、
第２図の実施例におけると同様に出力レーザ光側に設け
てもよい。何れの場合においても、オプティカルシャッ
タ８の開閉制御により１〜ＮｍＷＩの出力レーザ光を任
意に取り出すことができる。
レーザ光１１ｔ、ｌ１ｇ・・・の光路に設けであるが、
第２図の実施例におけると同様に出力レーザ光側に設け
てもよい。何れの場合においても、オプティカルシャッ
タ８の開閉制御により１〜ＮｍＷＩの出力レーザ光を任
意に取り出すことができる。
以上のように、本発明によれば、多波長の出力レーザ光
を同時に、またそのうち所望の種類の波長のレーザ光を
選択して得ることができ、それらの切り換えは瞬時に行
うことが可能である。したがって、例えばレーザを使用
したかん診断治療装置などのように２種類の出力レーザ
光を必要とし、１種類のみを選択的に取り出したい場合
、出力レーザが瞬時に切り換えられ、それらの出力レー
ザ光の出力比も反射率の異なるビームスプリッタを使用
することにより、任意に設定できる利点を存しているま
た、光学系の移動がないので、レーザ発振の場合に問題
となる光学結合の不整合を言う問題も生ずることがなく
、レーザ装置の製造費を低減することができる。
を同時に、またそのうち所望の種類の波長のレーザ光を
選択して得ることができ、それらの切り換えは瞬時に行
うことが可能である。したがって、例えばレーザを使用
したかん診断治療装置などのように２種類の出力レーザ
光を必要とし、１種類のみを選択的に取り出したい場合
、出力レーザが瞬時に切り換えられ、それらの出力レー
ザ光の出力比も反射率の異なるビームスプリッタを使用
することにより、任意に設定できる利点を存しているま
た、光学系の移動がないので、レーザ発振の場合に問題
となる光学結合の不整合を言う問題も生ずることがなく
、レーザ装置の製造費を低減することができる。
第１図および第２図は本発明による２種類の波長を出力
する多波長レーザ装置の実施例を示す図、第３図は本発
明による３種類以上の波長を出力する多波長レーザ装置
の実施例を示す図、第４図はレーザ装置の説明図、第５
図は従来の多波長レーザ装置を示す図である。 １・・・励起レーザ光、２Ａ、２Ｂ・・・レーザ媒質、
３・・・全反射鏡、４・・・出力鏡、５Ａ、５Ｂ・・・
出力レーザ光、７・・・ビームスプリッタ、８・・・オ
プティカルシャッタ。 出 願 人 工業技術院長 飯塚幸三第１図 第２図 第４図 第５図
する多波長レーザ装置の実施例を示す図、第３図は本発
明による３種類以上の波長を出力する多波長レーザ装置
の実施例を示す図、第４図はレーザ装置の説明図、第５
図は従来の多波長レーザ装置を示す図である。 １・・・励起レーザ光、２Ａ、２Ｂ・・・レーザ媒質、
３・・・全反射鏡、４・・・出力鏡、５Ａ、５Ｂ・・・
出力レーザ光、７・・・ビームスプリッタ、８・・・オ
プティカルシャッタ。 出 願 人 工業技術院長 飯塚幸三第１図 第２図 第４図 第５図
Claims (3)
- （１）レーザ光路上に配置され、レーザ光を反射、透過
させる任意の反射率と透過率を持つＮ個のビームスプリ
ッタと、各ビームスプリッタの反射光、及び最後段のビ
ームスプリッタの透過光による励起レーザ光で励起され
、出力レーザ光を発するＮ＋１個のレーザ媒質と、励起
レーザ光または出力レーザ光中に配置されたＮ＋１個の
オプティカルシャッタとを備えた多波長レーザ装置。 - （２）最後段のビームスプリッタの透過光は、全反射鏡
を介してレーザ媒質を励起する特許請求の範囲第１項記
載の多波長レーザ装置。 - （３）オプティカルシャッタは、電磁力により開閉制御
される特許請求の範囲第１項記載の多波長レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28110787A JPH01124276A (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | 多波長レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28110787A JPH01124276A (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | 多波長レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01124276A true JPH01124276A (ja) | 1989-05-17 |
Family
ID=17634448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28110787A Pending JPH01124276A (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | 多波長レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01124276A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991006994A1 (en) * | 1989-10-25 | 1991-05-16 | Australian Electro Optics Pty. Ltd. | Phase-locked, fibre bundle excited, stacked slabs, laser system |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5624172B2 (ja) * | 1976-07-20 | 1981-06-04 | ||
| JPS61287189A (ja) * | 1985-06-13 | 1986-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ装置 |
-
1987
- 1987-11-09 JP JP28110787A patent/JPH01124276A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5624172B2 (ja) * | 1976-07-20 | 1981-06-04 | ||
| JPS61287189A (ja) * | 1985-06-13 | 1986-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991006994A1 (en) * | 1989-10-25 | 1991-05-16 | Australian Electro Optics Pty. Ltd. | Phase-locked, fibre bundle excited, stacked slabs, laser system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5716757B2 (ja) | 媒体中に導波路を製造する方法およびシステム | |
| US6737635B2 (en) | Apparatus for combining light and confocal scanning microscope | |
| EP0360686B1 (en) | All-optical switch apparatus using a nonlinear etalon | |
| US4796263A (en) | FTIR optical manifold and wavelength agile laser system | |
| US4852107A (en) | Laser resonator with changable frequency of radiation | |
| JPH01124276A (ja) | 多波長レーザ装置 | |
| JP2010518415A (ja) | 光パワーの高周波変調 | |
| KR100451116B1 (ko) | 파장가변레이저에서의파장선택가능레이저오실레이터 | |
| JP2001053368A5 (ja) | ||
| EP3576231B1 (en) | Laser device | |
| EP0498422A2 (en) | Optical interconnection networks and processes | |
| JPH04147683A (ja) | レーザパルスストレッチャー | |
| JPH1065238A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPH10190100A (ja) | 異なる放出方向を有したレーザ | |
| JPS61287189A (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPH118427A (ja) | 多重レーザ光発生装置および多重レーザ光発生素子 | |
| JP2818259B2 (ja) | レーザ発振装置 | |
| US7136557B2 (en) | All optical chopping for shaping and reshaping apparatus and method | |
| JPH03142981A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH02280392A (ja) | 多重反射干渉器及びそれを用いた安定化レーザ光源 | |
| RU62296U1 (ru) | Устройство для суммирования световой энергии | |
| JPS61287188A (ja) | レ−ザ装置 | |
| CN115519239A (zh) | 基于脉冲序列的微纳加工系统及方法 | |
| JP2002246677A (ja) | レーザ発振器とレーザ加工装置 | |
| JPH05160475A (ja) | レーザ装置 |