JPH01121922U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01121922U JPH01121922U JP1664788U JP1664788U JPH01121922U JP H01121922 U JPH01121922 U JP H01121922U JP 1664788 U JP1664788 U JP 1664788U JP 1664788 U JP1664788 U JP 1664788U JP H01121922 U JPH01121922 U JP H01121922U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support substrate
- susceptor
- recessed hole
- thin plate
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 241000239290 Araneae Species 0.000 claims 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図はバレル型サセプターの一例であつて、
半導体ウエハー保持部を２７個有するバレル型サ
セプターの側面説明図、第２図は該バレル型サセ
プターを支持する従来のサセプター支持基板の側
面説明図、第３図は該サセプター支持基板の上面
説明図、第４図は第３図のＡ―Ａ線に沿う断面説
明図である。第５〜第１０図は本考案のサセプタ
ー支持基板の種々の例を該支持基板の腕の先端部
分のみについて示した部分説明図であり、第５図
及び第６図はそれらの上面の例を示した上面部分
説明図であつて、第７〜第１０図は、絶縁性薄板
を支持基板に載置させる際のころの介し方の例を
縦断面説明図で示したものである。 １……半導体ウエハー保持部、２……切欠部、
３……腕、４……絶縁性薄板、５……ころ、６…
…凹穴。
半導体ウエハー保持部を２７個有するバレル型サ
セプターの側面説明図、第２図は該バレル型サセ
プターを支持する従来のサセプター支持基板の側
面説明図、第３図は該サセプター支持基板の上面
説明図、第４図は第３図のＡ―Ａ線に沿う断面説
明図である。第５〜第１０図は本考案のサセプタ
ー支持基板の種々の例を該支持基板の腕の先端部
分のみについて示した部分説明図であり、第５図
及び第６図はそれらの上面の例を示した上面部分
説明図であつて、第７〜第１０図は、絶縁性薄板
を支持基板に載置させる際のころの介し方の例を
縦断面説明図で示したものである。 １……半導体ウエハー保持部、２……切欠部、
３……腕、４……絶縁性薄板、５……ころ、６…
…凹穴。
Claims (1)
- バレル型サセプターを該サセプターの底部にお
いて支持するスパイダー支持基板において、該支
持基板の放射状腕の先端であつてサセプターが載
置される位置に凹穴を設け、該凹穴にころを介し
て絶縁性薄板を載置せしめ、その際、凹穴周囲の
支持基板上面が該薄板の厚みの中間位置であり、
かつ該薄板が凹穴内で支持基板の腕の放射方向に
移動可能となる如く該放射方向の長さが該薄板よ
り凹穴の方を大に構成せしめたことを特徴とする
サセプター支持基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1664788U JPH01121922U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1664788U JPH01121922U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01121922U true JPH01121922U (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=31229760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1664788U Pending JPH01121922U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01121922U (ja) |
-
1988
- 1988-02-10 JP JP1664788U patent/JPH01121922U/ja active Pending