JPH01119077A - 圧電素子 - Google Patents
圧電素子Info
- Publication number
- JPH01119077A JPH01119077A JP62276994A JP27699487A JPH01119077A JP H01119077 A JPH01119077 A JP H01119077A JP 62276994 A JP62276994 A JP 62276994A JP 27699487 A JP27699487 A JP 27699487A JP H01119077 A JPH01119077 A JP H01119077A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- heat
- piezoelectric element
- lead wire
- connection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 5
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 5
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 claims description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 3
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 4
- 239000004703 cross-linked polyethylene Substances 0.000 description 3
- 229920003020 cross-linked polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCYVWWWTHPPJII-UHFFFAOYSA-N 2-methylidenepropanedinitrile Chemical compound N#CC(=C)C#N FCYVWWWTHPPJII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 230000001010 compromised effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000004715 ethylene vinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- RZXDTJIXPSCHCI-UHFFFAOYSA-N hexa-1,5-diene-2,5-diol Chemical compound OC(=C)CCC(O)=C RZXDTJIXPSCHCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J titanic acid Chemical compound O[Ti](O)(O)O LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧力、振動、音響等のセンサーあるいは駆動
素子として広範囲に利用可能な圧電素子の改良に関する
ものである。
素子として広範囲に利用可能な圧電素子の改良に関する
ものである。
〔従来技術1
圧電性とは、一般に誘電体で電気的極性の大きい物質に
機械的応力を加えて変形させると、電荷を発生し、逆に
電圧を加えると機械的変形をおこすことをいい、圧電素
子はこの圧電性を利用して圧力、振動、音響等のセンサ
ーあるいは駆動素子として使用しているものである。
機械的応力を加えて変形させると、電荷を発生し、逆に
電圧を加えると機械的変形をおこすことをいい、圧電素
子はこの圧電性を利用して圧力、振動、音響等のセンサ
ーあるいは駆動素子として使用しているものである。
この圧電性を有する物質すなわち圧電体には、チタン酸
、ジルコン酸鉛(PZT)等のセラミック薄板あるいは
ポリフッ化ビニリゾ7(PVDF)等のプラスチックフ
ィルム等が用いられているが本発明の圧電素子はプラス
チックフィルムの圧電体を利用したものである。
、ジルコン酸鉛(PZT)等のセラミック薄板あるいは
ポリフッ化ビニリゾ7(PVDF)等のプラスチックフ
ィルム等が用いられているが本発明の圧電素子はプラス
チックフィルムの圧電体を利用したものである。
この圧電体を圧電素子として利用するには、圧電体に発
生した電荷を取り出したり、捷た逆に電圧全顎えるため
に、この圧電体のプラスチックフィルムの両面に電極を
形成しなければならない。
生した電荷を取り出したり、捷た逆に電圧全顎えるため
に、この圧電体のプラスチックフィルムの両面に電極を
形成しなければならない。
セラミック薄板の圧電体全利用したものは、−般に銀ペ
ースト’l焼付けして電極を形成しているが、プラスチ
ックフィルムの場合耐熱温度が低くまた可撓性が高いた
め、この方法がとれず、アルミニウム(A))あるいは
ニッケル(Ni)等の金属を蒸着して電極としている。
ースト’l焼付けして電極を形成しているが、プラスチ
ックフィルムの場合耐熱温度が低くまた可撓性が高いた
め、この方法がとれず、アルミニウム(A))あるいは
ニッケル(Ni)等の金属を蒸着して電極としている。
この蒸着された金属被膜は厚みが約500λ(オングス
トローム)と非常に薄く、強度的に弱いため、この電極
に直接ハンダ付は等でリード線を接続することができな
い。
トローム)と非常に薄く、強度的に弱いため、この電極
に直接ハンダ付は等でリード線を接続することができな
い。
そこで従来、第4図の斜視図および第5図の断面図に示
す如く、圧電体1の両面に形成した電極2に、リード線
3全接続した接続端子4に導電性両面粘着テープ5を介
して貼付するか、あるいは第6図のように、導電性接着
剤6により接着を行っていた。
す如く、圧電体1の両面に形成した電極2に、リード線
3全接続した接続端子4に導電性両面粘着テープ5を介
して貼付するか、あるいは第6図のように、導電性接着
剤6により接着を行っていた。
導電性両面粘着テープを使用した場合は、端子部に力が
かかった場合、粘着剤のクリープではがれやすく、また
、温度が高くなった場合にも、粘着剤の粘度が低下し、
はがれやすくなるという欠点がある。
かかった場合、粘着剤のクリープではがれやすく、また
、温度が高くなった場合にも、粘着剤の粘度が低下し、
はがれやすくなるという欠点がある。
また、導電性接着剤を使用した場合は、−船釣に用いら
れているカーボンブラックを配合したシリコンの導電性
RTVゴム(−波型室温硬化性ゴム)では硬化に一昼夜
を要し、圧電素子製造の生産効率が悪いという欠点があ
る。
れているカーボンブラックを配合したシリコンの導電性
RTVゴム(−波型室温硬化性ゴム)では硬化に一昼夜
を要し、圧電素子製造の生産効率が悪いという欠点があ
る。
大発明は上記問題点に鑑みなされたものであり電極への
リード線の接続を容易ならしめ、接続端子のはずれ等の
ない生産しやすい圧電素子を提供しようとするものであ
る。
リード線の接続を容易ならしめ、接続端子のはずれ等の
ない生産しやすい圧電素子を提供しようとするものであ
る。
本発明になる圧電素子は、電極への接続リード線を直接
あるいは導電性両面粘着テープ等を介して圧電素子の両
面に当接させるとともに、この接続部の周囲に熱収縮チ
ューブを外挿し、この熱収縮チューブ全加熱することに
より収縮させ、前記接続リード線全固定、接続するよう
に構成するものである。
あるいは導電性両面粘着テープ等を介して圧電素子の両
面に当接させるとともに、この接続部の周囲に熱収縮チ
ューブを外挿し、この熱収縮チューブ全加熱することに
より収縮させ、前記接続リード線全固定、接続するよう
に構成するものである。
[未発明の作用〕
上記の如く構成することにより、熱収縮チューブの収縮
力により、接続リード線が圧電素子に強く押さえつけら
れ、圧電素子の電極に固定、接続することが可能になる
。
力により、接続リード線が圧電素子に強く押さえつけら
れ、圧電素子の電極に固定、接続することが可能になる
。
〔実施例]
本発明の圧電素子の一実施例を第1図に示す斜視図およ
び第2図の断面図を用いて説明する。従来例と同一の構
成のものについては同一の番号を符して説明する。
び第2図の断面図を用いて説明する。従来例と同一の構
成のものについては同一の番号を符して説明する。
まず、延伸を行ったポリフッ化ビニリデン(PVDF)
やフッ化ビニリデン・トリフルオロエチレン共重合体(
VDE/TrFE)あるいはシアン化ビニリデン・酢酸
ビニル共重合体(P(VDCN/VAC))’4Fのプ
ラスチックフィルムの圧電体1の両面に真空蒸着あるい
はスパッタリングによりAノあるいはNi等の電極2を
形成する〇こののち、このフィルムに500〜100O
KVAの電界全かけ、プラスチック中の分子の分極方向
全そろえる分極処理全行う。
やフッ化ビニリデン・トリフルオロエチレン共重合体(
VDE/TrFE)あるいはシアン化ビニリデン・酢酸
ビニル共重合体(P(VDCN/VAC))’4Fのプ
ラスチックフィルムの圧電体1の両面に真空蒸着あるい
はスパッタリングによりAノあるいはNi等の電極2を
形成する〇こののち、このフィルムに500〜100O
KVAの電界全かけ、プラスチック中の分子の分極方向
全そろえる分極処理全行う。
′4極から電荷を取り出すあるいは逆に電圧をかけるた
めのリード線3は電極との接触面積を広く取るため、ス
ズメツキ黄銅等の薄板を成形した接続端子4にかしめ、
あるいはハンダ付は等により接続し、圧電体1の両面の
電極2をはさむように2木設置する。
めのリード線3は電極との接触面積を広く取るため、ス
ズメツキ黄銅等の薄板を成形した接続端子4にかしめ、
あるいはハンダ付は等により接続し、圧電体1の両面の
電極2をはさむように2木設置する。
次に、この接続部周囲をとり囲むように、熱収縮チュー
ブ7を外挿する。しかる後、ヒートガン等を用いて前記
熱収縮チューブ7全加熱し、収縮をおこさせる。
ブ7を外挿する。しかる後、ヒートガン等を用いて前記
熱収縮チューブ7全加熱し、収縮をおこさせる。
このことにより、接続端子4は圧電体1を強くはさみつ
けるように押しつけられ、電極2と強固に固定、接続さ
れる。
けるように押しつけられ、電極2と強固に固定、接続さ
れる。
この熱収縮チューブには、ポリ塩化ビニール(PVC)
等の未架橋材料と、エチレン・ビニールアルコール(E
VA)等に電子線を照射し7て架橋を行った電子線架橋
ポリオレフィン(以下、XLPEと略記)等がある。
等の未架橋材料と、エチレン・ビニールアルコール(E
VA)等に電子線を照射し7て架橋を行った電子線架橋
ポリオレフィン(以下、XLPEと略記)等がある。
PVCの場合は、熱収縮性を持たせるには、材料を管状
に押出成型した後、材料の融点以下軟化点以上の温度で
、内径全拡大させ、その歪みに相当する配向分子凍結固
定するために急冷する。したがって、その収縮応力は分
子の粘性を利用したものであるので比較的弱く、被覆物
体を緊縛する力は弱い。寸た収縮は低温からはじ捷り、
収縮率の温度変化は比較的緩やかなカーブを描く。
に押出成型した後、材料の融点以下軟化点以上の温度で
、内径全拡大させ、その歪みに相当する配向分子凍結固
定するために急冷する。したがって、その収縮応力は分
子の粘性を利用したものであるので比較的弱く、被覆物
体を緊縛する力は弱い。寸た収縮は低温からはじ捷り、
収縮率の温度変化は比較的緩やかなカーブを描く。
これに対してXLPEは、材料を管状に押出し成形した
後に電子線加速器により10〜30Mrad程度の放射
線を照射し、架橋を行わせる。こうすることにより融点
以上の温度でも流動せず、ゴム弾uk示すようになるの
で、融点以上の高温で材料を延伸配向させ、歪みを与え
た寸まの状態で冷却、再結晶化による凍結固定を行う。
後に電子線加速器により10〜30Mrad程度の放射
線を照射し、架橋を行わせる。こうすることにより融点
以上の温度でも流動せず、ゴム弾uk示すようになるの
で、融点以上の高温で材料を延伸配向させ、歪みを与え
た寸まの状態で冷却、再結晶化による凍結固定を行う。
このため、収縮温度は比較的高く、かつ収縮率の温度変
化は急激である。また架橋による復元性は完全であるか
ら収縮率の大きいものが製造可能であり、被覆物体への
緊縛力は強い。
化は急激である。また架橋による復元性は完全であるか
ら収縮率の大きいものが製造可能であり、被覆物体への
緊縛力は強い。
価格的にはPVCの方が安価なため、一般にはPvCの
方が多く用いられるが、PVCは長期的には分解して塩
素を発生するため、電極に用いているAノ蒸着をおかす
可能性があり、電極の導通全破壊してし甘う危険性があ
る。
方が多く用いられるが、PVCは長期的には分解して塩
素を発生するため、電極に用いているAノ蒸着をおかす
可能性があり、電極の導通全破壊してし甘う危険性があ
る。
このことから、本発明の圧電素子に用いる熱収縮チュー
ブは、分子式中に塩素原子を含まないプラスチックで形
成されていることが9寸しい。
ブは、分子式中に塩素原子を含まないプラスチックで形
成されていることが9寸しい。
XLPEは分子式中に塩素原子を含まず、寸た分子構造
から収縮率が大きく緊縛力が強いため本発明の圧電素子
に用いる熱収縮チューブに適している。寸た、これ以外
のプラスチックでも塩素原子を含寸ないものは使用可能
である。
から収縮率が大きく緊縛力が強いため本発明の圧電素子
に用いる熱収縮チューブに適している。寸た、これ以外
のプラスチックでも塩素原子を含寸ないものは使用可能
である。
圧電素子と接続リード線との接続強度がさらに必要な場
合や接続リード線の取付作業を容易ならしめるために、
本発明の池の実施例として第3図の断面図に示すように
電極2と接続端子4との間に導電性両面粘着テープを介
在させて固定してもよい。
合や接続リード線の取付作業を容易ならしめるために、
本発明の池の実施例として第3図の断面図に示すように
電極2と接続端子4との間に導電性両面粘着テープを介
在させて固定してもよい。
また本発明の実施例では電極2とリード線3との接続品
に接続端子4を介在させているが、リード線3の端末を
ハンダ等により成形あるいはそのまま使用し、接続端子
4をはぶいても良い(図示せず)。
に接続端子4を介在させているが、リード線3の端末を
ハンダ等により成形あるいはそのまま使用し、接続端子
4をはぶいても良い(図示せず)。
以上説明しt如く、本発明の圧電素子は熱収縮チューブ
の収縮力により、接続リード線を電極に接続固定するも
のであるので、従来のような導電性両面粘着テープによ
る固定のように、クリープにより電、′tiからはずれ
たりすることがなく、また導電性接着剤のように硬化に
長時間を要することなく、短時間の加熱で固定が完了す
るので、信頼性の高い、生産効率の良い圧電素子が得ら
れるものである。
の収縮力により、接続リード線を電極に接続固定するも
のであるので、従来のような導電性両面粘着テープによ
る固定のように、クリープにより電、′tiからはずれ
たりすることがなく、また導電性接着剤のように硬化に
長時間を要することなく、短時間の加熱で固定が完了す
るので、信頼性の高い、生産効率の良い圧電素子が得ら
れるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の圧電素子の一実施例を示す斜視図、第
2図は同断面図、第3図は本発明の他の実施例を示す断
面図、第4図は従来の圧電素子の斜視図、第5図は同断
面図、第6図は従来の他の例の断面図である。 1・・・圧電体、2・・・電極、3・・・リード線、4
・・・接続端子、5・・・導電性両面粘着テープ、6・
・・導電性接着剤、7・・・熱収縮チューブ。 代理人 弁理士 杉 山 改 至(他1名)第 1 図 第21 第3wJ
2図は同断面図、第3図は本発明の他の実施例を示す断
面図、第4図は従来の圧電素子の斜視図、第5図は同断
面図、第6図は従来の他の例の断面図である。 1・・・圧電体、2・・・電極、3・・・リード線、4
・・・接続端子、5・・・導電性両面粘着テープ、6・
・・導電性接着剤、7・・・熱収縮チューブ。 代理人 弁理士 杉 山 改 至(他1名)第 1 図 第21 第3wJ
Claims (2)
- 1.ポリフッ化ビニリデン(PVDF)等の圧電性を有
するプラスチツクフィルムの両面に蒸着等により金属被
膜を形成し電極とした圧電素子において、前記電極への
接続リード線を直接あるいは導電性両面粘着テープ等を
介して前記両面の金属被膜に当接させるとともに当該接
続部に熱収縮チューブを外挿し、前記熱収縮チューブを
加熱することにより収縮させ前記接続リード線を固定及
び接続したことを特徴とする圧電素子。 - 2.前記熱収縮チューブを電子線照射架橋ポリオレフィ
ン等の分子式中に塩素原子を含まないプラスチツクで形
成したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の圧
電素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62276994A JPH01119077A (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 圧電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62276994A JPH01119077A (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 圧電素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01119077A true JPH01119077A (ja) | 1989-05-11 |
Family
ID=17577284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62276994A Pending JPH01119077A (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 圧電素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01119077A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1079534A (ja) * | 1996-09-03 | 1998-03-24 | Tokin Corp | 圧電トランス及び圧電トランス電源 |
JPH10173250A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-26 | Tokin Corp | 圧電トランス電源 |
JPWO2019009374A1 (ja) * | 2017-07-07 | 2020-01-09 | ダイキン工業株式会社 | 振動センサおよび圧電素子 |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP62276994A patent/JPH01119077A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1079534A (ja) * | 1996-09-03 | 1998-03-24 | Tokin Corp | 圧電トランス及び圧電トランス電源 |
JPH10173250A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-26 | Tokin Corp | 圧電トランス電源 |
JPWO2019009374A1 (ja) * | 2017-07-07 | 2020-01-09 | ダイキン工業株式会社 | 振動センサおよび圧電素子 |
CN110832653A (zh) * | 2017-07-07 | 2020-02-21 | 大金工业株式会社 | 振动传感器和压电元件 |
US11793083B2 (en) | 2017-07-07 | 2023-10-17 | Daikin Industries, Ltd. | Vibration sensor and piezoelectric element |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4627138A (en) | Method of making piezoelectric/pyroelectric elements | |
KR100562598B1 (ko) | 압전 수지 조성물, 압력 센서, 압전 케이블, 압력 및 온도 검출용 케이블, 압력 및 온도 검출 장치 | |
US4609845A (en) | Stretched piezoelectric polymer coaxial cable | |
JPS58122789A (ja) | 重合体圧電変換器およびその製造方法 | |
US4620262A (en) | Pyroelectric energy converter element comprising vinylidene fluoride-trifluoroethylene copolymer | |
JPH02197183A (ja) | 積層圧電構造及びその形成方法 | |
GB2060994A (en) | Piezoelectric/pyroelectric elements | |
US4356424A (en) | Pseudo-AC method of nonuniformly poling a body of polymeric piezoelectric material and flexure elements produced thereby | |
JPH01119077A (ja) | 圧電素子 | |
JPS59155115A (ja) | 分極可能な薄板を分極する方法 | |
JPS6014774B2 (ja) | 絶縁耐力の優れたポリ弗化ビニリデンフイルム及びその製造方法 | |
JPH03174783A (ja) | 積層型圧電素子 | |
US4434114A (en) | Production of wrinkle-free piezoelectric films by poling | |
EP0187829B1 (en) | Piezoelectric coaxial cable | |
JPH10173209A (ja) | 外部リード付き太陽電池モジュールおよびその製造方法 | |
JPS6388875A (ja) | 積層型圧電素子の製造方法 | |
JPS59178782A (ja) | 高分子バイモルフ構造体 | |
JPH03224281A (ja) | 圧電積層体の製造方法 | |
JP2613408B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
GB2139810A (en) | Process for polarizing polymeric piezoelectric material | |
JPH0589952A (ja) | 面状発熱体の製造法 | |
JPS63104386A (ja) | 高分子圧電素子 | |
JPS6057799B2 (ja) | 静電型電気音響変換器の電極板エレクトレツトの製造法 | |
JPH02220392A (ja) | 電場発光モジュール | |
JP2001085757A (ja) | 可撓性圧電素子およびその製造方法 |