JPH01118207A - Thin film magnetic head - Google Patents
Thin film magnetic headInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
この１
本発明は磁気記録・再生兼用が可能な薄膜磁気へノドに
関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) The present invention relates to a thin film magnetic nodule that can be used for both magnetic recording and reproduction.
従」辷０」ｊ阻
一般に、微細ピッチで多数トラックの磁気記録、たとえ
ばピッチ＝ ＯＪ４ｍｍ、 トランク数＝１８゜で用
いられる磁気ヘッドとしてＶＴＲ等に用いられているバ
ルクヘッドを多数組合わせて構成することは、巻線寸法
の制限及び各トラック間の１８ｍ以下の位置合わせの困
難さなどの理由により、非常に困難である。そこでこの
様な磁気ヘッドとしては、通常−枚のコア基板上にフォ
トリングラフィ技術により薄膜コイルを形成する。薄膜
磁気ヘッドが採用されている。In general, a magnetic head used for magnetic recording with a large number of tracks at a fine pitch, for example, pitch = OJ 4 mm, number of trunks = 18°, is constructed by combining a large number of bulk heads used in VTRs, etc. This is extremely difficult due to the limitations of the winding dimensions and the difficulty of positioning the tracks within 18 m. Therefore, in such a magnetic head, a thin film coil is usually formed on a single core substrate by photolithography technology. A thin film magnetic head is used.
その薄膜磁気ヘッドの一例を第４図に示す。An example of the thin film magnetic head is shown in FIG.
第４図は薄膜磁気ヘッドの主要部分を示す断面図であっ
て、１はフェライト基板、２は薄膜コイル、３は磁気ギ
ャップを形成するためのアルミナ膜、４はアルミナ膜３
およびコイル２とフェライトブロック５を接着するため
のエポキシ樹脂、６はフェライトブロックの各トラック
の磁気絶縁用ガラス層、７は磁気記録媒体たとえば、磁
気テープ、磁気ディスク等である。FIG. 4 is a sectional view showing the main parts of a thin film magnetic head, in which 1 is a ferrite substrate, 2 is a thin film coil, 3 is an alumina film for forming a magnetic gap, and 4 is an alumina film 3.
and an epoxy resin for bonding the coil 2 and the ferrite block 5; 6 is a magnetically insulating glass layer for each track of the ferrite block; 7 is a magnetic recording medium such as a magnetic tape, a magnetic disk, etc.
−Ｂが よ゛ 、、ｌ占
第４図に示す従来例においては、磁気ギャップ長は、薄
膜コイル２の厚さとエポキシ樹脂４の厚さを加えたもの
に等しい。したがって薄膜コイル２の厚さは少なくとも
磁気ギャップ長より小さくなければならない。ところが
、薄膜コイル２の電気抵抗は電流による発熱をさけるた
め一般に低い方か望ましいことはいうまでもない。しか
るに、多数のヘッド間のピンチが小さくなるに従い、又
、磁束密度を上げるためにコイルのターン数が多くなる
に従い幾何学的な制限により薄膜コイル２の巾は小さく
なり、そのため薄膜コイル２の電気抵抗は増加せざるを
得ない。これを解決するためには薄膜コイル２の厚さを
厚くするほかないわけであるが、第４図に示す従来例に
おいては前述のおとり厚さは磁気ギャップ長により制限
をうける。このため従来例によればヘッド間ピッチおよ
びコイルのターン数に大巾な制限が加わる、高密度磁気
記録は実現できない。In the conventional example shown in FIG. 4, the magnetic gap length is equal to the sum of the thickness of the thin film coil 2 and the thickness of the epoxy resin 4. Therefore, the thickness of the thin film coil 2 must be at least smaller than the magnetic gap length. However, it goes without saying that it is generally desirable that the electrical resistance of the thin film coil 2 be low in order to avoid heat generation due to current. However, as the pinch between multiple heads becomes smaller, and as the number of turns in the coil increases to increase the magnetic flux density, the width of the thin film coil 2 becomes smaller due to geometrical restrictions, and as a result, the width of the thin film coil 2 becomes smaller. Resistance is bound to increase. In order to solve this problem, there is no choice but to increase the thickness of the thin film coil 2, but in the conventional example shown in FIG. 4, the above-mentioned decoy thickness is limited by the magnetic gap length. For this reason, according to the conventional example, high-density magnetic recording cannot be realized since the pitch between heads and the number of turns of the coil are severely limited.
。 た の
１肪記の問題点を解決するために本発明の薄膜磁気ヘッ
ドは、高透磁率のフェライトコア基板上にフォトリング
ラフィ技術により薄膜導体コイルを形成し、更にその上
部に高透磁率のフェライトコアブロックを接着させるこ
とにより、フェライトコア基板とフェライトコアブロッ
クにより磁気コアを構成した薄膜磁気ヘッドにおいて、
フェライトコア基板上の薄膜コイル形成箇所に薄膜コイ
ルの厚さにほぼ等しい凹溝を形成し、その溝の中に薄膜
コイルを形成するものである。. In order to solve the above problems, the thin film magnetic head of the present invention has a thin film conductor coil formed on a high magnetic permeability ferrite core substrate by photolithography technology, and a high magnetic permeability layer on top of the thin film conductor coil. By bonding ferrite core blocks, a thin film magnetic head in which a magnetic core is constructed from a ferrite core substrate and a ferrite core block,
A groove approximately equal to the thickness of the thin film coil is formed at the thin film coil formation location on the ferrite core substrate, and the thin film coil is formed in the groove.
１皿
本発明によれば、フィル厚さが磁気ギャップ長と関係な
く設定できるため、トラックピッチか狭くなり、コイル
のターン数が増加しても、コイルの厚さを厚くすること
によりコイルの電気抵抗を所望の低い値にできる。よっ
て、書込み電流による磁気ヘッドの過熱を防ぎまた、書
込み及び読出しのアンプの低いインピーダンスに十分整
合させることができる。According to the present invention, the fill thickness can be set independently of the magnetic gap length, so even if the track pitch becomes narrower and the number of turns of the coil increases, the electric current of the coil can be reduced by increasing the thickness of the coil. The resistance can be set to a desired low value. Therefore, it is possible to prevent overheating of the magnetic head due to the write current and to sufficiently match the low impedance of the write and read amplifiers.
また、コイルは溝内に形成されるので、フェライトコア
ブロックを接合する場合に接合面が平坦化し易くなる。Furthermore, since the coil is formed in the groove, the joining surface can be easily flattened when joining the ferrite core blocks.
実」範例−
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。第１図は本発明にかかる薄膜磁気ヘッドの構成例の主
要部分の断面図である。第１図において１はフェライト
コア基板、２は薄膜コイル、３は磁気ギャップを形成す
るためのアルミナ膜、４はアルミナ膜３とフェライトコ
ア基板１および薄膜コイル２を接着するためのエポキシ
樹脂、５はフェライトブロック、６はフェライトブロッ
ク内にあって、各トラックを絶縁分離するためのガラス
層、７は磁気記録媒体である。EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of the main parts of a configuration example of a thin film magnetic head according to the present invention. In FIG. 1, 1 is a ferrite core substrate, 2 is a thin film coil, 3 is an alumina film for forming a magnetic gap, 4 is an epoxy resin for bonding the alumina film 3, the ferrite core substrate 1, and the thin film coil 2, 5 6 is a ferrite block, 6 is a glass layer for insulating and separating each track, and 7 is a magnetic recording medium.
本発明の実施例では第４図の従来例で見られる問題点、
すなわち薄膜コイル２の厚さが磁気ギャップ長以下に制
限されるということを防止するために、フェライト基板
１に、薄膜コイル２の厚さと同等の溝を形成している。In the embodiment of the present invention, the problems seen in the conventional example shown in FIG.
That is, in order to prevent the thickness of the thin film coil 2 from being limited to less than the magnetic gap length, a groove having the same thickness as the thin film coil 2 is formed in the ferrite substrate 1.
これにより、薄膜コイル２の厚さは磁気ギャップ長とは
無関係に大きくできて、所望の低い抵抗値の薄膜コイル
２を実現できる。Thereby, the thickness of the thin film coil 2 can be increased regardless of the magnetic gap length, and the thin film coil 2 with a desired low resistance value can be realized.
次に本発明の薄膜磁気ヘッドの製造法について、第２図
を用いて説明する。まず第２図（ａ）のごとく、フェラ
イトコア基板１の面上に、後工程で薄膜コイル２が形成
できる大きさおよび深さでコイル用の溝８を広く知られ
ているフォトリングラフィ法およびフェライトのエツチ
ング法により形成する。溝８の大きさは、薄膜コイル２
よりい（らか大きめとし、深さは同等とするのが適当で
ある。次に第２図（ｂ）のごとく、フェライト基板１の
上面の全面にわたりスパッタリング法・蒸着法などによ
り薄膜コイル材料９たとえば金・銅などを形成する。薄
膜コイル材料９の厚さはのちに薄膜コイル２になったと
きに必要な厚さとし、また、コイル用溝８の深さと同じ
とする。次に第３図（Ｃ）に示すように、よく知られた
フォトリングラフィ法及び、エツチング法を用いて、薄
膜コイル材料９を、所望のコイル形状にパターンニング
し、薄膜コイル２を形成する。以上でフェライトコア基
板側の製造工程は完了するので、次にフェライトコアブ
ロック側の製造工程について説明する。まず第３図（ａ
）のごとく、フェライトコアブロック５の一部に、ダイ
サー、スライサーなどを用いてガラス用溝ｌＯを形成す
る。次に第３図（ｂ）のごとく、真空加熱炉等を用いて
、ガラス材をガラス用溝ｌＯに流し込み、ブロゾク内、
絶縁ガラス層６を形成する。次に第３図（Ｃ）のように
、ブロフク５の下面に、スバタリング法、蒸若法などを
用いて、アルミナ膜３を形成する。アルミナ膜３の厚さ
は、のちに接着剤であるエポキシ樹脂４の厚さと合計し
て、所望の磁気ギャップ長になるような厚さを選ぶ。第
３図（Ｃ）で、フェライトブロック部分の製造工程は完
了し、これと第２図（Ｃ）に示したフェライト基板をエ
ポキシ樹脂４により接首することにより第１図に示した
本発明の薄膜磁気ヘッド完成品を得ることができる。Next, a method for manufacturing the thin film magnetic head of the present invention will be explained with reference to FIG. First, as shown in FIG. 2(a), a groove 8 for a coil is formed on the surface of a ferrite core substrate 1 by the widely known photolithography method to a size and depth that allows the thin film coil 2 to be formed in a later process. Formed by ferrite etching method. The size of the groove 8 is the same as that of the thin film coil 2.
It is appropriate to make the coil material 9 larger and have the same depth. Next, as shown in FIG. For example, gold, copper, etc. are formed.The thickness of the thin film coil material 9 is set to be the thickness required for forming the thin film coil 2 later, and is the same as the depth of the coil groove 8.Next, FIG. As shown in (C), the thin film coil material 9 is patterned into a desired coil shape using the well-known photolithography method and etching method to form the thin film coil 2. Now that the manufacturing process on the substrate side has been completed, we will next explain the manufacturing process on the ferrite core block side.First, Figure 3 (a)
), a glass groove lO is formed in a part of the ferrite core block 5 using a dicer, a slicer, etc. Next, as shown in FIG. 3(b), using a vacuum heating furnace or the like, pour the glass material into the glass groove lO,
An insulating glass layer 6 is formed. Next, as shown in FIG. 3(C), an alumina film 3 is formed on the lower surface of the block 5 using a sputtering method, a steaming method, or the like. The thickness of the alumina film 3 is selected so that the desired magnetic gap length is obtained by adding up the thickness of the epoxy resin 4 which is an adhesive later. In FIG. 3(C), the manufacturing process of the ferrite block part is completed, and by connecting this and the ferrite substrate shown in FIG. 2(C) with epoxy resin 4, the present invention shown in FIG. A completed thin film magnetic head can be obtained.
発訓Ｆと熟未−
以上の説明から明らかなように、本発明の薄膜磁気ヘッ
ドは、薄膜コイルの厚さを、磁気ギャップ長の制限を受
けることな（、自由に厚（することができるため、記録
の高密度化のためトラックピッチが狭くなり、コイルの
ターン数が増加してもコイルの電気抵抗を所望の低い値
にできる。これにより、書込み電流による磁気ヘッドの
過熱を防ぎ、また、書込み及び読出しのアンプからくる
低いインピーダンスの要求に答えられる高信頼性の磁気
ヘッドが実現できる。Lesson F and Unrefined As is clear from the above explanation, the thin film magnetic head of the present invention allows the thickness of the thin film coil to be freely changed without being limited by the magnetic gap length. Therefore, even if the track pitch becomes narrower due to higher recording density and the number of coil turns increases, the electrical resistance of the coil can be kept at the desired low value.This prevents the magnetic head from overheating due to the write current, and , a highly reliable magnetic head that can meet the requirements for low impedance from write and read amplifiers can be realized.
また、コア基板側とコアブロック側とを接合する作業が
容易となり薄膜磁気ヘッドの製造歩留向上にも寄与でき
る。Furthermore, the work of joining the core substrate side and the core block side becomes easier, which contributes to improving the manufacturing yield of thin-film magnetic heads.
第１図は本発明の一実施例を示す、薄膜磁気ヘッド主要
部分の断面図、第２図、第３図は本発明の薄膜磁気ヘッ
ドの製造工程の一例を示す断面図、第４図は従来例を示
す断面図である。
１・・・フェライトコア基板、
２・・・薄膜コイル、
３・・・アルミナ膜、
４・・・エポキシ樹脂、
５・・・フェライトコアブロック、
６・・・絶縁ガラス層、
７・・・磁気記録媒体、
８・・・コイル用溝、
９・・・薄膜コイル材料、
ＩＯ・・・ガラス用溝。
一部
第 ２ （
第 ３ 図
第 ４ 図FIG. 1 is a cross-sectional view of the main parts of a thin-film magnetic head showing an embodiment of the present invention, FIGS. 2 and 3 are cross-sectional views showing an example of the manufacturing process of the thin-film magnetic head of the present invention, and FIG. FIG. 2 is a sectional view showing a conventional example. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Ferrite core substrate, 2... Thin film coil, 3... Alumina film, 4... Epoxy resin, 5... Ferrite core block, 6... Insulating glass layer, 7... Magnetism Recording medium, 8... Coil groove, 9... Thin film coil material, IO... Glass groove. Part 2 (Fig. 3, Fig. 4)
Claims (1)
ィ技術により薄膜導体コイルを形成し更にその上部に高
透磁率のフェライトコアブロックを接着させることによ
り、フェライト基板とフェライトブロックにて開磁気路
を形成した薄膜磁気ヘッドにおいて、フェライト基板上
の薄膜コイル形成箇所に薄膜コイルの厚さにほぼ等しい
凹溝を形成しその溝の中に薄膜コイルを形成したことを
特徴とする薄膜磁気ヘッド。By forming a thin film conductor coil on a high magnetic permeability ferrite core substrate using photolithography technology and then bonding a high magnetic permeability ferrite core block on top of the coil, an open magnetic path was formed between the ferrite substrate and the ferrite block. 1. A thin film magnetic head, characterized in that a concave groove approximately equal to the thickness of the thin film coil is formed at a location on a ferrite substrate where the thin film coil is formed, and a thin film coil is formed in the groove.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27598987A JPH01118207A (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | Thin film magnetic head |
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| JP27598987A JPH01118207A (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | Thin film magnetic head |
Publications (1)
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| JPH01118207A true JPH01118207A (en) | 1989-05-10 |
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| JP27598987A Pending JPH01118207A (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | Thin film magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH01118207A (en) |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP27598987A patent/JPH01118207A/en active Pending
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