JPH01113640A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、被検査物の表面欠陥の有無を検査する装置の
改良に関する。

（従来の技術） 従来より、このような表面欠陥検査装置として、例えば
特開昭６０−２２８９０８号公報に開示されているよう
に、レーザスリット光を被検査物表面に照射してその反
射光を拡散スクリーンで拡散させ、その拡散光を光電セ
ンサ（ラインセンサ）で検出することにより、上記被検
査物と検査装置との相対位置に変化が生じても拡散光を
光電センサに集光せしめ、これにより被検査物の表面欠
陥の有無を確実に検査するようになされたものが知られ
ている。

（発明が解決しようとする問題点） ところが、上記の従来のものでは、被検査物と検査装置
との相対位置が大きく変化すると、拡散スクリーンから
の拡散光を光電センサで検出することができず、この場
合には、被検査物の表面欠陥の有無を検査し得なくなる
。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目
的とするところは、被検査物の検査領域を照射する光源
を、上記被検査物と検査装置との相゛　対位置の変化に
応じて移動させる適切な手段を講することにより、被検
査物と検査装置との相対位置が大きく変化した場合であ
っても、両者の位置ずれを速やかに修正して被検査物の
表面欠陥の有無を確実にかつ高精度に検査せんとするこ
とにある。

（問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明の解決手段は、被検
査物の表面欠陥の有無を検査する装置を対象とし、この
場合、上記被検査物の表面をその次段検査領域に光軸を
向けて照射する傾斜光を発する光源と、該光源の傾斜光
により照射される被検査物検査領域の表面欠陥の有無を
検査する検査手段とを設は盃。さらに、上記光源の被検
査物次段検査領域にて反射する反射光を検出する検出手
段と、該検出手段の検出情報に基づき上記被検査物次段
検査領域に対する光源位置を補正する補正手段とを設け
る構成とする。

（作用） 上記の構成により、本発明では、被検査物は、その検査
領域における表面欠陥の有無が検査手段によって検査さ
れる。この際、上記被検査物の次段検査領域には、上記
表面欠陥検査のために光源より発せられた傾斜光が反射
され、この反射光を検出した検出手段の検出情報に基づ
き上記被検査物次段検査領域に対する上記光源の位置が
補正手段により補正されることから、被検査物と検査装
置との相対位置が大きく変化した場合であっても、両者
の位置ずれが速やかに修正されて被検査物の表面欠陥の
有無が確実にかつ高精度に検査されることとなる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図および第２図は被検査物の表面欠陥を検査する本
発明の実施例に係る表面欠陥検査装置１を示し、本実施
例では、被検査物が自動車の車体Ｗであり、図示しない
台車に乗載されて検査ステーションに搬送された上記車
体Ｗの上面（ボンネット、ルーフおよびトランクリッド
）の塗膜形成状態、つまり表面欠陥の有無を検査する場
合を示す。

上記検査装置１は、矢印にて示す車体Ｗ搬送方向に向か
って検査ステーション上方に水平に配置された支持バー
２を備えてなり、該支持バー２は、ロボットアーム３の
予め設定された車体Ｗ形状データに基づく動作により、
車体検査領域に対し適正な位置をとり得るよう移動可能
になされている。

そして、上記支持バー２の一端（図で右端）には、台車
に乗載されて検査ステーションに搬送された車体Ｗの上
面を照射する傾斜光を発する光源としての蛍光燈４が配
置され、該蛍光燈４の傾斜光は、上記車体Ｗの例えばル
ーフを車体検査領域で検査する場合には、その車体次段
検査領域であるトランクリッドに光軸４ａが向くように
なされている。

また、上記支持バー２の中程には、上記蛍光燈４の傾斜
光により照射される車体検査領域の表面欠陥の有無を検
査する検査手段としての第１ＣＯＤカメラ５が車体Ｗ＠
送方向下流側寄りに、十字スリット光を車体次段検査領
域に照射する照射器６が車体Ｗ搬送方向上流側寄りにそ
れぞれ配置されている。

さらに、上記支持バー２の他端（図で左端）には、上記
蛍光燈４の車体次段検査領域にて反射する反射光を検出
する検出手段としての第２ＣＯＤカメラ７が配置され、
該第２ＣＯＤカメラ７は、検出した画像情報を位置情報
に変換する位置情報変換器８に接続されている。さらに
、上記第２０ＣＤカメラ７は照射器６の十字スリット光
をも検出するようになされている。

また、上記支持バー２は、第１モータ９によって車体Ｗ
搬送方向に、第２モータ１０によって車体Ｗ搬送方向と
直交する方向に、第３モータ１１によって上下方向にそ
れぞれ移動可能に構成されている。そして、これら第１
〜３モータ９〜１１には、上記位置情報変換器８の位置
信号がそれぞれ入力され、この位置信号に基づき上記第
１〜３モータ９〜１１の作動を制御することにより、車
体Ｗに対する上記支持バー２の位置つまり蛍光燈４、第
１ＣＯＤカメラ５、照射器６および第２ＣＯＤカメラ７
の位置を調整するようになされている。したがって、上
記位置情報変換器８および第１〜３モータ９〜１１によ
り、第２ＣＯＤカメラ７の検出した画像情報に基づき車
体次段検査領域に対する蛍光燈４の光軸４ａ位置を補正
する補正手段１２が構成されている。

したがって、上記実施例では、台車に乗載されて検査ス
テーションに搬送された車体Ｗの車体検査領域（例えば
ルーフ）を第１ＣＯＤカメラ５で検査している際に、上
記車体検査領域にその検査のために照射された蛍光燈４
の傾斜光の車体次段検査領域（例えばトランクリッド）
における反射光を第２ＣＯＤカメラ７によってとらえる
。そして、この第２ＣＯＤカメラ７の画像情報を位置情
報に変換した位置情報変換器８の位置信号に基づき第１
〜３モータ９〜１１の作動を制御することにより、上記
車体Ｗと、ロボットアーム３の車体Ｗ形状データに基づ
く検査装置１（支持バー２）との相対的な位置ずれを修
正する。このことから、上記両者の相対位置が大きく変
化した場合であっても、その位置ずれを速やかに修正せ
しめて車体Ｗの表面欠陥の有無を確実にかつ高精度に検
査することかできる。

また、上記実施例では、第２ＣＯＤカメラ７により照射
器６の十字スリット光をも検出することから、車体次段
検査領域を３次元的に認識し得、照射器６を用いない場
合に比べて車体次段検査領域を高精度に検出することが
できる。

なお、上記実施例では、被検査物が自動車の車体Ｗであ
り、該車体Ｗの上面（ボンネット、ルーフおよびトラン
クリッド）の塗膜形成状態を検出する場合を示したが、
これに限らないことは勿論である。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、被検査物の表面
をその次段検査領域に光軸を向けた光源の発する傾斜光
により照射して被検査物検査領域の表面欠陥の有無を検
査する際に、上記光源の被検査物次段検査領域にて反射
する反射光を検出し、この検出情報に基づき上記被検査
物次段検査領域に対する光源位置を補正するようにした
ので、被検査物と検査装置との相対位置が大きく変化し
た場合であっても、両者の位置ずれを速やかに修正せし
めて被検査物の表面欠陥の有無を確実にかつ高精度に検
査することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る９表面欠陥検査装置を自
動車の車体上面の塗膜形成状態を検査する場合に適用し
た平面図、第２図は同正面図である。 １・・・検査装置、４・・・蛍光燈、４ａ・・・光軸、
５・・・第１ＣＣＤカメラ、７・・・第１ＣＣＤカメラ
、１２・・・補正手段、Ｗ・・・車体。 特　許　出　願　人　　マツダ株式会社　・　　代　　
　　理　　　　人　　前　１）　弘　　：＝；ｆ、ｌ−
，６，ユ、゛第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検査物の表面欠陥の有無を検査する装置であっ
   て、上記被検査物の表面をその次段検査領域に光軸を向
   けて照射する傾斜光を発する光源と、該光源の傾斜光に
   より照射される被検査物検査領域の表面欠陥の有無を検
   査する検査手段と、上記光源の被検査物次段検査領域に
   て反射する反射光を検出する検出手段と、該検出手段の
   検出情報に基づき上記被検査物次段検査領域に対する光
   源位置を補正する補正手段とを備えたことを特徴とする
   表面欠陥検査装置。