JPH01108003A - セラミック生シートの製造方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、多層セラミック回路基板等を製造するのに用
いるスルーホール付きのセラミック生シートを効率的に
得るためのセラミック生シートの製造方法及び装置に関
する。

（従来の技術及び問題、貞） 焼成前のセラミック生シート（グリーンシート）にスル
ーホールとなる穴を設ける方法としては、従米次のよう
なものが知られていた。

（１）金型を使用してセラミック生シートに一括して穴
あけを行う方法。但し、金型にコスト、納期がかかり、
試作や少量多品種に対応できない。

（２）　レーザーによる穴あけ法。基本的に、１個づつ
穴あけする方式であり、穴数増加により時間、コストが
増大する。

（３）穴１個分の金型とＸＹテーブルを組み合わせる方
法。穴数増加により時間、コストが増大するし、穴の形
状、寸法が限定される。

（４）穴あけする可能性のある位置のすべてにビン立て
した金型を用意し、不要の穴は絶縁ペーストで埋める方
法（特開昭５６−１００４９５号）。

回路パターン設計の自由度が低下し、配ａｖ度を上げに
くい。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、上記の点に鑑み、スルーホールとなる多数の
穴を有するセラミック生シートを効率的かつ安価に得る
ことができ、しかも穴の形状、寸法を任意に設定できる
セラミック生シートの製造方法及び装置を提供しようと
するものである。

本発明のセラミック生シートの製造方法は、セラミック
原料粉（ガラス粉とセラミック粉との混合物や結晶化ガ
ラス粉を使用する場合を含む）を紫外線硬化型又は電子
ビーム硬化型樹脂と混合しスラリー状混合物としたもの
をキャリアテープ上に所定厚みで塗布する工程と、塗布
された前記スラリー状混合物の穴あけ位置には紫外線及
び電子ビームを照射せず、前記穴あけ位置以外の部分に
紫外線又は電子ビームを照射すして前記スラリー状混合
物を硬化させる工程と、前記穴あけ位置に対応した未硬
化部分を除去する工程とを備えている。

また、本発明のセラミック生シートの製造装置は、キャ
リアテープを定速で走行させる走行手段と、セラミック
原料粉を紫外線硬化型又は電子ビーム硬化型樹脂と混合
したスラリー状混合物の供給を受けて前記キャリアテー
プ上に一定膜厚で塗布するドクターブレードと、塗布さ
れた前記スラリー状混合物の穴あけ位置以外の部分に紫
外線又は電子ビームを照射する照射手段とを具備してい
る。

（作用） 本発明においては、セラミック原料粉を紫外線硬化型又
は電子ビーム硬化型樹脂と混合したスラリー°状部合物
に、紫外線又は電子ビームを照射することにより硬化さ
せており、その際に穴あけ位置は照射しないでおいて未
硬化部分として残し、該未硬化部分を除去して穴あきセ
ラミック生シートを得ている。このため、打ち抜き金型
が不要であり、低コスト、低納期となる。また、穴の形
状、寸法、個数に関係なく同時に穴あきセラミック生シ
ートを得ることができる。さらに、従来のドクターブレ
ード法に必要な溶剤蒸発のための乾燥炉が不要になり、
装置が小型になる。

（実施例） 以下、本発明に係るセラミック生シートの製造方法及び
装置の実施例を図面に従って説明する。

第１図は本発明の第１実施例を示す。この図において、
キャリアテープ供給（ＩＳｌはマイラーテープ等の材質
のキャリアテープ２を供給し、キャリアテープ巻取部３
は一定速度でキャリアテープ２を巻取るものである。そ
れらの供給部１及び巻取部３がキャリアテープ２を定速
走イテさせる手段を構成している。

キャリアテープ２上の供給部寄り位置にはスラリー供給
部４が配設され、該スラリー供給部４にはスラリー供給
管５よりセラミック原料粉（アルミナ粉末等のセラミッ
ク粉のみならず、ガラス粉とセラミック粉との混合物や
結晶化ガラス粉等を使用する場合も含む）を紫外線硬化
型樹脂の未硬化液と混合したスラリー状混合物６が供給
される。

そして、スラリー供給ｆｆｔｓ４のキャリアテープ送出
側部分にはドクターブレード７が配置され、ドクターブ
レード下端とキャリアテープ２との間隙及びキャリアテ
ープ２の走行速度によって定まる一定膜厚（例えば１０
０μｍ）でキャリアテープ２上にスラリー状混合物６が
塗布される。

紫外線照射部８は紫外線ランプ９及びマスク１０を有し
、この紫外線照射部８は駆動部１１によりキャリアテー
プ２と同一速度でキャリアテープ上を移動する。照射部
８が右端に移動した後は、高速で左端の移動開始原点に
復帰し、再びキャリアテープ２と同一速度で移動する動
作を繰り返す。

前記マスク１０は第２図のようにキャリアテープ２上に
塗布されたスラリー状混合物６に近接対向し、スルーホ
ール用穴あけ位置は紫外線遮断部分１２で、その他の部
分は紫外線透過部分１３となっている。前記スラリー状
混合物６と、マスク１０及び紫外線ランプ９との相対速
度は零であり、スラリー状混合物６の穴あけ位置Ｐは紫
外線は当たらず混合物６は未硬化のまま残り、それ以外
の総ての部分には紫外線が照射されて混合物６は硬化す
る。

照射処理後のキャリアテープ２及び混合物６は、ロール
１５、トルエン系、アルコール系、ケトン系等の溶剤を
吹き付ける未露光部除去機構１６、及び溶剤を入れた溶
剤槽１７を８％罰した未露光部除去装置１８を通過して
前記巻取部３に巻取られるようになっている。その未露
光部除去装置１８では、まずロール１５にそって走行す
る混合物６の未露光部分、すなわち未硬化部分を未露光
部除去機構１６の溶耐吹き付けで落とし、さらに溶剤　
　−槽１７で残った未露光部分を溶解除去してｆｊＳ３
図のようなスルーホールとなる穴１９を有するセラミッ
ク生シート２０を得る。そして、Ｐｔ５３図の状態とな
ったものが巻取部３にて巻取られる。

ｆｊＳ４図は本発明の第２実施例を示す。この図におい
て、容器３０の両件に、キャリアテープ供給部１とキャ
リアテープ巻取部３が配置され、スラリー供給部４は常
圧の窒素〃スが充填された容器３０内に配設されている
。そして、容器３０の両側面にはキャリアテープ２を通
過させるための開口４０．４１が形成され、各開口４０
．４１には窒素〃スカーテン４２が配置されている。該
窒素がスカーテン４２により窒素ガスを噴出して大気中
の酸素が容器３０内に入るのを防止する。

さらに、前記容器３０内には真空室３３が配置され、こ
の真空室３３の内側に電子銃３１と電子レンズ３２とを
有する電子ビーム発生器３４が設けられている。真空室
３３は真空排気系に接続されている。この真空室３３に
はＢｅ箔等で形成された窓４３が設けられており、電子
ビーム発生器３４よりの電子ビームは通過させるが気体
は通さないようにしている。また、キャリアテープ２を
はさんで電子ビーム発生器３４とは反対側に過剰な電子
ビームを集める電子ビーム捕集器４４が配置され、該抽
集器４４は冷却バイブ４５内を通過する冷却液で冷却さ
れるようになっている。

スラリー供給部４にはスラリー供給ｇｒ！ｓよりセラミ
ック原料粉を電子ビーム硬化型樹脂の未硬化液と混合し
たスラリー状混合物６Ａが供給される。

そして、ドクターブレード７により定速走行するキャリ
アテープ２上に一定膜厚でスラリー状混合物６Ａが塗布
される。

電子ビーム発生器３　＝１の電子レンズ３２は、電子銃
３１より放出された電子をビーム状に収束しかつ穴位置
、形状を記憶したメモリー回路を内蔵している制御装置
３５よりの走査信号Ｓを受けてキャリアテープ２の走行
方向に垂直な方向くテープ幅方向）に電子ビームを走査
する機能を有する。

但し、キャリアテープ２上に塗布されたスラリー状混合
物６Ａのスルーホール用穴あけ位置に対しては電子ビー
ムが当たらないように走査をずらせて回避する。また走
査をずらせて回避するかわりに、穴あけ位置にきたとき
に電子ビームの強度を微弱にするようにしても良い。

この結果、スラリー状混合物６Ａの穴あけ位置は電子ビ
ームは当たらず未硬化のまま残り、それ以外の総ての部
分には電子ビームが照射されて混合物６Ａが硬化したも
のが巻取部３側に得られる。

なお、電子ビーム照射処理後、容器３０の外側において
、前述の第１実施例と同様に未露光部除去装置１８によ
り混合物６Ａの未硬化部分を溶解除去して第３図のよう
なスルーホールとなる穴１９を有するセラミック生シー
ト２０を得ることができる。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、スルーホールと
なる多数の穴を有するセラミック生シートを効率的かつ
安価に得ることができ、しかも穴の形状、寸法を任意に
設定できる利点がある。さらに、乾燥炉が不要になり、
装置の小型化を実現できる。

【図面の簡単な説明】

ｆｊｓ１図は本発明の第１実施例を示す構成図、第２図
及びｆｊＳ３図は本発明の作用をそれぞれ示す拡大断面
図、第４図は第２実施例の構成図である。 １・・・キャリアテープ供給部、２・・・キャリアテー
プ、３・・・キャリアテープ巻取部、４・・・スラリー
供給部、５・・・スラリー供給管、６，６Ａ・・・スラ
リー状混合物、７・・・ドクターブレード、８・・・紫
外線照射部、９・・・紫外線ランプ、１０・・・マスク
、１１・・・駆動部、１８・・・未露光部除去装置、１
９・・・穴、２０・・・セラミック生シート、３０・・
・容器、３１・・・電子銃、３２・・・電子レンズ、３
４・・・電子ビーム発生器、３５・・・制御装置。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）セラミック原料粉を紫外線硬化型又は電子ビーム
   硬化型樹脂と混合しスラリー状混合物としてキャリアテ
   ープ上に所定厚みで塗布し、塗布された前記スラリー状
   混合物の穴あけ位置には紫外線及び電子ビームを照射せ
   ず、前記穴あけ位置以外の部分に紫外線又は電子ビーム
   を照射して、前記スラリー状混合物を硬化させ、前記穴
   あけ位置に対応した未硬化部分を除去することを特徴と
   するセラミック生シートの製造方法。
2. （２）キャリアテープを定速で走行させる走行手段と、
   セラミック原料粉を紫外線硬化型又は電子ビーム硬化型
   樹脂と混合したスラリー状混合物の供給を受けて前記キ
   ャリアテープ上に一定膜厚で塗布するドクターブレード
   と、塗布された前記スラリー状混合物の穴あけ位置以外
   の部分に紫外線又は電子ビームを照射する照射手段とを
   備えたことを特徴とするセラミック生シートの製造装置
   。
3. （３）前記照射手段が、紫外線ランプと、前記キャリア
   テープと同じ速度で走行し、塗布された前記スラリー状
   混合物の穴あけ位置への紫外線照射を遮断するマスクと
   を有するものである特許請求の範囲第２項記載のセラミ
   ック生シートの製造装置。
4. （４）前記照射手段が、電子ビームを発生する電子銃と
   、電子ビームを偏向させて走査する走査手段とを有する
   ものである特許請求の範囲第２項記載のセラミック生シ
   ートの製造装置。