JPH01106486A - 半導体レーザアレイの光量モニタ方法 - Google Patents

半導体レーザアレイの光量モニタ方法

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JPH01106486A
JPH01106486A JP26458287A JP26458287A JPH01106486A JP H01106486 A JPH01106486 A JP H01106486A JP 26458287 A JP26458287 A JP 26458287A JP 26458287 A JP26458287 A JP 26458287A JP H01106486 A JPH01106486 A JP H01106486A
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light
light emitting
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JP26458287A
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Kunio Yamada
邦夫 山田
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Fujifilm Business Innovation Corp
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Fuji Xerox Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/06Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
    • H01S5/068Stabilisation of laser output parameters
    • H01S5/0683Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
    • H01S5/06835Stabilising during pulse modulation or generation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
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  • Electromagnetism (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザスキャナに用いられる半導体レーザア
レイの光量モニタ方法に関する。
〔従来の技術〕
半導体レーザを複数個併設した半導体レーザアレイ(以
下LDAと略称する)は、複数の走査線を同時に記録1
表示できるため、高速化が可能となるなどのメリットを
有するが、個々の半導体レーザ毎に特性のバラツキがあ
ったり、経時変化による特性の劣化速度が異なり、常時
、光量を等しくすることが困難であるという問題がある
。このため、LDAの各レーザが同一光量となるように
、光量をモニタし、光量調節を行うことが必要となる。
第7図は、発光点が3個のLDAIを用いた場合の、発
光点からのモニタ光4−1.4−2.4−3 と光量モ
ニタ用受光素子2との関係を示している。図中、5−1
.5−2.5−3 は走査される光である。
このようなLDAの各レーザの光量を測定する方法とし
て、各レーザのバックビームをCCDやMOS型のディ
テクタアレイによって検出し、対応するレーザのピーク
パワーが等しくなるように光量を制御することが提案さ
れている(特開昭57−78191号公報参照)。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところで、第7図に示すLDAIにおける発光点同士の
間隔は、通常、数ミクロンから数百ミクロンであり、モ
ニタ光4−1.4−2.4−3 は拡がりながら受光素
子2に達する。発光点と受光面3とは、通常では1關程
度の間隔で配置されており、モニタ光4−1.4−2.
4−3 の拡がり角(半値全角)は10゜から30°程
度である。したがって、第7図に示すように、受光面3
上では複数の発光点からのビームが重なってしまい、各
々の光量を独立にモニタすることはできない。そのため
、前記の特開昭57−78191号公報に記載された方
法のように、各レーザの発光点のそれぞれに対応して受
光素子を設けてモニタしても、発光点毎の正確な光量フ
ィードバックができないという問題があった。
本発明は、二のよ、うな従来の問題点に鑑みてなされた
ものであり、発光点毎の正確な光量モニタを行うことの
できるLDAの光量モニタ方法を提供することを目的と
する。
〔問題点を解決するための手段〕
本願の第1の発明の半導体レーザアレイの光量モニタ方
法は、この目的を達成するため、複数の発光点と、1個
又は前記発光点よりも少ない個数の光量モニタ用受光素
子とを有する半導体レーザアレイを用いたレーザスキャ
ナにおいて、実効的な1回の走査が終了してから次の実
効的な走査を開始するまでの間の時間を発光点数に応じ
て等分し、各発光点を順次点滅させて前記光量モニタ用
受光素子により、光量をモニタすることを特徴とする。
また、本願の第2の発明の半導体レーザアレイの光量モ
ニタ方法は、複数の発光点と、1個又は前記発光点より
も少ない個数の光量モニタ用受光素子とを有する半導体
レーザアレイを用いたレーザスキャナにおいて、走査終
了から走査開始までの間に複数の発光点のうちの1個以
上の発光点を時系列的に点灯させて光量をモニタし、走
査終了毎に点灯させる発光点を順次切り換えることを特
徴とする。
〔作用〕
第1図は、各発光点からの光量をモニタするタイミング
を示すタイムチャートである。
通常のレーザスキャナでは、実効的な光走査は、1回の
走査から次の走査へ移る間、ある一定時間の走査無効時
間をもっている。
この走査無効時間は、回転多面鏡スキャナを用いた場合
では、第3図に示すように、通常、入射光線であるレー
ザビーム11が回転多面鏡12の2面に跨がり、出射光
線が13aと13bに分岐している時間に対応する。こ
の時間は、1本のビーム11が回転多面鏡12の2個所
を照射するので、有効な走査としては使用できない。
また、ガルバノミラ−や、共振スキャナのような往復走
査をするスキャナでは、第4図のように走査速度が零近
傍の、往路から復路に変わる時間に対応している。この
時間は、走査速度が極端に低くなるので、有効な走査と
しては使用できない。
このように、スキャナーとしての機能が不十分な時間は
、走査無効時間となる。
本発明は、この走査無効時間に着目し、この時間に光源
の光量をモニタし、次の走査時゛に所望の光量になるよ
う制御をしようとするものである。
ところで、このときの光源がLDAの場合は、モニタ光
がどの発光点からの光なのかを判別しなければ、複数の
発光点を各々所望の発光量にできない、そこで、走査無
効時間を第1図のように発光点の数だけに分割し、各発
光点の光量を単独に順次モニタする。すなわち、第1図
(a)はLDAの発光点の数が3個の場合における1番
目の発光点の点滅チャート、(5)及び(C)はそれぞ
れ同じく2番目及び3番目の発光点の点滅チャートであ
る。T。
の区間は走査無効時間であり、この間に光量モニタを行
う。T、は有効走査時間であり、この間に変調光14に
よる走査を行う。これにより、複数の光量を1個の光量
モニタ用受光素子で各々独自にモニタし、制御できるこ
とになる。
なお、第1図の例では、通常利用されている有効な走査
開始を知るための信号(S OS =startof 
5can信号)を得るために、第1図(C)のT2 に
示すように、最後(3番目)にモニタした光は点灯し続
けるようにしている。この光が、スキャナ内に設けられ
たSO8用光検出器に検知されると、各発光点は有効な
走査を始め、被走査物に光情報を与えるべ(変調される
〔実施例〕
以下、本発明の特徴を図面に示す実施例に基づいて具体
的に説明する。
第2図は、第1図に示した点滅チャートを得るための実
施例を示すブロック図である。同図において、1−1.
1−2及び1−3 は、LDAIを形成する第1.第2
及び第3の発光点、21〜23はそれぞれ第1〜第3の
発光点1−1〜1−3のドライバである。
第2図のブロック図において、LDAIによる画像書き
込みが終了すると、レーザ光線は画像部外端に設けられ
たE OS (end of 5can)  センサ2
4で検知され、書き込み終了、すなわち走査無効時間開
始が認識され、EOSセンサ24からは、それに対応し
たパルスが発せられる。ワンショットマルチバイブレー
タ26は、このパルスの立ち上がりを検知すると、1番
目の発光点1−1 の光量モニタ時間だけ点灯信号を出
し、1番目の発光点1−1 のドライバー21を介して
点灯させる。これが終了すると、マルチバイブレータ2
6の信号の立下りを検知して、マルチバイブレータ27
が2番目の発光点1−2を同様に点灯させる。また、こ
のパルスの立下りを検知してマルチバイブレーク28が
同様に発光点1−3 を点灯させる。このとき、マルチ
パイプレーク28のパルス幅は、SO8検出が可能なだ
け長く設定されており、SO8信号29がSOSセンサ
25から出ると、それによりクリアされる。以後は、S
O3信号29に同期してビデオ回路30が画像情報に基
づいた点滅信号を各ドライバ21〜23に送り、各発光
点1−1〜1−3が発光し、書き込みを行う。
第5図は、本発明の他の実施方法のタイムチャートを示
すものである。
第1図の方法では、1回の走査無効時間中に複数の発光
点全部を順次モニタする例を示したが、第5図の場合は
、まず(a)に示すように1回の走査無効時間Tll中
には、複数の発光点のうちの1個のみを点灯し、モニタ
する。そして、次の走査無効時間TI2で、(ロ)に示
すように1回目とは異なる発光点を1個点灯してモニタ
する。さらに、次の走査無効時間T + sで、(C)
に示すように残りの発光点を点灯してモニタする。この
ように、走査無効時間毎に、各発光点の点灯とモニタを
順次行うことにより、LDAの発光点すべてのモニタを
実行することができる。
第6図は、第5図の実施例に対応する回路例である。E
OSセンサ24の検知信号をカウンタ31で計数し、そ
の出力をデコーダ33に人力する。このとき、EO8信
号はワンショットマルチバイブレータ32にも入力され
る。ワンショットマルチバイブレータ32は光量モニタ
時間に相当するパルスを出す。このパルスはデコーダ3
3のイネーブル入力となり、光量モニタ時間だけデコー
ダ33が稼動するように制御している。デコーダ33は
、カウンタ31のカウントに同期して、3本の出力ライ
ンのうち1本のみサイクリックにオン状態にする。この
オン状態になった出力ラインに接続されているドライバ
21〜23が、EO3信号が入力される度に順次LDA
Iの発光点をひとつずつ点灯させる。なお、SOSセン
サ及びビデオ回路は第2図と同様であり、省略している
これらの変形例は、モニタに時間がかかる場合、あるい
は走査無効時間が全発光点をモニタするのに必要な時間
よりも短い場合に有効である。
なお、第1図の方法と第5図の方法の中間的な組合せも
可能である。すなわち、例として発光点が6個の場合で
は、1回の走査無効時間には、第1図の方式で順次3点
のモニタを行い、それを2回の走査にわたって第5図の
方式で繰り返せば、6点全部を各々独立にモニタできる
というものである。
〔発明の効果〕
以上に説明したように、本発明においては、半導体レー
ザアレイを用いたスキャナの光量を、1個の又は発光点
の個数よりも少ないモニタ用受光素子で、時間的に異な
らせてモニタするようにしている。これにより、モニタ
光の拡がり角によって生ずるビームの重なりの影響を解
消することが可能となり、各発光点毎の正確な光量フィ
ードバックを行うことが可能となり、LDAの問題点で
あった各半導体レーデの特性のバラツキや経時変化によ
る特性の低下を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の詳細な説明するタイムチャート、第2
図は本発明の方法を実施するための構成を示すブロック
図、第3図は回転多面鏡スキャナを用いた場合の走査無
効の状態を示す図、第4図はガルバノミラ−又は共振ス
キャナを用いた場合の走査無効状態を示す走査速度グラ
フ、第5図は本発明の他の方法を説明するタイムチャー
ト、第6図は第5図の方法を実施するための構成を示す
ブロック図、第7図はLDAモニタ光の分布と受光素子
の関係を示す図である。 ■=半導体レーザアレイ(LDA) 2:光量モニタ用受光素子 3:受光面4−1.4−2
.4−37モニタ光 5−1.5−2.5−3:走査される光11:レーザビ
ーム(入射光) 12:回転多面鏡 13a、13b:出射光線   14:変調光29:S
O3信号 特許出願人  富士ゼロックス 株式会社代 理 人 
 小 堀  益(ほか2名)第  1  因 箪 3 図 I!4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、複数の発光点と、1個又は前記発光点よりも少ない
    個数の光量モニタ用受光素子とを有する半導体レーザア
    レイを用いたレーザスキャナにおいて、実効的な1回の
    走査が終了してから次の実効的な走査を開始するまでの
    間の時間を発光点数に応じて等分し、各発光点を順次点
    滅させて前記光量モニタ用受光素子により、光量をモニ
    タすることを特徴とする半導体レーザアレイの光量モニ
    タ方法。 2、複数の発光点と、1個又は前記発光点よりも少ない
    個数の光量モニタ用受光素子とを有する半導体レーザア
    レイを用いたレーザスキャナにおいて、走査終了から走
    査開始までの間に複数の発光点のうちの1個以上の発光
    点を時系列的に点灯させて光量をモニタし、走査終了毎
    に点灯させる発光点を順次切り換えることを特徴とする
    半導体レーザアレイの光量モニタ方法。
JP26458287A 1987-10-19 1987-10-19 半導体レーザアレイの光量モニタ方法 Pending JPH01106486A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5432537A (en) * 1992-05-18 1995-07-11 Ricoh Company, Ltd. Optical recording apparatus capable of controlling optical power of laser diode array
US5671077A (en) * 1992-05-18 1997-09-23 Ricoh Company, Ltd. Multi-beam light source device and optical scanning apparatus using the multi-beam source device
JP2004106419A (ja) * 2002-09-19 2004-04-08 Fuji Xerox Co Ltd 光源制御装置
JP2007021826A (ja) * 2005-07-14 2007-02-01 Ricoh Co Ltd 光書込装置及び画像形成装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5432537A (en) * 1992-05-18 1995-07-11 Ricoh Company, Ltd. Optical recording apparatus capable of controlling optical power of laser diode array
US5671077A (en) * 1992-05-18 1997-09-23 Ricoh Company, Ltd. Multi-beam light source device and optical scanning apparatus using the multi-beam source device
JP2004106419A (ja) * 2002-09-19 2004-04-08 Fuji Xerox Co Ltd 光源制御装置
JP2007021826A (ja) * 2005-07-14 2007-02-01 Ricoh Co Ltd 光書込装置及び画像形成装置

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