JP7842801B2 - テストコンタクトを取り扱うための装置 - Google Patents

Description

本発明は、テストコンタクトであって、そのコンタクト端部にテストコンタクト収容部が設けられたコンタクトヘッドを有する、テストコンタクトを取り扱うための装置であって、テストコンタクト収容部が、テストコンタクトとの接触を位置決めするための、かつコンタクトヘッドのコンタクト端部に対してテストコンタクトを位置決めするための少なくとも２つの位置決め面を有する位置決めユニットを有し、位置決めユニットの少なくとも１つの位置決め面が縁接触面として形成され、位置決めユニットの少なくとももう１つの位置決め面がベース接触面として形成されている、装置に関する。さらに、本発明は、少なくとも１つのテストコンタクトを有するシステムと、装置の一実施形態とを備える。

テストコンタクトは、共有テストプラットフォーム上の複数のテストコンタクトを有するテストコンタクト配列を製造するために使用されることが知られている。テストコンタクトは、ウエハ面上の個々のチップが個々のテストコンタクトを介して規定の方法で接触されることができるように、ウエハアセンブリ内に配置されたチップに応じてマトリックス配列で並べられる。

テストコンタクト配列を製造するために、個々のテストコンタクトは、個々のテストコンタクトのコンタクトアームまたはコンタクト先端の意図されたマトリックス配列に従ってテストボードとして実現されるコンタクト支持体上に配置され、テストボード上に形成された接触面上にはんだ付けされる。各テストボード上にテストコンタクトが集中し、その結果テストコンタクト間の距離が短くなるため、テストボード上のテストコンタクトの電気的に確実に、かつ正確に位置決めされた位置合わせと接触のための要件が特に高い。テストボード上のテストコンタクトの正確な位置合わせおよび接触のためには、テストコンタクトを取り扱うための装置のコンタクトヘッド上にテストコンタクトが収容される段階から、高い精度が要求される。テストコンタクトを取り扱うための装置の異なる実施形態が知られている。例えば、テストコンタクト配列を製造するための装置が知られており、そのテストコンタクト収容部は、取り付けおよび取り扱いのためにテストコンタクトに負圧を印加する。テストコンタクトをコンタクトヘッドに対して位置合わせするために、テストコンタクトの上縁をコンタクトヘッドまたはテストコンタクト収容部の停止部と接触させることが知られている。しかしながら、各テストコンタクト設計について、テストコンタクトを取り扱うための既知の装置は、それぞれのテストコンタクトに合わせて調整された異なる装置またはテストコンタクト収容部を必要とする。言い換えれば、幾何学的にずれているテストコンタクトごとに、テストコンタクト収容部も再設計し交換する必要がある。

上記の状況に照らして、本発明の目的は、テストコンタクトの収容に関する従来技術の欠点を克服する装置を提案することである。特に、目的は、複数の異なるテストコンタクトが収容されることができるように、汎用的に使用され得るテストコンタクトを精密かつ確実に取り扱い、かつ収容するための装置を提案することである。

この目的は、独立請求項１の特徴を有する装置を提案することによって達成される。また、このような装置を有するシステムが提案されている。

本発明の有利な実施形態は、従属請求項の主題である。本発明はまた、明細書、特許請求の範囲および／または図面に開示された少なくとも２つの特徴を含むすべての組み合わせに関する。当然のことながら、装置に関する言及は、その文脈において別々に言及されることなく、等価的に本発明によるシステムに関する。特に、一般的な言語慣用の範囲内でのそれぞれの用語の言語的に一般的な言い換えおよび／または類似の置換、特に広く認識されている言語文献によって裏付けられた同義語の使用は、当然のことながら、あらゆる変形を明示的に言及する必要なく、手元の開示内容によって構成されている。

第１の態様では、本発明は、テストコンタクトであって、そのコンタクト端部にテストコンタクト収容部が設けられたコンタクトヘッドを有する、テストコンタクトを取り扱うための装置であって、テストコンタクト収容部が、テストコンタクトとの接触を位置決めするための、かつコンタクトヘッドのコンタクト端部に対してテストコンタクトを位置決めするための少なくとも２つ、好ましくは３つの位置決め面を有する位置決めユニットを有する、装置に関する。本装置は、位置決めユニットの少なくとも１つの位置決め面が縁接触面として形成され、位置決めユニットの少なくとももう１つの位置決め面がベース接触面として形成されていることを特徴とする。したがって、本装置は、有利には、テストコンタクトの底面をベース接触面上に、かつテストコンタクトの別の縁を縁接触面上にテストコンタクトを位置決めすることによって、コンタクトヘッドに対するテストコンタクトの精密で方向付けられた配列を可能にする。本発明の範囲内で、縁接触面は、ベース接触面とは異なり、好ましくはベース接触面と一致せず、より好ましくはベース接触面から離れて配置されている面である。さらに好ましくは、縁接触面とベース接触面とは、互いに所定の角度で配置される。例えば、縁接触面は、ベース接触面に対して垂直、すなわち９０°の角度であり得る。少なくとも３つの位置決め面を有する設計は、好適には、テストコンタクトがテストコンタクト収容部内に特に精密に収容されることを可能にする。さらに、ベース接触面および縁接触面は、ベース接触面の上面が縁接触面で終端するのではなく、むしろ縁接触面がベース接触面の側に配置されるように、互いに配置されることができる。本発明の範囲内で、「上部」、「下部」、「上方」、「下方」、ならびに「上面」および「下面」という用語は、使用位置でテストコンタクトを取り扱うための装置を指す。好ましくは、前述の用語は、装置が使用位置にある場合の垂直方向の空間的拡張に関する。本発明の範囲内で、「表面」という用語は、好ましくは平坦な表面を指す。ベース接触面は、好ましくは矩形である。

テストコンタクトを正しく収容するために、テストコンタクトの固定ベースをベース接触面と直接接触させることができる。ベース接触面は、テストコンタクトがベース接触面と完全に接触するように設計される。ベース接触面は、固定ベースに対して相補的に設計されることが好ましい。固定ベースは、好ましくは矩形板状に形成される。縁接触面は、ベース接触面に対してテストコンタクトを固定し、テストコンタクトは、縁接触面と接触するまでその上で移動可能である。テストコンタクトがベース接触面と縁接触面の両方に接触した後、テストコンタクトの移動は、少なくとも２つの方向で阻止されることが好ましい。

本発明の範囲内で、位置決めユニットは、テストコンタクトに対して本質的に相補的に設計されなければならないが、位置決め面は、複数の異なるテストコンタクトが本発明による装置によって収容されることができるように互いに配置され得ることが見出された。この目的のために、特に、位置決め面は、収容されるテストコンタクトの全幅、全高さおよび／または材料厚さが位置決めユニットによって制約または制限されないように、互いに配置され得る。

一方で、「少なくとも１つ」という表現は、本発明による装置が対応する構成要素または表面の１つまたは複数を含むことができることを意味する。

好ましい実施形態によれば、位置決めユニットは、好ましくはベース接触面に対して垂直に配向されている縁接触面を形成する、少なくとも１つの停止縁を有する。有利には、物理的な停止縁を形成することによって、テストコンタクトが停止縁によって形成された縁接触面と接触し、定義された停止面が形成されるとき、テストコンタクトの移動は少なくとも１つの方向において確実に阻止される。好ましくは、位置決めユニットは、くさびまたは傾斜、それによる誤った位置決めを防止するために、２つの停止縁を備える。停止縁は、好ましくは、縁接触面がベース接触面に対して垂直に配向されるように構成される。これにより、テストコンタクトのベースをベース接触面に接触することができ、テストコンタクトの側縁を停止縁に接触することができる。好ましくは、停止縁、したがって縁接触面もベース接触面の上面の下に配置され、それにより、収容されるテストコンタクトの高さが位置決めユニットによって制限されないため、装置を汎用的に使用することができる。

停止縁は、テストコンタクトの材料厚さに等しいかまたはテストコンタクトの材料厚さよりも大きい縁厚さを有することができる。このような停止縁の構成によって、停止縁と接触しているテストコンタクトの縁は、テストコンタクトの材料厚さ全体で支持されることができ、したがって非常に安定して支持されることができる。

ベース接触面から突出する停止体が停止縁を備えることが考えられる。言い換えれば、停止縁はベース接触面から突出する停止体上に形成される。本発明の範囲内で、「突出する」という用語は、停止体がベース接触面の法線に平行におよび／またはその方向に突き出していることを意味する。

停止縁および縁接触面をベース接触面から離間させるために、停止体は少なくとも２つの脚部を有し得る。停止体は、好ましくは２つの脚部を有する。言い換えれば、停止体はL字形である。ベース接触面に隣接する第１の脚部がベース接触面から横方向に突き出し、第２の脚部がベース接触面に対して垂直に配向されることが考えられる。縁接触面または停止縁は、ベース接触面に対して垂直に配向されている第２の脚部に形成され得る。脚部は、互いに直接接続されることが好ましい。より好ましくは、第１の脚部はベース接触面に直接隣接している。

好ましい実施形態によれば、位置決めユニットは、ベース接触面の両側に少なくとも１つの停止体を有し、位置決めユニット上のテストコンタクトの正確かつ安定した位置決めを可能にする。停止体は、位置決めユニットが少なくとも部分的に本質的にU字形の断面を有するように、ベース接触面の両側に配置され得る。

位置決めユニット上のテストコンタクトの接触面を増加させるために、位置決めユニットは、ベース接触面から横方向に突き出している接触体を備えることが考えられる。好ましくは、接触体の縁は、ベース接触面と同じ平面内に配置されている追加の接触面を形成する。したがって、テストコンタクトの接触面を有利に拡大することができ、それによって位置決めユニット上のテストコンタクトを安定化させる。好ましくは、位置決めユニットは、ベース接触面から横方向に突き出す２つの接触体を有する。より好ましくは、２つの接触体は、ベース接触面の両側に配置される。

好ましい実施形態では、ベース接触面はベース接触面高さを有し、停止体は停止体高さを有し、かつ接触体は接触体高さを有し、ベース接触面高さは停止体高さよりも大きく、かつ／または停止体高さと接触体高さとの合計よりも大きいことが考えられる。より明確な説明を提供するために、以下が好ましく適用される。

h_BA＞h_AK
および／または
h_BA＞h_AK＋h_ANL
ここで、
h_BA：ベース接触面高さ、
h_AK：停止体高さ、
h_ANL：接触体高さ
であり、特に好ましくは、両方の条件が満たされる。

本発明の別の実施形態では、位置決めユニットが全幅を有し、ベース接触面がベース接触面幅を有し、ベース接触面幅が全幅未満であることが考えられる。本発明の範囲内で、テストコンタクトが確実に収容されるためには、ベース接触面幅が位置決めユニットの全幅と調整されなければならないことが見出された。本発明によれば、テストコンタクトは、ベース接触面と完全に接触する。特に、異なるテストコンタクトに関して汎用的に使用可能であるように装置を設計するために、位置決めユニットの全幅を増加させる停止体または接触体などの位置決めユニットのさらなる要素が、ベース接触面の両側に形成され得る。特に、停止体がベース接触面の両側に設けられている場合、テストコンタクトのベースをベース接触面に接触させ、テストコンタクトの縁が停止体の縁接触面に接触するまでテストコンタクトのベースを停止体間で少なくとも部分的に摺動させることによって、テストコンタクトをテストコンタクト収容部に対して位置決めすることが容易に可能である。好ましくは、全幅は、停止体および／または接触体の幅と、ベース接触面幅とで構成される。停止体および接触体は、同じ幅を有することが考えられる。「ベース接触面幅」および「全幅」という用語は両方とも、テストコンタクト収容部またはコンタクトヘッドの下縁に平行な空間的拡張に関する。好ましくは、前述の用語は、装置が使用位置にある場合の水平方向の空間的拡張に関する。

本発明の一実施形態では、位置決めユニットは、接続箇所および／または組み立てステップを省くために一体に形成されることが考えられる。好ましくは、位置決めユニットは、テストコンタクト収容部および／またはコンタクトヘッドと一体に形成される。言い換えれば、このことは、コンタクトヘッド、テストコンタクト収容部、および位置決めユニットが好ましくは一体に形成されることを意味する。しかしながら、コンタクトヘッド、テストコンタクト収容部、および位置決めユニットは、複数の部品によって実現されることも考えられ、部品は、位置決めユニットの容易な交換を可能にするために、より好ましくは着脱可能に接続される。

好ましい実施形態によれば、コンタクトヘッドは、熱エネルギーを伝達するため、かつ／または負圧を移送するための少なくとも１つの伝達チャネルを有し、コンタクトヘッドのコンタクト端部には、伝達チャネルのチャネル口の領域にテストコンタクト収容部が設けられる。コンタクトヘッドが熱エネルギーを伝達するための伝達チャネルを有する場合、テストコンタクトが規定の方法でチャネル口に対して配置されることを考えると、テストコンタクトを確実で歪みのない方法でコンタクト支持体上に配置することが可能になるため、熱エネルギーをテストコンタクトの所望の吸収領域に局所的に有利に導入することができる。コンタクトヘッドが負圧を移送するための少なくとも１つの伝達チャネルを有する場合、テストコンタクトは、位置決めユニットによってコンタクトヘッドに対して配置された後に、コンタクトヘッドに対する負圧によって容易かつ確実に取り付けられることができる。好ましくは、コンタクトヘッドは、熱エネルギーを伝達し、負圧を移送するための少なくとも１つの伝達チャネルを有する。本発明の範囲内で、熱エネルギーを伝達し、また負圧を移送するために、単一の伝達チャネルが有利に使用され得ることが見出された。チャネル口は、好ましくは、伝達チャネルの出口漏斗によって形成され、テストコンタクトの吸収領域の吸収断面に応じて寸法決めされている開口断面を有する。チャネル口の対応する形状設計により、比較的少ない技術的労力で、テストコンタクトの定義された表面でテストコンタクトの吸収領域を提供することが可能になる。

有利な実施形態によれば、位置決めユニットのベース接触面は、チャネル口の開口断面を少なくとも部分的に囲む。したがって、テストコンタクト配列の製造中に、接触に必要なベースへのエネルギー注入が行われることができ、かつ／またはテストコンタクトのベースがテストコンタクト収容部に確実に固定されることが保証され得る。好ましくは、位置決めユニットのベース接触面は、チャネル口の開口断面を完全に取り囲み、それによって、テストコンタクトの吸収領域は、チャネル口の出口漏斗内に配置され、したがって、テストコンタクト表面の比較的大きな部分に熱エネルギーを容易に加えることができ、かつ／またはテストコンタクトが開口断面を完全に覆うという事実により、テストコンタクトを負圧の印加によって取り付けることが可能になる。

第２の態様では、本発明は、本発明の任意の実施形態による装置であって、カンチレバーの形式で形成された少なくとも１つのテストコンタクトを有する装置を使用して、半導体部品を試験および／または製造するためのテストコンタクト配列を製造するための製造システムであって、テストコンタクトが、ベース接触面との接触を確立することができる固定ベースと、固定ベースに接続されているコンタクトアームとを有する、製造システムに関する。好ましくは、コンタクト先端は、コンタクトアームの自由端に配置される。テストコンタクト配列を製造することに加えて、製造システムを使用してテストコンタクト配列を修理することもでき、当業者は、テストコンタクト配列を修理するためであっても、必要な位置合わせでテストコンタクトを収容して取り扱うことができることを認識している。

製造システムの有利な実施形態によれば、テストコンタクトおよびテストコンタクトを取り扱うための装置は、テストコンタクトがベース接触面との接触を確立するときにテストコンタクトの固定ベースが伝達チャネルのチャネル口を覆うように相互作用する。好ましくは、テストコンタクトは、テストコンタクトが位置決めユニットのベース接触面と接触するときにチャネル口を完全に閉じる。したがって、伝達チャネルを介してテストコンタクトに負圧を印加することによって、テストコンタクトを位置決めユニットに容易に取り付けることができる。

製造システムの好ましい実施形態によれば、テストコンタクトは、コンタクトアームの下方に配置された突起を有し、突起は、縁接触面との接触を確立することができ、かつ／または突起は、接触体との接触を確立することができる。コンタクトアームの突起は、縁接触面が形成されている停止体の停止縁と接触することができる。停止縁の停止部によって、テストコンタクトを位置決めユニット上で容易に配向することができる。テストコンタクトの突起を接触体に接触させることで、位置決めユニット上のテストコンタクトの接触面を大きくすることができる。好ましくは、突起は、テストコンタクトのベースの両側に配置される。より好ましくは、突起は、縁接触面および接触体の両方に接触することができる。最も好ましくは、テストコンタクトは、テストコンタクトのベースの両側に配置されている２つの突起を有し、位置決めユニットはまた、位置決めユニットのベース接触面の両側に各々配置されている２つの停止体および２つの接触体を有し、テストコンタクトの各突起は、テストコンタクトの特に精密な位置合わせを可能にするために、各々の位置決めユニットの１つの接触体および１つの停止体と接触する。テストコンタクトは、上縁から突き出しているカンチレバーと本質的に十字形に形成され、上縁は停止部と接触する必要がないため、テストコンタクトの突起が位置決めユニットの停止縁と接触することができることから、位置決めユニットは、特に位置決めされるテストコンタクトの高さが制限されないため、柔軟かつ汎用的に使用されることができる。

上述の実施形態および例示例ならびに以下に説明する実施形態および例示例は、本発明を逸脱しない範囲で個別に実現できるだけでなく、任意に組み合わせて実現できることは明らかである。上述の実施形態および例示例ならびに以下に説明する実施形態および例示例は、別個に言及される必要なく、同等または少なくとも同様の方法で、本発明による製造システムおよび／または装置に関することもまた明らかである。

本発明の実施形態は、図面に概略的に示され、以下で例示的に説明される。

テストコンタクトを収容した本発明による装置の概略的な例示例の等角図である。 テストコンタクトを有さない図１による本発明による装置の詳細な正面図である。 図１による本発明による装置の詳細な正面図である。 図１による本発明による装置の詳細な等角図である。 図１による本発明による装置の詳細な側面図である。

図１は、本発明によるテストコンタクト１００を有するテストコンタクト１００を取り扱うための本発明による装置１０を示しており、それによって製造システム５０が形成されている。テストコンタクト１００を収容するために、位置決めユニット１８を有するテストコンタクト収容部１４が、コンタクトヘッド１２のコンタクト端部１６に配置されている。テストコンタクト１００を位置決めユニット１８に取り付けるために、テストコンタクト１００は、伝達チャネル３４を介して負圧を受けることができる。

図２は、テストコンタクト１００を取り扱うための本発明による装置１０を示す。テストコンタクト１００を収容するために、テストコンタクト収容部１４が、コンタクトヘッド１２のコンタクト端部１６に配置されている。テストコンタクト収容部１４は、ベース接触面２０、縁接触面２２、および追加の接触面２４を有する位置決めユニット１８を備える。テストコンタクト１００は、テストコンタクト１００がベース接触面２０およびベース接触面２０の両側の追加の接触面２４と完全に接触するように、位置決めユニット１８と接触することができる。本例示例では、テストコンタクト１００の垂直方向のずれであって、この場合は伝達チャネル３４の長手方向の延長に相当する、ずれを防ぐために、位置決めユニット１８は、両側に突き出している接触体３６に加えて、ベース接触面２０の両側に配置されている２つの停止体２８を有し、停止体２８は各々、テストコンタクト１００の縁を接触させることができる縁接触面２２を形成している。図示の例示例によれば、縁接触面２２は、ベース接触面２０に対して垂直に配向され、図示の使用位置において下方を向く。縁接触面２２を形成する停止体２８は、本実施形態では本質的にL字形であり、かつ脚部３０、３２を有し、第１の脚部３０はベース接触面２０から横方向に突き出し、かつ第２の脚部３２はベース接触面２０の平面から突き出している。したがって、テストコンタクト１００は、テストコンタクト１００をベース接触面２０に適用し、停止体２８に到達するまで摺動させることによって、位置決めユニット１８上に容易に位置決めされることができる。テストコンタクト１００を位置決めユニット１８に取り付けるために、伝達チャネル３４を介してテストコンタクト１００に負圧を印加することができる。図２および図３の組み合わせ図に見られるように、ベース接触面２０がチャネル口３６の開口断面３８を完全に取り囲むので、テストコンタクト１００が位置決めユニット１８と正しく接触すると、テストコンタクト１００は伝達チャネル３４のチャネル口３６を完全に閉じる。したがって、テストコンタクト１００は、負圧によって位置決めユニット１８に容易に取り付けられることができる。また、図２は、ベース接触面２０の高さh_BAが、停止体２８の高さh_AKと接触体４０の高さh_ANLとの合計よりも大きいことを示している。さらに、停止体２８および接触体４０の両方が、ベース接触面２０の上面４２の下方に配置され、接触体４０も停止体２８の下方に配置されていることが分かる。本実施形態では、位置決めユニット１８の全幅b_gesは、接触体４０の幅とベース接触面２０幅b_BAとからなり、本例示例では、接触体４０と停止体２８が同じ幅を有している。

図３～図５は、本発明によるテストコンタクト１００を有するテストコンタクト１００を取り扱うための本発明による装置１０を示しており、それによって製造システム５０が形成されている。テストコンタクト１００は、固定ベース１０２と、固定ベース１０２の両側に配置された２つの突起１０６とを有する。固定ベース１０２の上部領域には、突き出しているコンタクトアーム１０４が配置され、コンタクトアーム１０４の上縁は、固定ベース１０２の上縁を横方向に延長し、上縁は、テストコンタクト上縁１１２を形成している。テストコンタクト１００の突起１０６を有する固定ベース１０２は、テストコンタクト上縁１１２から突き出しているコンタクトアーム１０４と本質的に十字形に形成されている。接触に使用することができるコンタクト先端１０８は、コンタクトアーム１０４上に配置されている。図２と合わせて見ると、図３～図５においてテストコンタクト１００の固定ベース１０２が、位置決めユニット１８のベース接触面２０に接触していることがわかる。さらに、突起１０６は、接触体４０の追加の接触面２４に完全に接触している。突起１０６の各突起停止縁１０８は、停止体２８の停止縁２６に接触している。位置決めユニット１８によってコンタクトヘッド１２に対してテストコンタクト１００を位置決めするために、テストコンタクト１００の突起１０６の上縁１１０を停止体２８の停止縁２６と接触させることができるため、テストコンタクト上縁１１２は停止部と接触する必要がない。したがって、装置１０、特に位置決めユニット１８は、特に位置決めされるテストコンタクト１００の高さが制限されないため、柔軟かつ汎用的に使用されることができる。特に図４および図５から分かるように、停止縁２６は、テストコンタクト１００が停止体２８上に確実に載置されることを保証するために、テストコンタクト１００の材料厚さよりも大きい縁厚さを有する。さらに、図３～図５と図２とを合わせて見ると分かるように、伝達チャネル３４を介して負圧が印加されることで、テストコンタクト１００が位置決めユニット１８に取り付けられ、結果としてテストコンタクト１００を接触させるために意図された位置に移動され得るような方法で、テストコンタクト１００が位置決めユニット１８に正しく当接している場合、コンタクトヘッド１２に挿入されている伝達チャネル３４のチャネル口３６は、テストコンタクト１００によって閉じられる。

Claims (13)

1. テストコンタクト（１００）を取り扱うための装置（１０）であって、前記テストコンタクト（１００）は、そのコンタクト端部（１６）にテストコンタクト収容部（１４）が設けられたコンタクトヘッド（１２）を有し、前記テストコンタクト収容部（１４）が、テストコンタクト（１００）との接触を位置決めするための、かつ前記コンタクトヘッド（１２）の前記コンタクト端部（１６）に対して前記テストコンタクト（１００）を位置決めするための少なくとも２つの位置決め面（２０、２２、２４）を有する位置決めユニット（１８）を有する、装置（１０）において、
   前記位置決めユニット（１８）の前記少なくとも１つの位置決め面（２０、２２、２４）がベース接触面（２０）として形成され、前記位置決めユニット（１８）の少なくとももう１つの位置決め面が縁接触面（２２）として形成されており、
   前記位置決めユニット（１８）が、前記縁接触面（２２）を形成する、少なくとも１つの停止縁（２６）を有し、
   前記ベース接触面（２０）から突出する第１および第２の停止体（２８）は前記停止縁（２６）を有し、
   前記位置決めユニット（１８）が、前記テストコンタクト（１００）の一方の縁に向かい合う前記第１の停止体（２８）と前記テストコンタクト（１００）の他方の縁に向かい合う第２の停止体（２８）とを有する
   ことを特徴とする、装置（１０）。
2. 前記停止縁（２６）が、前記テストコンタクト（１００）の材料厚さに等しいか、または前記テストコンタクト（１００）の前記材料厚さよりも大きい、縁厚さを有する
   ことを特徴とする、
   請求項１に記載のテストコンタクトを取り扱うための装置。
3. 前記停止体（２８）が少なくとも２つの脚部（３０、３２）を有する
   ことを特徴とする、
   請求項１に記載のテストコンタクトを取り扱うための装置。
4. 前記縁接触面（２２）が前記ベース接触面（２０）に対して垂直に配向されている
   ことを特徴とする、
   請求項１に記載のテストコンタクトを取り扱うための装置。
5. 前記位置決めユニット（１８）が、前記ベース接触面（２０）から横方向に突き出している接触体（４０）を備える
   ことを特徴とする、
   請求項１～４のいずれか１項に記載のテストコンタクトを取り扱うための装置。
6. 前記ベース接触面（２０）がベース接触面高さ（h_BA）を有し、前記停止体（２８）が停止体高さ（h_AK）を有し、かつ前記接触体（４０）が接触体高さ（h_ANL）を有し、前記ベース接触面高さ（h_BA）が前記停止体高さ（h_AK）よりも大きく、かつ／または前記停止体高さ（h_AK）と前記接触体高さ（h_ANL）との合計よりも大きい
   ことを特徴とする、
   請求項５に記載のテストコンタクトを取り扱うための装置。
7. 前記位置決めユニット（１８）が全幅（b_ges）を有し、かつ前記ベース接触面（２０）がベース接触面幅（b_BA）を有し、前記ベース接触面幅（b_BA）が前記全幅（b_ges）未満である
   ことを特徴とする、
   請求項１～４のいずれか１項に記載のテストコンタクトを取り扱うための装置。
8. 前記位置決めユニット（１８）が一体に形成されている
   ことを特徴とする、
   請求項１～４のいずれか１項に記載のテストコンタクトを取り扱うための装置。
9. 前記コンタクトヘッド（１２）が、熱エネルギーを伝達するため、かつ／または負圧を移送するための少なくとも一つの伝達チャネル（３４）を有し、前記コンタクトヘッド（１２）の前記コンタクト端部（１６）には、前記伝達チャネル（３４）のチャネル口（３６）の領域内に前記テストコンタクト収容部（１４）が設けられている
   ことを特徴とする、
   請求項１～４のいずれか１項に記載のテストコンタクトを取り扱うための装置。
10. 前記位置決めユニット（１４）の前記ベース接触面（２０）が、前記チャネル口（３６）の開口断面（３８）を少なくとも部分的に囲んでいる
    ことを特徴とする、
    請求項９に記載のテストコンタクトを取り扱うための装置。
11. 請求項９に記載の装置（１０）であって、カンチレバーの形式で形成された少なくとも１つのテストコンタクト（１００）を有する装置（１０）を使用して、半導体部品を試験するためのテストコンタクト配列を製造するための製造システム（５０）であって、前記テストコンタクト（１００）が、前記ベース接触面（２０）との接触を確立することができる固定ベース（１０２）と、前記固定ベース（１０２）に接続されているコンタクトアーム（１０４）とを有する、製造システム（５０）。
12. 前記テストコンタクト（１００）の前記固定ベース（１０２）が、前記ベース接触面（２０）との接触が確立されたときに前記チャネル口（３６）を覆う
    ことを特徴とする、
    請求項１１に記載の製造システム。
13. 前記位置決めユニット（１８）が、前記ベース接触面（２０）から横方向に突き出している接触体（４０）を備え、
    前記テストコンタクト（１００）が、前記コンタクトアーム（１０４）の下方に配置された突起（１０６）を有し、前記突起（１０６）が、前記縁接触面（２２）との接触を確立することができ、かつ／または前記突起（１０６）が、前記接触体（４０）との接触を確立することができる
    ことを特徴とする、
    請求項１１に記載の製造システム。