JP7842450B2 - フィルタ装置 - Google Patents

Description

本開示の技術は、フィルタ装置に関する。

従来より、例えば特許文献１に開示されているように、クリーンオーブンなどのガス使用機器に用いられるフィルタ装置が知られている。このクリーンオーブンでは、半導体や液晶パネルの製造のために供給される空気や窒素などの気体が、フィルタ装置を通過することで塵埃が分離除去されて清浄化される。

特開２００５－１５６０８９号公報

ところで、前述したクリーンオーブンなどの気体使用装置においては、フィルタ装置に目詰まりが生じると、気体の通過流量が著しく低下ないしゼロとなる虞がある。そのため、こうした目詰まりはできるだけ早く把握して、フィルタ装置の清掃や交換などの処置を行うことが望まれる。一方、フィルタ装置に目詰まりが生じた際において、気体の通過流量が低下等することを抑制したいという要望がある。

本開示の技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、目詰まりを速やかに把握すると共に、目詰まりが生じた際の気体の通過流量の低下を抑制することにある。

本開示のフィルタ装置は、気体室と、第１フィルタと、第２フィルタと、弁機構とを備えている。前記気体室では、気体が流入してくる第１室と、前記第１室から連通路を介して気体が流入してくる第２室とが区画されている。前記第１フィルタは、前記第１室に設けられ、前記第１室の気体が通過して前記気体室の外部に流出する。前記第２フィルタは、前記第２室に設けられ、前記第２室の気体が通過して前記気体室の外部に流出する。前記弁機構は、前記第１室の圧力が閾値以上になると前記連通路を開放する。そして、前記第２フィルタは、気体の単位通過流量当たりの通過音の大きさが前記第１フィルタよりも大きい。

前記のフィルタ装置によれば、目詰まりを速やかに把握すると共に、目詰まりが生じた際の気体の通過流量の低下を抑制することができる。

図１は、蒸気オーブンの概略構成を示す図である。 図２は、フィルタノズルの概略構成を示す断面図である。 図３は、図２におけるフィルタノズルを右側から視て示す図である。 図４は、図２に示すＸ－Ｘ線の断面図である。 図５は、フィルタノズルの弁機構の構成を示す拡大断面図である。 図６は、図５に示すＹ－Ｙ線の断面図である。 図７は、弁機構の開弁状態を示す図５相当図である。

以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

図１は、蒸気オーブン１００の概略構成を示す図である。蒸気オーブン１００は、例えば食料品工場に設けられ、蒸気によって食材を焼くまたは蒸すなどして加熱調理するものである。具体的に、蒸気オーブン１００では、フィルタノズル５から流出した蒸気によって食材が加熱調理される。

この例において、蒸気は、気体の一例である。蒸気オーブン１００は、気体を用いて各種処理を行う気体使用装置の一例である。フィルタノズル５は、フィルタ装置の一例である。

蒸気オーブン１００は、ケーシング１と、ファン３と、加熱器４と、フィルタノズル５とを備えている。

ケーシング１内には、調理室１１および循環流路１４が形成されている。調理室１１は、加熱調理する食材を収容する。循環流路１４は、フィルタノズル５から流出した蒸気を調理室１１との間で循環させる。具体的に、循環流路１４は、流出端である一端が調理室１１の流入口１２と接続され、流入端である他端が調理室１１の流出口１３と接続されている。調理室１１では、循環流路１４から蒸気が流入口１２を介して流入する一方、流出口１３から蒸気が循環流路１４に流出する。

循環流路１４には、流出口１３側から順に、フィルタノズル５、加熱器４およびファン３が設けられている。つまり、循環流路１４では、蒸気が、フィルタノズル５、加熱器４およびファン３の順に通過する。

フィルタノズル５には、蒸気の供給管６が接続されている。フィルタノズル５は、供給管６から供給された蒸気を循環流路１４に流出させる。より詳しくは、フィルタノズル５は供給管６からの蒸気を吹き出す。加熱器４は、フィルタノズル５から流出した蒸気を所定温度に加熱する。加熱器４は、例えば電気ヒータである。なお、加熱器４は、熱媒体が蒸気と熱交換して蒸気を加熱する加熱コイル等の熱交換器であってもよい。

ファン３は、加熱器４で加熱された蒸気を吸い込んで、調理室１１の流入口１２側へ向かって吹き出す。つまり、ファン３は、調理室１１から流出した蒸気が、フィルタノズル５から流出した新たな蒸気と混合して調理室１１に戻る、蒸気の循環流れを形成する。こうして、蒸気の循環流れが形成されることで、調理室１１内の食材が蒸気によって加熱調理される。

次に、フィルタノズル５の構成について詳細に説明する。図２は、フィルタノズル５の概略構成を示す断面図である。図３は、図２におけるフィルタノズル５を右側から視て示す図である。図４は、図２に示すＸ－Ｘ線の断面図である。

フィルタノズル５は、蒸気のろ過機能を有するノズルである。具体的に、フィルタノズル５は、区画部材５０と、第１フィルタ５６と、第２フィルタ５７と、弁機構５８とを備えている。

区画部材５０は、気体室５４を区画形成している。気体室５４は、供給管６からの蒸気が流入し得る空間である。区画部材５０は、フィルタノズル５の略外郭を形成している。区画部材５０は、柱状、詳しくは略円柱状に形成されている。つまり、気体室５４は、柱状、詳しくは略円柱状に形成されている。

区画部材５０は、軸方向の両端に位置する第１区画壁５１および第２区画壁５２を有している。そして、この例では、第１フィルタ５６および第２フィルタ５７が、区画部材５０における軸回りの周壁を形成している。こうして、気体室５４は、第１区画壁５１および第２区画壁５２と、第１フィルタ５６および第２フィルタ５７とで区画されている。

気体室５４には、蒸気が流入してくる第１室５４１と、第１室５４１から連通路５４３を介して蒸気が流入してくる第２室５４２とが区画されている。具体的に、第１室５４１と第２室５４２とは、連通路５４３が形成された仕切壁５３によって気体室５４の軸方向に仕切られている。つまり、仕切壁５３は、区画部材５０の軸方向において、第１区画壁５１と第２区画壁５２との間に配置されている。また、第１区画壁５１、仕切壁５３および第２区画壁５２は、互いに同軸に設けられている。

第１フィルタ５６は、第１区画壁５１と仕切壁５３との間に設けられて、第１室５４１の周壁を形成している。つまり、第１フィルタ５６は第１室５４１に設けられている。第２フィルタ５７は、仕切壁５３と第２区画壁５２との間に設けられて、第２室５４２の周壁を形成している。つまり、第２フィルタ５７は第２室５４２に設けられている。

より詳しくは、第１フィルタ５６および第２フィルタ５７は、何れも円筒状に形成されている。第１フィルタ５６は、第１区画壁５１と仕切壁５３とによって挟持され、第２フィルタ５７は、仕切壁５３と第２区画壁５２とによって挟持されている。こうして、第１室５４１は、第１区画壁５１、仕切壁５３および第１フィルタ５６によって区画されている。第２室５４２は、仕切壁５３、第２区画壁５２および第２フィルタ５７によって区画されている。

第１区画壁５１には、供給管６が接続されている。第１区画壁５１には、第１室５４１に開口する流入口５５が形成されている。つまり、流入口５５は、供給管６と第１室５４１とを連通させる。供給管２からの蒸気は、流入口５５を介して第１室５４１に流入する。流入口５５は、区画部材５０および気体室５４と同軸に形成されている。

連通路５４３は、前述の如く、仕切壁５３に形成されている。連通路５４３は、第１室５４１と第２室５４２とを連通させる。つまり、連通路５４３は、第１室５４１と第２室５４２とに開口している。連通路５４３は、区画部材５０および気体室５４と同軸に形成されている。この例では、連通路５４３の開口面積は、流入口５５の開口面積よりも小さい。

第１フィルタ５６は、第１室５４１の蒸気が通過して気体室５４の外部に流出するものである。第２フィルタ５７は、第２室５４２の蒸気が通過して気体室５４の外部に流出するものである。この例において、気体室５４の外部は、循環流路１４である。つまり、第１フィルタ５６は、第１室５４１の流出口を形成し、第２フィルタ５７は、第２室５４２の流出口を形成している。第１フィルタ５６および第２フィルタ５７は、蒸気が通過する際、蒸気中の異物を分離除去する、ろ材である。

区画部材５０では、第１区画壁５１と仕切壁５３とが第１シャフト５０ａによって連結され、仕切壁５３と第２区画壁５２とが第２シャフト５０ｂによって連結されている。具体的に、第１シャフト５０ａおよび第２シャフト５０ｂのそれぞれは、区画部材５０の軸方向に延びている。第１シャフト５０ａは、第１フィルタ５６の外周に複数配置されている。第２シャフト５０ｂは、第２フィルタ５７の外周に複数配置されている。

第１シャフト５０ａおよび第２シャフト５０ｂのぞれぞれの両端部には、雄ねじが形成されている。図２や図４に示すように、第１シャフト５０ａの一端は、仕切壁５３の周縁部に形成された貫通孔に螺合している。第１シャフト５０ａの他端は、第１区画壁５１の周縁部に形成された貫通孔に挿入されナット５０ｃで締結されている。こうして第１区画壁５１と仕切壁５３とが連結されることで、第１フィルタ５６が第１区画壁５１および仕切壁５３によって挟持される。図２や図３に示すように、第２シャフト５０ｂの一端は、仕切壁５３の周縁部に形成された貫通孔に螺合している。第２シャフト５０ｂの他端は、第２区画壁５２の周縁部に形成された貫通孔に挿入されナット５０ｃで締結されている。こうして仕切壁５３と第２区画壁５２とが連結されることで、第２フィルタ５７が仕切壁５３および第２区画壁５２によって挟持される。

このように構成された区画部材５０によれば、例えば、第１フィルタ５６を交換する場合には、ナット５０ｃを外して第１区画壁５１を第１シャフト５０ａから抜くことで、第１フィルタ５６を取り外すことができる。また、第２フィルタ５７を交換する場合には、ナット５０ｃを外して第２区画壁５２を第２シャフト５０ｂから抜くことで、第２フィルタ５７を取り外すことができる。

弁機構５８は、第１フィルタ５６に目詰まりが生じた際、第１室５４１から蒸気を第２室５４２に流入させて第２フィルタ５７から流出させる。弁機構５８は、第１室５４１の圧力が閾値以上になると、連通路５４３を開放する。つまり、弁機構５８は、第１室５４１の圧力が閾値未満のときは、連通路５４３を閉鎖する。つまり、第１フィルタ５６に目詰まりが生じることにより第１室５４１の圧力が閾値以上になると、連通路５４３が開放される。

図５は、フィルタノズル５の弁機構５８の構成を示す拡大断面図である。弁機構５８は、第２室５４２に設けられている。弁機構５８は、弁体５８１と、弁座５８２と、バネ５８３と、バネ受け５８４とを有している。

弁体５８１は、連通路５４３を開閉する。弁体５８１は、第２室５４２に収容されており、連通路５４３と同軸の円板状に形成されている。弁体５８１は、第２室５４２（即ち、気体室５４）の軸方向に変位自在に設けられている。つまり、弁体５８１は、第２室５４２の軸方向に変位することによって連通路５４３を開閉する。

弁座５８２は、仕切壁５３に形成されている。具体的に、弁座５８２は、連通路５４３の第２室５４２側の開口端の周縁に設けられている。弁座５８２は、環状に形成されている。弁体５８１は、第２室５４２の軸方向に変位することで弁座５８２に離着座し、連通路５４３を開閉する。つまり、弁体５８１は、弁座５８２に着座することで連通路５４３を閉鎖し、弁座５８２から離座することで連通路５４３を開放する。

バネ５８３は、弁体５８１を閉弁方向に付勢する。バネ５８３は、例えばコイルバネにより形成されている。バネ５８３は、第２室５４２において弁体５８１よりも第２区画壁５２側に設けられている。バネ５８３の一端は、弁体５８１に接続されている。より詳しくは、バネ５８３の一端は、弁体５８１に形成された環状の凹部に嵌め込まれて接続されている。バネ５８３の他端は、バネ受け５８４によって支持されている。

図６は、図５に示すＹ－Ｙ線の断面図である。弁機構５８には、弁体５８１のガイド部５８５が設けられている。ガイド部５８５は、弁体５８１と同軸の円筒状に形成されており、第２室５４２において弁体５８１の外周側に設けられている。より詳しくは、ガイド部５８５は、仕切壁５３と一体形成されている。弁体５８１は、ガイド部５８５の内周面と摺動自在に設けられている。つまり、弁体５８１は、ガイド部５８５の内周面に沿って、第２室５４２の軸方向に変位する。ガイド部５８５の内周面には、リング状のストッパ５８６が設けられている。ストッパ５８６は、弁体５８１の第２区画壁５２側への変位を規制する。

また、ガイド部５８５と弁体５８１との間には、蒸気を流通させるための流通部５８１ａが形成されている。流通部５８１ａは、弁体５８１の周方向において複数設けられている。流通部５８１ａは、弁体５８１の周縁が部分的に切除されることにより形成される。この構成によれば、連通路５４３から第２室５４２に流入した蒸気は、流通部５８１ａを通って、第２フィルタ５７から流出する。

また、弁機構５８には、バネ５８３の付勢力を調整する調整ネジ５８８が設けられている。調整ネジ５８８は、第２室５４２の軸方向に第２区画壁５２を貫通している。より詳しくは、調整ネジ５８８は、第２室５４２の軸方向に進退自在に第２区画壁５２に螺合している。調整ネジ５８８を進退させることにより、バネ受け５８４が第２室５４２の軸方向に変位する。バネ受け５８４が変位することにより、バネ５８３の付勢力が変更される。具体的に、バネ受け５８４が弁体５８１側へ変位すると、バネ５８３の付勢力は増大し、バネ受け５８４が第２区画壁５２側へ変位すると、バネ５８３の付勢力は減少する。

また、弁機構５８には、バネ受け５８４のガイド部５８７が設けられている。ガイド部５８７は、弁体５８１と同軸の円筒状に形成されており、第２室５４２においてバネ受け５８４の外周側に設けられている。ガイド部５８７は、第２区画壁５２と一体形成されている。バネ受け５８４は、ガイド部５８７の内周面に沿って変位する。

弁機構５８では、例えば第１フィルタ５６の目詰まりによって第１室５４１の圧力が閾値以上になると、弁体５８１がバネ５８３の付勢力に抗して開弁方向に変位する。そのため、弁体５８１が弁座５８２から離座し、連通路５４３が開放される。これにより、第１室５４１から蒸気が第２室５４２に流入して第２フィルタ５７から流出し得る。また、弁機構５８では、第１室５４１の圧力が閾値未満になると、弁体５８１がバネ５８３の付勢力によって閉弁方向に変位する。そのため、弁体５８１が弁座５８２に着座し、連通路５４３が閉鎖される。この場合、第１フィルタ５６に目詰まりは実質的には生じておらず、第１室５４１の蒸気は第１フィルタ５６から流出する。

このように、第１フィルタ５６に目詰まりが生じていない通常時は、蒸気は第１フィルタ５６を通過して流出し、第１フィルタ５６に目詰まりが生じた非常時は、蒸気は第２フィルタ５７を通過して流出する。つまり、フィルタノズル５では、第１フィルタ５６は通常時のメインフィルタとして機能し、第２フィルタ５７は非常時の予備フィルタとして機能する。この構成により、フィルタノズル５では、第１フィルタ５６に目詰まりが生じた際でも、気体の通過流量の低下が抑制される。

第２フィルタ５７は、蒸気の単位通過流量当たりの通過音の大きさが第１フィルタ５６よりも大きい。蒸気の通過音は、蒸気が第１フィルタ５６または第２フィルタ５７を通過する際に発生する異音である。

具体的に、第１フィルタ５６および第２フィルタ５７は、互いにフィルタの種類が異なる。この例では、第１フィルタ５６は、焼結金属フィルタである。第２フィルタ５７は、非焼結金属フィルタ、即ち焼結金属製でないフィルタである。焼結金属フィルタは、粒子径の異なる複数種の金属粉末を焼結成形してなる金属ろ材である。第２フィルタ５７は、例えば、金網やパンチングプレートである。金網は、縦の金属線と横の金属線とが織られてなる金属ろ材である。パンチングプレートは、鋼板を打ち抜いて多数の孔を形成した金属ろ材である。この例では、第１フィルタ５６の孔径は、第２フィルタ５７の孔径よりも小さい。

また、第２フィルタ５７は、蒸気の通過面積が第１フィルタ５６よりも小さい。具体的には、図２に示すように、第１室５４１の容積は、第２室５４２の容積よりも大きい。より詳しくは、第１室５４１の軸方向長さは、第２室５４２の軸方向長さよりも長い。そのため、第１フィルタ５６の軸方向長さは、第２フィルタ５７の軸方向長さよりも長い。そのため、第１フィルタ５６の内周面の面積は、第２フィルタ５７の内周面の面積よりも大きい。なお、この例では、第１フィルタ５６および第２フィルタ５７は、互いに径が略同じである。

以上のように構成されたフィルタノズル５では、供給管６からの蒸気が第１室５４１に流入する。この状態では、第１室５４１の圧力が閾値未満であり、連通路５４３が弁機構５８によって閉鎖されている。第１室５４１の蒸気は、第１フィルタ５６を通過して循環流路１４に流出する（図２に示す矢印参照）。蒸気が第１フィルタ５６を通過する際、蒸気中の異物が分離除去される。こうして、フィルタノズル５から循環流路１４に清浄な蒸気が供給される。

図７は、弁機構５８の開弁状態を示す図５相当図である。ここで、第１フィルタ５６に目詰まりが生じると、第１室５４１の圧力が閾値以上まで上昇し得る。第１室５４１の圧力が閾値以上になると、図７に示すように、弁機構５８が開弁することによって連通路５４３が開放される。そうすると、第１室５４１に滞留していた蒸気が、連通路５４３を介して第２室５４２に流入する。第２室５４２に流入した蒸気は、第２フィルタ５７を通過して循環流路１４に流出する（図７に示す矢印参照）。蒸気が第２フィルタ５７を通過する際、蒸気中の異物が分離除去される。こうして、フィルタノズル５から循環流路１４に清浄な蒸気が供給される。

このように、フィルタノズル５では、第１フィルタ５６に目詰まりが生じた際、蒸気が第２フィルタ５７を通過して循環流路１４に流出する。そのため、フィルタノズル５では、フィルタにおける蒸気の通過流量の低下が抑制される。そのため、循環流路１４に対する清浄な蒸気の供給流量の低下が抑制される。

また、第２フィルタ５７の蒸気の通過音が、第１フィルタ５６の蒸気の通過音よりも大きいため、蒸気が第２フィルタ５７を通過すると、その蒸気の通過音がユーザに十分に聴こえ得る。これにより、第１フィルタ５６に目詰まりが生じたことが、蒸気の通過音によって報知される。そのため、第１フィルタ５６の目詰まりを速やかに把握することができる。したがって、第１フィルタ５６の清掃や交換を速やかに行うことができる。このように、フィルタの目詰まりが速やかに把握されると共に、目詰まりが生じた際の蒸気の通過流量の低下が抑制される。

また、第２フィルタ５７の蒸気の通過面積が、第１フィルタ５６の蒸気の通過面積よりも小さいため、第２フィルタ５７における蒸気の通過流速が、第１フィルタ５６における蒸気の通過流速よりも大きくなる。そのため、第２フィルタ５７における蒸気の通過音が増大し得る。したがって、第１フィルタ５６に目詰まりが生じたことを確実に把握することができる。

以上のように、前記実施形態のフィルタノズル５は、気体室５４と、第１フィルタ５６と、第２フィルタ５７と、弁機構５８とを備えている。気体室５４では、蒸気が流入してくる第１室５４１と、第１室５４１から連通路５４３を介して蒸気が流入してくる第２室５４２とが区画されている。第１フィルタ５６は、第１室５４１に設けられ、第１室５４１の蒸気が通過して気体室５４の外部に流出する。第２フィルタ５７は、第２室５４２に設けられ、第２室５４２の蒸気が通過して気体室５４の外部に流出する。弁機構５８は、第１室５４１の圧力が閾値以上になると連通路５４３を開放する。そして、第２フィルタ５７は、蒸気の単位通過流量当たりの通過音の大きさが第１フィルタ５６よりも大きい。

この構成によれば、第１フィルタ５６に目詰まりが生じて第１室５４１の圧力が閾値以上になると、連通路５４３が開放される。そうすると、第１室５４１から蒸気が第２室５４２に流入して第２フィルタ５７から流出する。そのため、目詰まりが生じた際でも、蒸気の通過流量の低下を抑制することができる。また、第２フィルタ５７の蒸気の通過音が、第１フィルタ５６の蒸気の通過音よりも大きいため、蒸気が第２フィルタ５７を通過することで、蒸気の通過音がユーザに十分に聴こえ得る。そのため、蒸気の通過音をもって、第１フィルタ５６の目詰まりを速やかに把握することができる。このように、フィルタの目詰まりを速やかに把握することができると共に、目詰まりが生じた際の蒸気の通過流量の低下を抑制することができる。

また、第２フィルタ５７の蒸気の通過音によって第１フィルタ５６の目詰まりを把握できることから、第２フィルタ５７は第１フィルタ５６の目詰まりを報知する報知機構を兼ねている。そのため、報知機構を別途設けなくてもよい。

また、前記実施形態のフィルタノズル５において、第２フィルタ５７は、蒸気の通過面積が第１フィルタ５６よりも小さい。

この構成によれば、第２フィルタ５７における蒸気の通過流速が、第１フィルタ５６における蒸気の通過流速よりも大きくなる。そのため、第２フィルタ５７における蒸気の通過音を増大させることができる。したがって、第１フィルタ５６に目詰まりが生じたことを確実に把握することができる。

また、前記実施形態のフィルタノズル５において、弁機構５８は、第２室５４２に設けられ、連通路５４３を開閉する弁体５８１と、弁体５８１を閉弁方向に付勢するバネ５８３とを有し、第１室５４１の圧力が閾値以上になると、弁体５８１がバネ５８３の付勢力に抗して開弁方向に変位する。

この構成によれば、第１室５４１の圧力とバネ５８３の付勢力との大小関係によって、連通路５４３が開閉される。そのため、第１室５４１の圧力を検出する圧力センサや、その圧力センサの検出値に基づいて連通路５４３を開閉する電磁弁等の電気機器が不要である。したがって、電気機器の故障等によって連通路５４３が開放不可となる事態を未然に防止することができる。

また、前記実施形態のフィルタノズル５において、第１フィルタ５６は、焼結金属フィルタであり、第２フィルタ５７は、非焼結金属フィルタである。

この構成によれば、簡易に、第２フィルタ５７の蒸気の単位通過流量当たりの通過音の大きさを第１フィルタ５６のそれよりも大きくすることができる。

《その他の実施形態》
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、前記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、前記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。

例えば、気体室５４における第１室５４１および第２室５４２の区画態様は、前述したものに限られず、第１室５４１と第２室５４２とが連通路５４３を介して連通する区画態様であれば如何なるものでもよい。

また、第１フィルタ５６および第２フィルタ５７は、互いに蒸気の通過面積が同じであってもよい。また、第１フィルタ５６の蒸気の通過面積が、第２フィルタ５７の蒸気の通過面積よりも小さくてもよい。

また、第２フィルタ５７の蒸気の単位通過流量当たりの通過音の大きさを第１フィルタ５６のそれよりも大きくすることができるのであれば、フィルタの種類や孔径の大きさについては前述したものに限られない。

また、弁機構５８は、電動弁や電磁弁により形成するようにしてもよい。

また、本開示のフィルタ装置で扱う気体は、蒸気に限られず、例えば空気を対象としてもよい。

また、本開示のフィルタ装置は、蒸気オーブン１００以外の蒸気使用装置に用いるようにしてもよいし、蒸気以外の気体の使用装置に用いるようにしてもよい。

また、本開示のフィルタ装置は、蒸気を吹き出す蒸気ノズルとして用いたが、例えば、蒸気システムにおける蒸気の供給配管の途中に設けられ、その供給配管を流れる蒸気を清浄にするフィルタとして用いるようにしてもよい。

以上説明したように、本開示の技術は、フィルタ装置について有用である。

５ フィルタノズル（フィルタ装置）
５３ 仕切壁
５４ 気体室
５４１ 第１室
５４２ 第２室
５４３ 連通路
５６ 第１フィルタ
５７ 第２フィルタ
５８ 弁機構
５８１ 弁体
５８３ バネ

Claims (4)

1. 気体が流入してくる第１室と、前記第１室から連通路を介して気体が流入してくる第２室とが区画された気体室と、
   前記第１室に設けられ、前記第１室の気体が通過して前記気体室の外部に流出する第１フィルタと、
   前記第２室に設けられ、前記第２室の気体が通過して前記気体室の外部に流出する第２フィルタと、
   前記第１室の圧力が閾値以上になると前記連通路を開放する弁機構とを備え、
   前記第２フィルタは、気体の単位通過流量当たりの通過音の大きさが前記第１フィルタよりも大きく、
   前記第２フィルタは、気体の通過面積が前記第１フィルタよりも小さい
   ことを特徴とするフィルタ装置。
2. 請求項１に記載のフィルタ装置において、
   前記気体室は、柱状に形成され、
   前記第１室と前記第２室とは、前記連通路が形成された仕切壁によって前記気体室の軸方向に仕切られており、
   前記第１フィルタは、前記第１室の周壁を形成しており、
   前記第２フィルタは、前記第２室の周壁を形成している
   ことを特徴とするフィルタ装置。
3. 請求項１または２に記載のフィルタ装置において、
   前記弁機構は、前記第２室に設けられ、前記連通路を開閉する弁体と、前記弁体を閉弁方向に付勢するバネとを有し、前記第１室の圧力が前記閾値以上になると、前記弁体が前記バネの付勢力に抗して開弁方向に変位する
   ことを特徴とするフィルタ装置。
4. 請求項１乃至３の何れか１項に記載のフィルタ装置において、
   前記第１フィルタは、焼結金属フィルタであり、
   前記第２フィルタは、非焼結金属フィルタである
   ことを特徴とするフィルタ装置。