JP7828588B2 - 膜付き透明基板及び調理器用トッププレート - Google Patents
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Description
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る膜付き透明基板を示す模式的断面図である。図1に示すように、膜付き透明基板1は、透明基板2と、光吸収膜3とを備える。透明基板2は、対向している第1の主面2a及び第2の主面2bを有する。透明基板2の第1の主面2a上に、光吸収膜3が設けられている。
図2は、本発明の第2の実施形態に係る膜付き透明基板を示す模式的断面図である。図2に示すように、膜付き透明基板21では、光吸収膜3の上にさらに誘電体多層膜6が設けられている。その他の点は、第1の実施形態と同様である。
図5は、本発明の一実施形態に係る調理器用トッププレートを示す模式的断面図である。図5に示すように、調理器用トッププレート51は、膜付き透明基板1を備える。
図10は、本発明の一実施形態に係るカバーガラスを示す模式的断面図である。図10に示すように、カバーガラス71は、膜付き透明基板1を備える。カバーガラス71は、例えば、ディスプレイの前面に配置されて用いられるカバーガラスである。
実施例1では、Ag、Al、及びFeOの混合ターゲットを用いて、スパッタリング法により、透明基板であるガラス基板(日本電気硝子社製、商品名「N-0」、厚み:4mm)上に光吸収膜を成膜した。なお、混合ターゲット中のAg含有量は、60モル%とした。この時の基板温度は300℃とし、酸素分圧は0.5Paとした。また、光吸収膜中におけるAg含有量は、88モル%であった。また、Al及びFeの合計に対するAlの含有量比(y/(y+z))(Al/(Al+Fe))は、モル比で、0.14であった。なお、Ag、Al、及びFeの組成は、誘導結合プラズマ質量分析により測定した。
Al及びFeの合計に対するAlの含有量(y/(y+z))が、モル比で、下記の表1のようになるように、ターゲット組成を変更したこと以外は、実施例1と同様にして光吸収膜を成膜した。
(光学特性)
図6は、実施例1~4及び比較例1で得られた光吸収膜の波長400nm~700nmにおける吸収係数を示す図である。図6より、実施例1~4で得られた光吸収膜では、比較例1で得られた光吸収膜と同様に、波長400nm~700nmにおいて、吸収係数がほぼ一定であることがわかる。なお、実施例1~4及び比較例1で得られた光吸収膜において、波長436nmにおける吸収係数をα1とし、波長546nmにおける吸収係数をα2とし、波長700nmにおける吸収係数をα3としたときに、α1/α2、α3/α2、平均吸収係数αAVE、吸収平均偏差Mは、それぞれ下記の表1に示す通りであった。なお、表1及び表2では、(y/(y+z))を(Al/(Al+Fe))と記載している。
実施例1~4及び比較例1で得られた膜付き透明基板における透過光の彩度C* T及び反射光の彩度C* Rを求めた。彩度C*は、JIS Z 8781-4:2013に準拠し、透過光の彩度C* Tは分光透過率計(日立ハイテクサイエンス社製、品番「U-4100」)を用いて、また、反射光の彩度C* Rは色差計(コニカミノルタ社製、「CM2600d」)を用いて、成膜面とは反対側からD65光源を照射したときの明度(L*)、色度(a*及びb*)を評価し、式:C*=((a*)2+(b*)2)1/2から求めた。透過光の彩度C* T、反射光の彩度C* Rは、それぞれ下記の表1に示す通りであった。
実施例1~4及び比較例1で得られた膜付き透明基板におけるシート抵抗は、白金電極を用いた直流2端子法により測定した。結果を下記の表1に示す。
実施例3及び比較例1で得られた膜付き透明基板を100℃、200℃、及び300℃の温度で、それぞれ、10分間熱処理を施した。100℃で熱処理したサンプルにおいて、波長436nm、546nm、及び700nmにおける未熱処理品との透過率差を測定した。結果を下記の表2に示す。
透明基板であるガラス基板(日本電気硝子社製、商品名「T2X-1」、厚み:1.3mm、屈折率:1.52(波長550nm))上に、スパッタリング法により誘電体多層膜を作製した。具体的には、下記の表3に示す構成で、ガラス基板上に、実施例3の光吸収膜、酸化ニオブ膜(Nb2O5)膜、実施例3の光吸収膜、及び酸化ケイ素膜(SiO2膜)がこの順に交互に積層されるように、誘電体多層膜を作製した。なお、屈折率は、波長550nmの屈折率である。
透明基板であるガラス基板(日本電気硝子社製、商品名「T2X-1」、厚み:1.3mm、屈折率:1.52(波長550nm))上に、スパッタリングにより誘電体多層膜を作製した。具体的には、下記の表5に示す構成で、ガラス基板上に、窒化ケイ素膜(SiN膜)、実施例3の光吸収膜、SiN膜、実施例3の光吸収膜、SiN膜、及びSiO2膜がこの順に交互に積層されるように、誘電体多層膜を作製した。なお、屈折率は、波長550nmの屈折率である。
透明基板であるガラス基板(日本電気硝子社製、商品名「N-0」、厚み:4mm、屈折率:1.54(波長550nm))上に、スパッタリングにより誘電体多層膜を作製した。具体的には、下記の表7に示す構成で、ガラス基板2上に、Nb2O5膜、実施例3の光吸収膜、Nb2O5膜、実施例3の光吸収膜、及びSiO2膜がこの順に交互に積層されるように、誘電体多層膜を作製した。なお、屈折率は、波長550nmの屈折率である。
透明基板であるガラス基板(日本電気硝子社製、商品名「N-0」、厚み:4mm、屈折率:1.54(波長550nm))上に、スパッタリングにより誘電体多層膜を作製した。具体的には、下記の表9に示す構成で、ガラス基板上に、SiN膜、実施例3の光吸収膜、SiN膜、実施例3の光吸収膜、SiN膜がこの順に交互に積層されるように、誘電体多層膜を作製した。なお、屈折率は、波長550nmの屈折率である。
2…透明基板
2a…第1の主面
2b…第2の主面
3…光吸収膜
6,16,66…誘電体多層膜
7…低屈折率膜
8…高屈折率膜
51…調理器用トッププレート
52…光源
53…耐熱樹脂層
71…カバーガラス
Claims (11)
- 透明基板と、
前記透明基板の一方側主面上に設けられている、光吸収膜と、
を備え、
前記光吸収膜は、Agと、酸化アルミニウムと、酸化鉄とを含有し、
前記光吸収膜が、Ag、Al、及びFeを、モル比で、Ag:Al:Fe=x:y:z(但し、x+y+z=1、0<x<1、0<y<1、0<z<1)となる割合で含有し、
前記光吸収膜において、Ag、Al、及びFeの合計に対するAgの含有量比(x/(x+y+z))が、モル比で、0.12以上、0.90以下である、膜付き透明基板。 - Al及びFeの合計に対するAlの含有量比(y/(y+z))が、モル比で、0.10以上である、請求項1に記載の膜付き透明基板。
- 前記光吸収膜における波長400nm~700nmの平均吸収係数が、0.5μm-1以上、80μm-1以下である、請求項1又は2に記載の膜付き透明基板。
- 前記光吸収膜において、波長436nmにおける吸収係数をα1とし、波長546nmにおける吸収係数をα2とし、波長700nmにおける吸収係数をα3としたときに、α1/α2が0.8以上、2.0以下であり、α3/α2が0.8以上、2.0以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載の膜付き透明基板。
- 前記光吸収膜において、前記α1/α2が0.8以上、1.25以下であり、前記α3/α2が0.8以上、1.25以下である、請求項4に記載の膜付き透明基板。
- 前記光吸収膜において、波長λにおける吸収係数をαλとし、波長400nm~700nmにおける平均吸収係数をαAVEとしたときに、下記式(1)で示される吸収平均偏差Mが0.30以下である、請求項1~5のいずれか1項に記載の膜付き透明基板。
- 前記光吸収膜上に、さらに誘電体多層膜が設けられている、請求項1~6のいずれか1項に記載の膜付き透明基板。
- 前記透明基板の一方側主面上に設けられており、前記光吸収膜を含む、誘電体多層膜を備え、
前記誘電体多層膜が、相対的に屈折率が高い高屈折率膜と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜とが交互に積層された積層膜であり、
前記高屈折率膜のうち少なくとも1層が、前記光吸収膜である、請求項1~6のいずれか1項に記載の膜付き透明基板。 - 前記透明基板の一方側主面上に設けられており、前記光吸収膜を含む、誘電体多層膜を備え、
前記誘電体多層膜が、相対的に屈折率が高い高屈折率膜と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜とが交互に積層された積層膜であり、
前記低屈折率膜のうち少なくとも1層が、前記光吸収膜である、請求項1~6のいずれか1項に記載の膜付き透明基板。 - 請求項1~9のいずれか1項に記載の膜付き透明基板を備え、
前記透明基板が、調理器具が載せられる調理面及び該調理面とは反対側の裏面を有し、
前記透明基板の前記裏面上に、前記光吸収膜が配置されている、調理器用トッププレート。 - ディスプレイに用いられるカバーガラスであって、
請求項1~9のいずれか1項に記載の膜付き透明基板を備え、
前記透明基板のディスプレイが設けられる側とは反対側の主面上に、前記光吸収膜が配置されている、カバーガラス。
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