JP7734629B2 - 画像生成方法及び外観検査装置 - Google Patents

画像生成方法及び外観検査装置

Info

Publication number
JP7734629B2
JP7734629B2 JP2022097546A JP2022097546A JP7734629B2 JP 7734629 B2 JP7734629 B2 JP 7734629B2 JP 2022097546 A JP2022097546 A JP 2022097546A JP 2022097546 A JP2022097546 A JP 2022097546A JP 7734629 B2 JP7734629 B2 JP 7734629B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
appearance
images
visual inspection
statistical distribution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2022097546A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2023183808A5 (https=
JP2023183808A (ja
Inventor
健宏 前田
敦 宮本
真由香 大崎
啓晃 笠井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2022097546A priority Critical patent/JP7734629B2/ja
Priority to PCT/JP2023/014872 priority patent/WO2023243202A1/ja
Priority to CN202380036398.1A priority patent/CN119096136A/zh
Publication of JP2023183808A publication Critical patent/JP2023183808A/ja
Publication of JP2023183808A5 publication Critical patent/JP2023183808A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7734629B2 publication Critical patent/JP7734629B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Image Processing (AREA)
JP2022097546A 2022-06-16 2022-06-16 画像生成方法及び外観検査装置 Active JP7734629B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022097546A JP7734629B2 (ja) 2022-06-16 2022-06-16 画像生成方法及び外観検査装置
PCT/JP2023/014872 WO2023243202A1 (ja) 2022-06-16 2023-04-12 画像生成方法及び外観検査装置
CN202380036398.1A CN119096136A (zh) 2022-06-16 2023-04-12 图像生成方法及外观检查装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022097546A JP7734629B2 (ja) 2022-06-16 2022-06-16 画像生成方法及び外観検査装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2023183808A JP2023183808A (ja) 2023-12-28
JP2023183808A5 JP2023183808A5 (https=) 2024-11-29
JP7734629B2 true JP7734629B2 (ja) 2025-09-05

Family

ID=89190912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022097546A Active JP7734629B2 (ja) 2022-06-16 2022-06-16 画像生成方法及び外観検査装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7734629B2 (https=)
CN (1) CN119096136A (https=)
WO (1) WO2023243202A1 (https=)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118352862B (zh) * 2024-05-14 2024-11-01 深圳市硕凌电子科技有限公司 一种高可靠性排针排母的制作方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013224833A (ja) 2012-04-20 2013-10-31 Keyence Corp 外観検査装置、外観検査方法及びコンピュータプログラム
JP2019109563A (ja) 2017-12-15 2019-07-04 オムロン株式会社 データ生成装置、データ生成方法及びデータ生成プログラム
JP2019537839A (ja) 2016-10-14 2019-12-26 ケーエルエー コーポレイション 半導体用途向けに構成された深層学習モデルのための診断システムおよび方法
WO2020031984A1 (ja) 2018-08-08 2020-02-13 Ｂｌｕｅ Ｔａｇ株式会社 部品の検査方法及び検査システム
JP2021117152A (ja) 2020-01-28 2021-08-10 オムロン株式会社 画像処理装置、画像処理方法、及び画像処理プログラム
JP2021139769A (ja) 2020-03-05 2021-09-16 国立大学法人 筑波大学 欠陥検出分類システム及び欠陥判定トレーニングシステム
WO2021209867A1 (ja) 2020-04-17 2021-10-21 株式会社半導体エネルギー研究所 分類装置、画像分類方法、およびパターン検査装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021086284A (ja) * 2019-11-26 2021-06-03 キヤノン株式会社 画像処理装置、画像処理方法、及びプログラム
JP2022024541A (ja) * 2020-07-28 2022-02-09 トッパン・フォームズ株式会社 画像生成装置、画像検査システム、画像生成方法、及びプログラム

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013224833A (ja) 2012-04-20 2013-10-31 Keyence Corp 外観検査装置、外観検査方法及びコンピュータプログラム
JP2019537839A (ja) 2016-10-14 2019-12-26 ケーエルエー コーポレイション 半導体用途向けに構成された深層学習モデルのための診断システムおよび方法
JP2019109563A (ja) 2017-12-15 2019-07-04 オムロン株式会社 データ生成装置、データ生成方法及びデータ生成プログラム
WO2020031984A1 (ja) 2018-08-08 2020-02-13 Ｂｌｕｅ Ｔａｇ株式会社 部品の検査方法及び検査システム
JP2021117152A (ja) 2020-01-28 2021-08-10 オムロン株式会社 画像処理装置、画像処理方法、及び画像処理プログラム
JP2021139769A (ja) 2020-03-05 2021-09-16 国立大学法人 筑波大学 欠陥検出分類システム及び欠陥判定トレーニングシステム
WO2021209867A1 (ja) 2020-04-17 2021-10-21 株式会社半導体エネルギー研究所 分類装置、画像分類方法、およびパターン検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN119096136A (zh) 2024-12-06
WO2023243202A1 (ja) 2023-12-21
JP2023183808A (ja) 2023-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018005639A (ja) 画像分類装置、画像検査装置、及び、プログラム
JP2018005640A (ja) 分類器生成装置、画像検査装置、及び、プログラム
KR20200039049A (ko) 외관불량 검사방법 및 외관불량 검사 시스템
KR102559021B1 (ko) 불량 이미지 생성 장치 및 방법
CN109671078B (zh) 一种产品表面图像异常检测方法及装置
JP7699978B2 (ja) 計算機及び外観検査方法
JP7393313B2 (ja) 欠陥分類装置、欠陥分類方法及びプログラム
JP7356010B2 (ja) 表面性状検査装置及び表面性状検査方法
CN114266743B (zh) 基于hsv和cnn的fpc缺陷检测方法、系统及存储介质
KR20190023374A (ko) 디스플레이 패널 검사 방법
CN113935927A (zh) 一种检测方法、装置以及存储介质
JP7734629B2 (ja) 画像生成方法及び外観検査装置
JP7600909B2 (ja) 異常検知システムおよび異常検知方法
JP7563665B2 (ja) 検査システム、検査方法及び検査プログラム
US20240005477A1 (en) Index selection device, information processing device, information processing system, inspection device, inspection system, index selection method, and index selection program
US20260112022A1 (en) Determination apparatus, training apparatus, determination method, training method, determination program, and training program
CN120322669B (zh) 判定装置、学习装置、判定方法、学习方法、判定程序及学习程序
JP7414629B2 (ja) 学習用データ処理装置、学習装置、学習用データ処理方法、およびプログラム
JP4247993B2 (ja) 画像検査装置、画像検査方法、制御プログラムおよび可読記憶媒体
KR20250034810A (ko) 반도체 패키지 마크 검사 방법
JP2001099625A (ja) パターン検査装置およびパターン検査方法
JP7533263B2 (ja) 画像検査装置、画像検査方法、及び学習済みモデル生成装置
JP5870676B2 (ja) 画像処理方法
JP2002140695A (ja) 検査方法およびその装置
JP2021135630A (ja) 学習装置、画像検査装置、学習済みデータセット、および学習方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20241121

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20241121

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20250819

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20250826

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7734629

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150