CN119096136A - 图像生成方法及外观检查装置 - Google Patents

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前田健宏
宫本敦
大崎真由香
笠井启晃
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Hitachi Ltd
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination

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  • Health & Medical Sciences (AREA)
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  • General Health & Medical Sciences (AREA)
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