JP5956814B2 - 外観検査装置、外観検査方法及びコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
また、第2発明に係る外観検査装置は、第1発明において、前記閾値算出手段は、前記散布度が大きいほど良品である範囲が広がるように前記閾値を画素単位ごとに算出することを特徴とする。
また、第3発明に係る外観検査装置は、第1又は第2発明において、前記閾値算出手段は、特定された前記範囲内の画素単位のみを算出対象とするか、特定された前記範囲内の画素単位の周囲の画素も含めて算出対象とするかの選択が可能であることを特徴とする。
また、第6発明に係る外観検査装置は、第5発明において、前記重みは、特定された前記範囲内の画素単位からの距離に応じて画素単位ごとに決定されることを特徴とする。
また、第7発明に係る外観検査装置は、第1乃至第6発明のいずれか1つにおいて、前記散布度は、前記抽出された画素値の平均値を基準とした画素値の分布の広がりを示すことを特徴とする。
また、第8発明に係る外観検査装置は、第1乃至第7発明のいずれか1つにおいて、前記良否判定手段は、画素単位ごとに検査対象物の良否を判定することを特徴とする。
また、第9発明に係る外観検査装置は、第1乃至第8発明のいずれか1つにおいて、前記良否判定手段は、前記複数の良品画像データから基準画像を作成し、該基準画像と入力を受け付けた前記画像データとを画素単位ごとに比較して差分値を算出し、該差分値が前記閾値の範囲外である場合は、欠陥部分であると判定することを特徴とする。
また、第10発明に係る外観検査装置は、第9発明において、前記良否判定手段は、欠陥部分であると判定された部分のパラメータの値が所定の範囲内である場合は、良品であると判定することを特徴とする。
また、第11発明に係る外観検査装置は、第1乃至第10発明のいずれか1つにおいて、前記閾値算出手段は、前記複数の画像データの同一座標に位置する画素単位ごとに画素値の積算値及び画素値の二乗の積算値を算出して記憶しておき、記憶された画素単位の積算値を読み出すとともに、特定された範囲内に存在する周囲の画素単位の画素値を抽出して読み出した積算値に合算することにより、前記散布度を算出することを特徴とする。
第2発明では、散布度が大きいほど良品である範囲が広がるように閾値を画素単位ごとに算出するので、表示された画像にざらつきの大きい領域が存在する場合であっても、欠陥として検出することなく、適切な検出感度で良否判定を行うことが可能となる。
第3発明では、特定された範囲内の画素単位のみを算出対象とするか、特定された範囲内の画素単位の周囲の画素も含めて算出対象とするかの選択が可能であるので、表示された画像の状態に応じて適切な良否判定を行うことが可能となる。
第6発明では、重みは、特定された範囲内の画素単位からの距離に応じて画素単位ごとに決定されるので、特定された範囲内の画素単位の画素値をより反映させて散布度を算出することが可能となる。
第7発明では、散布度は、抽出された画素値の平均値を基準とした画素値の分布の広がりを示すので、画素値の変動の度合いに応じて良否判定の閾値を算出することが可能となる。
第8発明では、画素単位ごとに検査対象物の良否を判定するので、高い精度で良否判定を行うことが可能となる。
第9発明では、複数の良品画像データから基準画像を作成し、基準画像と入力を受け付けた画像データとを画素単位ごとに比較して差分値を算出し、差分値が閾値の範囲外である場合は、欠陥部分であると判定するので、閾値に基づいて高い精度で良否判定を行うことが可能となる。
第10発明では、欠陥部分であると判定された部分のパラメータの値が所定の範囲内である場合は、良品であると判定するので、誤判定を未然に回避することが可能となる。
第11発明では、複数の画像データの同一座標に位置する画素単位ごとに画素値の積算値及び画素値の二乗の積算値を算出して記憶しておき、記憶された画素単位の積算値を読み出すとともに、特定された範囲内に存在する周囲の画素単位の画素値を抽出して読み出した積算値に合算することにより、散布度を算出する。このように、画素又は画素単位ごとに画素値の積算値及び画素値の二乗の積算値を算出して記憶しておくことにより、すべての良品画像データを記憶しておく必要がなくなるので、処理に必要となる記憶容量を低減することができる。
2 外観検査装置
7 画像処理部
8 画像表示部
21 主制御部
22 メモリ
23 記憶手段
24 入力手段
25 出力手段
26 通信手段
27 補助記憶手段
28 内部バス
31 表示装置
32 外部制御機器
90 可搬型記録媒体
100 コンピュータプログラム
Claims (16)
- 良品に関する画像データ群に基づいて算出した閾値を用いて検査対象物の良否判定を行う外観検査装置であって、
検査対象物の良品に関する複数の良品画像データを記憶する良品画像データ記憶手段と、
一つ又は複数の画素で構成された画素単位及び該画素単位の周囲の画素を算出対象に含める範囲として特定する画素特定手段と、
特定された前記範囲内の画素の画素値を前記複数の良品画像データのそれぞれから抽出し、前記画素単位及び周囲の画素を含む前記範囲内から抽出された画素値の分布の広がりを示す散布度を算出し、良品であると判定される画素値の範囲を定める閾値を前記散布度の大きさに応じて前記画素単位ごとに算出する閾値算出手段と、
検査対象物を撮像手段により撮像し、撮像した検査対象物の画像データの入力を受け付ける画像入力受付手段と、
入力を受け付けた画像データの画素単位における画素値と、対応する画素単位の前記閾値との比較に基づいて、検査対象物の良否を判定する良否判定手段と
を備えることを特徴とする外観検査装置。 - 前記閾値算出手段は、前記散布度が大きいほど良品である範囲が広がるように前記閾値を画素単位ごとに算出することを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記閾値算出手段は、特定された前記範囲内の画素単位のみを算出対象とするか、特定された前記範囲内の画素単位の周囲の画素も含めて算出対象とするかの選択が可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載の外観検査装置。
- 前記画素特定手段は、前記散布度の算出対象に含める周囲の画素の範囲の指定を変更可能に受け付ける範囲指定受付手段を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 特定された前記範囲内の画素単位の周囲の画素に重みを付けて抽出し、該特定された前記範囲内の画素単位の画素値をより反映させた前記散布度を算出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 前記重みは、特定された前記範囲内の画素単位からの距離に応じて画素単位ごとに決定されることを特徴とする請求項5に記載の外観検査装置。
- 前記散布度は、前記抽出された画素値の平均値を基準とした画素値の分布の広がりを示すことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 前記良否判定手段は、画素単位ごとに検査対象物の良否を判定することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 前記良否判定手段は、前記複数の良品画像データから基準画像を作成し、該基準画像と入力を受け付けた前記画像データとを画素単位ごとに比較して差分値を算出し、該差分値が前記閾値の範囲外である場合は、欠陥部分であると判定することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 前記良否判定手段は、欠陥部分であると判定された部分のパラメータの値が所定の範囲内である場合は、良品であると判定することを特徴とする請求項9に記載の外観検査装置。
- 前記閾値算出手段は、前記複数の画像データの同一座標に位置する画素単位ごとに画素値の積算値及び画素値の二乗の積算値を算出して記憶しておき、
記憶された画素単位の積算値を読み出すとともに、特定された範囲内に存在する周囲の画素単位の画素値を抽出して読み出した積算値に合算することにより、前記散布度を算出することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の外観検査装置。 - 前記良品画像データ記憶手段は、良品画像データとして各画素が一次元の輝度値情報を有する濃淡画像データを記憶し、
前記閾値算出手段は、前記散布度として、前記抽出された画素値の標準偏差を算出し、該標準偏差と前記画素値の平均値とに基づいて前記閾値を算出することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の外観検査装置。 - 前記良品画像データ記憶手段は、良品画像データとして各画素が三次元のカラー情報を有するカラー画像データを記憶し、
前記閾値算出手段は、前記散布度として、三次元空間内における前記抽出された画素値の分布範囲を算出し、該分布範囲と前記画素値の平均値とに基づいて前記閾値を算出することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の外観検査装置。 - 前記良品画像データ記憶手段は、良品画像データとして各画素が互いに直交する二方向のエッジ強度情報からなる二次元情報を有するエッジ画像データを記憶し、
前記閾値算出手段は、前記散布度として、二次元空間内における前記抽出された画素値の分布範囲を算出し、該分布範囲と前記画素値の平均値とに基づいて前記閾値を算出することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の外観検査装置。 - 良品に関する画像データ群に基づいて算出した閾値を用いて検査対象物の良否判定を行う外観検査装置で実行することが可能な外観検査方法であって、
前記外観検査装置は、
検査対象物の良品に関する複数の良品画像データを記憶するステップと、
一つ又は複数の画素で構成された画素単位及び該画素単位の周囲の画素を算出対象に含める範囲として特定するステップと、
特定された前記範囲内の画素の画素値を前記複数の良品画像データのそれぞれから抽出し、前記画素単位及び周囲の画素を含む前記範囲内から抽出された画素値の分布の広がりを示す散布度を算出し、良品であると判定される画素値の範囲を定める閾値を前記散布度の大きさに応じて前記画素単位ごとに算出するステップと、
検査対象物を撮像手段により撮像し、撮像した検査対象物の画像データの入力を受け付けるステップと、
入力を受け付けた画像データの画素単位における画素値と、対応する画素単位の前記閾値との比較に基づいて、検査対象物の良否を判定するステップと
を含むことを特徴とする外観検査方法。 - 良品に関する画像データ群に基づいて算出した閾値を用いて検査対象物の良否判定を行う外観検査装置で実行することが可能なコンピュータプログラムであって、
前記外観検査装置を、
検査対象物の良品に関する複数の良品画像データを記憶する良品画像データ記憶手段、
一つ又は複数の画素で構成された画素単位及び該画素単位の周囲の画素を算出対象に含める範囲として特定する画素特定手段、
特定された前記範囲内の画素の画素値を前記複数の良品画像データのそれぞれから抽出し、前記画素単位及び周囲の画素を含む前記範囲内から抽出された画素値の分布の広がりを示す散布度を算出し、良品であると判定される画素値の範囲を定める閾値を前記散布度の大きさに応じて前記画素単位ごとに算出する閾値算出手段、
検査対象物を撮像手段により撮像し、撮像した検査対象物の画像データの入力を受け付ける画像入力受付手段、及び
入力を受け付けた画像データの画素単位における画素値と、対応する画素単位の前記閾値との比較に基づいて、検査対象物の良否を判定する良否判定手段
として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
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