JP2020109374A - 表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象物の形状のばらつきや計測ばらつきを考慮して精度良く欠陥領域を判別可能な表面検査装置を提供する。【解決手段】健全品の表面データとなる基準表面データ１３及び健全品の表面データ群１８の差分値に基づいて、検査対象物１６が健全品であるか否かの判定に参照される基準表面データ領域情報１４を設定する基準表面データ領域情報設定部６を備える。基準表面データ領域情報設定部６は、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８との差分値に基づいて設定した第１閾値と、第１閾値より大きい第２閾値とを設定すると共に、基準表面データ１３の表面を、第１閾値と第２閾値により第１表面領域，第２表面領域，第３表面領域とに設定する。検査対象物１６の表面データ１２と基準表面データ１３の差分値ならびに基準表面データ領域情報１４に基づき、検査対象物１６が健全品であるか否かを判定する。【選択図】 図１

Description

本発明は、表面検査装置および表面検査方法に関する。

自動車部品などの量産鋳造品の鋳造プロセスでは、次の機械加工プロセスに移す前に傷、打痕、バリの有無、型落ち等による不良が無いことを確認するため、一般的に検査員の目視により部品全表面が検査される。鋳造品の生産量が増加し生産速度が速くなると、検査速度の向上が必要となり、目視検査での対応が難しくなることから、目視検査に代わる自動表面検査技術が求められている。そのため、短時間で検査対象物の全面を撮像し、不良の有無を判定可能な表面検査装置が必要である。このような表面検査装置として、例えば特許文献１がある。

特許文献１には、画像取得部によって取得された検査対象とする対象物の外観の２次元的な画像と、形状計測部によって測定された対象物の３次元的な形状とを入力として受け入れる入力部と、取得された２次元的な画像に関する情報である画像データと、測定された３次元的な形状に関する情報である形状データとに基づいて、対象物の表面に存在する表面欠陥に関する情報を取得する演算部とを備える表面検査装置が開示されている。

特開２０１６−２１７９４０号公報

特許文献１に記載された技術においては、基準となる形状データと計測結果の形状データの形状比較による方法を用いて欠陥判定を行うが、欠陥領域と欠陥以外の領域を判別するための判定閾値を検査員が予め設定する作業が必要である。この判定閾値は、検査員の経験則に左右され、検査対象物の形状のばらつきや計測ばらつきを考慮して適切に設定するのが難しいという課題があった。

本発明の目的は、上記の課題を解決し、検査対象物の形状のばらつきや計測ばらつきを考慮して精度良く欠陥領域を判別可能な表面検査装置及び表面検査方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の表面検査装置は、被検査体の表面を検出する表面検査装置であって、選別手段により抽出された健全品の表面データとなる基準表面データ及び健全品の表面データ群を入力する入力部と、前記基準表面データ及び前記健全品の表面データ群の差分値に基づいて、前記被検査体が健全品であるか否かの判定に参照される基準表面データ領域情報を設定する基準表面データ領域情報設定部を備え、前記基準表面データ領域情報設定部は、前記基準表面データと前記健全品の表面データ群との差分値に基づいて設定した第１閾値と、前記第１閾値より大きい値として設定した第２閾値と、前記基準表面データと前記健全品の表面データ群との差分値に基づいて前記基準表面データの表面を、前記第１閾値より小さい第１表面領域と、前記第１閾値以上前記第２閾値以下の第２表面領域と、前記第２閾値より大きい第３表面領域と、を設定し、
前記被検査体の表面データと前記基準表面データの差分値ならびに前記基準表面データ領域情報に基づき、前記被検査体が健全品であるか否かを判定する表面データ判定部とを備えることを特徴とする。

本発明によれば、検査対象物の形状のばらつきや計測ばらつきを考慮して精度良く欠陥領域を判別可能な表面検査装置及び表面検査方法を提供することができる。

本発明の第１実施例に係る表面検査装置１のシステム構成図である。 本発明の第１実施例に係るデータ取得部２の模式図である。 本発明の第１実施例に係る検査対象物１６の計測面の一例を示す図である。 撮像手段２０１によって取得した６面（第１面から第６面）の表面データの計測結果の一例を示す図である。 表面検査装置１による基準表面データ領域情報の設定の手順を示すフローチャートである。 表面検査装置１における基準表面データ領域情報設定部６の概要を示す図である。 基準表面データ領域情報の生成画面（表示部９に表示する）の一例を示す図である。 表面検査装置１による判定処理の手順を示すフローチャートである。 判定結果の確認画面の一例（表示部９に表示）を示す図である。 本発明の第２実施例に係る表面検査装置１のシステム構成図である。 基準表面データ１３からの差分値の製造日ごとの変化の一例を示す図である。 基準表面データ１３からの差分値を補正した結果の一例を示す図である。 本発明の第２実施例に係る表面検査装置１による欠陥判定の手順を示すフローチャートである。 本発明の第２実施例の表面検査装置１における形状変動評価の概要を示す図である。 本発明の第２実施例の表面検査装置１における形状変動評価の手順を示すフローチャートである。

以下、本発明に係る表面検査装置の実施例を図面に基づいて説明する。本発明は以下の実施例に限定されることなく、本発明の技術的な概念の中で種々の変形例や応用例もその範囲に含むものである。

（構成の説明）
図１は、本発明の第１実施例に係る表面検査装置１のシステム構成図である。図１に示すように、表面検査装置１は、入力部４、形状差分演算部５、基準表面データ領域情報設定部６、表面データ判定部７、出力部８、表示部９、制御部１０、記憶部１１を備える。記憶部１１には、表面データ１２、基準表面データ１３、基準表面データ領域情報１４、演算結果１５が記憶される。

表面検査装置１は、データ取得部２で取得した検査対象物１６（被検査体）の表面データを入力部４に入力する。また、表面検査装置１は、選別手段３（人手による目視検査や三次元測定機やＸ線ＣＴを用いた形状測定など）で健全品であることが確認されている検査対象物１６の表面データを入力部４に入力する。選別手段３で選別された健全品の表面データを基に基準表面データ１３を生成する。

図２は、本発明の第１実施例に係るデータ取得部２の模式図である。撮像手段２０１は、例えば３Ｄスキャナーやレーザ変位計、カメラなどの光学測定機である。撮像手段２０１は、様々な角度から検査対象物１６の撮像を行えるように、多関節ロボット２０２の先端に設置し、撮像手段の位置、角度を調整可能としている。これにより、複数台の撮像手段を用意する必要がなくなる。あるいは、撮像手段の位置、角度を固定した状態で、検査対象物１６の位置、角度を調整できるような機構を検査ステージ２０３の治具に設けても良い。検査対象物１６は、検査員の手によって、あるいは検査対象物を把持するロボットや多関節アームなどを用いて検査ステージ２０３に設置され、搬送機構２０４により撮像手段２０１の計測範囲内に移動される。撮像手段２０１が光切断法によって検査対象物の表面形状を取得する測定機（レーザ変位計など）である場合、検査対象物１６に対して撮像手段２０１を相対移動させ、検査対象物１６を撮像する。このとき、多関節ロボット２０２の先端に設置した撮像手段２０１を移動させても、検査ステージ２０３に走査機構を設けるなどして検査対象物を移動させてもよい。検査ステージ２０３には図示しないが、検査対象物１６の姿勢を固定するための治具や、検査対象物１６の姿勢が正しく設置されていることを確認するためのセンサが搭載されていてもよい。検査ステージ２０３は、検査対象物の大きさ、形状に合わせた治具を着脱可能になっていてもよい。これにより、複数品種の製品を検査することができる。

図３は、本発明の第１実施例に係る検査対象物１６の計測面の一例を示す図である。この例では、検査対象物１６を包含する立方体を投影面とする６面（第１面から第６面）を計測面としている。図２の配置方法において検査ステージ２０３に接しているため表面が見えない第３面は、検査対象物を把持するロボットや多関節アームなどを用いて姿勢を変更したり、持ち上げることにより撮像する。また、図３には、座標軸としてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を示している。

図４は、撮像手段２０１によって取得した６面（第１面から第６面）の表面データの計測結果の一例を示す図である。例えば、第１面，第４面はＸ軸及びＺ軸の座標軸で示され、第２面，第３面はＸ軸及びＹ軸の座標軸で示され、第５面，第６面はＹ軸及びＺ軸の座標軸で示される。欠陥判定では、これらのすべての面に対し、欠陥の有無を判定し、すべての面が欠陥なしと判定された場合、出力部８は「健全品（OK）」という判定結果を出力する。どれか一つの面に欠陥ありと判定された場合、出力部８は「不良品（NG）」という判定結果と出力する。

（動作の説明）
表面検査装置１は、入力部４から入力された表面データと記憶部１１に記憶された基準表面データ１３の差分演算を行い、その結果に基づいて欠陥の領域と欠陥以外の領域を判別し、検査対象物１６が健全品か不良品か否かを判定する。このときの判定は、記憶部１１に記憶された基準表面データ領域情報１４を参照する。基準表面データ領域情報１４は、基準表面データ領域情報設定部６で設定する。

図５は、表面検査装置１による基準表面データ領域情報の設定の手順を示すフローチャートである。図６は、表面検査装置１における基準表面データ領域情報設定部６の概要を示す図である。

基準表面データ領域情報を設定するためには、まず、データ取得部２により基準表面データ１３を取得する（ステップＳ１１）。基準表面データ１３を取得する対象は、選別手段３（人手による目視検査や三次元測定機やＸ線ＣＴを用いた形状測定など）などにより健全品であることが確認されている製品である。

次に、データ取得部２により健全品の表面データ群１８を取得する（ステップＳ１２）。健全品の表面データ群１８を取得する対象は、選別手段３などにより健全品であることが確認されている１つ乃至複数の製品（個体数：Ｎ）である。

次に、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８の差分演算を行う（ステップＳ１３）。すなわち、ステップＳ１３では健全品1体と健全品Ｎ体の形状差分を演算する。差分演算の前には、表面データ同士の位置や姿勢のずれを調整するため、位置合わせを行う。位置合わせでは、例えばIterative Closest Point(ICP)アルゴリズムを用いて、表面データの点群間の最近傍点間距離の二乗誤差を最小にするような処理を行う。差分演算では、例えば基準表面データ１３と健全品の表面データの最近傍点間距離を計算する。このような差分演算を健全品の表面データ群１８に含まれるＮ個に対して行い、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８の差分値群１９を得る。

次に、基準表面データ１３の各点に対して、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８の差分値群１９の最大値を抽出し、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８の差分値の最大値分布２０を取得する（ステップＳ１４）。

次に、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８の差分値の最大値分布２０を基にして、基準表面データ領域情報１４を設定する（ステップＳ１５）。図７は、基準表面データ領域情報１４の生成画面（表示部９に表示する）の一例を示す図である。生成画面には、基準表面データ１３の品種、ＩＤ、面番号とともに、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８の差分値の最大値分布２０を示すコンター図と、差分値の最大値のヒストグラムが表示されている。コンター図は、差分値の最大値の大きさに応じて領域番号１〜３の領域に分けられ、色分けがされている。また、生成画面には、各領域における差分値の範囲の最大値、最小値、欠陥判定の対象か否かのフラグ、欠陥判定に用いる差分値の閾値を入力できる表が表示されている。差分値の範囲の最大値、最小値ならびに欠陥判定に用いる差分値の閾値は差分値の最大値のヒストグラムでも確認できるようになっている。生成画面の領域情報保存ボタンを押すと、表に入力した値が基準表面データ領域情報１４として記憶部１１に記憶される。記憶部１１に記憶された基準表面データ領域情報１４は、欠陥判定時に参照される。

図７において、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８との差分値に基づいて第１閾値γ_１が任意の値に設定する。第２閾値γ_２は、第１閾値γ_１より大きい任意の値に設定する。第１閾値γ_１，第２閾値γ_２は、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８との差分値の最大値の分布に基づいて自動的に設定されるようにしても良く、また、検査員が手動で入力しても良い。

そして、基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８との差分値に基づいて、基準表面データ１３の表面が設定される。基準表面データ１３の表面は第１表面領域、第２表面領域、第３表面領域に分けられる。この処理は基準表面データ領域情報設定部６にて行われる。第１表面領域は第１閾値γ_１より小さい表面領域であり、第２表面領域は第１閾値γ_１以上第２閾値γ_２以下の表面領域であり、第３表面領域は第２閾値γ_２より大きい表面領域となる。

第１表面領域，第２表面領域，第３表面領域には、欠陥判定に用いる差分値閾値σ_１，σ_２，σ₃がそれぞれ設定される。差分値閾値σ₁は第１閾値γ_１より小さい任意の値に設定する。差分値閾値σ₁は第１閾値γ_１より大きく、第２閾値γ₂より小さい任意の値に設定する。差分値閾値σ₃は第２閾値γ₂より大きい任意の値に設定する。差分値閾値σ_１，σ_２，σ₃は基準表面データ１３の領域である第１表面領域内，第２表面領域内，第３表面領域内をそれぞれ分けるように設定される。

基準表面データ領域情報設定部６は、第１閾値γ_１，第２閾値γ_２、第１表面領域，第２表面領域，第３表面領域を基準表面データ領域情報１４として設定するものである。さらに、基準表面データ領域情報設定部６は、欠陥判定に用いる差分値閾値σ_１，σ_２，σ₃を設定するものである。

第２閾値γ_２より大きい第３表面領域は、検査対象物１６の形状のばらつきや計測ばらつきが大きく安定した計測が困難な領域と考えられる。よって、差分値閾値σ₃が設定される第３表面領域は欠陥判定の対象外としても良い。このように第３表面領域は欠陥判定の対象外とすることにより、判定に要する時間を軽減できる。

次に図８を用いて、表面検査装置１による判定処理の手順を説明する。図８は、表面検査装置１による判定処理の手順を示すフローチャートである。判定処理、まず、データ取得部２により検査対象物１６の表面データ１２を取得する（ステップＳ２１）。取得した表面データ１２は記憶部１１に記憶する（ステップＳ２２）。

次に、検査対象物１６の品種、ＩＤ、面番号に基づき、基準表面データ１３ならびに基準表面データ領域情報１４を記憶部１１より取得する（ステップＳ２３）。

次に、形状差分演算部５にて、基準表面データ１３と検査対象物１６の表面データの差分演算を行う（ステップＳ２４）。差分演算の前には、表面データ同士の位置や姿勢のずれを調整するため、位置合わせを行う。位置合わせでは、例えばICPアルゴリズムを用いて、表面データの点群間の最近傍点間距離の二乗誤差を最小にするような処理を行う。差分演算では、例えば基準表面データ１３と健全品の表面データの最近傍点間距離を計算し、基準表面データ１３との差分値を得る。

次に、表面データ判定部７にて、ステップＳ２３で取得した基準表面データ領域情報１４と、ステップＳ２４で取得した基準表面データ１３と検査対象物１６の表面データの差分値を基に、検査対象物１６が健全品であるか否かの判定（欠陥判定）を行う（ステップＳ２５）。

図９は、判定結果の確認画面の一例（表示部９に表示）を示す図である。確認画面には、検査対象物の品種、ＩＤ、面番号とともに、基準表面データ１３との差分値の分布のコンター図と、差分値のヒストグラムが表示されている。また、確認画面には、基準表面データ領域情報１４に含まれる領域番号、差分値閾値σ_１を示す表が表示されている。領域番号はプルダウンで指定できるようになっており、領域番号を変更すると、差分値の分布のコンター図と、差分値のヒストグラムも領域番号に対応する結果に切り替わるようになっている。表には、閾値超過点数が表示されており、この例では、閾値超過点数が超過点数閾値を超えるため、欠陥と判定されている。

欠陥判定の結果、異常ありの場合は「欠陥あり（不良品）」の結果が出力部８より出力される（ステップS２６）。異常なしの場合は「欠陥なし（健全品）」の結果が出力部８より出力される（ステップS２７）。最後に、演算結果１５を記憶部１１に記憶する（ステップS２８）。

以上説明したように第１実施例では、以下のような効果を得ることができる。第１実施例の表面検査装置１は、健全品の表面データである基準表面データ１３と健全品の表面データ群１８の差分演算結果に基づき、検査対象物の形状のばらつきや計測ばらつきに関する第１閾値γ_１，第２閾値γ_２を設定し基準表面データ領域情報１４を生成し、基準表面データ領域情報１４を基にして欠陥判定を行うようにしている。したがって、表面検査に関する経験的な知見がなくても健全品の表面データである基準表面データ１３と健全品の表面データを用意するだけで欠陥判定を行うことができ、設定作業が容易となる。さらに、第１閾値γ_１，第２閾値γ_２に基づいて生成された基準表面データ領域情報１４に差分値閾値σ_１，σ_２，σ₃を設定することができ、従来に比較してより高精度な欠陥判定が可能となる。

（変形例）
第１実施例では、第１閾値γ_１，第２閾値γ_２を設けるようにしたが、例えば第２閾値γ_２のみを設定するようにしても良い。第２閾値γ_２は、健全品であるか否かの判定から除外するための除外閾値として設定する。除外閾値は、基準表面データ領域情報設定部で設定する。そして、検査対象物１６の表面データ１２と基準表面データ１３の差分値が除外閾値を超えた場合には、表面データ判定部は検査対象物１６が健全品であるか否かの判定から除外するようにする。

変形例によれば、検査対象物の形状のばらつきや計測ばらつきによるものを欠陥判定の対象外とすることにより、判定に要する時間を軽減することができる。

次に、本発明の第２実施例について説明する。図１０は、本発明の第２実施例に係る表面検査装置１のシステム構成図である。第１実施例と異なるところは、形状変動評価部２１を備え、記憶部１１に形状変動評価結果２２が記憶される点である。形状変動評価部２１は、表面データ判定部７において健全品と判定された表面データ１２を基にして、基準表面データ１３からの形状変動を評価する。

図１１は、基準表面データ１３からの形状変動評価結果２２の一例を示す図である。このグラフは基準表面データ１３と検査対象物１６の表面データの差分値を製造日に対してプロットした結果である。鋳造で製造される製品は、使用する模型の形状変動などによって、時間経過に伴い、製品形状に変動が生じることがある。例えば、使用する金型模型の消耗により形状変動が起こるとすると、模型消耗が進むにつれ形状変動が大きくなる。検査対象物１６の形状変動が大きくなると、基準表面データ１３と検査対象物１６の表面データの差分値が大きくなるため、検査対象物１６の欠陥判定において、健全品を不良品と判定する誤検出が頻発するようになる。

図１２は、基準表面データ１３からの差分値を補正した結果の一例を示す図である。本実施例の表面検査装置では、製品形状の変動による誤判定を抑制するため、検査対象物１６の形状変動を予め評価し、形状変動を補正した後に欠陥判定を行う。

図１３は、製品形状変動の評価手順を示すフローチャートである。図１４は、製品形状変動評価の概要を示す図である。まず、基準表面データ１３を記憶部１１より取得する（ステップＳ３１）。次に、検査対象物からの形状変動が小さいと考えられる健全品の表面データ群２３をデータ取得部２により取得する（ステップＳ３２）。対象とする健全品の表面データ群２３は、例えば選別手段３などにより健全品であることが確認されている検査対象物（個体数：Ｍ）である。次に、基準表面データ１３と健全品の表面データ群２３の差分演算を行う（ステップＳ３３）。差分演算の前には、表面データ同士の位置や姿勢のずれを調整するため、位置合わせを行う。差分演算では、例えば基準表面データ１３と健全品の表面データの最近傍点間距離を計算する。このような差分演算を健全品の表面データ群２３に含まれるＭ個に対して行い、基準表面データと健全品の表面データ群の差分値群２４を得る。次に、基準表面データ１３の各点に対して、基準表面データと健全品の表面データ群の差分値群２４の平均値を計算する（ステップＳ３４）。最後に、基準表面データと健全品の表面データ群の差分値の平均値分布２５を形状変動として、記憶部１１に記憶する（ステップＳ３５）。

図１５は、第２実施例の表面検査装置１による欠陥判定の手順を示すフローチャートである。第１実施例と異なるのは、形状変動の補正を行うステップＳ２９がある点である。ステップＳ２９では、ステップＳ２４で取得した差分値から更に形状変動を減算する。ステップＳ２９では、形状変動を減算した差分値を基に欠陥判定を行う。この操作は、基準表面データ１３と検査対象物１６の形状変動の補正に相当し、これにより製品形状にばらつきが生じる検査対象物に対しても健全品の誤判定を抑制し、高精度に欠陥判定を行うことができる。

なお、本発明は、上述した実施例に限定するものではなく、様々な変形例が含まれる。上述した実施例は本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定するものではない。

１…表面検査装置、２…データ取得部、３…選別手段、４…入力部、５…形状差分演算部、６…基準表面データ領域情報設定部、７…表面データ判定部、８…出力部、９…表示部、１０…制御部、１１…記憶部、１２…表面データ、１３…基準表面データ、１４…基準表面データ領域情報、１５…演算結果、１６…検査対象物、１８…健全品の表面データ群、１９…基準表面データと健全品の表面データ群の差分値群、２０…基準表面データと健全品の表面データ群の差分値の最大値分布、２１…形状変動評価部、２２…形状変動評価結果、２３…健全品の表面データ群、２４…基準表面データと健全品の表面データ群の差分値群、２５…基準表面データと健全品の表面データ群の差分値の平均値分布、２０１…撮像手段、２０２…多関節ロボット、２０３…検査ステージ、２０４…搬送機構

Claims (9)

1. 被検査体の表面を検出する表面検査装置であって、
   選別手段により抽出された健全品の表面データとなる基準表面データ及び健全品の表面データ群を入力する入力部と、
   前記基準表面データ及び前記健全品の表面データ群の差分値に基づいて、前記被検査体が健全品であるか否かの判定に参照される基準表面データ領域情報を設定する基準表面データ領域情報設定部を備え、
   前記基準表面データ領域情報設定部は、
   前記基準表面データと前記健全品の表面データ群との差分値に基づいて設定した第１閾値と、前記第１閾値より大きい値として設定した第２閾値と、前記基準表面データと前記健全品の表面データ群との差分値に基づいて前記基準表面データの表面を、前記第１閾値より小さい第１表面領域と、前記第１閾値以上前記第２閾値以下の第２表面領域と、前記第２閾値より大きい第３表面領域と、を設定し、
   前記被検査体の表面データと前記基準表面データの差分値ならびに前記基準表面データ領域情報に基づき、前記被検査体が健全品であるか否かを判定する表面データ判定部とを備えることを特徴とする表面検査装置。
2. 請求項１において、
   前記基準表面データ領域情報設定部は、前記第１表面領域、前記第２表面領域、前記第３表面領域のそれぞれの領域を分ける差分値閾値を設定することを特徴とする表面検査装置。
3. 請求項１において、
   前記基準表面データ領域情報設定部は、前記基準表面データと前記健全品の表面データ群との差分値の最大値に差分値閾値を設定し、前記差分値閾値により前記基準表面データの領域を分けることを特徴とする表面検査装置。
4. 請求項１乃至３の何れか１項において、
   前記表面データ判定部において健全品と判定された表面データを基にして、前記基準表面データからの形状変動を評価する形状変動評価部を備えることを特徴とする表面検査装置。
5. 請求項４において、
   前記形状変動評価部で評価した前記基準表面データからの形状変動を基にして、前記被検査体の表面データと前記基準表面データの差分値あるいは前記基準表面データ領域情報を補正することを特徴とする表面検査装置。
6. 被検査体の表面を検出する表面検査装置であって、
   選別手段により抽出された健全品の表面データとなる基準表面データ及び健全品の表面データ群を入力する入力部と、
   前記基準表面データと前記健全品の表面データ群との差分値の最大値より大きい値である除外閾値を設定する基準表面データ領域情報設定部と、
   前記被検査体の表面データと前記基準表面データの差分値が前記除外閾値を超えた場合には、前記被検査体が健全品であるか否かの判定から除外する表面データ判定部と、を備えることを特徴とする表面検査装置。
7. 選別手段により抽出された複数の健全品の表面データを取得し、前記健全品の表面データとなる基準表面データと前記健全品の表面データ群の差分値に基づいて、第１閾値と、前記第１閾値より大きい値である第２閾値とを設定し、前記基準表面データの表面を、前記基準表面データと前記健全品の表面データ群との差分値に基づいて、前記第１閾値より小さい第１表面領域と、前記第１閾値以上前記第２閾値以下の第２表面領域と、前記第２閾値より大きい第３表面領域と、に分ける基準表面データ領域情報を生成し、
   被検査体の表面データと前記基準表面データの差分値ならびに前記基準表面データ領域情報に基づき、前記被検査体が健全品であるか否かを判定することを特徴とする表面検査方法。
8. 請求項７において、
   前記基準表面データと前記健全品の表面データ群との差分値の最大値に差分値閾値を設定し、前記差分値閾値により前記基準表面データの領域を分けることを特徴とする表面検査方法。
9. 請求項８において、
   表面データ判定において健全品と判定された表面データによって評価した前記基準表面データからの形状変動を基にして、前記被検査体の表面データと前記基準表面データの差分値あるいは前記基準表面データ領域情報を補正することを特徴とする表面検査方法。

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