JP7635245B2 - Method for inspecting optical laminate - Google Patents
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Description
本発明は、偏光子と、光学フィルムと、が積層され、更に厚み方向の少なくとも一方の最表面側に剥離フィルムが積層された光学積層体の検査方法に関する。特に、本発明は、剥離フィルムの表面に存在する欠点の過検出を抑制して、偏光子と光学フィルムとの間に存在する欠点を精度良く検出可能な光学積層体の検査方法に関する。The present invention relates to an inspection method for an optical laminate in which a polarizer and an optical film are laminated, and a release film is further laminated on at least one outermost surface side in the thickness direction. In particular, the present invention relates to an inspection method for an optical laminate that can suppress overdetection of defects present on the surface of the release film and accurately detect defects present between the polarizer and the optical film.
従来、偏光子を含む光学積層体の欠点を光学的に検査して、光学積層体の良否を判定する検査方法が知られている。
光学積層体の欠点としては、光学積層体の層間(具体的には、光学積層体を構成する偏光子と光学フィルムとの間)に存在する異物(本明細書において適宜「貼合異物」と称する)や、光学積層体の表面に存在する欠点(異物、汚れ、傷など)が挙げられる。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an inspection method for optically inspecting an optical laminate including a polarizer for defects and judging the acceptability of the optical laminate.
Defects in the optical laminate include foreign matter (referred to as "bonding foreign matter" as appropriate in this specification) present between layers of the optical laminate (specifically, between the polarizer and the optical film that constitute the optical laminate) and defects (foreign matter, stains, scratches, etc.) present on the surface of the optical laminate.
欠点を検出し易い光学条件は、欠点の種類によって異なる。したがい、複数の光学条件を組み合わせた検査方法が種々提案されている。
例えば、特許文献1、2には、光学フィルムを透過する光によって生成される光学フィルムの透過画像と、光学フィルムで反射する光によって生成される光学フィルムの反射画像と、に基づき、光学フィルムの欠点を検出する検査方法が提案されている(特許文献1の段落0023~0026等、特許文献2の請求項2等)。
また、特許文献3には、偏光子を含む光学積層体で反射する光によって生成される光学積層体の反射画像と、偏光子の偏光軸に対してクロスニコルになるように配置された検査用偏光フィルタ及び光学積層体を透過する光によって生成される光学積層体のクロスニコル画像と、に基づき、光学積層体の欠点を検出する検査方法が提案されている(特許文献3の請求項1等)。
The optical conditions under which defects are easily detected vary depending on the type of defect, and therefore various inspection methods that combine a number of optical conditions have been proposed.
For example,
Furthermore,
ここで、検査対象が、偏光子と、光学フィルム(例えば、位相差フィルム)と、が積層され、更に厚み方向の少なくとも一方の最表面側に剥離フィルム(例えば、セパレータや、表面保護フィルム)が積層された光学積層体である場合、剥離フィルムの表面に存在する欠点(異物、汚れ、傷など)は、無害であり、問題とならない。光学積層体を使用する(例えば、液晶セルに光学積層体を貼り合わせる)際、剥離フィルムは剥離されて残存しないからである。 Here, when the inspection object is an optical laminate in which a polarizer and an optical film (e.g., a retardation film) are laminated, and further a release film (e.g., a separator or a surface protection film) is laminated on at least one outermost surface side in the thickness direction, defects (foreign matter, dirt, scratches, etc.) present on the surface of the release film are harmless and do not pose a problem. This is because when the optical laminate is used (e.g., when the optical laminate is bonded to a liquid crystal cell), the release film is peeled off and does not remain.
本発明者らが、偏光子を含む光学積層体のクロスニコル画像に基づき欠点を検出する検査方法を検討したところ、光学積層体の層間に存在する貼合異物を検出できるものの、無害である剥離フィルムの表面に存在する欠点まで検出(過検出)してしまうことが分かった。このため、剥離フィルムの表面の欠点のみが存在する(層間に欠点が存在しないため問題とならない)光学積層体をも不良品として取り扱ってしまい、光学積層体の製品歩留まりが悪くなる場合がある。 The inventors of the present invention have investigated an inspection method for detecting defects based on a crossed Nicol image of an optical laminate containing a polarizer, and found that although it is possible to detect bonding foreign matter present between the layers of the optical laminate, it also detects (overdetects) defects present on the surface of the harmless release film. As a result, optical laminates that only have defects on the surface of the release film (which is not a problem because there are no defects between the layers) may be treated as defective, which may result in a poor product yield for the optical laminate.
特許文献3には、上記のような過検出を抑制するため、光学積層体の反射画像に基づき検出された欠点候補の位置と、光学積層体のクロスニコル画像に基づき検出された欠点候補の位置とが同一である場合、この欠点候補を欠点として扱わないようにすることが記載されている(特許文献3の請求項1、段落0083等)。
しかしながら、本発明者らが検討したところによれば、上記のように、反射画像及びクロスニコル画像を組み合わせた検査方法であっても、無害の欠点の過検出を十分に抑制できない場合のあることが分かった。
However, according to the inventors' research, it was found that even the inspection method that combines reflected images and crossed Nicol images as described above may not be able to sufficiently suppress overdetection of harmless defects.
なお、特許文献1に記載の検査方法は、欠点数を正確に計数することを課題としており(特許文献1の段落0007)、無害の欠点の過検出を抑制する方法ではない。
また、特許文献2に記載の検査方法は、欠点の種類を正確に判別することを課題としており(特許文献2の段落0018)、無害の欠点の過検出を抑制する方法ではない。
The inspection method described in
Furthermore, the inspection method described in
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、剥離フィルムの表面に存在する欠点の過検出を抑制して、偏光子と光学フィルムとの間に存在する欠点を精度良く検出可能な光学積層体の検査方法を提供することを課題とする。The present invention has been made to solve the problems of the conventional technology as described above, and aims to provide an inspection method for an optical laminate that can suppress overdetection of defects present on the surface of the release film and accurately detect defects that exist between the polarizer and the optical film.
前記課題を解決するため、本発明者らは鋭意検討した結果、透過画像、クロスニコル画像及び反射画像の各画像において、透過画像及びクロスニコル画像の双方で検出され、反射画像で検出されなかった欠点候補は、偏光子と光学フィルムとの間に存在する欠点(貼合異物)である可能性が高いことを見出し、本発明を完成した。In order to solve the above-mentioned problems, the inventors conducted extensive research and discovered that defect candidates that were detected in both the transmitted image and the crossed Nicol image but not in the reflected image were highly likely to be defects (bonding foreign matter) that existed between the polarizer and the optical film, and thus completed the present invention.
すなわち、前記課題を解決するため、本発明は、偏光子と、光学フィルムと、が積層され、更に厚み方向の少なくとも一方の最表面側に剥離フィルムが積層された光学積層体の検査方法であって、前記光学積層体を透過する光によって前記光学積層体の透過画像を生成し、前記透過画像に基づき、前記光学積層体に存在する欠点候補を検出する透過検査工程と、前記偏光子の偏光軸に対してクロスニコルになるように配置された検査用偏光フィルタ及び前記光学積層体を透過する光によって前記光学積層体のクロスニコル画像を生成し、前記クロスニコル画像に基づき、前記光学積層体に存在する欠点候補を検出するクロスニコル検査工程と、前記光学積層体で反射する光によって前記光学積層体の反射画像を生成し、前記反射画像に基づき、前記光学積層体に存在する欠点候補を検出する反射検査工程と、前記透過検査工程で検出された欠点候補と、前記クロスニコル検査工程で検出された欠点候補と、前記反射検査工程で検出された欠点候補と、に基づき、前記偏光子と前記光学フィルムとの間に存在する欠点を判定する演算工程と、を含み、前記演算工程において、前記透過検査工程及び前記クロスニコル検査工程の双方で検出され、前記反射検査工程で検出されなかった欠点候補を、前記偏光子と前記光学フィルムとの間に存在する欠点であると判定する、光学積層体の検査方法を提供する。That is, in order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a method for inspecting an optical laminate in which a polarizer and an optical film are laminated, and a release film is further laminated on at least one outermost surface side in the thickness direction, the method comprising: a transmission inspection process for generating a transmission image of the optical laminate by light transmitted through the optical laminate, and detecting defect candidates present in the optical laminate based on the transmission image; a crossed Nicol inspection process for generating a crossed Nicol image of the optical laminate by an inspection polarizing filter arranged so as to be in a crossed Nicol state with respect to the polarization axis of the polarizer and light transmitted through the optical laminate, and detecting defect candidates present in the optical laminate based on the crossed Nicol image; The present invention provides an inspection method for an optical stack, the method comprising: a reflection inspection process for generating a reflected image of the optical stack by light reflected from the optical stack, and detecting defect candidates present in the optical stack based on the reflected image; and a calculation process for determining defects present between the polarizer and the optical film based on the defect candidates detected in the transmission inspection process, the crossed Nicols inspection process, and the defect candidates detected in the reflection inspection process, wherein in the calculation process, a defect candidate detected in both the transmission inspection process and the crossed Nicols inspection process but not detected in the reflection inspection process is determined to be a defect present between the polarizer and the optical film.
本発明によれば、透過検査工程において、光学積層体の透過画像に基づき、光学積層体に存在する欠点候補を検出する。透過画像は、例えば、光学積層体の一方の面側に光源を配置し、他方の面側に撮像手段を配置して、光源から出射し、光学積層体を透過した光を、撮像手段で受光して結像(撮像)することで生成される。透過画像における欠点候補は、例えば、透過画像に対して、他の画素領域と輝度値(画素値)が異なる画素領域を抽出する2値化等の公知の画像処理を適用することで検出される。
また、本発明によれば、クロスニコル検査工程において、光学積層体のクロスニコル画像に基づき、光学積層体に存在する欠点候補を検出する。クロスニコル画像は、例えば、光学積層体の一方の面側に光源及び検査用偏光フィルタを配置し、他方の面側に撮像手段を配置して、光源から出射し、検査用偏光フィルタ及び光学積層体を透過した光を、撮像手段で撮像受光して結像(撮像)することで生成される。この場合、検査用偏光フィルタと光学積層体の偏光子との間に存在する欠点によってクロスニコルの状態が崩れるため、クロスニコル画像において、検査用偏光フィルタと偏光子との間に存在する欠点に対応する画素領域が明るくなる(輝度値が大きくなる)。或いは、クロスニコル画像は、光学積層体の一方の面側に光源を配置し、他方の面側に検査用偏光フィルタ及び撮像手段を配置して、光源から出射し、光学積層体及び検査用偏光フィルタを透過した光を、撮像手段で受光して結像(撮像)することでも生成される。この場合も、光学積層体の偏光子と検査用偏光フィルタとの間に存在する欠点によってクロスニコルの状態が崩れるため、クロスニコル画像において、偏光子と検査用偏光フィルタとの間に存在する欠点に対応する画素領域が明るくなる(輝度値が大きくなる)。クロスニコル画像における欠点候補は、例えば、クロスニコル画像に対して、他の画素領域と輝度値(画素値)が異なる画素領域(具体的には他の画素領域よりも輝度値が大きな画素領域)を抽出する2値化等の公知の画像処理を適用することで検出される。
さらに、本発明によれば、反射検査工程において、光学積層体の反射画像に基づき、光学積層体に存在する欠点候補を検出する。反射画像は、例えば、光学積層体の一方の面側に光源及び撮像手段を配置し、光源から出射し、光学積層体で反射した光を、撮像手段で受光して結像(撮像)することで生成される。反射画像における欠点候補は、例えば、反射画像に対して、他の画素領域と輝度値(画素値)が異なる画素領域を抽出する2値化等の公知の画像処理を適用することで検出される。
According to the present invention, in the transmission inspection process, defect candidates present in the optical stack are detected based on a transmission image of the optical stack. The transmission image is generated, for example, by arranging a light source on one surface side of the optical stack and an imaging means on the other surface side, and receiving light emitted from the light source and transmitted through the optical stack by the imaging means to form an image (capture). Defect candidates in the transmission image are detected, for example, by applying known image processing such as binarization to the transmission image, which extracts pixel regions having a different luminance value (pixel value) from other pixel regions.
According to the present invention, in the crossed Nicol inspection process, defect candidates present in the optical stack are detected based on the crossed Nicol image of the optical stack. The crossed Nicol image is generated, for example, by arranging a light source and an inspection polarizing filter on one side of the optical stack, arranging an imaging means on the other side, and capturing and receiving the light emitted from the light source and transmitted through the inspection polarizing filter and the optical stack by the imaging means to form an image (image). In this case, the crossed Nicol state is disrupted by a defect present between the inspection polarizing filter and the polarizer of the optical stack, so that in the crossed Nicol image, the pixel area corresponding to the defect present between the inspection polarizing filter and the polarizer becomes bright (the luminance value becomes large). Alternatively, the crossed Nicol image can also be generated by arranging a light source on one side of the optical stack, arranging an inspection polarizing filter and an imaging means on the other side, and receiving and forming an image (image) with the imaging means the light emitted from the light source and transmitted through the optical stack and the inspection polarizing filter. In this case, too, the crossed Nicol state is disrupted by a defect existing between the polarizer of the optical stack and the polarizing filter for inspection, so that in the crossed Nicol image, the pixel region corresponding to the defect existing between the polarizer and the polarizing filter for inspection becomes brighter (brighter). Defect candidates in the crossed Nicol image are detected, for example, by applying known image processing such as binarization to the crossed Nicol image, which extracts pixel regions having a different brightness value (pixel value) from other pixel regions (specifically, pixel regions having a higher brightness value than other pixel regions).
Furthermore, according to the present invention, in the reflection inspection process, defect candidates present in the optical stack are detected based on a reflection image of the optical stack. The reflection image is generated, for example, by arranging a light source and an imaging means on one side of the optical stack, and receiving light emitted from the light source and reflected by the optical stack with the imaging means to form an image (capture). Defect candidates in the reflection image are detected, for example, by applying known image processing such as binarization to the reflection image, which extracts pixel regions having a different luminance value (pixel value) from other pixel regions.
なお、本発明において、「光学フィルム」は、偏光子から剥離不能な光学フィルムを意味する。
また、本発明において、「偏光子の偏光軸に対してクロスニコルになるように配置された検査用偏光フィルタ」とは、偏光子の偏光軸と検査用偏光フィルタの偏光軸との成す角度が完全に90°である場合に限らず、90°±10°の範囲内である場合を含む概念である。
さらに、本発明において、透過検査工程、クロスニコル検査工程及び反射検査工程は、必ずしもこの順番に実行する必要がなく、任意の順番に実行する(複数の検査工程を一部重複して実行する場合も含む)ことが可能である。
In the present invention, the term "optical film" refers to an optical film that cannot be peeled off from a polarizer.
In addition, in the present invention, the term "inspection polarizing filter arranged so as to be in crossed Nicols with respect to the polarization axis of the polarizer" is not limited to the case where the angle between the polarization axis of the polarizer and the polarization axis of the inspection polarizing filter is exactly 90°, but includes the case where the angle is within the range of 90°±10°.
Furthermore, in the present invention, the transmission inspection process, the crossed Nicols inspection process, and the reflection inspection process do not necessarily have to be performed in this order, and they can be performed in any order (including the case where multiple inspection processes are performed with some overlap).
そして、本発明によれば、演算工程において、透過検査工程及びクロスニコル検査工程の双方で検出され、反射検査工程で検出されなかった欠点候補を、偏光子と光学フィルムとの間に存在する欠点(貼合異物)であると判定する。
欠点候補が透過検査工程及びクロスニコル検査工程の双方で検出されたか否かは、例えば、透過検査工程で検出されたある欠点候補の位置と同等(同一又は近傍)の位置において、クロスニコル検査工程で検出された欠点候補が存在するか否かで判定される。同等の位置においてクロスニコル検査工程で検出された欠点候補が存在する場合には、この欠点候補は透過検査工程及びクロスニコル検査工程の双方で検出されたと判定される。一方、同等の位置においてクロスニコル検査工程で検出された欠点候補が存在しない場合には、この欠点候補は透過検査工程及びクロスニコル検査工程の双方で検出されなかったと判定される。
透過検査工程及びクロスニコル検査工程の双方で検出された欠点候補が反射検査工程で検出されたか否かは、例えば、透過検査工程及びクロスニコル検査工程の双方で検出されたある欠点候補の位置と同等(同一又は近傍)の位置において、反射検査工程で検出された欠点候補が存在するか否かで判定される。同等の位置において反射検査工程で検出された欠点候補が存在する場合には、この欠点候補は反射検査工程で検出されたと判定される。一方、同等の位置において反射検査工程で検出された欠点候補が存在しない場合には、この欠点候補は反射検査工程で検出されなかったと判定される。
Furthermore, according to the present invention, in the calculation process, a defect candidate that is detected in both the transmission inspection process and the crossed Nicol inspection process but not detected in the reflection inspection process is determined to be a defect (bonding foreign matter) present between the polarizer and the optical film.
Whether or not a defect candidate is detected in both the transmission inspection process and the crossed Nicols inspection process is determined, for example, by whether or not a defect candidate detected in the crossed Nicols inspection process exists at a position equivalent (the same or nearby) to the position of a certain defect candidate detected in the transmission inspection process. If a defect candidate detected in the crossed Nicols inspection process exists at the equivalent position, it is determined that this defect candidate has been detected in both the transmission inspection process and the crossed Nicols inspection process. On the other hand, if no defect candidate detected in the crossed Nicols inspection process exists at the equivalent position, it is determined that this defect candidate has not been detected in both the transmission inspection process and the crossed Nicols inspection process.
Whether or not a defect candidate detected in both the transmission inspection process and the crossed Nicols inspection process is detected in the reflection inspection process is determined, for example, by whether or not a defect candidate detected in the reflection inspection process exists at a position equivalent (the same or nearby) to the position of a defect candidate detected in both the transmission inspection process and the crossed Nicols inspection process. If a defect candidate detected in the reflection inspection process exists at the equivalent position, it is determined that this defect candidate was detected in the reflection inspection process. On the other hand, if no defect candidate detected in the reflection inspection process exists at the equivalent position, it is determined that this defect candidate was not detected in the reflection inspection process.
前述のように、本発明者らの知見によれば、透過画像及びクロスニコル画像の双方で検出され、反射画像で検出されなかった欠点候補は、偏光子と光学フィルムとの間に存在する欠点(貼合異物)である可能性が高い。本発明によれば、演算工程において、透過検査工程及びクロスニコル検査工程の双方で検出され(すなわち、透過画像及びクロスニコル画像の双方で検出され)、反射検査工程で検出されなかった(すなわち、反射画像で検出されなかった)欠点候補を、偏光子と光学フィルムとの間に存在する欠点であると判定するため、剥離フィルムの表面に存在する欠点の過検出を抑制して、偏光子と光学フィルムとの間に存在する欠点を精度良く検出可能である。As described above, according to the findings of the inventors, defect candidates that are detected in both the transmitted image and the crossed Nicol image but not in the reflected image are likely to be defects (bonding foreign matter) that exist between the polarizer and the optical film. According to the present invention, in the calculation process, defect candidates that are detected in both the transmitted inspection process and the crossed Nicol inspection process (i.e., detected in both the transmitted image and the crossed Nicol image) but not in the reflected inspection process (i.e., not detected in the reflected image) are determined to be defects that exist between the polarizer and the optical film, so that overdetection of defects that exist on the surface of the release film is suppressed, and defects that exist between the polarizer and the optical film can be detected with high accuracy.
本発明において、前記剥離フィルムがセパレータであり、前記光学フィルムが前記セパレータと前記偏光子との間に位置する場合、前記クロスニコル検査工程において、前記検査用偏光フィルタを前記セパレータ側に配置することが好ましい。In the present invention, when the release film is a separator and the optical film is located between the separator and the polarizer, it is preferable to position the inspection polarizing filter on the separator side in the crossed Nicol inspection process.
上記の光学積層体を画像表示装置の液晶セルに貼り合わせる場合、セパレータ側を液晶セルに貼り合わせる(セパレータを剥離した後にセパレータ側を貼り合わせる)ことになる。光学積層体のセパレータ側を液晶セルに貼り合わせる場合、光学積層体の偏光子と液晶セルとの間に存在する欠点(具体的には、偏光子と、これよりも液晶セル側に位置する光学フィルムとの間に存在する欠点)が、液晶セルを駆動した場合に画像表示装置において輝点として表示され、品質上の問題となる。
上記の好ましい方法によれば、クロスニコル検査工程において、検査用偏光フィルタを液晶セルと同じセパレータ側に配置するため、液晶セルを駆動する場合に問題となる欠点(液晶セルと光学フィルムとの間に存在する欠点)を欠点候補として検出可能である。
When the optical laminate is attached to a liquid crystal cell of an image display device, the separator side is attached to the liquid crystal cell (the separator is peeled off and then attached). When the separator side of the optical laminate is attached to the liquid crystal cell, defects existing between the polarizer of the optical laminate and the liquid crystal cell (specifically, defects existing between the polarizer and the optical film located closer to the liquid crystal cell than the polarizer) are displayed as bright spots in the image display device when the liquid crystal cell is driven, which is a quality problem.
According to the above-mentioned preferred method, in the crossed Nicol inspection process, the inspection polarizing filter is placed on the same side of the separator as the liquid crystal cell, so that defects that become a problem when driving the liquid crystal cell (defects that exist between the liquid crystal cell and the optical film) can be detected as defect candidates.
本発明において、剥離フィルムの配向方向と偏光子の偏光軸の方向とが大きくズレている光学積層体の部位が存在するか、或いは、剥離フィルムの配向方向と検査用偏光フィルタの偏光軸の方向とが大きくズレている光学積層体の部位が存在すれば、検査用偏光フィルタと光学積層体の偏光子との間に欠点が存在しなくても、上記の部位でクロスニコルの状態が崩れるため、クロスニコル検査工程における欠点候補の検出精度が低下する。
したがい、本発明は、前記剥離フィルムの配向方向が、予め定められた規定の配向方向に対して、±6°以内(より好ましくは±3.5°以内)である場合に好適に用いられる。このように、配向方向の揃った(既定の配向方向に対して±6°以内である)剥離フィルムであれば、剥離フィルムの既定の配向方向と偏光子の偏光軸の方向とが一致するように剥離フィルムと偏光子とが積層されているか、或いは、剥離フィルムの規定の配向方向と検査用偏光フィルタの偏光軸の方向とが一致するように(換言すれば、剥離フィルムの規定の配向方向と偏光子の偏光軸の方向とが直交するように)剥離フィルムと偏光子とが積層されている光学積層体について、クロスニコル検査工程における欠点候補の検出精度の低下を防止可能である。
In the present invention, if there is a portion of the optical laminate in which the orientation direction of the release film is significantly misaligned with the direction of the polarization axis of the polarizer, or if there is a portion of the optical laminate in which the orientation direction of the release film is significantly misaligned with the direction of the polarization axis of the inspection polarizing filter, even if there is no defect between the inspection polarizing filter and the polarizer of the optical laminate, the crossed Nicol state will be disrupted at the above-mentioned portion, and the detection accuracy of defect candidates in the crossed Nicol inspection process will be reduced.
Therefore, the present invention is preferably used when the orientation direction of the release film is within ±6° (more preferably within ±3.5°) with respect to the predetermined specified orientation direction. In this way, if the release film has a uniform orientation direction (within ±6° with respect to the default orientation direction), the release film and the polarizer are laminated so that the default orientation direction of the release film and the direction of the polarization axis of the polarizer coincide, or the default orientation direction of the release film and the direction of the polarization axis of the inspection polarizing filter coincide (in other words, the default orientation direction of the release film and the direction of the polarization axis of the polarizer are perpendicular to each other), it is possible to prevent a decrease in the detection accuracy of defect candidates in the crossed Nicol inspection process for an optical laminate in which the release film and the polarizer are laminated so that the default orientation direction of the release film and the direction of the polarization axis of the polarizer coincide (in other words, the default orientation direction of the release film and the direction of the polarization axis of the polarizer are perpendicular to each other).
好ましくは、前記透過検査工程において前記透過画像を生成するための撮像手段と、前記クロスニコル検査工程において前記クロスニコル画像を生成するための撮像手段と、が同一であり、前記透過検査工程で前記撮像手段による撮像を実行するタイミングと、前記クロスニコル検査工程で前記撮像手段による撮像を実行するタイミングと、を切り替える。Preferably, the imaging means for generating the transmitted image in the transmission inspection process and the imaging means for generating the crossed Nicol image in the crossed Nicol inspection process are the same, and the timing for performing imaging by the imaging means in the transmission inspection process and the timing for performing imaging by the imaging means in the crossed Nicol inspection process are switched.
上記の好ましい方法によれば、透過画像を生成するための撮像手段と、クロスニコル画像を生成するための撮像手段とが同一であるため、透過画像の座標とクロスニコル画像の座標とを精度良く合致させることができる。したがい、演算工程において、欠点候補が透過検査工程及びクロスニコル検査工程の双方で検出されたか否かを精度良く判定する(例えば、透過検査工程で検出されたある欠点候補の位置と同等の位置において、クロスニコル検査工程で検出された欠点候補が存在するか否かを精度良く判定する)ことが可能である。According to the above-mentioned preferred method, since the imaging means for generating the transmission image and the imaging means for generating the crossed Nicol image are the same, the coordinates of the transmission image and the coordinates of the crossed Nicol image can be matched with high precision. Therefore, in the calculation process, it is possible to accurately determine whether or not a defect candidate is detected in both the transmission inspection process and the crossed Nicol inspection process (for example, it is possible to accurately determine whether or not a defect candidate detected in the crossed Nicol inspection process exists at a position equivalent to the position of a certain defect candidate detected in the transmission inspection process).
好ましくは、前記透過検査工程及び/又は前記クロスニコル検査工程は、検出した欠点候補のうち、所定のしきい値よりも大きな寸法の欠点候補を欠点候補から除外するノイズ除去手順を含む。Preferably, the transmission inspection process and/or the crossed Nicols inspection process includes a noise removal procedure for excluding from the detected defect candidates those defect candidates whose dimensions are greater than a predetermined threshold value.
光学積層体の偏光子と光学フィルムとの間に存在する欠点(貼合異物)は、剥離フィルムの表面に存在する欠点に比べて、寸法の小さい場合が多い。
上記の好ましい方法によれば、透過検査工程及び/又はクロスニコル検査工程において、検出した欠点候補のうち、所定のしきい値よりも大きな寸法の欠点候補を欠点候補から除外するため、演算工程において、透過検査工程及びクロスニコル検査工程の双方で検出されたか否かを判定する欠点候補の数を減少させることができる。したがい、演算工程に要する時間を短縮可能であるという利点を有する。
Defects (lamination foreign matter) present between the polarizer and the optical film of the optical laminate are often smaller in size than defects present on the surface of the release film.
According to the above-mentioned preferred method, among the defect candidates detected in the transmission inspection step and/or the crossed Nicols inspection step, defect candidates having dimensions larger than a predetermined threshold value are excluded from the defect candidates, so that the number of defect candidates to be determined whether or not they have been detected in both the transmission inspection step and the crossed Nicols inspection step can be reduced in the calculation step, which has the advantage of being able to shorten the time required for the calculation step.
本発明によれば、剥離フィルムの表面に存在する欠点の過検出を抑制して、偏光子と光学フィルムとの間に存在する欠点を精度良く検出可能である。 According to the present invention, it is possible to suppress overdetection of defects present on the surface of the release film and accurately detect defects present between the polarizer and the optical film.
以下、添付図面を適宜参照しつつ、本発明の一実施形態に係る光学積層体の検査方法について説明する。
図1は、本実施形態に係る光学積層体の検査方法を実行するための検査装置の概略構成を模式的に説明する図である。図1(a)は、検査装置の概略構成を示す側面図である。図1(b)は、光学積層体の概略構成を示す断面図である。図1において、Xは光学積層体Sの搬送方向に平行な水平方向を、YはX方向に直交する水平方向を、Zは鉛直方向を示す。
Hereinafter, a method for inspecting an optical laminate according to one embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings as appropriate.
Fig. 1 is a diagram for explaining a schematic configuration of an inspection device for carrying out an inspection method for an optical laminate according to the present embodiment. Fig. 1(a) is a side view showing the schematic configuration of the inspection device. Fig. 1(b) is a cross-sectional view showing the schematic configuration of the optical laminate. In Fig. 1, X indicates a horizontal direction parallel to the transport direction of the optical laminate S, Y indicates a horizontal direction perpendicular to the X direction, and Z indicates a vertical direction.
<光学積層体S>
最初に、本実施形態の検査装置100の検査対象である光学積層体Sの構成について説明する。
図1(b)に示すように、本実施形態の光学積層体Sは、用途に応じたチップ状に切断されており、偏光子10と、光学フィルム20、30と、が積層され、更に厚み方向(Z方向)の最表面側に剥離フィルム40、50が積層されている。本実施形態において、偏光子10よりも下側に位置する一方の光学フィルム20は、位相差フィルムであり、偏光子10よりも上側に位置する他方の光学フィルム30は、保護フィルムである。また、本実施形態において、偏光子10よりも下側に位置する一方の剥離フィルム40は、セパレータであり、偏光子10よりも上側に位置する他方の剥離フィルム50は、表面保護フィルムである。
以下、光学積層体Sの各構成要素について説明する。
<Optical laminate S>
First, the configuration of the optical laminate S that is the object of inspection by the
1B, the optical laminate S of this embodiment is cut into chips according to the application, and a
Hereinafter, each component of the optical laminate S will be described.
[偏光子10]
偏光子10は、代表的には、二色性物質を含む樹脂フィルムで構成される。
樹脂フィルムとしては、偏光子として用いることができる任意の適切な樹脂フィルムを採用することができる。樹脂フィルムは、代表的には、ポリビニルアルコール系樹脂(以下、「PVA系樹脂」と称する)フィルムである。
[Polarizer 10]
The
As the resin film, any appropriate resin film that can be used as a polarizer can be adopted, and the resin film is typically a polyvinyl alcohol-based resin (hereinafter referred to as "PVA-based resin") film.
上記PVA系樹脂フィルムを形成するPVA系樹脂としては、任意の適切な樹脂を用いることができる。例えば、ポリビニルアルコール、エチレン-ビニルアルコール共重合体が挙げられる。ポリビニルアルコールは、ポリ酢酸ビニルをケン化することにより得られる。エチレン-ビニルアルコール共重合体は、エチレン-酢酸ビニル共重合体をケン化することにより得られる。Any suitable resin can be used as the PVA-based resin that forms the PVA-based resin film. Examples include polyvinyl alcohol and ethylene-vinyl alcohol copolymer. Polyvinyl alcohol is obtained by saponifying polyvinyl acetate. Ethylene-vinyl alcohol copolymer is obtained by saponifying ethylene-vinyl acetate copolymer.
PVA系樹脂の平均重合度は、目的に応じて適切に選択することができる。平均重合度は、通常1000~10000であり、好ましくは1200~4500、さらに好ましくは1500~4300である。なお、平均重合度は、JIS K 6726-1994に準じて求めることができる。The average degree of polymerization of the PVA-based resin can be appropriately selected depending on the purpose. The average degree of polymerization is usually 1000 to 10000, preferably 1200 to 4500, and more preferably 1500 to 4300. The average degree of polymerization can be determined in accordance with JIS K 6726-1994.
樹脂フィルムに含まれる二色性物質としては、例えば、ヨウ素、有機染料等が挙げられる。これらは、単独で、又は、二種以上を組み合わせて用いることができる。好ましくは、ヨウ素が用いられる。 Examples of dichroic substances contained in the resin film include iodine and organic dyes. These can be used alone or in combination of two or more. Iodine is preferably used.
樹脂フィルムは、単層の樹脂フィルムであっても、二層以上の積層体であってもよい。The resin film may be a single layer resin film or a laminate of two or more layers.
単層の樹脂フィルムから構成される偏光子の具体例としては、PVA系樹脂フィルムにヨウ素による染色処理及び延伸処理(代表的には、一軸延伸処理)が施されたものが挙げられる。ヨウ素による染色処理は、例えば、PVA系フィルムをヨウ素水溶液に浸漬することによって行われる。一軸延伸の延伸倍率は、好ましくは3~7倍である。延伸は、染色後に行ってもよいし、染色しながら行ってもよい。また、延伸後に染色を行ってもよい。必要に応じて、PVA系樹脂フィルムに、膨潤処理、架橋処理、洗浄処理、乾燥処理等が施される。 A specific example of a polarizer composed of a single-layer resin film is a PVA-based resin film that has been subjected to a dyeing treatment with iodine and a stretching treatment (typically, a uniaxial stretching treatment). The dyeing treatment with iodine is performed, for example, by immersing the PVA-based film in an aqueous iodine solution. The stretching ratio for the uniaxial stretching is preferably 3 to 7 times. The stretching may be performed after dyeing or while dyeing. Alternatively, dyeing may be performed after stretching. If necessary, the PVA-based resin film is subjected to a swelling treatment, a crosslinking treatment, a washing treatment, a drying treatment, etc.
積層体から構成される偏光子の具体例としては、樹脂基材とこの樹脂基材に積層されたPVA系樹脂層(PVA系樹脂フィルム)との積層体、又は、樹脂基材とこの樹脂基材に塗布形成されたPVA系樹脂層との積層体から構成される偏光子が挙げられる。樹脂基材とこの樹脂基材に塗布形成されたPVA系樹脂層との積層体から構成される偏光子は、例えば、PVA系樹脂溶液を樹脂基材に塗布し、乾燥させて樹脂基材上にPVA系樹脂層を形成して、樹脂基材とPVA系樹脂層との積層体を得た後、この積層体を延伸及び染色してPVA系樹脂層を偏光子とすることにより作製することができる。本実施形態において、延伸は、代表的には積層体をホウ酸水溶液中に浸漬させて延伸することを含む。さらに、延伸は、必要に応じて、ホウ酸水溶液中での延伸の前に積層体を高温(例えば、95℃以上)で空中延伸することを含んでもよい。得られた樹脂基材/偏光子の積層体は、そのまま用いてもよく(すなわち、樹脂基材を偏光子の保護層としてもよく)、樹脂基材/偏光子の積層体から樹脂基材を剥離し、この剥離面に目的に応じた任意の適切な保護層を積層して用いてもよい。このような偏光子の製造方法の詳細は、例えば、特開2012-73580号公報に記載されている。この公報は、その全体の記載が本明細書に参考として援用される。Specific examples of polarizers made of a laminate include a laminate of a resin substrate and a PVA-based resin layer (PVA-based resin film) laminated on the resin substrate, or a polarizer made of a laminate of a resin substrate and a PVA-based resin layer applied to the resin substrate. A polarizer made of a laminate of a resin substrate and a PVA-based resin layer applied to the resin substrate can be produced, for example, by applying a PVA-based resin solution to the resin substrate, drying the resin substrate to form a PVA-based resin layer on the resin substrate, obtaining a laminate of the resin substrate and the PVA-based resin layer, and then stretching and dyeing the laminate to make the PVA-based resin layer into a polarizer. In this embodiment, stretching typically includes immersing the laminate in an aqueous boric acid solution and stretching it. Furthermore, stretching may include, as necessary, stretching the laminate in the air at a high temperature (e.g., 95°C or higher) before stretching in the aqueous boric acid solution. The obtained laminate of resin substrate/polarizer may be used as it is (i.e., the resin substrate may be used as a protective layer for the polarizer), or the resin substrate may be peeled off from the laminate of resin substrate/polarizer, and any suitable protective layer depending on the purpose may be laminated on the peeled surface. Details of such a method for producing a polarizer are described, for example, in JP2012-73580A. The entire disclosure of this publication is incorporated herein by reference.
偏光子10の厚みは、好ましくは15μm以下であり、より好ましくは1μm~12μmであり、さらに好ましくは3μm~10μmであり、特に好ましくは3μm~8μmである。The thickness of the
偏光子10は、好ましくは、波長380nm~780nmの範囲内の何れかの波長で吸収二色性を示す。偏光子10の単体透過率は、好ましくは40.0%~45.0%であり、より好ましくは41.5%~43.5%である。偏光子10の偏光度は、好ましくは97.0%以上であり、より好ましくは99.0%以上であり、さらに好ましくは99.9%以上である。The
[位相差フィルム20]
位相差フィルム20は、例えば、広視野角を付与する補償板であってもよいし、偏光膜と共に用いられて円偏光を生成するための位相差板(円偏光板)であってもよい。位相差フィルム20の厚みは、例えば、1~200μmである。なお、位相差フィルム20の代わりに、後述のような保護フィルムや、反射偏光子などの他のフィルムを用いてもよい。
[Retardation film 20]
The
位相差フィルム20は、代表的には、上記の特性を実現可能な任意の適切な樹脂で形成される。位相差フィルム20を形成する樹脂としては、例えば、ポリアリレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリエステル、ポリアリールエーテルケトン、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリビニルアルコール、ポリフマル酸エステル、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン、ノルボルネン樹脂、ポリカーボネート樹脂、セルロース樹脂及びポリウレタンが挙げられる。これらの樹脂は、単独で用いてもよく、組み合わせて用いてもよい。好ましくは、シクロオレフィン系のノルボルネン樹脂である。The
[保護フィルム30]
保護フィルム30としては、任意の適切な樹脂フィルムが用いられる。樹脂フィルムの形成材料としては、例えば、(メタ)アクリル系樹脂、ジアセチルセルロース、トリアセチルセルロース等のセルロース系樹脂、ノルボルネン系樹脂等のシクロオレフィン系樹脂、ポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂等のエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、これらの共重合体樹脂等が挙げられる。なお、「(メタ)アクリル系樹脂」とは、アクリル系樹脂及び/又はメタクリル系樹脂を意味する。
[Protective film 30]
Any suitable resin film is used as the
保護フィルム30の厚みは、代表的には10μm~100μmであり、好ましくは20μm~40μmである。The thickness of the
保護フィルム30の偏光子10と反対側の表面には、必要に応じて、ハードコート処理、反射防止処理、スティッキング防止処理、アンチグレア処理等の表面処理が施されていてもよい。さらに/又は、保護フィルム30の偏光子10と反対側の表面には、必要に応じて、偏光サングラスを介して視認する場合の視認性を改善する処理(代表的には、(楕)円偏光機能を付与する処理、超高位相差を付与する処理)が施されていてもよい。なお、表面処理が施されて表面処理層が形成される場合、保護フィルム30の厚みは、表面処理層を含めた厚みである。 The surface of the
なお、位相差フィルム20及び保護フィルム30は、任意の適切な接着剤層(図示せず)を介して、それぞれ偏光子10に貼り合わせられて、積層されている。接着剤層を構成する接着剤として、代表的にはPVA系接着剤又は活性化エネルギー線硬化型接着剤が挙げられる。The
[セパレータ40]
セパレータ40としては、任意の適切なセパレータを採用することができる。具体例としては、剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルム、不織布又は紙が挙げられる。剥離剤の具体例としては、シリコーン系剥離剤、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤が挙げられる。プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが挙げられる。セパレータの厚みは、例えば10μm~100μmとすることができる。
[Separator 40]
Any appropriate separator can be used as the
セパレータ40は、任意の適切な粘着剤層(図示せず)を介して、位相差フィルム20に貼り合わせられて、積層されている。粘着剤層を構成する粘着剤の具体例としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、エポキシ系粘着剤、及び、ポリエーテル系粘着剤が挙げられる。粘着剤のベース樹脂を形成するモノマーの種類、数、組み合わせ及び配合比、並びに、架橋剤の配合量、反応温度、反応時間等を調整することにより、目的に応じた所望の特性を有する粘着剤を調製することができる。粘着剤のベース樹脂は、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。透明性、加工性及び耐久性などの観点から、アクリル系粘着剤が好ましい。粘着剤層を構成する粘着剤の詳細は、例えば、特開2014-115468号公報に記載されており、当該公報の記載は本明細書に参考として援用されている。粘着剤層の厚みは、例えば10μm~100μmにすることができる。粘着剤層の25℃における貯蔵弾性率G’は、例えば1.0×104[Pa]~1.0×106[Pa]にすることができる。なお、貯蔵弾性率は、例えば、動的粘弾性測定から求めることができる。
The
本実施形態では、セパレータ40として、その配向方向が、予め定められた規定の配向方向に対して、±6°以内であるものが用いられている。例えば、本実施形態の偏光子10の偏光軸の方向がX方向であるとすれば、セパレータ40の既定の配向方向がY方向とされ、セパレータ40の何れの部位の配向方向もY方向に対して±6°以内の角度を成すように、セパレータ40が積層されている。In this embodiment, the
[表面保護フィルム50]
表面保護フィルム50は、代表的には、基材と粘着剤層とを有する。本実施形態において、表面保護フィルム50の厚みは、例えば30μm以上である。表面保護フィルム50の厚みの上限は、例えば150μmである。なお、本明細書において、「表面保護フィルムの厚み」とは、基材と粘着剤層との合計厚みをいう。
[Surface protection film 50]
The
基材は、任意の適切な樹脂フィルムで構成することができる。樹脂フィルムの形成材料としては、ポリエチレンテレフタレート系樹脂等のエステル系樹脂、ノルボルネン系樹脂等のシクロオレフィン系樹脂、ポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、これらの共重合体樹脂等が挙げられる。好ましくは、エステル系樹脂(特に、ポリエチレンテレフタレート系樹脂)である。The substrate can be made of any suitable resin film. Examples of materials for forming the resin film include ester-based resins such as polyethylene terephthalate-based resins, cycloolefin-based resins such as norbornene-based resins, olefin-based resins such as polypropylene, polyamide-based resins, polycarbonate-based resins, and copolymer resins of these. Ester-based resins (particularly polyethylene terephthalate-based resins) are preferred.
粘着剤層を形成する粘着剤としては、任意の適切な粘着剤を採用することができる。粘着剤のベース樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、シリコーン系樹脂、ウレタン系樹脂、ゴム系樹脂が挙げられる。Any suitable adhesive can be used as the adhesive that forms the adhesive layer. Examples of the base resin of the adhesive include acrylic resins, styrene resins, silicone resins, urethane resins, and rubber resins.
<検査装置100>
次に、本実施形態の検査装置100の構成について説明する。
本実施形態の検査装置100は、上記に説明した構成を有する光学積層体Sを検査する装置である。
図1(a)に示すように、本実施形態の検査装置100は、光学積層体SをX方向に搬送する複数のベルトコンベア1と、光学積層体Sの最表面(最上面及び最下面)に付着した異物を吸着して取り除くためのクリーンローラ2と、を備えている。また、本実施形態の検査装置100は、後述の透過検査工程S1を実行するための光源3及び撮像手段4を備えている。また、本実施形態の検査装置100は、後述のクロスニコル検査工程S2を実行するための一対の光源5a、5b及び一対の検査用偏光フィルタ6a、6bを備えている。撮像手段4は、クロスニコル検査工程S2を実行するための撮像手段としても用いられる。また、本実施形態の検査装置100は、後述の反射検査工程S3を実行するための光源7及び撮像手段8を備えている。さらに、本実施形態の検査装置100は、光源3、撮像手段4、光源5a、5b、光源7及び撮像手段8に電気的に接続され、これらの動作を制御すると共に、撮像手段4及び撮像手段8から出力された撮像信号を処理して、欠点を判定する制御演算手段9を備えている。
以下、検査装置100の各構成要素について説明する。
<
Next, the configuration of the
The
As shown in FIG. 1A, the
Each component of the
[ベルトコンベア1]
ベルトコンベア1は、両端のローラに掛け渡された環状のベルトがローラの回転に伴って移動することで、ベルト上に載置された光学積層体Sを搬送する構成である。光学積層体Sは、チップ状に切断された後、図1(a)の左端に示すベルトコンベア1上に載置され、各ベルトコンベア1によって、図1(a)の右側に向けてX方向に順次搬送される。本実施形態では、図1(b)に示すように、光学積層体Sは、セパレータ40側が下になるようにベルトコンベア上に載置されて搬送される。ベルトコンベア1による光学積層体Sの搬送速度Vは、例えば、50mm/sec~750mm/secに設定される。
[Belt conveyor 1]
The
[クリーンローラ2]
クリーンローラ2は、それらの隙間を光学積層体Sが通過する上下一対のローラと、各ローラに接触して回転するロール状の粘着テープ(図示省略)と、を備える。上下一対のローラが光学積層体Sと接触することで、光学積層体Sの最表面(最上面及び最下面。すなわち、セパレータ40の下面及び表面保護フィルム50の上面)に付着した異物がローラに吸着し、このローラに吸着した異物が粘着テープに転写されて、取り除かれる。
後述の透過検査工程S1を実行する前に、光学積層体Sの最表面に存在する異物をクリーンローラ2によってある程度取り除くことで、剥離フィルム(セパレータ40、表面保護フィルム50)の表面に存在する欠点の過検出をより一層抑制可能である。
[Cleaning roller 2]
The
Before performing the transmission inspection process S1 described below, foreign matter present on the outermost surface of the optical laminate S can be removed to a certain extent using the
[光源3]
光源3は、後述の透過検査工程S1を実行するための光源であり、本実施形態では、光学積層体Sの下面側(セパレータ40側)に配置されている。光源3の光軸(図1(a)において破線で図示)は、光学積層体Sの厚み方向に平行な鉛直方向(Z方向)に向けられており、光源3は、制御演算手段9から出力される制御信号に従い、光学積層体Sに向けて鉛直方向上向きに光を出射する。
光源3としては、光学積層体Sを透過可能な波長の光を出射できる限りにおいて、限定されるものではないが、例えば、LEDやハロゲンランプを用いることができる。
[Light source 3]
The
The
[撮像手段4]
撮像手段4は、後述の透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2を実行するための撮像手段であり、本実施形態では、光学積層体Sの上面側(表面保護フィルム50側)に配置されている。撮像手段4の光軸(図1(a)において破線で図示)は、光学積層体Sの厚み方向に平行な鉛直方向(Z方向)に向けられており、撮像手段4は、制御演算手段9から出力される制御信号に従い、光源3から出射し、光学積層体Sを透過した光を受光して結像し、その光量に応じた電気信号を撮像信号として制御演算手段9に出力する。また、撮像手段4は、制御演算手段9から出力される制御信号に従い、光源5a、5bから出射し、検査用偏光フィルタ6a、6b及び光学積層体Sを透過した光を受光して結像し、その光量に応じた電気信号を撮像信号として制御演算手段9に出力する。撮像手段4の焦点は、光学積層体Sの上面(表面保護フィルム50の上面)に設定されている。
[Imaging means 4]
The imaging means 4 is an imaging means for performing a transmission inspection step S1 and a crossed Nicol inspection step S2 described later, and in this embodiment, is arranged on the upper surface side (
本実施形態では、撮像手段4として、光学積層体Sの搬送方向(X方向)に直交する方向(Y方向)に複数の結像素子(CCDやCMOS)が一直線状に配列され、一定の走査周期(例えば、7μsec~14μsec)で撮像信号を出力するラインセンサが用いられている。撮像手段4としてラインセンサを用いることで、撮像手段4のX方向の視野が小さくなるため、光源3、5a、5bから出射する光のX方向の必要な照射範囲も狭くて済み、光源3、5a、5bの配置等に関する制約条件が緩和されるという利点が得られる。光学積層体SがX方向に搬送されると共に、ラインセンサの結像素子がY方向に走査されることで、後述の透過検査工程S1では2次元の透過画像が生成され、後述のクロスニコル検査工程S2では2次元のクロスニコル画像が生成されることになる。
ただし、撮像手段4は、必ずしもラインセンサに限定されるものではなく、例えば、高速シャッター付きの2次元カメラを撮像手段4として用いることも可能である。
In this embodiment, a line sensor is used as the imaging means 4, in which a plurality of imaging elements (CCD or CMOS) are arranged in a straight line in a direction (Y direction) perpendicular to the transport direction (X direction) of the optical stack S, and which outputs an imaging signal at a constant scanning period (for example, 7 μsec to 14 μsec). By using a line sensor as the imaging means 4, the field of view of the imaging means 4 in the X direction is reduced, so that the required irradiation range in the X direction of the light emitted from the
However, the imaging means 4 is not necessarily limited to a line sensor, and for example, a two-dimensional camera with a high-speed shutter can also be used as the imaging means 4.
[光源5a、5b]
光源5a、5bは、後述のクロスニコル検査工程S2を実行するための光源であり、本実施形態では、光学積層体Sの下面側(セパレータ40側)に配置されている。光源5a、5bの光軸(図1(a)において破線で図示)は、光学積層体Sの厚み方向に平行な鉛直方向(Z方向)に対して傾斜した方向に向けられている。具体的には、光源5aの光軸は、鉛直方向に対して光学積層体Sの搬送方向下流側に傾斜した方向に向けられ、光源5bの光軸は、鉛直方向に対して光学積層体Sの搬送方向上流側に傾斜した方向に向けられている。光源5a、5bは、制御演算手段9から出力される制御信号に従い、光学積層体Sに向けて上向きに光を出射する。
光源5a、5bとしては、光学積層体Sを透過可能な波長の光を出射できる限りにおいて、限定されるものではないが、例えば、LEDやハロゲンランプを用いることができる。
なお、本実施形態では、撮像手段4を透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方を実行するための撮像手段として用いている(共用している)。すなわち、光源3及び光源5a、5bから出射した光を同じ撮像手段4で受光する構成を採用しているため、光源5a、5bの光軸の方向を光源3の光軸の方向と異なるものにしている。また、傾斜した方向から出射される光の光量を十分に確保できるように、一対の光源5a、5bを配置している。しかしながら、例えば、ハーフミラー等で構成された同軸落射光学系を採用することで、光源5a、5bの光軸の方向を光源3の光軸の方向と同様に鉛直方向に向けることもできるし、一対の光源5a、5bではなく単一の光源を用いる構成にすることも可能である。
[
The
The
In this embodiment, the imaging means 4 is used (shared) as an imaging means for performing both the transmission inspection process S1 and the crossed Nicol inspection process S2. That is, since the light emitted from the
[検査用偏光フィルタ6a、6b]
検査用偏光フィルタ6a、6bは、光学積層体Sの偏光子10の偏光軸に対してクロスニコルになるように配置されている。例えば、偏光子10の偏光軸の方向がX方向であるとすれば、検査用偏光フィルタ6a、6bの偏光軸の方向がX方向に直交するY方向となるように配置されている。ただし、偏光子10の偏光軸と検査用偏光フィルタ6a、6bの偏光軸との成す角度が完全に90°である場合に限らず、90°±10°の範囲内であればよい。
検査用偏光フィルタ6a、6bの構成や製造方法については、偏光子10と同様であるため、ここでは詳細な説明は省略する。
[Inspection
The inspection
The configuration and manufacturing method of the
本実施形態の検査用偏光フィルタ6a、6bは、光学積層体Sの下面側(セパレータ40側)に配置されている。具体的には、検査用偏光フィルタ6a、6bは、それぞれ光学積層体Sと光源5a、5bとの間に配置されており、光源5a、5bから出射した光がそれぞれ検査用偏光フィルタ6a、6bを透過して、光学積層体Sに照射されることになる。本実施形態の場合、検査用偏光フィルタ6a、6bと偏光子10との間に存在する欠点によってクロスニコルの状態が崩れるため、後述のクロスニコル検査工程S2で生成される光学積層体Sのクロスニコル画像において、検査用偏光フィルタ6a、6bと偏光子10との間に存在する欠点に対応する画素領域が明るくなり(輝度値が大きくなり)、この欠点を欠点候補として検出可能である。
ただし、本発明は、必ずしもこれに限るものではなく、検査用偏光フィルタ6a、6bを、光学積層体Sの上面側(表面保護フィルム50側)に配置することも可能である。具体的には、一枚の検査用偏光フィルタを、光学積層体Sと撮像手段との間に配置し、光源5a、5bから出射し光学積層体Sを透過した光が、この検査用偏光フィルタを透過して撮像手段4で受光される構成を採用することも可能である。この場合、検査用偏光フィルタと偏光子10との間に存在する欠点によってクロスニコルの状態が崩れるため、後述のクロスニコル検査工程S2で生成される光学積層体Sのクロスニコル画像において、検査用偏光フィルタと偏光子10との間に存在する欠点に対応する画素領域が明るくなり(輝度値が大きくなり)、この欠点を欠点候補として検出可能である。
In this embodiment, the
However, the present invention is not necessarily limited to this, and the
[光源7]
光源7は、後述の反射検査工程S3を実行するための光源であり、本実施形態では、光学積層体Sの下面側(セパレータ40側)に配置されている。光源7の光軸(図1(a)において破線で図示)は、光学積層体Sの厚み方向に平行な鉛直方向(Z方向)に対して傾斜した方向に向けられている。図1(a)に示す例では、光源7の光軸は、鉛直方向に対して光学積層体Sの搬送方向上流側に傾斜した方向に向けられている。ただし、これに限るものではなく、光源7の光軸を、鉛直方向に対して光学積層体Sの搬送方向下流側に傾斜した方向に向けることも可能である。また、例えば、ハーフミラー等で構成された同軸落射光学系を採用することで、光源7の光軸を鉛直方向に向けることも可能である。光源7は、制御演算手段9から出力される制御信号に従い、光学積層体Sに向けて上向きに光を出射する。
光源7としては、光学積層体Sで反射可能な波長の光を出射できる限りにおいて、限定されるものではないが、例えば、LEDやハロゲンランプを用いることができる。
[Light source 7]
The
The
[撮像手段8]
撮像手段8は、後述の反射検査工程S3を実行するための撮像手段であり、本実施形態では、光学積層体Sの下面側(セパレータ40側)に配置されている。撮像手段8の光軸(図1(a)において破線で図示)は、光学積層体Sの厚み方向に平行な鉛直方向(Z方向)に向けられており、撮像手段8は、制御演算手段9から出力される制御信号に従い、光源7から出射し、光学積層体Sで反射した光を受光して結像し、その光量に応じた電気信号を撮像信号として制御演算手段9に出力する。撮像手段8の焦点は、光学積層体Sの下面(セパレータ40の下面)に設定されている。
[Imaging means 8]
The imaging means 8 is an imaging means for performing a reflection inspection step S3 described later, and in this embodiment, is disposed on the lower surface side (
本実施形態では、撮像手段8として、撮像手段4と同様に、光学積層体Sの搬送方向(X方向)に直交する方向(Y方向)に複数の結像素子(CCDやCMOS)が一直線状に配列され、一定の走査周期(例えば、7μsec~14μsec)で撮像信号を出力するラインセンサが用いられている。撮像手段8としてラインセンサを用いることで、撮像手段8のX方向の視野が小さくなるため、光源7から出射する光のX方向の必要な照射範囲も狭くて済み、光源7の配置等に関する制約条件が緩和されるという利点が得られる。光学積層体SがX方向に搬送されると共に、ラインセンサの結像素子がY方向に走査されることで、後述の反射検査工程S3では2次元の反射画像が生成されることになる。
ただし、撮像手段8は、必ずしもラインセンサに限定されるものではなく、例えば、高速シャッター付きの2次元カメラを撮像手段8として用いることも可能である。
In this embodiment, as in the imaging means 4, a line sensor is used as the imaging means 8, in which a plurality of imaging elements (CCD or CMOS) are arranged in a straight line in a direction (Y direction) perpendicular to the transport direction (X direction) of the optical stack S, and which outputs an imaging signal at a constant scanning period (for example, 7 μsec to 14 μsec). By using a line sensor as the imaging means 8, the field of view of the imaging means 8 in the X direction is reduced, so that the required irradiation range in the X direction of the light emitted from the
However, the imaging means 8 is not necessarily limited to a line sensor, and for example, a two-dimensional camera with a high-speed shutter can also be used as the imaging means 8.
[制御演算手段9]
制御演算手段9は、例えば、後述の制御処理や演算処理を実行するためのプログラムがインストールされたパーソナルコンピュータやプログラマブルロジックコントローラ(PLC)等によって構成される。
[Control and calculation means 9]
The control and calculation means 9 is constituted by, for example, a personal computer or a programmable logic controller (PLC) in which a program for executing the control processing and calculation processing described below is installed.
<本実施形態に係る検査方法>
以下、以上に説明した検査装置100を用いた本実施形態に係る光学積層体Sの検査方法について説明する。
図2は、本実施形態に係る光学積層体Sの検査方法の概略工程を示すフロー図である。
図2に示すように、本実施形態に係る検査方法は、透過検査工程S1と、クロスニコル検査工程S2と、反射検査工程S3と、演算工程4と、含む。
以下、各工程S1~S4について説明する。
<Inspection method according to this embodiment>
Hereinafter, a method for inspecting the optical laminate S according to this embodiment using the
FIG. 2 is a flow diagram showing an outline of the steps of the method for inspecting the optical laminate S according to this embodiment.
As shown in FIG. 2, the inspection method according to this embodiment includes a transmission inspection step S1, a crossed Nicols inspection step S2, a reflection inspection step S3, and a calculation step S4.
Each of steps S1 to S4 will be described below.
[透過検査工程S1]
透過検査工程S1では、光学積層体Sを透過する光によって光学積層体Sの透過画像を生成し、この透過画像に基づき、光学積層体Sに存在する欠点候補を検出する(図2のS11)。
具体的には、光学積層体Sが撮像手段4の直下に到達する直前のタイミングで、制御演算手段9から出力される制御信号によって、光源3及び撮像手段4が駆動される。そして、撮像手段4が、光源3から出射し、光学積層体Sを透過した光を受光して結像し、その光量に応じた電気信号を撮像信号として制御演算手段9に出力する。制御演算手段9は、この入力された撮像信号に基づき、2次元の透過画像を生成する。そして、制御演算手段9は、生成された透過画像に対して、他の画素領域と輝度値(画素値)が異なる画素領域を抽出する2値化等の公知の画像処理を適用することで、欠点候補を検出する。
[Transmission inspection step S1]
In the transmission inspection step S1, a transmission image of the optical stack S is generated by light passing through the optical stack S, and defect candidates present in the optical stack S are detected based on this transmission image (S11 in FIG. 2).
Specifically, the
図3は、透過検査工程S1で検出される欠点候補の一例を模式的に説明する図である。図3(a)は、光学積層体Sに存在する欠点の一例を模式的に説明する断面図である。図3(b)は、透過検査工程S1のノイズ除去手順S12を実行する前に検出される欠点候補の一例を模式的に説明する図である。図3(c)は、透過検査工程S1のノイズ除去手順S12を実行した後に残存する欠点候補の一例を模式的に説明する図である。
図3(a)において、符号F1は、剥離フィルムであるセパレータ40の表面に付着した無害の異物を示す。符号F2は、セパレータ40の表面に存在する無害の傷を示す。符号F3は、偏光子10と位相差フィルム20との間に存在する有害の貼合異物を示す。符号F4は、剥離フィルムである表面保護フィルム50の表面に付着した無害の異物を示す。図3(b)、(c)は、2値化後の透過画像を示し、図3(b)においては、3つの異物F1(F1a~F1c)、2つの傷F2(F2a、F2b)、1つの貼合異物F3、2つの異物F4(F4a、F4b)が、それぞれ欠点候補として検出されている。図3(c)においては、1つの異物F1(F1c)、1つの傷F2(F2a)、1つの貼合異物F3、2つの異物F4(F4a、F4b)がそれぞれ欠点候補として検出されている。
Fig. 3 is a diagram for explaining an example of a defect candidate detected in the transmission inspection process S1. Fig. 3(a) is a cross-sectional view for explaining an example of a defect present in the optical laminate S. Fig. 3(b) is a diagram for explaining an example of a defect candidate detected before executing the noise removal procedure S12 in the transmission inspection process S1. Fig. 3(c) is a diagram for explaining an example of a defect candidate remaining after executing the noise removal procedure S12 in the transmission inspection process S1.
In Fig. 3(a), the symbol F1 indicates a harmless foreign object attached to the surface of the
本実施形態の透過検査工程S1は、検出した欠点候補のうち、所定のしきい値よりも大きな寸法(例えば、面積)の欠点候補を欠点候補から除外するノイズ除去手順(図2のS12)を含んでいる。このため、検出された図3(b)に示す欠点候補のうち、比較的大きな寸法を有する欠点候補である異物F1a、F1b、傷F2bが除外されて、図3(c)に示す状態になっている。The transmission inspection process S1 of this embodiment includes a noise removal procedure (S12 in FIG. 2) that removes from the detected defect candidates those with dimensions (e.g., area) larger than a predetermined threshold value. Therefore, from the detected defect candidates shown in FIG. 3(b), foreign bodies F1a, F1b, and scratches F2b, which are defect candidates with relatively large dimensions, are removed, resulting in the state shown in FIG. 3(c).
[クロスニコル検査工程S2]
クロスニコル検査工程S2では、検査用偏光フィルタ6a、6b及び光学積層体Sを透過する光によって光学積層体Sのクロスニコル画像を生成し、このクロスニコル画像に基づき、光学積層体Sに存在する欠点候補を検出する(図2のS2)。
具体的には、光学積層体Sが撮像手段4の直下に到達する直前のタイミングで、制御演算手段9から出力される制御信号によって、光源5a、5b及び撮像手段4が駆動される。そして、撮像手段4が、光源5a、5bからそれぞれ出射し、それぞれ検査用偏光フィルタ6a、6b及び光学積層体Sを透過した光を受光して結像し、その光量に応じた電気信号を撮像信号として制御演算手段9に出力する。制御演算手段9は、この入力された撮像信号に基づき、2次元のクロスニコル画像を生成する。そして、制御演算手段9は、生成されたクロスニコル画像に対して、他の画素領域と輝度値(画素値)が異なる(輝度値が大きくなる)画素領域を抽出する2値化等の公知の画像処理を適用することで、欠点候補を検出する。
[Crossed Nicols inspection process S2]
In the crossed Nicol inspection process S2, a crossed Nicol image of the optical stack S is generated using light passing through the
Specifically, the
図4は、クロスニコル検査工程S2で検出される欠点候補の一例を模式的に説明する図である。図4は、2値化後のクロスニコル画像を示し、3つの異物F1(F1a~F1c)、3つの傷F2(F2b~F2d)、1つの貼合異物F3がそれぞれ欠点候補として検出されている。表面保護フィルム50の表面に付着した異物F4は、偏光子10と検査用偏光フィルタ6a、6bとの間に位置しないため、透過画像と異なり、クロスニコル画像では検出されない。
Figure 4 is a diagram illustrating an example of defect candidates detected in the crossed Nicols inspection process S2. Figure 4 shows the crossed Nicols image after binarization, in which three foreign bodies F1 (F1a-F1c), three scratches F2 (F2b-F2d), and one bonding foreign body F3 have been detected as defect candidates. Foreign body F4 attached to the surface of the
なお、本実施形態では、透過画像を生成するための撮像手段4と、クロスニコル画像を生成するための撮像手段4とが同一であるため、制御演算手段9が、透過検査工程S1で撮像手段4による撮像を実行するタイミングと、クロスニコル検査工程S2で撮像手段4による撮像を実行するタイミングと、を切り替える制御を行っている。
具体的には、制御演算手段9は、透過画像を生成するために用いられる光源3から光を出射するタイミングと、クロス画像を生成するために用いられる光源5a、5bから光を出射するタイミングとを、撮像手段4の走査周期毎に切り替える制御を行っている。すなわち、制御演算手段9は、一の走査周期において光源3から光を出射させる制御信号を光源3に対して出力した後、次の走査周期において光源5a、5bから光を出射させる制御信号を光源5a、5bに対して出力する。制御演算手段9は、さらに次の走査周期において光源3から光を出射させる制御信号を光源3に対して出力する。制御演算手段9は、一の光学積層体Sが撮像手段4の直下を通過し終えるまで、以上の動作を繰り返す。
In this embodiment, since the imaging means 4 for generating the transmitted image and the imaging means 4 for generating the crossed Nicols image are the same, the control and calculation means 9 controls switching between the timing for performing imaging by the imaging means 4 in the transmission inspection process S1 and the timing for performing imaging by the imaging means 4 in the crossed Nicols inspection process S2.
Specifically, the control calculation means 9 performs control to switch the timing of emitting light from the
図5は、制御演算手段9が実行する切り替え制御の内容を模式的に説明する図である。前述のように、制御演算手段9が、光源3から光を出射するタイミングと光源5a、5bから光を出射するタイミングとを撮像手段4の走査周期毎に切り替えることにより、図5(a)に示すように、撮像手段4は、光源3から出射し、光学積層体Sを透過した光(図5(a)において白抜きで示す領域)と、光源5a、5bから出射し、検査用偏光フィルタ6a、6b及び光学積層体Sを透過した光(図5(a)においてドット状のハッチングを施した領域)とを、走査周期に応じたピッチでX方向に交互に結像することになる。
制御演算手段9は、撮像手段4の走査周期に応じて、図5(a)に白抜きで示す領域のみを抜き出してX方向に合成することで、図5(b)に示すような透過画像を生成する。また、制御演算手段9は、撮像手段4の走査周期に応じて、図5(a)にドット状のハッチングを施した領域のみを抜き出してX方向に合成することで、図5(c)に示すようなクロスニコル画像を生成する。
以上のようにして、制御演算手段9は、透過画像を生成するための撮像手段4と、クロスニコル画像を生成するための撮像手段4とが同一であっても、透過画像とクロスニコル画像とを別個に生成することが可能である。
Fig. 5 is a diagram for explaining the switching control executed by the control calculation means 9. As described above, the control calculation means 9 switches the timing of emitting light from the
The control and calculation means 9 generates a transmission image as shown in Fig. 5(b) by extracting only the regions shown in white in Fig. 5(a) and combining them in the X direction in accordance with the scanning cycle of the imaging means 4. The control and calculation means 9 also generates a crossed Nicol image as shown in Fig. 5(c) by extracting only the regions hatched in dots in Fig. 5(a) and combining them in the X direction in accordance with the scanning cycle of the imaging means 4.
In this manner, the control and calculation means 9 is capable of generating a transmission image and a crossed Nicol image separately even if the imaging means 4 for generating a transmission image and the imaging means 4 for generating a crossed Nicol image are the same.
[反射検査工程S3]
反射検査工程S3では、光学積層体Sで反射する光によって光学積層体Sの反射画像を生成し、この反射画像に基づき、光学積層体Sに存在する欠点候補を検出する(図2のS3)。
具体的には、光学積層体Sが撮像手段8の直下に到達する直前のタイミングで、制御演算手段9から出力される制御信号によって、光源7及び撮像手段8が駆動される。そして、撮像手段8が、光源7から出射し、光学積層体Sで反射した光を受光して結像し、その光量に応じた電気信号を撮像信号として制御演算手段9に出力する。制御演算手段9は、この入力された撮像信号に基づき、2次元の反射画像を生成する。そして、制御演算手段9は、生成された反射画像に対して、他の画素領域と輝度値(画素値)が異なる画素領域を抽出する2値化等の公知の画像処理を適用することで、欠点候補を検出する。
[Reflection inspection step S3]
In the reflection inspection step S3, a reflection image of the optical stack S is generated by light reflected by the optical stack S, and defect candidates present in the optical stack S are detected based on this reflection image (S3 in FIG. 2).
Specifically, the
図6は、反射検査工程S3で検出される欠点候補の一例を模式的に説明する図である。図6は、2値化後の反射画像を示し、3つの異物F1(F1a~F1c)が欠点候補として検出されている。反射画像は、光学積層体Sで反射した光によって生成されるため、光源7が配置された側のセパレータ40の表面に付着した異物F1しか検出されない。図6に示す例では、異物F1のみが検出されているが、同じくセパレータ40の表面に存在する傷F2が検出される場合もある。
Figure 6 is a diagram illustrating an example of a defect candidate detected in the reflection inspection process S3. Figure 6 shows the reflected image after binarization, in which three foreign bodies F1 (F1a to F1c) have been detected as defect candidates. Because the reflected image is generated by light reflected by the optical laminate S, only the foreign body F1 attached to the surface of the
[演算工程S4]
演算工程S4では、透過検査工程S1で検出された欠点候補と、クロスニコル検査工程S2で検出された欠点候補と、反射検査工程S3で検出された欠点候補と、に基づき、偏光子10と光学フィルム(本実施形態では、位相差フィルム20)との間に存在する欠点を判定する(図2のS4)。
具体的には、演算工程S4では、演算制御手段9が、ある欠点候補が透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出されたか否かをまず判定する(図2のS41)。欠点候補が透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出されたか否かは、透過検査工程S1で検出されたある欠点候補の位置と同等(同一又は近傍)の位置において、クロスニコル検査工程S2で検出された欠点候補が存在するか否かで判定される。具体的には、例えば、透過検査工程S1で検出された欠点候補の重心の位置と同等の位置(例えば、重心の位置±2mmの位置)において、クロスニコル検査工程S2で検出された欠点候補の重心が存在するか否かで判定される。透過検査工程S1で検出された欠点候補の位置と同等の位置において、クロスニコル検査工程S2で検出された欠点候補が存在するか否かを判定するには、透過画像の座標とクロスニコル画像の座標とが合致している必要がある。本実施形態では、前述のように、透過画像を生成するための撮像手段4と、クロスニコル画像を生成するための撮像手段4と、が同一であるため、透過画像の座標とクロスニコル画像の座標とはほぼ合致しており、敢えて両画像の座標を厳密に合致させる必要性に乏しい。ただし、厳密には、図5を参照して説明した内容から分かるように、透過画像の座標とクロスニコル画像の座標とは、撮像手段4の走査周期に応じたピッチだけX方向にズレているため、演算制御手段9が、このズレ分を補正して両画像の座標を合致させることが好ましい。
[Calculation step S4]
In the calculation process S4, defects present between the
Specifically, in the calculation step S4, the calculation control means 9 first judges whether a certain defect candidate is detected in both the transmission inspection step S1 and the crossed Nicols inspection step S2 (S41 in FIG. 2). Whether a defect candidate is detected in both the transmission inspection step S1 and the crossed Nicols inspection step S2 is judged based on whether a defect candidate detected in the crossed Nicols inspection step S2 exists at a position equivalent (the same or close) to the position of a certain defect candidate detected in the transmission inspection step S1. Specifically, for example, it is judged based on whether a center of gravity of a defect candidate detected in the crossed Nicols inspection step S2 exists at a position equivalent to the position of the center of gravity of a defect candidate detected in the transmission inspection step S1 (for example, a position ±2 mm from the position of the center of gravity). In order to judge whether a defect candidate detected in the crossed Nicols inspection step S2 exists at a position equivalent to the position of a defect candidate detected in the transmission inspection step S1, the coordinates of the transmission image and the coordinates of the crossed Nicols image must match. In this embodiment, as described above, the imaging means 4 for generating the transmission image and the imaging means 4 for generating the crossed Nicol image are the same, so the coordinates of the transmission image and the coordinates of the crossed Nicol image almost match, and there is little need to make the coordinates of both images match strictly. However, strictly speaking, as can be seen from the contents described with reference to Fig. 5, the coordinates of the transmission image and the coordinates of the crossed Nicol image are shifted in the X direction by a pitch corresponding to the scanning period of the imaging means 4, so it is preferable that the calculation control means 9 corrects this shift to make the coordinates of both images match.
図7は、演算工程S4の内容を模式的に説明する図である。
図7(a)は、演算工程S4(具体的には、S41)において、透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出されたと判定された欠点候補の一例を模式的に説明する図である。前述の図3(c)に示すように、透過検査工程S1では、異物F1c、傷F2a、貼合異物F3、異物F4a、F4bが欠点候補として検出され、前述の図4に示すように、クロスニコル検査工程S2では、異物F1a~F1c、傷F2b~F2d、貼合異物F3が欠点候補として検出されている。例えば、透過検査工程S1で検出された異物F1cは、クロスニコル検査工程S2でも検出されているため、演算制御手段9は、異物F1cが双方で検出されたと判定する(図2のS41で「Yes」となる)。一方、例えば、透過検査工程S1で検出された傷F2aは、クロスニコル検査工程S2では検出されていないため、演算制御手段9は、傷F2aが双方で検出されていないと判定し(図2のS41で「No」となり)、この欠点候補(傷F2a)が偏光子10と位相差フィルム20との間に存在する貼合異物F3ではないと判定する(図2のS44)。本実施形態では、透過検査工程S1で検出された全ての欠点候補について同様の演算を実行することで、図7(a)に示す欠点候補(異物F1c、貼合異物F3)が透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出された欠点候補であると判定することになる。
FIG. 7 is a diagram for explaining the content of the calculation step S4.
7A is a diagram for explaining an example of defect candidates determined to be detected in both the transmission inspection step S1 and the crossed Nicols inspection step S2 in the calculation step S4 (specifically, S41). As shown in FIG. 3C, in the transmission inspection step S1, the foreign matter F1c, the scratch F2a, the bonding foreign matter F3, and the foreign matters F4a and F4b are detected as defect candidates, and as shown in FIG. 4, in the crossed Nicols inspection step S2, the foreign matter F1a to F1c, the scratches F2b to F2d, and the bonding foreign matter F3 are detected as defect candidates. For example, the foreign matter F1c detected in the transmission inspection step S1 is also detected in the crossed Nicols inspection step S2, so the calculation control means 9 determines that the foreign matter F1c is detected in both steps (S41 in FIG. 2 is "Yes"). On the other hand, for example, the scratch F2a detected in the transmission inspection process S1 is not detected in the crossed Nicols inspection process S2, so the calculation control means 9 determines that the scratch F2a is not detected in both processes ("No" in S41 in FIG. 2), and determines that this defect candidate (scratch F2a) is not the bonding foreign matter F3 present between the
次に、演算工程S4では、演算制御手段9が、透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出された欠点候補が反射検査工程S3で検出された否かを判定する(図2のS42)。透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出された欠点候補が反射検査工程S3で検出された否かは、透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出されたある欠点候補の位置と同等(同一又は近傍)の位置において、反射検査工程S3で検出された欠点候補が存在するか否かで判定される。具体的には、例えば、透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出された欠点候補の重心の位置と同等の位置(例えば、重心の位置±2mmの位置)において、反射検査工程S3で検出された欠点候補の重心が存在するか否かで判定される。透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出された欠点候補の位置と同等の位置において、反射検査工程S3で検出された欠点候補が存在するか否かを判定するには、透過画像及びクロスニコル画像の座標と反射画像の座標とが合致している必要がある。透過画像及びクロスニコル画像の座標と反射画像の座標とは、撮像手段4と撮像手段8とのX方向の離間距離L(図1(a)参照)を光学積層体Sの搬送速度Vで除した時間分だけX方向にズレているため、演算制御手段9が、このズレ分を補正して透過画像及びクロスニコル画像の座標と反射画像の座標とを合致させることが必要である。また、透過画像及びクロスニコル画像の座標と反射画像の座標とは、Y方向にもズレている可能性があるため、演算制御手段9が、公知の画像処理を適用して、透過画像及びクロスニコル画像におけるY方向のエッジ(光学積層体Sのエッジ)と、反射画像におけるY方向のエッジ(光学積層体Sのエッジ)とを検出し、これらのエッジの位置が合致するように、透過画像及びクロスニコル画像の座標と反射画像の座標とを合致させることが好ましい。Next, in the calculation step S4, the calculation control means 9 judges whether the defect candidate detected in both the transmission inspection step S1 and the crossed Nicols inspection step S2 was detected in the reflection inspection step S3 (S42 in FIG. 2). Whether the defect candidate detected in both the transmission inspection step S1 and the crossed Nicols inspection step S2 was detected in the reflection inspection step S3 is judged based on whether the defect candidate detected in the reflection inspection step S3 exists at a position equivalent (the same or close) to the position of a defect candidate detected in both the transmission inspection step S1 and the crossed Nicols inspection step S2. Specifically, for example, it is judged based on whether the center of gravity of the defect candidate detected in the reflection inspection step S3 exists at a position equivalent (for example, a position ±2 mm from the center of gravity) to the position of the center of gravity of the defect candidate detected in both the transmission inspection step S1 and the crossed Nicols inspection step S2. In order to determine whether or not a defect candidate detected in the reflection inspection process S3 exists at a position equivalent to the position of the defect candidate detected in both the transmission inspection process S1 and the crossed Nicols inspection process S2, the coordinates of the transmission image and the crossed Nicols image must match the coordinates of the reflection image. The coordinates of the transmission image and the crossed Nicols image and the coordinates of the reflection image are shifted in the X direction by the time obtained by dividing the separation distance L (see FIG. 1(a)) in the X direction between the imaging means 4 and the imaging means 8 by the conveying speed V of the optical laminate S, so the arithmetic control means 9 needs to correct this shift to make the coordinates of the transmission image and the crossed Nicols image match the coordinates of the reflection image. In addition, since there is a possibility that the coordinates of the transmitted image and the crossed Nicol image and the coordinates of the reflected image may be misaligned in the Y direction, it is preferable that the calculation control means 9 applies known image processing to detect the edges in the Y direction (edges of the optical stack S) in the transmitted image and the crossed Nicol image and the edges in the Y direction (edges of the optical stack S) in the reflected image, and match the coordinates of the transmitted image and the crossed Nicol image with the coordinates of the reflected image so that the positions of these edges match.
図7(b)は、演算工程S4(具体的には、S42)において、反射検査工程S3で検出されなかったと判定された欠点候補の一例を模式的に説明する図である。前述の図7(a)に示すように、透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出された異物F1c及び貼合異物F3のうち、前述の図6に示すように、異物F1cは、反射検査工程S3でも検出されているため、演算制御手段9は、異物F1cが反射検査工程S3で検出されたと判定し(図2のS42で「Yes」となり)、この欠点候補(異物F1c)が偏光子10と位相差フィルム20との間に存在する貼合異物F3ではないと判定する(図2のS44)。一方、透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出された異物F1c及び貼合異物F3のうち、前述の図6に示すように、貼合異物F3は、反射検査工程S3で検出されていないため、演算制御手段9は、貼合異物F3が反射検査工程S3で検出されていないと判定し(図2のS42で「No」となり)、この欠点候補(貼合異物F3)が偏光子10と位相差フィルム20との間に存在する貼合異物F3であると判定する(図2のS43)。
Figure 7(b) is a diagram illustrating an example of a defect candidate determined in the calculation step S4 (specifically, S42) not to have been detected in the reflection inspection step S3. As shown in the above-mentioned Figure 7(a), of the foreign matter F1c and the bonding foreign matter F3 detected in both the transmission inspection step S1 and the crossed Nicol inspection step S2, as shown in the above-mentioned Figure 6, the foreign matter F1c is also detected in the reflection inspection step S3, so the calculation control means 9 determines that the foreign matter F1c was detected in the reflection inspection step S3 (S42 in Figure 2 is "Yes") and determines that this defect candidate (foreign matter F1c) is not the bonding foreign matter F3 present between the
本発明者らの知見によれば、透過画像及びクロスニコル画像の双方で検出され、反射画像で検出されなかった欠点候補は、偏光子10と位相差フィルム20との間に存在する欠点(貼合異物)である可能性が高い。本実施形態に係る検査方法によれば、上記のように、演算工程S4において、透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2の双方で検出され(すなわち、透過画像及びクロスニコル画像の双方で検出され)、反射検査工程S3で検出されなかった(すなわち、反射画像で検出されなかった)欠点候補を、偏光子10と位相差フィルム20との間に存在する欠点であると判定するため、剥離フィルム(セパレータ40、表面保護フィルム50)の表面に存在する欠点の過検出を抑制して、偏光子10と位相差フィルム20との間に存在する欠点を精度良く検出可能である。According to the findings of the inventors, a defect candidate that is detected in both the transmission image and the crossed Nicol image and not detected in the reflection image is likely to be a defect (bonding foreign matter) that exists between the
なお、本実施形態では、検査対象が、偏光子10の厚み方向の両側に光学フィルム20、30(位相差フィルム20、保護フィルム30)が積層され、厚み方向の双方の最表面側に剥離フィルム40、50(セパレータ40、表面保護フィルム50)が積層された光学積層体Sである場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限るものではない。偏光子10に少なくとも1つの光学フィルム(例えば、位相差フィルム20のみ)が積層され、少なくとも一方の最表面側に剥離フィルム(例えば、セパレータ40のみ)が積層された光学積層体である限りにおいて、種々の光学積層体に適用可能である。In this embodiment, the inspection object is an optical laminate S in which
また、本実施形態では、検査対象が、チップ状に切断された光学積層体Sである場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限るものではない。特許文献1~3に記載の検査方法と同様に、長尺の光学積層体をロールツーロールで搬送しながら検査を実行する構成を採用することも可能である。In addition, in this embodiment, the case where the inspection object is an optical laminate S cut into chips has been described as an example, but the present invention is not limited to this. It is also possible to adopt a configuration in which the inspection is performed while transporting a long optical laminate by roll-to-roll, similar to the inspection methods described in
また、本実施形態では、光源3、5a、5b、7が光学積層体Sの下面側(セパレータ40側)に配置されている場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限るものではなく、光源3、5a、5b、7を光学積層体Sの上面側(表面保護フィルム50側)に配置する(検査用偏光フィルタ6a、6bも光学積層体Sの上面側に配置する)構成を採用することも可能である。この場合、撮像手段4は、光学積層体Sの下面側に配置し、撮像手段8は、光学積層体Sの上面側に配置することになる。そして、この場合、クロスニコル検査工程S2では、偏光子10と保護フィルム30との間に存在する貼合異物が検出されることになる。In addition, in this embodiment, the
また、本実施形態では、透過検査工程S1において透過画像を生成するための撮像手段4と、クロスニコル検査工程S2においてクロスニコル画像を生成するための撮像手段4とが同一である場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限るものではなく、透過画像を生成するための撮像手段と、クロスニコル画像を生成するための撮像手段とを別個に設けることも可能である。 In addition, in this embodiment, an example has been described in which the imaging means 4 for generating a transmission image in the transmission inspection process S1 and the imaging means 4 for generating a crossed Nicol image in the crossed Nicol inspection process S2 are the same, but the present invention is not limited to this, and it is also possible to provide an imaging means for generating a transmission image and an imaging means for generating a crossed Nicol image separately.
さらに、本実施形態では、透過検査工程S1、クロスニコル検査工程S2及び反射検査工程S3をこの順番に実行する(ただし、透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2において撮像を実行するタイミングは重複する)場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限るものではなく、任意の順番に実行することが可能である。また、透過検査工程S1及びクロスニコル検査工程S2を実行した後、演算工程S4のS41のみを先に実行し、その後、反射検査工程S3を実行した後、演算工程S4のS42を実行する手順を採用することも可能である。 Furthermore, in this embodiment, the case where the transmission inspection process S1, the crossed Nicols inspection process S2, and the reflection inspection process S3 are performed in this order (however, the timing of performing imaging in the transmission inspection process S1 and the crossed Nicols inspection process S2 overlaps) has been described as an example, but the present invention is not limited to this, and they can be performed in any order. It is also possible to adopt a procedure in which, after performing the transmission inspection process S1 and the crossed Nicols inspection process S2, only S41 of the calculation process S4 is performed first, and then the reflection inspection process S3 is performed, and then S42 of the calculation process S4 is performed.
1・・・ベルトコンベア
2・・・クリーンローラ
3、5a、5b、7・・・光源
4、8・・・撮像手段
6a、6b・・・検査用偏光フィルタ
10・・・偏光子
20・・・位相差フィルム(光学フィルム)
30・・・保護フィルム(光学フィルム)
40・・・セパレータ(剥離フィルム)
50・・・表面保護フィルム(剥離フィルム)
100・・・検査装置
S・・・光学積層体
S1・・・透過検査工程
S2・・・クロスニコル検査工程
S3・・・反射検査工程
S4・・・演算工程
REFERENCE SIGNS LIST 1: Belt conveyor 2:
30: Protective film (optical film)
40: Separator (release film)
50: Surface protection film (release film)
100: Inspection device S: Optical laminate S1: Transmission inspection process S2: Cross Nicol inspection process S3: Reflection inspection process S4: Calculation process
Claims (5)
前記光学積層体を透過する光によって前記光学積層体の透過画像を生成し、前記透過画像に基づき、前記光学積層体に存在する欠点候補を検出する透過検査工程と、
前記偏光子の偏光軸に対してクロスニコルになるように配置された検査用偏光フィルタ及び前記光学積層体を透過する光によって前記光学積層体のクロスニコル画像を生成し、前記クロスニコル画像に基づき、前記光学積層体に存在する欠点候補を検出するクロスニコル検査工程と、
前記光学積層体で反射する光によって前記光学積層体の反射画像を生成し、前記反射画像に基づき、前記光学積層体に存在する欠点候補を検出する反射検査工程と、
前記透過検査工程で検出された欠点候補と、前記クロスニコル検査工程で検出された欠点候補と、前記反射検査工程で検出された欠点候補と、に基づき、前記偏光子と前記光学フィルムとの間に存在する欠点を判定する演算工程と、を含み、
前記演算工程において、前記透過検査工程及び前記クロスニコル検査工程の双方で検出され、前記反射検査工程で検出されなかった欠点候補を、前記偏光子と前記光学フィルムとの間に存在する欠点であると判定する、
光学積層体の検査方法。 A method for inspecting an optical laminate in which a polarizer and an optical film are laminated together, and a release film is further laminated on at least one outermost surface side in a thickness direction, comprising the steps of:
A transmission inspection process of generating a transmission image of the optical stack by light transmitted through the optical stack, and detecting defect candidates present in the optical stack based on the transmission image;
a crossed Nicol inspection process for generating a crossed Nicol image of the optical stack using an inspection polarizing filter arranged to be crossed Nicol with respect to the polarization axis of the polarizer and light passing through the optical stack, and detecting defect candidates present in the optical stack based on the crossed Nicol image;
A reflection inspection process of generating a reflection image of the optical stack by light reflected by the optical stack, and detecting defect candidates present in the optical stack based on the reflection image;
a calculation step of determining a defect present between the polarizer and the optical film based on the defect candidates detected in the transmission inspection step, the defect candidates detected in the crossed Nicols inspection step, and the defect candidates detected in the reflection inspection step,
In the calculation step, a defect candidate that is detected in both the transmission inspection step and the crossed Nicol inspection step and not detected in the reflection inspection step is determined to be a defect that exists between the polarizer and the optical film.
A method for inspecting an optical laminate.
前記光学フィルムが前記セパレータと前記偏光子との間に位置し、
前記クロスニコル検査工程において、前記検査用偏光フィルタを前記セパレータ側に配置する、
請求項1に記載の光学積層体の検査方法。 the release film is a separator,
the optical film is located between the separator and the polarizer;
In the crossed Nicol inspection step, the inspection polarizing filter is disposed on the separator side.
A method for inspecting the optical laminate according to claim 1 .
請求項1又は2に記載の光学積層体の検査方法。 The orientation direction of the release film is within ±6° of a predetermined specified orientation direction;
A method for inspecting the optical laminate according to claim 1 or 2.
前記透過検査工程で前記撮像手段による撮像を実行するタイミングと、前記クロスニコル検査工程で前記撮像手段による撮像を実行するタイミングと、を切り替える、
請求項1から3の何れかに記載の光学積層体の検査方法。 an imaging means for generating the transmission image in the transmission inspection step and an imaging means for generating the crossed Nicol image in the crossed Nicol inspection step are identical;
switching a timing for performing imaging by the imaging means in the transmission inspection step and a timing for performing imaging by the imaging means in the crossed Nicols inspection step;
A method for inspecting the optical laminate according to claim 1 .
請求項1から4の何れかに記載の光学積層体の検査方法。 the transmission inspection step and/or the crossed Nicols inspection step includes a noise removal step of excluding defect candidates having dimensions larger than a predetermined threshold value from the detected defect candidates;
A method for inspecting the optical laminate according to claim 1 .
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