JP7610552B2 - 熱処理システム - Google Patents

Description

本明細書に開示する技術は、被処理物を熱処理する技術に関する。

熱処理炉（例えば、ローラーハースキルンやプッシャーキルン等）を用いて、被処理物を熱処理することがある。例えば、粉体等の被処理物を熱処理炉で熱処理する際には、被処理物は匣鉢に収容された状態で熱処理される。熱処理後には、匣鉢を反転することによって熱処理後の被処理物を回収する。例えば、特許文献１には、熱処理炉と、熱処理後に被処理物を回収する回収装置を備える熱処理システムが開示されている。特許文献１の回収装置は、匣鉢を搬送する搬送ローラと、匣鉢内の被処理物を回収する回収部と、匣鉢を反転するための反転機構を備えている。回収部は、搬送ローラの下方に配置されている。反転機構は、回収部の上方に位置する複数の搬送ローラと、それら搬送ローラに載置されている匣鉢とを一体的に反転させるように構成されている。匣鉢が回収部の上方まで搬送されると、反転機構により、複数の搬送ローラと共に匣鉢が反転する。これにより、匣鉢内の被処理物が落下し、下方に配置されている回収部に被処理物が回収される。

特許第７０４１３００号公報

特許文献１の回収装置では、匣鉢を反転させる際に、匣鉢と共に搬送ローラを回転させている。しかしながら、匣鉢と搬送ローラを一体で回転させると、全体の重量が大きくなるため、回転速度を大きくすることが難しくなる。このため、被処理物の回収に時間を要するという問題があった。

本明細書は、熱処理後の被処理物の回収に要する時間を短縮可能な技術を開示する。

本明細書に開示する技術の第１の態様では、熱処理システムは、熱処理炉と搬送装置と回収装置と供給装置と、を備えている。熱処理炉は、搬入口と搬出口とを備え、搬入口から搬出口に匣鉢を搬送する間に匣鉢に収容された被処理物を熱処理する。搬送装置は、熱処理炉の搬出口から搬出された匣鉢を熱処理炉の搬入口まで搬送する。回収装置は、搬送装置の搬送経路上に設けられ、熱処理炉で熱処理された被処理物を匣鉢から回収する。供給装置は、搬送装置の搬送経路上であって、回収装置と搬入口との間に設けられ、被処理物が収容されていない匣鉢に、熱処理前の被処理物を供給する。搬送装置は、搬送経路に沿って配置された搬送機構と、搬送機構を駆動する駆動装置と、を備え、駆動装置が搬送機構を駆動することで搬送機構上に載置された匣鉢を搬送するように構成されている。回収装置は、搬送機構が配置されていない位置に設けられ、匣鉢内の被処理物を回収する回収部と、搬送機構上の載置位置と回収部の上方の回収位置との間で匣鉢を移動させる移動装置と、回収位置において匣鉢を反転させる反転機構と、を備えている。

上記の熱処理システムでは、回収部を搬送機構が配置されていない位置に配置することによって、匣鉢は反転される前に搬送機構上から回収部の上方に移動される。すなわち、匣鉢は、匣鉢と回収部との間に搬送機構がない状態で反転される。このため、匣鉢を反転する際に、匣鉢と共に搬送機構（例えば、搬送ローラ）を反転する必要がない。これにより、回収部の上方で匣鉢のみを反転することができ、回転する部分全体の重量が大きくなることを回避することができる。このため、回転速度を大きくすることが可能となり、被処理物の回収に要する時間を短くすることが可能となる。

実施例１、２に係る熱処理システムの概略構成を示す上面図。 実施例１、２に係る熱処理システムの制御系を示すブロック図。 熱処理炉の概略構成を示す図であり、匣鉢の搬送方向に平行な平面で熱処理炉を切断したときの縦断面図。 図３のＩＶ－ＩＶ線における断面図。 実施例１の回収装置の構成を示す上面図であり、（ａ）は匣鉢が載置位置に位置する状態を示し、（ｂ）は匣鉢が回収位置に位置する状態を示す。 実施例１の回収装置の構成を示す側面図であり、（ａ）は匣鉢が載置位置に位置する状態を示し、（ｂ）は匣鉢が載置位置の上方に位置する状態を示し、（ｃ）は匣鉢が回収位置に位置する状態を示す。 実施例１のフードを搬送方向に沿って見たときの側面図。 フードとブラシと吸引装置と集塵ダクトを示す側面図。 実施例２の回収装置の構成を示す上面図であり、（ａ）は匣鉢が搬入側搬送ローラ上に位置する状態を示し、（ｂ）は匣鉢が回収部の上方に位置する状態を示し、（ｃ）は匣鉢が搬出側搬送ローラ上に位置する状態を示す。 実施例２の回収装置の構成を示す側面図であり、（ａ）は匣鉢が搬入側搬送ローラ上で昇降ピンで持ち上げられた状態を示し、（ｂ）は匣鉢が回収部の上方に位置する状態を示し、（ｃ）は匣鉢が搬出側搬送ローラ上で昇降ピンで持ち上げられた状態を示す。 実施例２のフードを搬送方向に沿って見たときの側面図。

以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。

本明細書に開示する技術の第２の態様では、上記の第１の態様において、反転機構は、匣鉢を把持する把持部を備えており、把持部が回転軸周りに回転することで把持部に把持された匣鉢が反転するように構成されていてもよい。移動装置は、把持部で匣鉢を把持した反転機構を搬送機構上の載置位置と回収部の上方の回収位置との間で移動させるように構成されていてもよい。このような構成によると、反転機構は、匣鉢を把持した状態で回収部の上方の回収位置まで移動される。把持部が匣鉢を把持した状態で回転軸周りに回転することで、匣鉢が反転する。このため、匣鉢を回転位置で好適に回転させることができる。

本明細書に開示する技術の第３の態様では、上記の第２の態様において、回収装置は、回収部を上方から覆うフードをさらに備えていてもよい。フードは、匣鉢及び把持部を収容可能に構成されていてもよい。匣鉢を把持した把持部が、フードに収容された状態で回転軸周りに回転可能となっていてもよい。このような構成によると、フード内で匣鉢を反転させることによって、匣鉢が反転したときに被処理物がフード外に飛散することを抑制することができる。

本明細書に開示する技術の第４の態様では、上記の第３の態様において、把持部は、匣鉢の対向する一対の側面に当接して匣鉢を把持する一対の把持片を備えていてもよい。反転機構は、一対の把持片を支持する一対の支持部をさらに備えていてもよい。一対の支持部のそれぞれは、匣鉢及び把持部がフード内に収容されたときに、その一端がフード内に位置する一方でその他端がフード外に位置するように構成されていてもよい。フードは、第１の側面に設けられる第１の開口部と、第１の側面と直交する第２の側面に設けられる第２の開口部と、を備えていてもよい。第１の開口部は、第１の側面から匣鉢をフード内に挿入可能に構成されていてもよい。第２の開口部は、匣鉢をフード内に収容したときに、支持部の他端が第２の開口部からフード外に突出するように構成されていると共に、匣鉢の挿入方向に沿って延びていてもよい。このような構成によると、把持部で匣鉢を把持した状態で、フードの側方（第１の側面）から匣鉢をフード内に収めることができる。

本明細書に開示する技術の第５の態様では、上記の第４の態様において、反転機構は、把持部に把持された匣鉢を前記フード内に収容したときに、第２の開口部を覆う第１のカバーをさらに備えていてもよい。このような構成によると、反転機構に第１のカバーを設けることにより、第１のカバーは反転機構と一体的に移動する。このため、匣鉢をフード内に挿入する際に、支持部が第２の開口部を通過できると共に、匣鉢をフード内に収容した状態では、第１のカバーにより第２の開口部を覆うことができる。これにより、匣鉢をフード内で反転させたときに、第２の開口部から被処理物がフード外に飛散することを抑制することができる。

本明細書に開示する技術の第６の態様では、上記の第４又は第５の態様において、回収装置は、第１の開口部を開閉する第２のカバーをさらに備えていてもよい。第２のカバーが第１の開口部を開いた状態では匣鉢が第１の開口部を通過可能とされ、第２のカバーが第１の開口部を閉じた状態では匣鉢が第１の開口部を通過不能としてもよい。このような構成によると、第２のカバーを設けることにより、匣鉢をフード内に収容したときに、第２のカバーで第１の開口部を覆うことができる。これにより、匣鉢をフード内で反転させたときに、第１の開口部から被処理物がフード外に飛び出すことを抑制することができる。

本明細書に開示する技術の第７の態様では、上記の第１～６の態様のいずれか１つにおいて、搬送経路上に、回収装置の搬入口と搬出口が配置されていてもよい。搬送機構は、回収装置の搬入口から回収装置の搬出口まで搬送経路に沿って配置されていてもよい。回収部は、搬送経路からオフセットした位置に配置されていてもよい。このような構成によると、回収部を搬送経路からオフセットした位置に配置することによって、搬送経路からオフセットした位置で被処理物が回収される。すなわち、搬送経路からオフセットした位置で匣鉢を反転させることがでる。このため、搬送経路からずれた位置で反転機構や回収部のメンテナンスを行うことができる。

本明細書に開示する技術の第８の態様では、上記の第７の態様において、回収部は、搬送経路に対して左右方向及び／又は搬送経路の上方に配置されてもよい。このような構成によると、回収部を搬送経路から適切にオフセットできる。

本明細書に開示する技術の第９の態様では、上記の第１～６の態様のいずれか１つにおいて、搬送機構は、回収装置内の搬入側に配置される第１搬送機構と、回収装置内の搬出側に配置される第２搬送機構を含んでいてもよい。回収部は、第１搬送機構と第２搬送機構との間に配置されていてもよい。このような構成によると、回収部を第１搬送ローラと第２搬送ローラとの間に配置することによって、搬送経路上に回収部を配置しながら、回収部を搬送ローラが配置されていない位置に配置することができる。

本明細書に開示する技術の第１０の態様では、上記の第１～９の態様のいずれか１つにおいて、回収装置は、回収部の上方に位置する匣鉢の外表面に付着した被処理物を除去する除去装置をさらに備えていてもよい。匣鉢を反転すると、匣鉢の外表面に被処理物が付着することがある。除去装置を備えることにより、回収部の上方で匣鉢の外表面に付着した被処理物を除去することができ、搬送機構に被処理物が付着する（搬送経路上に被処理物を持ち込む）ことを抑制することができる。

本明細書に開示する技術の第１１の態様では、上記の第３～６の態様のいずれか１つにおいて、回収装置は、フード内の気体を吸引する吸引装置をさらに備えていてもよい。このような構成によると、反転により舞い上がった被処理物を吸引すると共に、フード内を負圧にすることでフード外に被処理物が飛散することを抑制することができる。

（実施例１）
図面を参照して、本実施例に係る熱処理システム１について説明する。図１及び図２に示すように、熱処理システム１は、熱処理炉１０と、循環搬送装置３０と、供給装置４０と、回収装置５０と、清掃装置４４と、割れ検知装置４６と、管理装置４８を備えている。

熱処理システム１は、匣鉢２（図３参照）に収容された被処理物を熱処理する。本実施例では、匣鉢２に収容される被処理物は、リチウムイオン電池正極材の粉体である。本実施例の熱処理システム１では、匣鉢２は、供給装置４０、熱処理炉１０、回収装置５０、清掃装置４４及び割れ検知装置４６の間を循環するように構成されている。被処理物は、匣鉢２が熱処理炉１０内を搬送される間に熱処理される。図２に示すように、管理装置４８は、熱処理炉１０と、循環搬送装置３０と、供給装置４０と、回収装置５０と、清掃装置４４と、割れ検知装置４６と接続している。管理装置４８は、熱処理炉１０と、循環搬送装置３０と、供給装置４０と、回収装置５０と、清掃装置４４と、割れ検知装置４６の動作を制御している。

熱処理炉１０は、匣鉢２内の被処理物を熱処理する。図３及び図４に示すように、熱処理炉１０は、炉体１２と、搬送装置（２４、２６）を備えている。熱処理炉１０は、搬送装置（２４、２６）によって匣鉢２が炉体１２内を搬送される間に、匣鉢２内に収容される被処理物を熱処理する。

炉体１２は、外形が略直方体形状であり、その内部の熱処理空間が天井壁１４ａと、底壁１４ｂと、炉入口壁１４ｃと、炉出口壁１４ｄと、側壁１４ｅ、１４ｆによって囲まれている。図３に示すように、天井壁１４ａは、底壁１４ｂに対して平行に（すなわち、ＸＹ平面と平行に）配置されている。炉入口壁１４ｃは、搬送経路の入口端に配置されており、搬送方向に対して垂直に（すなわち、ＹＺ平面と平行に）配置されている。炉出口壁１４ｄは、搬送経路の出口端に配置されており、炉入口壁１４ｃに対して平行に（すなわち、ＹＺ平面と平行に）配置されている。図４に示すように、側壁１４ｅ、１４ｆは、搬送方向に対して平行、かつ、天井壁１４ａ及び底壁１４ｂに対して垂直に（すなわち、ＸＺ平面と平行に）配置されている。炉体１２内の熱処理空間には、複数のヒータ１６ａ、１６ｂと、複数の搬送ローラ２４が配置されている。ヒータ１６ａは、搬送ローラ２４の上方の位置に搬送方向に所定の間隔で配置され、ヒータ１６ｂは、搬送ローラ２４の下方の位置に搬送方向に所定の間隔で配置されている。ヒータ１６ａ、１６ｂが発熱することで、炉体１２内の空間１８が加熱されると共に匣鉢２内に収容される被処理物が加熱される。図３に示すように、炉入口壁１４ｃには、開口１５ａが形成されており、炉出口壁１４ｄには、開口１５ｂが形成されている。匣鉢２は、搬送装置（２４、２６）によって開口１５ａから熱処理炉１０内に搬送され、開口１５ｂから熱処理炉１０外へ搬送される。すなわち、開口１５ａは搬入口として用いられ、開口１５ｂは搬出口として用いられる。

搬送装置（２４、２６）は、複数の搬送ローラ２４と、駆動装置２６を備えている。搬送ローラ２４は、匣鉢２を搬送する。搬送装置（２４、２６）は、開口１５ａから熱処理炉１０内に匣鉢２を搬送し、開口１５ｂから匣鉢２を熱処理炉１０外に搬送する。搬送ローラ２４は円筒状であり、その軸線は搬送方向と直交する方向に（すなわち、Ｙ方向に）伸びている。複数の搬送ローラ２４は、全てが同じ直径を有しており、搬送方向に一定のピッチで等間隔に配置されている。搬送ローラ２４は、その軸線回りに回転可能に支持されており、駆動装置２６の駆動力が伝達されることによって回転する。駆動装置２６は、搬送ローラ２４を駆動する駆動装置（例えば、モータ）である。駆動装置２６は、動力伝達機構を介して、搬送ローラ２４に接続されている。駆動装置２６の駆動力が動力伝達機構（例えば、スプロケットとチェーンによる機構）を介して搬送ローラ２４に伝達されると、搬送ローラ２４は回転するようになっている。駆動装置２６は、搬送ローラ２４が略同一の速度で回転するように、搬送ローラ２４のそれぞれを駆動する。駆動装置２６は、制御装置２８によって制御されている。なお、本実施例では、複数の搬送ローラ２４は、全て同じ直径を有しているが、このような構成に限定されない。熱処理炉１０内には、異なる直径の搬送ローラが設置されていてもよい。

図１に示すように、循環搬送装置３０は、熱処理炉１０の搬出口（すなわち、開口１５ｂ）から搬出された匣鉢２を、熱処理炉１０の搬入口（すなわち、開口１５ａ）まで搬送する。循環搬送装置３０は、複数の搬送ローラ３２（図５及び図６参照）と、駆動装置３４（図２参照）を備えている。搬送ローラ３２は円筒状であり、その軸線は搬送方向と直交する方向に伸びている。複数の搬送ローラ３２は、全てが同じ直径を有しており、搬送方向に一定のピッチで等間隔に配置されている。搬送ローラ３２は、その軸線回りに回転可能に支持されており、駆動装置３４の駆動力が伝達されることによって回転する。駆動装置３４は、搬送ローラ３２を駆動する駆動装置（例えば、モータ）である。駆動装置３４は、動力伝達機構を介して、搬送ローラ２４に接続されている。駆動装置３４の駆動力が動力伝達機構（例えば、スプロケットとチェーンによる機構）を介して搬送ローラ３２に伝達されると、搬送ローラ３２は回転するようになっている。駆動装置３４は、搬送ローラ３２が略同一の速度で回転するように、搬送ローラ３２のそれぞれを駆動する。なお、本実施例では、複数の搬送ローラ３２は、全て同じ直径を有しているが、このような構成に限定されない。循環搬送装置３０の搬送経路には、異なる直径の搬送ローラが設置されていてもよい。

図１に示すように、供給装置４０は、循環搬送装置３０の搬送経路上に配置されている。供給装置４０は、熱処理炉１０の搬入口の上流に配置されており、本実施例では、割れ検知装置４６と熱処理炉１０の搬入口との間に配置されている。供給装置４０は、匣鉢２内に被処理物（すなわち、粉体）を供給する装置である。なお、供給装置４０は、匣鉢２内に粉体を供給するように構成されていればよく、具体的な構造については特に限定されない。例えば、供給装置４０は、供給部と均し部を備えている。供給部は、匣鉢２の内部に粉体を供給するように構成されている。具体的には、供給部は、匣鉢２の上方から匣鉢２の内部に粉体を落下させる供給口を備えている。供給口は、供給部内に匣鉢２を配置したときに、匣鉢２の中心部の上方に位置するように配置されている。供給部は、位置決め装置を備えており、位置決め装置は、供給部に搬送された匣鉢２を、供給口の下方に位置するように位置決めする。なお、供給部には、複数の供給口が配置されていてもよい。供給部は、粉体を上方から落下させることで匣鉢２内に粉体を供給するため、供給部で匣鉢２に粉体が供給されると、匣鉢２内の粉体の上面は、供給口の下方の位置で盛り上がった状態となる。均し部は、供給部で匣鉢２内に供給された粉体を均す。具体的には、均し部は、平板の側面で匣鉢２内の粉体の上面を押さえることで粉体の上面を均すように構成されている。均し部で粉体の上面を均すことによって、匣鉢２に収容された粉体の上面は略水平面となる。

回収装置５０は、循環搬送装置３０の搬送経路上に配置されている。回収装置５０は、熱処理炉１０の搬出口の下流に配置されており、本実施例では、熱処理炉１０と清掃装置４４との間に配置されている。回収装置５０は、熱処理炉１０で熱処理された被処理物（すなわち、粉体）を匣鉢２から回収する装置である。回収装置５０には、回収装置５０の搬入口から搬出口まで搬送経路に沿って搬送ローラ３２が設置されている（図５及び図６参照）。匣鉢２は、回収装置５０内を搬送ローラ３２によって搬送される。図５～図８に示すように、回収装置５０は、シュート５２と、貯留容器５４と、フード５６と、把持部５８と、移動装置６４と、ブラシ７４と、吸引装置７６を備えている。

シュート５２は、匣鉢２内の被処理物を回収する。回収装置５０に搬入される匣鉢２には、熱処理炉１０で熱処理された被処理物が収容されている。シュート５２には、熱処理後の被処理物が回収される。シュート５２は、搬送ローラ３２が配置されていない位置に配置されている。具体的には、シュート５２は、搬送ローラ３２が配置される位置（以下、単に「搬送経路」ともいう）に対して、匣鉢２の搬送方向（以下、単に「搬送方向」ともいう）に直交する方向（本実施例では、－Ｙ方向）にオフセットした位置に配置されている。図５（ａ）及び図５（ｂ）では、シュート５２は、搬送経路である上側からオフセットした下側に配置されており、図６（ａ）及び図６（ｂ）では、シュート５２は、搬送経路である右側からオフセットした左側に配置されている。

図５及び図６に示すように、シュート５２は、矩形の筒状あり、下方に向かって断面積が小さくされている。シュート５２の上端は、匣鉢２を上面視したときの匣鉢２の外形より大きくされている（図５（ａ）及び図５（ｂ）参照）。シュート５２の下端には、貯留部５４が接続されている（図６（ａ）及び図６（ｂ）参照）。シュート５２の上方で匣鉢２を反転すると、匣鉢２内に収容されていた被処理物がシュート５２を通って貯留容器５４に貯留される。

フード５６は、シュート５２の上面を覆うように設置されている。フード５６の下端は、シュート５２の上端と接続しており、シュート５２とフード５６との間は密閉されている。フード５６の高さ方向の寸法は、匣鉢２の高さ方向の寸法より大きくされている。フード５６には、匣鉢２を収容可能な大きさの空間が設けられている。

図７に示すように、フード５６の搬送方向と平行な側面のうち、搬送経路側に位置する側面（＋Ｙ方向側の側面）には、開口部５６ａ（以下、第１の開口部５６ａともいう）が設けられている。第１の開口部５６ａは、匣鉢２が通過可能な大きさを有しており、本実施例では、第１の開口部５６ａは、フード５６の搬送経路側の側面全体と一致する大きさにされている。すなわち、フード５６には、搬送経路側の側面が設けられていない。なお、第１の開口部５６ａは、匣鉢２が通過可能な大きさであればよく、フード５６の側面の一部が開口していてもよい。

図６に示すように、フード５６の搬送方向と直交する２つの側面（＋Ｘ方向側と－Ｘ方向側の２つの側面）には、開口部５６ｂ（以下、第２の開口部５６ｂともいう）が設けられている。第２の開口部５６ｂは、フード５６をＸ方向に沿って見たときに、フード５６の略中央の高さ位置に設けられ、Ｙ方向に沿って延びている。第２の開口部５６ｂは、＋Ｙ方向側の端部は外部と連通しており、－Ｙ方向側の端部は外部と連通していない。第２の開口部５６ｂは、匣鉢２をフード５６内に挿入するときに、把持部５８（後述）が通過するように構成されている。

図５及び図６に示すように、把持部５８は、匣鉢２の対向する一対の側面に当接して匣鉢２を把持する。把持部５８は、一対の把持片６０と、把持片６０が先端に固定された回転軸６２を備えている。把持片６０は、匣鉢２の搬送方向に直交する側面に当接して、匣鉢２を把持する。すなわち、一対の把持片６０は、図示しないアクチュエータによって開閉動作が可能となっている。一対の把持片６０に閉動作を行わせると一対の支持片６０に匣鉢２を把持し、一対の把持片６０に開動作を行わせると一対の支持片６０から匣鉢２を開放する。回転軸６２は、円筒状であり、その軸線回りに回転可能に支持フレーム６６（後述）に支持されている。回転軸６２が回転すると、把持片６０が回転軸６２と一体的に回転する。把持片６０で匣鉢２を把持した状態で回転軸６２を回転させると、把持片６０に把持された匣鉢２も回転（反転）する。

移動装置６４は、匣鉢２を、回収装置５０内で搬送ローラ３２上に載置されている位置（図６（ａ）に示す位置であり、以下、載置位置ともいう）と、シュート５２の上方の位置（図５（ｂ）及び図６（ｃ）に示す位置であり、以下、回収位置ともいう）との間で移動させる。移動装置６４は、載置位置に位置する匣鉢２を昇降させる昇降ピン６５と、回転軸６２を回転可能に支持する支持フレーム６６と、移動ベース６８ａと、ガイドレール６８を備えている。

昇降ピン６５は、載置位置に位置する匣鉢２の下方に配置されている。図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、昇降ピン６５は、搬送ローラ３２の間に配置されている。昇降ピン６５は、上下方向に移動可能に構成されている。昇降ピン６５が上昇すると、搬送ローラ３２の間を通過して、昇降ピン６５の上端は、載置位置に位置する匣鉢２の下面に当接する。本実施例では、昇降ピン６５は４本配置されており、４本の昇降ピン６５で匣鉢２を下方から支持する。昇降ピン６５が昇降することで、匣鉢２を上下方向に移動させる。支持フレーム６６は、移動ベース６８ａに固定されている。移動ベース６８ａがガイドレール６８に沿って移動することにより、支持フレーム６６は、ガイドレール６８に沿って移動する。ガイドレール６８は、載置位置及び回収位置の上方において、搬送方向と直交する方向（Ｙ方向）に伸びている。支持フレーム６６は、把持部５８をガイドレール６８に沿ってＹ方向に移動させる。すなわち、把持部５８で匣鉢２を把持した状態では、支持フレーム６６が把持部５８を移動させることによって、匣鉢２がＹ方向に移動する。

ここで、匣鉢２が搬送経路上の載置位置と、シュート５２の上方の回収位置との間で移動する動作について説明する。匣鉢２は、搬送ローラ３２によって回収装置５０内に搬送される。匣鉢２が回収装置５０内の載置位置まで搬送されると、昇降ピン６５が上昇する（図６（ａ）の状態）。すると、昇降ピン６５の上端が匣鉢２の下面に当接し、匣鉢２が上昇する。これにより、匣鉢２は、搬送ローラ３２から離れ、搬送ローラ３２の上方に移動する。次いで、一対の把持片６０が互いに近接する方向に移動して匣鉢２の側面に当接する。これによって、一対の把持片６０によって匣鉢２が把持される（図５（ａ）及び図６の（ｂ）の状態）。匣鉢２が把持部５８に把持されると、昇降ピン６５が下降する。すると、昇降ピン６５は、把持部５８に把持された匣鉢２から離れる。次いで、支持フレーム６６によって把持部５８が側方（本実施例では、－Ｙ方向）に移動され、匣鉢２は、第１の開口部５６ａからフード５６内に収容される（図５（ｂ）及び図６（ｃ）の状態）。このとき、図５（ｂ）に示すように、匣鉢２と共に、匣鉢２を把持している把持片６０はフード５６に収容される。把持片６０が先端に固定された回転軸６２は、把持片６０側の端部がフード５６内に収容され、反対側の端部が第２の開口部５６ｂから突出してフード５６外に位置する。すなわち、匣鉢２を第１の開口部５６ａからフード５６内に挿入するときには、回転軸６２は、第２の開口部５６ｂを通過した状態で、第２の開口部５６ｂに沿って側方に移動する。これにより、匣鉢２を把持部５８で把持したまま、匣鉢２をフード５６内に収容することができる。

匣鉢２がフード５６内に収容されると、回転軸６２を軸周りに１８０度回転させる。すると、回転軸６２と共に、把持片６０及び把持片６０で把持された匣鉢２が１８０度回転し、匣鉢２が下方に開口した状態となる。フード５６の下方には、シュート５２が配置されている。フード５６内で匣鉢２を反転させることによって、匣鉢２内に収容された被処理物がシュート５２に回収される。次いで、回転軸６２を軸線回りにさらに１８０度回転させる。すると、回転軸６２と共に匣鉢２が１８０度回転し、匣鉢２が上方に開口した状態となる。このとき、回転軸６２は、匣鉢２を反転させたときと反対方向に回転する。なお、回転軸６２は、匣鉢２を反転させたときと同一方向に回転してもよい。次いで、支持フレーム６６によって把持部５８が＋Ｙ方向に移動され、匣鉢２は、第１の開口部５６ａからフード５６外に取り出される。匣鉢２が載置位置の上方まで移動すると、昇降ピン６５の上端が匣鉢２の下面に当接するまで、昇降ピン６５が上昇する。次いで、一対の把持片６０が互いに離間する方向に移動する。これにより、匣鉢２が把持部５８に把持された状態が解除され、匣鉢２は、昇降ピン６５に支持された状態となる。次いで、昇降ピン６５が下降し、匣鉢２は再び搬送ローラ３２上の載置位置に戻される。その後、匣鉢２は、搬送ローラ３２によって回収装置５０外に搬送される。

また、移動装置６４には、搬送方向に直交して配置されるカバー７０（以下、第１カバー７０ともいう）と、搬送方向に平行に配置されるカバー７２（以下、第２カバー７２ともいう）が取り付けられている。

第１カバー７０は、支持フレーム６６に取り付けられている。第１カバー７０は、矩形の板状であり、第２の開口部５６ｂより大きくされている。第１カバー７０は、匣鉢２をフード５６内に収容したときに、フード５６の外側で第２の開口部５６ｂに沿って位置するように配置されている。第１カバー７０は、匣鉢２をフード５６内に収容したときに、第２の開口部５６ｂを覆う。なお、第１カバー７０は、匣鉢２をフード５６内に収容した後、第２の開口部５６ｂに向かって押し付けられるように移動可能に構成されていてもよい。第１カバー７０を設けることによって、匣鉢２をフード５６内に収容したときに、第２の開口部５６ｂが第１カバー７０によって塞がれる。このため、フード５６内で匣鉢２を反転させたときに、第２の開口部５６ｂから被処理物がフード５６外に飛散することを抑制することができる。

第２カバー７２は、把持部５８に対してフード５６の反対側に配置されている。第２カバー７２は、矩形の板状であり、第１の開口部５６ａより大きくされている。第２カバー７２は、連結フレーム７２ａの下端に固定されている。連結フレーム７２ａの上端は、移動ベース６８ａに固定されている。すなわち、移動ベース６８ａを移動させると、第２カバー７２は、把持部５８と共に移動する。第２カバー７２は、匣鉢２をフード５６内に収容したときに、第１の開口部５６ａを覆う位置に配置されている。第２カバー７２を設けることによって、匣鉢２をフード５６内に収容したときに、第１の開口部５６ａが第２カバー７２によって塞がれる。このため、フード５６内で匣鉢２を反転させたときに、第１の開口部５６ａから被処理物がフード５６外に飛散することを抑制することができる。

図８に示すように、ブラシ７４及び吸引装置７６は、フード５６内に配置されている。具体的には、ブラシ７４及び吸引装置７６は、第１の開口部５６ａの近傍に配置されている。ブラシ７４及び吸引装置７６は、Ｘ方向に沿って延びている。ブラシ７４は、匣鉢２がフード５６から取り出されるときに、匣鉢２の底面に接触するように配置されている。ブラシ７４は、匣鉢２がフード５６から取り出されるときに、匣鉢２の外表面（特に、底面）に付着した被処理物を匣鉢２の外表面から剥離する。吸引装置７６は、ブラシ７４の近傍に配置されている。吸引装置７６は、ブラシ７４で匣鉢２から剥離した被処理物を吸引する。フード５６内で匣鉢２を反転させると、フード５６内で被処理物（すなわち、粉体）が舞い上がる。フード５６内で粉体が舞い上がると、匣鉢２の外表面に粉体が付着することがある。ブラシ７４及び吸引装置７６で匣鉢２の外表面に付着した被処理物（すなわち、粉体）を除去することによって、匣鉢２がフード５６外に取り出されたときに、匣鉢２の外表面に付着する被処理物が減少する。これにより、匣鉢２が回収位置から搬送ローラ３２上の載置位置に戻されたときに、搬送ローラ３２に被処理物が付着することを抑制することができる。

また、フード５６には、集塵ダクト７８が接続されている。具体的には、フード５６には、第１の開口部５６ａと対向する側面（－Ｙ方向側の側面）に第３の開口部５６ｃが設けられている。第３の開口部５６ｃは、集塵ダクト７８の内径以下の大きさにされている。集塵ダクト７８は、一端が第３の開口部５６ｃと連通しており、他端が吸引装置（図示省略）に接続されている。これにより、集塵ダクト７８を介してフード５６内の空気が吸引され、フード５６内の空間は微負圧状態となる。フード５６内で匣鉢２を反転させると、フード５６内で被処理物（すなわち、粉体）が舞い上がる。フード５６内の空間を微負圧状態にすることにより、被処理物がフード５６外に飛散することを抑制することができる。

本実施例の回収装置５０では、搬送経路からオフセットした位置にシュート５２を配置し、匣鉢２をシュート５２の上方に移動させている。これにより、匣鉢２を搬送ローラ３２と共に反転する必要がなくなり、匣鉢２のみを反転させることができる。このため、匣鉢２の反転速度を大きくすることが可能となり、結果として被処理物を回収するために要する時間を短くすることができる。

また、本実施例では、匣鉢２を搬送ローラ３２からオフセットした位置で反転させるため、搬送ローラ３２上に被処理物が飛散することを抑制できる。搬送ローラ３２上で被処理物が飛散すると、搬送ローラ３２や、搬送ローラ３２を駆動するための機構（例えば、スプロケットやチェーン等）に被処理物が付着する。搬送ローラ３２や搬送ローラ３２を駆動するための機構に被処理物が堆積すると、匣鉢２の外表面に堆積した被処理物が付着し、匣鉢２の外表面に付着した被処理物がシュート５２内に侵入することにより、コンタミの原因になることがある。本実施例では、搬送経路上で飛散する被処理物の量を低減できるため、コンタミのリスクを低減することができる。また、搬送ローラ３２に被処理物が付着し難くなり、匣鉢２の外表面（底面）と搬送ローラ３２との間の被処理物の転写により回収装置５０内が被処理物で汚損されることを抑制することができる。

また、搬送ローラ３２と共に匣鉢２を反転させると、これらを反転させるための機構が複雑になり、シュート５２の上方に搬送ローラ３２を含む多くの部品等が配置されることになる。シュート５２の上方に多くの部品等が配置されることにより、シュート５２に部品等が混入する可能性が生じ、シュート５２に被処理物以外の物質（部品等）が混入するリスクが生じる。本実施例では、シュート５２の上方で匣鉢２のみを反転させるため、シュート５２に被処理物以外の異物が混入し難くなる。また、匣鉢２を反転させる機構が複雑化することを回避できるため、反転機構が故障し難くなる。さらに、シュート５２（すなわち、匣鉢２を反転する位置）が搬送経路からオフセットした位置に配置されているため、シュート５２や反転機構をメンテナンスする際に、搬送ローラ３２を移動させる必要がない。このため、搬送ローラ３２と共に匣鉢２を反転させる構成と比較して、シュート５２や反転機構のメンテナンスを容易にすることができる。

また、本実施例では、載置位置と回収位置が異なるため、匣鉢２は回収位置とは異なる位置で把持された状態となる。例えば、匣鉢２にヒビ等の破損がある場合、匣鉢２を把持するために把持部５８で匣鉢２を押圧したときに匣鉢２が割れる虞がある。匣鉢２を把持することによって匣鉢２が割れたとしても、回収位置とは異なる位置で匣鉢２が割れるため、シュート５２内に匣鉢２の破片等が混入することを回避することができる。

清掃装置４４は、回収装置５０において粉体が回収された後の匣鉢２の内表面を清掃する装置である。なお、清掃装置４４は、匣鉢２の内表面を清掃するように構成されていればよく、具体的な構造については特に限定されない。例えば、清掃装置４４は、回転ブラシを用いて匣鉢２の内表面に付着している物質を剥離させながら、匣鉢２内の空気等を吸引する。吸引した空気等には、剥離された物質が含まれる。清掃装置４４で匣鉢２の内表面を清掃することにより、匣鉢２の内表面に残留した粉体を完全に除去することができる。

割れ検知装置４６は、匣鉢２の割れを検知することによって、匣鉢２が割れていないか否かを検査するための装置である。匣鉢２は、熱処理炉１０において被処理物の熱処理に繰り返し使用される。割れ検知装置４６は、匣鉢２が熱処理炉１０において被処理物の熱処理に使用された後、再使用する前に割れていないか否かを検査する。なお、割れ検知装置４６は、匣鉢２の割れを検知するように構成されていればよく、具体的な構成については特に限定されない。例えば、割れ検知装置４６は、レーザを用いて匣鉢２の割れを検出してもよい。また、割れ検知装置４６は、匣鉢２にガスを封入し、匣鉢２内の圧力を測定することによって匣鉢２の割れを検出してもよい。匣鉢２の割れが検知された場合、匣鉢２は循環搬送装置３０の搬送経路から取り出される。匣鉢２の割れが検知されなかった場合、匣鉢２は、循環搬送装置３０によって供給装置４０に搬送される。

なお、本実施例では、循環搬送装置３０は、搬送ローラ３２によって匣鉢２を搬送するローラコンベアであったが、このような構成に限定されない。匣鉢２を熱処理炉１０の搬出口から搬出された匣鉢２を、熱処理炉１０の搬入口まで搬送するように構成されていればよく、例えば、循環搬送装置は、ベルトによって匣鉢２を搬送するベルトコンベアであってもよい。また、本実施例では、載置位置と回収位置との間で匣鉢２を移動させる際に、昇降ピン６５で匣鉢２を昇降させていたが、このような構成に限定されない。載置位置において、搬送ローラ３２とその上方の位置との間で匣鉢２を昇降できればよく、例えば、エレベータを設置して匣鉢２を昇降させてもよい。

また、本実施例では、回収装置５０が備えるシュート５２は、搬送経路から上下方向及び側方（Ｙ方向）にオフセットした位置に配置されていたが、このような構成に限定されない。シュート５２は、搬送経路からオフセットした位置に配置されていればよく、例えば、シュート５２は、搬送経路の側方のみにオフセットしていてもよいし、上方のみにオフセットしていてもよい。これらの場合にも、匣鉢２を搬送ローラ３２と共に反転する必要がなく、匣鉢２のみを反転させることができる。

（実施例２）
上記の実施例では、回収装置５０のシュート５２は、搬送経路からオフセットした位置に配置されていたが、このような構成に限定されない。搬送ローラ３２が配置されていない位置で匣鉢２を反転できればよく、例えば、図９及び図１０に示すように、回収装置１５０のシュート１５２は、搬送ローラ３２が配置されていない搬送経路上の位置に配置されていてもよい。

回収装置１５０は、シュート１５２と、フード１５６と、把持部１５８と、移動装置１６４と、第１カバー１７０と、第２カバー１７２を備えている。なお、本実施例においても、回収装置１５０は、ブラシ７４と吸引装置７６（図示省略）を備えているが、上記の実施例１と略同一の構成であるため、詳細な説明は省略する。

回収装置１５０では、搬送経路上に、回収装置１５０の搬入口側（＋Ｘ方向側）に配置される複数の搬送ローラ３２ａ（以下、搬入側搬送ローラ３２ａともいう）と、回収装置１５０の搬出口側（－Ｘ方向側）に配置される複数の搬送ローラ３２ｂ（以下、搬出側搬送ローラ３２ｂともいう）が配置されている。搬入側搬送ローラ３２ａと搬出側搬送ローラ３２ｂとの間には、搬送ローラ３２、３２ａ、３２ｂが配置されていない領域が設けられている。シュート１５２は、搬入側搬送ローラ３２ａと搬出側搬送ローラ３２ｂとの間の搬送ローラ３２、３２ａ、３２ｂが配置されていない領域に配置されている。シュート１５２の上端には、フード１５６が接続されており、シュート１５２の下端には、貯留容器１５４が接続されている。

フード１５６は、シュート１５２の上面を覆うように設置されている。フード１５６には、匣鉢２を収容可能な大きさの空間が設けられている。フード１５６の搬送方向と直交する２つの側面（＋Ｘ方向側と－Ｘ方向側の２つの側面）には、開口部１５６ａ（以下、第１の開口部１５６ａともいう）が設けられている。図１１に示すように、第１の開口部１５６ａは、匣鉢２が通過可能な大きさを有しており、本実施例では、フード１５６の側面の上部と下部は開口しておらず、フード１５６の側面のうち中央部分のみが開口している。なお、第１の開口部１５６ａは、匣鉢２が通過可能な大きさであればよく、フード１５６の搬送方向と直交する側面全体と一致する大きさにされていてもよい。

図１０に示すように、フード１５６の搬送方向と平行な２つの側面（＋Ｙ方向側と－Ｙ方向側の２つの側面）には、スリット１５６ｂ（第２の開口部の一例）が設けられている。スリット１５６ｂは、フード１５６をＹ方向に沿って見たときに、フード１５６の略中央の高さ位置に設けられている。スリット１５６ｂは、フード１５６の側面全体においてＸ方向に沿って延びており、スリット１５６ｂの＋Ｙ方向側の端部も－Ｙ方向側の端部も外部と連通している。このため、フード１５６は、第１の開口部１５６ａとスリット１５６ｂによって、上フードと下フードに分割されている。スリット１５６ｂは、匣鉢２をフード１５６内に挿入するときに、把持部１５８が通過するように構成されている。

図９及び図１０に示すように、把持部１５８は、匣鉢２の搬送方向と平行な側面に当接して匣鉢２を把持する。把持部１５８は、一対の把持片１６０と、把持片１６０が固定された回転軸１６２を備えている。なお、把持部１５８は、匣鉢２の搬送方向と平行な側面を把持する点が、上記の実施例１の構成と相違しており、その他の構成は略同一である。このため、把持部１５８の詳細な説明は省略する。

移動装置１６４は、匣鉢２を、搬入側搬送ローラ３２ａ上に載置されている位置（図９（ａ）に示す位置）と、シュート１５２の上方の位置（図９（ｂ）及び図１０（ｂ）に示す位置）と、搬出側搬送ローラ３２ｂ上に載置されている位置（図９（ｃ）に示す位置）との間で移動させる。すなわち、本実施例では、移動装置１６４は、匣鉢２を搬送経路に沿って移動させる。

移動装置１６４は、匣鉢２を昇降させる昇降ピン１６５と、回転軸１６２を回転可能に支持する支持フレーム１６６と、ガイドレール１６８を備えている。昇降ピン１６５は、シュート１５２の近傍に配置される搬入側搬送ローラ３２ａ間に配置されていると共に、シュート１５２の近傍に配置される搬出側搬送ローラ３２ｂ間に配置されている。昇降ピン１６５は、上下方向に移動可能に構成されている。昇降ピン１６５が上昇すると、搬入側搬送ローラ３２ａ又は搬出側搬送ローラ３２ｂの間を通過して、昇降ピン１６５の上端は、昇降ピン１６５の上方に位置する匣鉢２の下面に当接する。本実施例では、昇降ピン１６５は４本配置されており、昇降ピン６５が昇降することで、匣鉢２を上下方向に移動させる。支持フレーム１６６は、移動ベース１６８ａに固定されている。移動ベース１６８ａがガイドレール１６８に案内されて移動することにより、支持フレーム１６６は、ガイドレール１６８に沿って移動する。ガイドレール１６８は、搬送経路上において、搬送経路に沿って（すなわち、Ｘ方向）に伸びている。支持フレーム１６６は、把持部１５８をガイドレール１６８に沿ってＸ方向に移動させる。すなわち、把持部１５８で匣鉢２を把持した状態では、支持フレーム１６６が把持部１５８を移動させることによって、匣鉢２がＸ方向に移動する。

第１カバー１７０は、スリット１５６ｂを塞ぐためのカバーである。第１カバー１７０は、支持フレーム１６６に取り付けられている。第１カバー１７０は、矩形の板状であり、スリット１５６ｂより大きくされている。第１カバー１７０は、匣鉢２をフード１５６内に収容したときに、フード１５６の外側でスリット１５６ｂに沿って位置するように配置されている。第１カバー１７０は、匣鉢２をフード１５６内に収容したときに、スリット１５６ｂを覆う。なお、第１カバー１７０は、匣鉢２をフード１５６内に収容した後、スリット１５６ｂに向かって押し付けられるように移動可能に構成されていてもよい。

第２カバー１７２は、第１の開口部１５６ａを塞ぐためのカバーである。第２カバー１７２は、フード１５６の搬送方向に直交する側面に取り付けられている。第２カバー１７２は、矩形の板状であり、第１の開口部１５６ａより大きくされている。第２カバー１７２は、開閉可能に構成されており、閉じた状態で第１の開口部１５６ａを覆うように配置されている。第２カバー１７２は、上端がフード１５６の側面に取り付けられている。第２カバー１７２は、駆動装置（図示省略）によって、第１の開口部１５６ａを覆う位置と、フード１５６の側面に対して直交する位置との間で移動可能（すなわち、開閉可能）となっている。

匣鉢２が回収装置１５０内を搬送される動作について説明する。本実施例では、移動装置１６４は、匣鉢２を搬送経路に沿って移動させる。匣鉢２は、搬入側搬送ローラ３２ａによって搬送され、シュート１５２が配置される位置の近傍まで搬送されると、昇降ピン１６５が上昇する。すると、昇降ピン１６５の上端が匣鉢２の下面に当接して匣鉢２が上昇し、匣鉢２は、搬入側搬送ローラ３２ａから持ち上げられる。次いで、匣鉢２は、把持部１５８によって把持される（図９（ａ）及び図１０（ａ）の状態）。匣鉢２が把持部１５８に把持されると、昇降ピン１６５は、下降して匣鉢２から離れる。このとき、第２カバー１７２は、は開いた状態となっている。

次いで、支持フレーム１６６によって把持部１５８が搬送経路に沿って（本実施例では、－Ｘ方向）に移動され、匣鉢２は、搬入側搬送ローラ３２ａ側（＋Ｘ方向側）の第１の開口部１５６ａからフード５６内に収容される。匣鉢２がフード１５６内に収容されると、第２カバー１７２が閉じられる（図９（ｂ）及び図１０（ｂ）の状態）。このとき、図９（ｂ）に示すように、匣鉢２と共に、匣鉢２を把持している把持片１６０はフード１５６に収容される。把持片１６０が固定された回転軸１６２は、把持片１６０側の端部がフード１５６内に収容され、反対側の端部がスリット１５６ｂから突出してフード１５６外に位置する。次いで、回転軸１６２を軸周りに１８０度回転させ、匣鉢２を反転させる。これにより、匣鉢２内に収容された被処理物がシュート１５２に回収される。匣鉢２は、第２カバー１７２を閉じた状態で反転される。このため、第１の開口部５６ａから被処理物がフード５６外に飛散することを抑制することができる。また、匣鉢２をフード１５６内に収容すると、第１カバー１７０によってスリット１５６ｂが覆われる。このため、スリット１５６ｂから被処理物がフード１５６外に飛散することを抑制することができる。

次いで、回転軸６２を軸線回りにさらに１８０度回転させ、匣鉢２を元の状態（上方に開口した状態）に戻す。次いで、第２カバー１７２が開けられる。そして、支持フレーム１６６によって把持部１５８が搬送経路に沿って（本実施例では、－Ｘ方向）に移動される。これにより、匣鉢２は、搬出側搬送ローラ３２ｂ側（－Ｘ方向側）の第１の開口部１５６ａからフード５６外に取り出される。匣鉢２が搬出側搬送ローラ３２ｂ上まで移動すると、昇降ピン１６５の上端が匣鉢２の下面に当接するまで、昇降ピン１６５が上昇する。次いで、一対の把持片６０が互いに離間する方向に移動して、匣鉢２が把持部１５８に把持された状態が解除される。次いで、昇降ピン１６５が下降し、搬出側搬送ローラ３２ｂ上に載置される（図９（ｃ）及び図１０（ｃ）の状態）。その後、匣鉢２は、搬出側搬送ローラ３２ｂによって回収装置５０外に搬送される。

本実施例においても、シュート１５２は、搬送ローラ３２、３２ａ、３２ｂが配置されていない位置に配置されている。これにより、匣鉢２を搬送ローラ３２と共に反転する必要がなくなり、匣鉢２のみを反転させることができる。

実施例で説明した熱処理システム１に関する留意点を述べる。実施例の循環搬送装置３０は、「搬送装置」の一例であり、搬送ローラ３２は、「搬送機構」の一例であり、シュート５２は及び貯留容器５４は、「回収部」の一例であり、回転軸６２は、「支持部」の一例である。

以上、本明細書に開示の技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

１：熱処理システム
２：匣鉢
１０：熱処理炉
３０：循環搬送装置
３２、３２ａ、３２ｂ：搬送ローラ
３４：駆動装置
４０：供給装置
４４：清掃装置
４６：割れ検知装置
５０、１５０：回収装置
５２、１５２：シュート
５６、１５６：フード
５６ａ、１５６ａ：第１の開口部
５６ｂ、１５６ｂ：第２の開口部
５８、１５８：把持部
６０、１６０：把持片
６２、１６２：回転軸
６４、１６４：移動装置
６６、１６６：支持フレーム
６８、１６８：ガイドレール
７０、１７０：第１カバー
７２、１７２：第２カバー
７４：ブラシ
７６：吸引装置
７８：集塵ダクト

Claims (11)

1. 搬入口と搬出口とを備え、前記搬入口から前記搬出口に匣鉢を搬送する間に前記匣鉢に収容された被処理物を熱処理する熱処理炉と、
   前記熱処理炉の前記搬出口から搬出された前記匣鉢を前記熱処理炉の前記搬入口まで搬送する搬送装置と、
   前記搬送装置の搬送経路上に設けられ、前記熱処理炉で熱処理された前記被処理物を前記匣鉢から回収する回収装置と、
   前記搬送装置の前記搬送経路上であって、前記回収装置と前記搬入口との間に設けられ、前記被処理物が収容されていない前記匣鉢に、熱処理前の前記被処理物を供給する供給装置と、を備えており、
   前記搬送装置は、前記搬送経路に沿って配置された搬送機構と、前記搬送機構を駆動する駆動装置と、を備え、前記駆動装置が前記搬送機構を駆動することで前記搬送機構上に載置された前記匣鉢を搬送するように構成されており、
   前記回収装置は、
   前記搬送機構が配置されていない位置に設けられ、前記匣鉢内の前記被処理物を回収する回収部と、
   前記搬送機構上の載置位置と前記回収部の上方の回収位置との間で前記匣鉢を移動させる移動装置と、
   前記回収位置において前記匣鉢を反転させる反転機構と、
   前記回収部を上方から覆い、前記匣鉢を収容可能に構成されるフードと、を備えており、
   前記フードは、前記匣鉢を前記フード内に収容するための開口部を備えており、
   前記回収装置は、前記開口部を開閉するカバーをさらに備えており、
   前記カバーは、前記移動装置によって前記匣鉢が前記フード内に収容されるときに前記匣鉢と共に移動し、前記匣鉢が前記フード内に収容されたときに前記開口部を塞ぐように構成されている、熱処理システム。
2. 搬入口と搬出口とを備え、前記搬入口から前記搬出口に匣鉢を搬送する間に前記匣鉢に収容された被処理物を熱処理する熱処理炉と、
   前記熱処理炉の前記搬出口から搬出された前記匣鉢を前記熱処理炉の前記搬入口まで搬送する搬送装置と、
   前記搬送装置の搬送経路上に設けられ、前記熱処理炉で熱処理された前記被処理物を前記匣鉢から回収する回収装置と、
   前記搬送装置の前記搬送経路上であって、前記回収装置と前記搬入口との間に設けられ、前記被処理物が収容されていない前記匣鉢に、熱処理前の前記被処理物を供給する供給装置と、を備えており、
   前記搬送装置は、前記搬送経路に沿って配置された搬送機構と、前記搬送機構を駆動する駆動装置と、を備え、前記駆動装置が前記搬送機構を駆動することで前記搬送機構上に載置された前記匣鉢を搬送するように構成されており、
   前記回収装置は、
   前記搬送機構が配置されていない位置に設けられ、前記匣鉢内の前記被処理物を回収する回収部と、
   前記搬送機構上の載置位置と前記回収部の上方の回収位置との間で前記匣鉢を移動させる移動装置と、
   前記回収位置において前記匣鉢を反転させる反転機構と、を備えており、
   前記搬送機構は、前記回収装置内の搬入側に配置される第１搬送機構と、前記回収装置内の搬出側に配置される第２搬送機構を含んでおり、
   前記回収部は、前記第１搬送機構と前記第２搬送機構との間に配置されている、熱処理システム。
3. 前記反転機構は、前記匣鉢を把持する把持部を備えており、前記把持部が回転軸周りに回転することで前記把持部に把持された前記匣鉢が反転するように構成されており、
   前記移動装置は、前記把持部で前記匣鉢を把持した前記反転機構を前記搬送機構上の載置位置と前記回収部の上方の回収位置との間で移動させるように構成されている、請求項１又は２に記載の熱処理システム。
4. 前記回収装置は、前記回収部を上方から覆うフードをさらに備えており、
   前記フードは、前記匣鉢及び前記把持部を収容可能に構成されており、
   前記匣鉢を把持した前記把持部が、前記フードに収容された状態で前記回転軸周りに回転可能となっている、請求項３に記載の熱処理システム。
5. 前記フードは、前記匣鉢を前記フード内に収容するための開口部を備えており、
   前記把持部は、前記匣鉢の対向する一対の側面に当接して前記匣鉢を把持する一対の把持片を備えており、
   前記反転機構は、前記一対の把持片を支持する一対の支持部をさらに備えており、
   前記一対の支持部のそれぞれは、前記匣鉢及び前記把持部が前記フード内に収容されたときに、その一端が前記フード内に位置する一方でその他端が前記フード外に位置するように構成されており、
   前記開口部は、
   第１の側面に設けられる第１の開口部と、
   前記第１の側面と直交する第２の側面に設けられる第２の開口部と、を備えており、
   前記第１の開口部は、前記第１の側面から前記匣鉢を前記フード内に挿入可能に構成されており、
   前記第２の開口部は、前記匣鉢を前記フード内に収容したときに、前記支持部の他端が前記第２の開口部から前記フード外に突出するように構成されていると共に、前記匣鉢の挿入方向に沿って延びている、請求項４に記載の熱処理システム。
6. 前記回収装置は、前記開口部を開閉するカバーをさらに備えており、
   前記カバーは、前記把持部に把持された前記匣鉢を前記フード内に収容したときに、前記第２の開口部を覆う第１のカバーを備えている、請求項５に記載の熱処理システム。
7. 前記カバーは、前記第１の開口部を開閉する第２のカバーをさらに備えており、
   前記第２のカバーが前記第１の開口部を開いた状態では前記匣鉢が前記第１の開口部を通過可能とされ、前記第２のカバーが前記第１の開口部を閉じた状態では前記匣鉢が前記第１の開口部を通過不能とする、請求項６に記載の熱処理システム。
8. 前記搬送経路上に、前記回収装置の搬入口と搬出口が配置されており、
   前記搬送機構は、前記回収装置の前記搬入口から前記回収装置の前記搬出口まで前記搬送経路に沿って配置されており、
   前記回収部は、前記搬送経路からオフセットした位置に配置されている、請求項１に記載の熱処理システム。
9. 前記回収部は、前記搬送経路に対して左右方向及び／又は前記搬送経路の上方に配置される、請求項８に記載の熱処理システム。
10. 前記回収装置は、前記回収部の上方に位置する前記匣鉢の外表面に付着した前記被処理物を除去する除去装置をさらに備えている、請求項１又は２に記載の熱処理システム。
11. 前記回収装置は、前記フード内の気体を吸引する吸引装置をさらに備えている、請求項４に記載の熱処理システム。
    

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