JP7543180B2 - エキシマランプ - Google Patents
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- Discharge Lamp (AREA)
Description
20 外側管
24 発光部
30 内側管
40 内側電極
50 外側電極
Claims (10)
- 放電ガスが封入され、発光部が設けられた外側管と、
少なくとも前記発光部の端部の外表面に設けられる外側電極と、
前記外側管内に同軸配置された内側電極とを備え、
被照射物が周囲に流れるジャケット管の内部に設置可能であり、
前記外側電極が、膜状に形成され、少なくとも前記発光部において、その厚さが0.1μm~0.5μmの範囲内であり、
前記外側電極が、前記発光部と前記発光部の先端に設けた小径部との間に設けられた縮径する曲面形状の肩部において、少なくとも一部に設けられていることを特徴とするエキシマランプ。 - 波長200nm以下にピーク波長を有する紫外線を放射し、
前記ジャケット管内に設置したときの前記外側電極の外表面から前記ジャケット管の内表面までの離間距離は、前記発光部の外表面から放射される紫外線の紫外線強度比が50%に減衰する透過距離以下であることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。 - 前記離間距離は、3mm以下であって、
前記外側電極は、ランプ軸方向に沿って均一な厚さを有する膜状に形成されることを特徴とする請求項2に記載のエキシマランプ。 - 前記外側電極の一部が、前記発光部において、ランプ軸方向又はランプ周方向に所定間隔で離間する複数の帯状部分として形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 放電ガスが封入され、発光部が設けられた外側管と、
少なくとも前記発光部の端部の外表面に設けられる外側電極と、
前記外側管内に同軸配置された内側電極とを備え、
被照射物が周囲に流れるジャケット管の内部に設置可能であり、
前記外側電極が、膜状に形成され、少なくとも前記発光部において、その厚さが0.1μm~0.5μmの範囲内であり、
前記外側電極の一部が、前記発光部において、ランプ軸方向に延び、ランプ周方向に所定間隔で離間する3つの帯状部分として形成されていることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記外側電極が、前記肩部の周方向全体を覆うように、設けられていることを特徴とする請求項1のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記外側電極が、前記発光部の少なくとも一方の端部から前記肩部を介して前記小径部にまで渡って、設けられていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記外側電極は、前記被照射物と同電位となるように、アース側へ電気的に接続され、前記発光部内で生じた放電から放射された紫外線を含む光に対する光反射性を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記外側電極は、乾式メッキ法により成膜されたアルミニウム膜により形成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 放電ガスが封入され、発光部が設けられた外側管と、
少なくとも前記発光部の端部の外表面に設けられる外側電極と、
前記外側管内に同軸配置された内側電極とを備え、
被照射物が周囲に流れるジャケット管の内部に設置可能であり、
前記外側電極が、膜状に形成され、少なくとも前記発光部において、その厚さが0.1μm~0.5μmの範囲内であり、
前記内側電極は、少なくとも一部が誘電体に被覆され、
前記小径部がチップ管であり、
前記誘電体の先端部が、前記チップ管内に入り込み、
前記内側電極のランプ軸に沿った先端位置が、前記チップ管よりも後端側にあることを特徴とするエキシマランプ。
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