JP7526616B2 - 測定装置、及びその異常判定方法 - Google Patents
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Description
被測定物を保持する保持部と、
該保持部で保持された該被測定物の測定を行う測定機構と、
少なくとも該測定機構を制御するコントローラと、を有して構成される測定装置であって、
該コントローラは、
該保持部で保持された該被測定物の同一箇所に対して複数回の測定を行うよう該測定機構を制御する制御部と、
複数回の測定で得られた複数の測定値を比較して該測定値のばらつきを示すパラメータを算出するとともに、該パラメータと基準値の差分を算出する算出部と、
該基準値、及び、該差分の許容値を記憶する記憶部と、
該差分が該許容値を超えた場合に該測定機構が異常であると判定する異常判定部と、
を備えた測定装置とするものである。
該コントローラは、異常判定部により異常判定がされた場合に、警報を発令する警報発令部を備える、
測定装置とするものである。
該被測定物は、板状物を個片化して形成された被測定物であり、
測定される測定値は、該被測定物の表面粗さ、及び/又は、該被測定物側面のチッピングのサイズである、
測定装置とするものである。
被測定物を保持する被測定物保持ステップと、
該被測定物の被測定箇所に測定機構を対向させる対向配置ステップと、
該被測定物の該被測定箇所の同一箇所を測定機構で複数回測定する測定ステップと、
複数回の測定で得られた複数の測定値を比較して該測定値のばらつきを示すパラメータを算出し、該パラメータと予め規定された基準値との差分を算出する差分算出ステップと、
該差分と該許容値とを比較して異常の判定を行う異常判定ステップと、
を有する測定装置の異常判定方法とするものである。
該異常判定ステップにより異常判定がされた場合に、警報を発令する警報発令ステップを備える、
測定装置の異常判定方法とするものである。
該被測定物は、板状物を個片化して形成された被測定物であり、
測定される測定値は、該被測定物の表面粗さ、及び/又は、該被測定物側面のチッピングのサイズである、
測定装置の異常判定方法とするものである。
図1、及び、図2は、ピックアップ装置2の構成について示す図である。
ピックアップ装置2は、ピックアップ装置2を構成する各構要素を支持する基台4を備える。基台4の一側角部にはカセット載置台5が設けられており、カセット載置台5にはカセット5aが載置される。ピックアップ装置2は、各種動作部がコントローラ1(図1)により制御される。
まず、図1及び図2に示すチップ観察機構100による観察について説明する。
図1及び図2に示すチップ観察機構100は、チップ23の裏面を観察する裏面測定機構102と、チップ23の側面を観察する側面測定機構112とを備える。裏面測定機構102と側面測定機構112とはそれぞれ、チップ23を撮像するための撮像ユニット(カメラ)を備える。
図9(A)に示すように、裏面測定機構102の裏面撮像ユニット108がチップ23の裏面23bに対向して配置され、コントローラ300の制御により裏面23bが撮像される。なお、このコントローラ300は、単体で構成されるものとする他、図1に示すピックアップ装置2の全体を制御するコントローラ1に組み込まれることができる。
図9(B)に示すように、側面測定機構112の側面撮像ユニット116がチップ23の側面23cに対向して配置され、コントローラ300の制御により側面23cが撮像される。なお、このコントローラ300は、単体で構成されるものとする他、図1に示すピックアップ装置2の全体を制御するコントローラ1に組み込まれることができる。
即ち、図9(A)、及び、図13に示すように、
チップ23(被測定物)を保持するコレット76(保持部)と、
コレット76で保持されたチップ23の測定を行う裏面測定機構102(測定機構)と、
少なくとも裏面測定機構102を制御するコントローラ300と、を有して構成される測定装置であって、
コントローラ300は、
コレット76で保持された被測定物の同一箇所に対して複数回の測定を行うよう裏面測定機構102を制御する制御部301と、
複数回の測定で得られた複数の測定値(表面粗さHa1,Ha2)を比較して測定値のばらつきを示す第1パラメータPa(パラメータ)を算出するとともに、第1パラメータPaと基準値Kaの差分Saを算出する算出部303と、
基準値Ka、及び、差分Saの許容値A1を記憶する記憶部302と、を有し、
差分Saが許容値A1を超えた場合に測定機構が異常であると判定する異常判定部304と、を備えた測定装置とするものである。
チップ23(被測定物)を保持するチップ保持台114(保持部)と、
チップ保持台114で保持されたチップ23の測定を行う側面測定機構112(測定機構)と、
少なくとも側面測定機構112を制御するコントローラ300と、を有して構成される測定装置であって、
コントローラ300は、
チップ保持台114で保持された被測定物の同一箇所に対して複数回の測定を行うよう側面測定機構112を制御する制御部301と、
複数回の測定で得られた複数の測定値(Hb1,Hb2)を比較して第2パラメータPb(パラメータ)を算出するとともに、第2パラメータPbと基準値Kbの差分Sbを算出する算出部303と、
基準値Kb、及び、差分Sbの許容値A2を記憶する記憶部302と、を有し、
差分Sbが許容値A2を超えた場合に測定機構が異常であると判定する異常判定部304と、を備えた測定装置とするものである。
チップ(被測定物)を保持するチップ保持ステップS1と、
チップの被測定箇所に測定機構(裏面測定機構102(図9(A))、側面測定機構112(図9(B)))を対向させる対向配置ステップS2と、
チップの被測定箇所の同一箇所を測定機構で複数回測定する測定ステップS3と、
複数回の測定で得られた複数の測定値を比較して該測定値のばらつきを示すパラメータを算出し、パラメータと予め規定された基準値との差分を算出する差分算出ステップS4と、
差分と予め規定された許容値とを比較して異常の判定を行う異常判定ステップS5と、
を有する測定装置の異常判定方法とするものである。
70 ピックアップ機構
76 コレット
76a 吸引面
100 チップ観察機構
102 裏面測定機構
108 裏面撮像ユニット
112 側面測定機構
114 チップ保持台
116 側面撮像ユニット
200 強度測定機構
208 支持部
208b 支持部
300 コントローラ
301 制御部
302 記憶部
303 算出部
304 異常判定部
305 警報発令部
501 チップ収容具
A1 許容値
A2 許容値
Ga1 画像
Gb1 画像
Ha1 表面粗さ
Hb1 チッピングサイズ
Ka 基準値
Kb 基準値
Pa 第1パラメータ
Pb 第2パラメータ
Sa 差分
Sb 差分
Claims (4)
- 被測定物を保持する保持部と、
該保持部で保持された該被測定物の測定を行う測定機構と、
少なくとも該測定機構を制御するコントローラと、を有して構成される測定装置であって、
該コントローラは、
該保持部で保持された該被測定物の同一箇所に対して複数回の測定を行うよう該測定機構を制御する制御部と、
複数回の測定で得られた複数の測定値を比較して該測定値のばらつきを示すパラメータを算出するとともに、該パラメータと基準値の差分を算出する算出部と、
該基準値、及び、該差分の許容値を記憶する記憶部と、
該差分が該許容値を超えた場合に該測定機構が異常であると判定する異常判定部と、
を備えた測定装置であって、
該被測定物は、半導体チップであり、
以下の(A)(B)の少なくとも一つを実施する、測定装置。
(A)該測定機構は、該半導体チップの表面を撮像するための撮像ユニットを有して構成され、測定される該測定値は、該半導体チップの表面粗さであり、該表面粗さは表面の加工痕の凹凸に基づいて測定される。
(B)
該測定機構は、該半導体チップの側面を撮像するための撮像ユニットを有して構成され、測定される該測定値は、該半導体チップの側面のチッピングのサイズであり、該チッピングのサイズは画像上に現れる特徴領域の面積に基づいて測定される。 - 該コントローラは、異常判定部により異常判定がされた場合に、警報を発令する警報発令部を備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 被測定物を保持する被測定物保持ステップと、
該被測定物の被測定箇所に測定機構を対向させる対向配置ステップと、
該被測定物の該被測定箇所の同一箇所を測定機構で複数回測定する測定ステップと、
複数回の測定で得られた複数の測定値を比較して該測定値のばらつきを示すパラメータを算出し、該パラメータと予め規定された基準値との差分を算出する差分算出ステップと、
該差分と許容値とを比較して異常の判定を行う異常判定ステップと、
を有する測定装置の異常判定方法であって、
該被測定物は、半導体チップであり、
以下の(A)(B)の少なくとも一つを実施する、測定装置の異常判定方法。
(A)該測定機構は、該半導体チップの表面を撮像するための撮像ユニットを有して構成され、測定される該測定値は、該半導体チップの表面粗さであり、該表面粗さは表面の加工痕の凹凸に基づいて測定される。
(B)
該測定機構は、該半導体チップの側面を撮像するための撮像ユニットを有して構成され、測定される該測定値は、該半導体チップの側面のチッピングのサイズであり、該チッピングのサイズは画像上に現れる特徴領域の面積に基づいて測定される。 - 該異常判定ステップにより異常判定がされた場合に、警報を発令する警報発令ステップを備える、
ことを特徴とする請求項3に記載の測定装置の異常判定方法。
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