JP7520643B2 - 放射線撮像パネル、放射線撮像装置、放射線撮像システム、および、シンチレータプレート - Google Patents
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Description
次いで、放射線撮像パネル100の製造方法およびMTFを向上させる効果について実施例を用いて説明する。まず、基板101として、550mm×445mm、厚さ500μmの無アルカリガラスを準備した。基板101には、ガラスに限られることはなく、例えば、樹脂基板や、シリコンなどの半導体基板が用いられてもよい。次に、ガラスの基板101に、シリコン(例えば、アモルファスシリコン。)などの半導体層や配線層を構成する金属(例えば、アルミニウム。)などを成膜する成膜工程、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程などを繰り返し行うことによって、画素領域105を形成した。画素領域105には、シンチレータ102の発光に応じた電荷を生成する光変換素子と、生成された電荷に応じた信号を出力するスイッチング素子と、をそれぞれ含む複数の画素が配される。また、画素領域105には、画素を駆動し、得られた信号を外部回路に送り出すための接続端子部(不図示)などが形成される。
Claims (23)
- 光電変換素子を含む複数の画素が配された基板と、前記基板の上に配された複数の柱状結晶を含むシンチレータと、保護層と、を含む放射線撮像パネルであって、
前記保護層は、前記シンチレータを覆うように配された第1樹脂層と、前記第1樹脂層の上に配された第2樹脂層と、を含み、
前記第1樹脂層および前記第2樹脂層は、それぞれ金属化合物の粒子を含み、
前記第1樹脂層に含まれる前記粒子の平均の粒子径d1が、前記シンチレータが発する光のピーク波長の光をレイリー散乱する粒子径であり、
前記第2樹脂層に含まれる前記粒子の平均の粒子径d2が、前記粒子径d 1 とは異なる寸法の粒子径であり、前記シンチレータが発する光のピーク波長の光をミー散乱する粒子径であることを特徴とする放射線撮像パネル。 - 前記シンチレータが発する光の範囲を短波長の側から長波長の側にλ1からλ2としたとき、
前記粒子径d1が、λ1/2<d1<λ2/2を満たすことを特徴とする請求項1に記載の放射線撮像パネル。 - 前記粒子径d1が、200nm以上、かつ、400nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の放射線撮像パネル。
- 前記シンチレータが発する光のピーク波長をλとしたとき、
前記粒子径d2が、d2≧λを満たすことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。 - 前記粒子径d2が、550nm以上、かつ、1000nm以下であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記第1樹脂層における前記金属化合物の粒子の濃度が、0.15vol%以上、かつ、7.5vol%未満であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記第2樹脂層における前記金属化合物の粒子の濃度が、0.15vol%以上であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記第1樹脂層のうち前記複数の柱状結晶のそれぞれの頂部から前記第1樹脂層の上面までの厚さが、10μm以上、かつ、30μm未満であることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記第1樹脂層の屈折率をn1、前記第2樹脂層の屈折率をn2としたとき、n1≧n2を満たすことを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記金属化合物が、金属酸化物を含むことを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記金属化合物が、ルチル型二酸化チタンを含むことを特徴とする請求項1乃至10の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記第1樹脂層および前記第2樹脂層のうち少なくとも一方が、不揮発性の熱可塑性樹脂を含むことを特徴とする請求項1乃至11の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記不揮発性の熱可塑性樹脂が、ホットメルト樹脂を含むことを特徴とする請求項12に記載の放射線撮像パネル。
- 前記第1樹脂層および前記第2樹脂層のうち少なくとも一方が、分子間力による加圧性接着作用を有する樹脂を含むことを特徴とする請求項1乃至13の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記分子間力による加圧性接着作用を有する樹脂が、ウレタン樹脂、および、アクリル樹脂のうち少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項14に記載の放射線撮像パネル。
- 前記第1樹脂層および前記第2樹脂層が、同じ化学組成を有する樹脂を含むことを特徴とする請求項1乃至15の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記第1樹脂層に添加された前記金属化合物の前記粒子、および、前記第2樹脂層に添加された前記金属化合物の前記粒子が、同じ化学組成を有する化合物を含むことを特徴とする請求項1乃至16の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記シンチレータが、ヨウ化セシウムを含むことを特徴とする請求項1乃至17の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 前記保護層が、前記第2樹脂層の上に配された基台と、前記第2樹脂層と前記基台との間に配された金属層と、をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至18の何れか1項に記載の放射線撮像パネル。
- 請求項1乃至19の何れか1項に記載の放射線撮像パネルと、
前記放射線撮像パネルを制御するための制御部と、
を含むことを特徴とする放射線撮像装置。 - 請求項20に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置から出力される信号を処理する信号処理装置と、
を含むことを特徴とする放射線撮像システム。 - 基板と、前記基板の上に配された複数の柱状結晶を含むシンチレータと、保護層と、を含むシンチレータプレートであって、
前記保護層は、前記シンチレータを覆うように配された第1樹脂層と、前記第1樹脂層の上に配された第2樹脂層と、を含み、
前記第1樹脂層および前記第2樹脂層には、それぞれ金属化合物の粒子が添加され、
前記第1樹脂層に添加された前記粒子の平均の粒子径d1が、前記シンチレータが発する光をレイリー散乱する粒子径であり、
前記第2樹脂層に添加された前記粒子の平均の粒子径d2が、前記粒子径d 1 とは異なる寸法の粒子径であり、前記シンチレータが発する光をミー散乱する粒子径であることを特徴とするシンチレータプレート。 - 前記基板が、前記シンチレータが発する光を透過する透明基板であることを特徴とする請求項22に記載のシンチレータプレート。
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