JP7510791B2 - エアリークテスト装置 - Google Patents
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Description
設定圧を供給する圧力源と、上記圧力源と上記ワークカプセルの間に配置された開閉弁およびオリフィスと、上記ワークカプセル内の圧力を検出する圧力検出手段と、制御・演算手段と、を備え、上記制御・演算手段は、上記ワークカプセルにワークを収容して密封した状態で上記開閉弁を開いて上記オリフィスにエアを流通させることにより、上記ワークカプセル内の圧力を変化させ、上記圧力検出手段で検出した上記ワークカプセル内の圧力に基づき、上記ワークの気密性の良否を判定する。
上記構成によれば、開閉弁の閉じ動作の検出圧力のピーク値に基づき、正確に検査を行なうことができる。
上記構成によれば、より一層正確に検査を行なうことができる。
上記構成によれば、より一層短時間に検査を行なうことができる。
ワークカプセル10には、ワークカプセル10内の圧力、例えば絶対圧を検出する圧力計25(圧力検出手段)が接続されている。
ワークカプセル10には、ワークカプセル10と大気との間を連通、遮断する開閉弁26が接続されている。
開閉弁22が閉じ動作をすると、若干のタイムラグ(数10msec)を経て圧力曲線A,B,Cはピークを迎える。なお、タイムラグは開閉弁22の動作遅れ時間を含む。
制御・演算手段30は、圧力計25からの検出圧力の情報を極めて短時間毎(例えば1msec毎)に獲得する。制御・演算手段30では、この検出圧力の変化から、ピーク値を演算することができる。
なお、小漏れ品と大漏れ品の区別が必要な場合には、上記閾値を第1の閾値とし、さらにこの第1の閾値より低い第2の閾値を設定し、検出圧力のピーク値が第2の閾値より高い場合には小漏れ品と判定し、低い場合には大漏れ品と判定する。
なお、小漏れ品と大漏れ品の区別が必要な場合には、上記ピーク値に基づく判定の場合と同様に2つの閾値を用いる。
校正回路50は、ワークカプセル10から順に開閉弁51とオリフィス52と可変容器53を有している。オリフィス52は、検査対象となるワークWで許容限界例えば50μm径のピンホールに相当する流通抵抗を有している。可変容器53は、マイクロねじにより容積を高精度に調節でき、検査対象のワークWの密閉空間と等しい容積例えば2mlを有している。開閉弁51は手動でもよい。
ワークカプセル10に良品のワークWを収容し、開閉弁51を開いた状態で、上述した検査工程を実行し、良否判定時点での検出圧力を第1閾値とすることができる。
ワークカプセル10に良品のワークWを収容し、開閉弁61を開いた状態で、上述したリークテストを実行し、良否判定時点での検出圧力を第2閾値とする。
検査工程でのエアリークテスト装置の各構成要素の動作は、設定圧が正圧の場合と同様であるので、詳細な説明を省略する。
小漏れ品の場合、ワークWの密封空間のエアがワークWの包装のピンホールからワークカプセル10へと少量ずつ流出するので、ワークカプセル10内の圧力は、曲線B’に示すように、ワークWの密封空間からのエアの流出分だけ良品の場合(曲線A’参照)より高くなる。
大漏れ品の場合、ワークWのピンホールからワークWの密封空間のエアがワークカプセル10内へと一気に流出するため、ワークカプセル10内の圧力は、曲線C’に示すように、ワークWの密封空間から一気にエアが流出する分だけ良品の場合(曲線A’参照)および小漏れ品の場合(曲線B’参照)より高くなる。
21 圧力源
22 開閉弁
23 オリフィス
W ワーク
Claims (6)
- 開閉可能なワークカプセルと、
設定圧を供給する圧力源と、
上記圧力源と上記ワークカプセルの間に配置された開閉弁およびオリフィスと、
上記ワークカプセル内の圧力を検出する圧力検出手段と、
制御・演算手段と、
を備え、
上記制御・演算手段は、上記ワークカプセルにワークを収容して密封し、上記開閉弁を開いて上記圧力源と上記ワークカプセルを連通させた状態を維持したまま、上記オリフィスにエアを流通させることにより、上記ワークカプセル内の圧力を変化させ、この圧力変化は、設定圧が正圧の場合には設定圧より低い圧力範囲での圧力上昇であり、設定圧が負圧の場合には、設定圧より高い圧力範囲での圧力低下であり、
さらに上記制御・演算手段は、上記ワークカプセル内の圧力が変化する過程で、上記圧力検出手段で検出した上記ワークカプセル内の圧力に基づき、上記ワークの気密性の良否を判定することを特徴とするエアリークテスト装置。 - 上記制御・演算手段は、上記圧力源と上記ワークカプセルを連通させた状態での上記ワークカプセル内の圧力の変化の途中において、上記開閉弁の開き動作から設定時間経過時点で上記開閉弁を閉じ動作させ、
さらに、上記設定時間経過時点より前に、開き動作してから所定時間経過時点での上記検出圧力に基づき、上記ワークの気密性の良否を判定することを特徴とする請求項1に記載のエアリークテスト装置。 - 上記制御・演算手段は、上記圧力源と上記ワークカプセルを連通させた状態での上記ワークカプセル内の圧力の変化の途中において、上記開閉弁の開き動作から設定時間経過時点で上記開閉弁を閉じ動作させ、
さらに、上記開閉弁の閉じ動作後の上記圧力検出手段の検出圧力に基づき、上記ワークの気密性の良否を判定することを特徴とする請求項1に記載のエアリークテスト装置。 - 開閉可能なワークカプセルと、
設定圧を供給する圧力源と、
上記圧力源と上記ワークカプセルの間に配置された開閉弁およびオリフィスと、
上記ワークカプセル内の圧力を検出する圧力検出手段と、
制御・演算手段と、
を備え、
上記制御・演算手段は、上記ワークカプセルにワークを収容して密封し、上記開閉弁を開いて上記圧力源と上記ワークカプセルを連通させた状態を維持したまま、上記オリフィスにエアを流通させることにより、上記ワークカプセル内の圧力を変化させ、この圧力変化は、設定圧が正圧の場合には設定圧より低い圧力範囲での圧力上昇であり、設定圧が負圧の場合には、設定圧より高い圧力範囲での圧力低下であり、
さらに上記制御・演算手段は、上記圧力源と上記ワークカプセルを連通させた状態での上記ワークカプセル内の圧力の変化の途中において、上記開閉弁の開き動作から設定時間経過時点で上記開閉弁を閉じ動作させ、
上記開閉弁の閉じ動作に伴って生じる上記ワークカプセル内の圧力のピーク値を上記検出手段の検出圧力に基づき決定し、このピーク値に基づき、上記ワークの気密性の良否を判定することを特徴とするエアリークテスト装置。 - 上記制御・演算手段は、上記開閉弁の閉じ動作後の上記圧力検出手段の検出圧力に基づき、上記ワークの気密性の良否を判定することを特徴とする請求項4に記載のエアリークテスト装置。
- 上記制御・演算手段は、上記開閉弁の閉じ動作後の所定時間経過時点での上記検出圧力に基づき、上記ワークの気密性の良否を判定することを特徴とする請求項3または5に記載のエアリークテスト装置。
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