JP7509317B2 - 直交加速飛行時間型質量分析装置 - Google Patents

Description

本発明は、直交加速飛行時間型質量分析装置に関する。

飛行時間型質量分析装置の一つの方式として、直交加速飛行時間型質量分析装置（Orthogonal Acceleration Time-of-Flight Mass Spectrometer）が知られている。特許文献１、２には、直交加速飛行時間型質量分析装置を２段目の質量分析器として用いた、四重極－飛行時間（Ｑ－ＴＯＦ）型質量分析装置が開示されている。この種の質量分析装置では、比較的高い真空度の第１分析室内に１段目の質量分析器である四重極マスフィルターとコリジョンセルとが配置され、第１分析室よりもさらに真空度が高い第２分析室内に、直交加速部、フライトチューブ及び検出器を含む直交加速飛行時間型質量分析部が配置されている。第１分析室から第２分析室へとイオンを効率的に輸送するために、その両分析室に跨るようにトランスファー電極が配置されている。

特許文献１に記載の装置では、トランスファー電極（該文献１では後段側イオンレンズ）は、絶縁性のスペーサーを介して４枚の電極板を中心軸方向に連結した構造を有し、コリジョンセルに最も近い位置にある１枚の電極板（以下の説明では、コリジョンセル側を前方、直交加速部側を後方とする）は第１分析室内に、その後方に位置する３枚の電極板は第２分析室内に配置される。各電極板にはそれぞれ所定の電圧が印加され、それら電極板で囲まれる空間には所定の電場が形成される。イオンはこの電場を通過して直交加速部へと案内される。直交加速部には、トランスファー電極を経て入射して来るイオンをその入射方向に略直交する方向に加速するパルス状の電場が形成される。直交加速部で加速されたイオンはフライトチューブ内の飛行空間へと導かれ、該飛行空間内を飛行したあと検出器に到達して検出される。

この種の質量分析装置において質量精度、質量分解能等の分析性能を向上させるには、直交加速部に入射するイオン流の直交加速方向の位置広がり（ばらつき）と速度広がりをできるだけ小さくすることが重要である。即ち、直交加速部に入射するイオン流をできるだけ細く且つ直交加速部の加速電極（押出し電極及び引込み電極）に対して平行に保つことが重要である。トランスファー電極は、直交加速部に入射するイオン流が細く平行になるように整形する機能を有する。

国際公開第２０１９／２２０５５４号 国際公開第２０１９／２２９８６４号

"マシナブルセラミックス特性表"、[online]、株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ、[2021年3月19日検索]、インターネット＜URL:https://ft-mt.co.jp/assets/pdf/jp/machinable_ceramics/machinable_ceramics_performance.pdf＞

特許文献１に記載の質量分析装置では、トランスファー電極の最も後方（直交加速部に最も近い位置）にある電極板は絶縁部材を介してベースプレートに固定され、直交加速部も同じベースプレートに固定されている。また、トランスファー電極の前方から２番目の電極板は、シール部材を介して、第１分析室と第２分析室とを隔てる隔壁部材に固定されている。

この種の質量分析装置では、フライトチューブが熱膨張することによる飛行距離の変化を防止するために、第２分析室内が一般的な部屋の室温よりも高い適宜の温度（一例としては４２℃）に加熱され温調されるようになっている。このように第２分析室内の温度が通常の室温から上昇すると、トランスファー電極の後方側電極板を固定している絶縁部材が熱膨張し、該電極板がその中心軸とほぼ直交する方向に変位するおそれがある。トランスファー電極の前方から２番目の電極板はＯリング等のシール部材を介して隔壁部材に固定されているが、そのシール部材の圧縮の程度によって該シール部材と電極板との間の摩擦力はかなりばらつく。この摩擦力が大きいと、後方側電極板が変位したとしても前方側電極板が追従しにくい。そうなると、トランスファー電極の中心軸が、直交加速部において互いに平行である押出し電極と引込み電極との間の中心軸に対して傾いてしまい、分析性能の低下に繋がるおそれがある。

また、分析時ではなく、装置の輸送時に同様の不具合が発生する場合もある。即ち、この種の質量分析装置を工場から海外の納品先に輸送する際には船便又は航空便が用いられるが、それらに搭載されるコンテナの内部の温度は５℃～５０℃程度の広い範囲で変化し得る。輸送行程で生じるこうした温度変化によって各部材が膨張又は収縮して部材間の固定位置が不可逆に変化した場合にも、上記と同様に、トランスファー電極の中心軸の傾きが生じ、分析性能の低下をもたらす可能性がある。

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、分析時の温調や温度変化に起因する、直交加速部に入射するイオン流の光軸の傾きを抑制し、高い分析性能を確保することができる直交加速飛行時間型質量分析装置を提供することである。

上記課題を解決するために成された本発明に係る直交加速飛行時間型質量分析装置の一態様は、
内部空間が第１真空室と第２真空室とに区画された真空チャンバーと、
前記第１真空室から前記第２真空室へとイオンを輸送するべく該両真空室に跨るように配置され、絶縁性のスペーサーを介して連結された、それぞれイオン通過開口を有する複数の電極板から成るトランスファー電極と、
前記第２真空室内に配置され、前記トランスファー電極により輸送されて来たイオンをその入射方向に直交する方向に加速する直交加速部と、
前記複数の電極板のうちの前記第２真空室内に位置する後方側電極板を、そのイオン通過開口の中心軸と直交する所定の方向に離れた位置において前記真空チャンバーに対し固定するための後方側固定部材と、
前記複数の電極板のうちの前記第１真空室内に位置する前方側電極板を該第１真空室内で位置決めするための部材であって、前記真空チャンバーの内壁面に内側に延出するように設けられた延出部と、前記前方側電極板に固定された前記スペーサーを保持し、前記延出部に対し前記所定の方向と逆の方向に所定の範囲でスライド移動可能に取り付けられている環状の隔壁部材と、を含む前方側固定部材と、
を備える。

本発明に係る直交加速飛行時間型質量分析装置では、例えば分析時に真空チャンバーの内部が室温よりも高い所定温度に加熱されると、後方側固定部材が熱膨張し、そのために後方側電極板が前記所定の方向と逆の方向に移動する場合がある。スペーサーを介して前方側電極板を保持している隔壁部材は、延出部に対して前記逆の方向に所定の範囲でスライド移動可能であるため、上述のような後方側電極板の移動に追従して前方側電極板も同方向に移動する。そのため、トランスファー電極の中心軸は上記熱膨張によって平行に移動するだけであって、直交加速部への理想的なイオン入射の軸に対する傾きは軽減される。

このように、本発明に係る直交加速飛行時間型質量分析装置によれば、分析時の温調や温度変化に起因する、直交加速部に入射するイオン流のイオン光軸の傾きを軽減することができる。それにより、直交加速部に入射するイオン流が該直交加速部に含まれる電極と平行に保たれるので、高い分析性能を達成することができる。

本発明の一実施形態であるＱ－ＴＯＦ型質量分析装置の全体構成図。 本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置におけるトランスファー電極の近傍の拡大図。 図２中のＡ部付近の拡大図。 本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置における後方側固定部材の構成の説明図。 本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置における前方側固定部材の構成の説明図。 本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置における後段トランスファー電極を構成する電極板の平面図。 本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置における後段トランスファー電極のイオン光軸と直交加速部のイオン光軸との関係の一例（理想的な状態）を示す図。 本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置における後段トランスファー電極のイオン光軸と直交加速部のイオン光軸との関係の一例（軸の傾きがある状態）を示す図。 本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置における後段トランスファー電極のイオン光軸と直交加速部のイオン光軸との関係の一例（平行な軸ずれがある状態）を示す図。

以下、本発明の一実施形態であるＱ－ＴＯＦ型質量分析装置について、添付図面を参照して詳述する。
図１は、本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置の全体構成図である。まず、このＱ－ＴＯＦ型質量分析装置の全体構成と典型的な分析動作について説明する。

［Ｑ－ＴＯＦ型質量分析装置の構成及び動作］
このＱ－ＴＯＦ型質量分析装置では、その内部にイオン化室１００が設けられたイオン化装置１０が真空チャンバー１の前方に接続されている。この真空チャンバー１内は、第１中間真空室１１、第２中間真空室１２、第１分析室１３、及び第２分析室１４、の４室に概ね区画されている。このＱ－ＴＯＦ型質量分析装置において、イオン化室１００は略大気圧であり、イオン化室１００から、第１中間真空室１１、第２中間真空室１２、第１分析室１３、及び第２分析室１４と順に、段階的に真空度が高くなる多段差動排気系の構成である。なお、図１では、各室内の真空排気を行う真空ポンプについては記載を省略しているが、一般的には、第１中間真空室１１内はロータリーポンプにより真空排気され、それ以降の各室内は粗引きポンプとしてロータリーポンプを用いたターボ分子ポンプにより真空排気される。

イオン化室１００には、試料液に電荷を付与しつつ噴霧することにより該試料液中の化合物をイオン化するエレクトロスプレーイオン（ＥＳＩ）源１０１が配置されている。但し、イオン化の手法はこれに限らず、大気圧化学イオン源などの他のイオン源を用いることもできる。また、液体試料ではなく、気体試料や固体試料をイオン化するイオン源を用いてもよい。

イオン化室１００と第１中間真空室１１とは細径の脱溶媒管１０２を通して連通している。イオン化室１００で生成された試料成分由来のイオン及び微細な帯電液滴は、主として、イオン化室１００内の圧力（略大気圧）と第１中間真空室１１内の圧力との差によって、脱溶媒管１０２中に引き込まれ第１中間真空室１１に送られる。脱溶媒管１０２は適度な温度に加熱されており、脱溶媒管１０２の内部を帯電液滴が通ることによって該液滴中の溶媒の気化が促進され、イオンの生成が促される。

第１中間真空室１１には多重極イオンガイド１１１が配置されており、該多重極イオンガイド１１１によってイオンはイオン光軸Ｃ１の近傍に収束され、スキマー１１２の頂部の開口を通って第２中間真空室１２に入射する。第２中間真空室１２にも多重極イオンガイド１２１が配置されており、この多重極イオンガイド１２１によってイオンは第２中間真空室１２から第１分析室１３へと送られる。

第１分析室１３には、イオンを質量電荷比（m/z）に応じて分離する四重極マスフィルター１３１、多重極イオンガイド１３２を内部に備えたコリジョンセル１３３、コリジョンセル１３３から出射されたイオンを輸送する前段トランスファー電極１３４と後段トランスファー電極１４１の一部が配置されている。前段トランスファー電極１３４と後段トランスファー電極１４１とを合わせてトランスファー電極１４０という。

第１分析室１３に入射したイオンは四重極マスフィルター１３１に導入され、四重極マスフィルター１３１に印加されている電圧に応じた特定の質量電荷比を有するイオンのみが四重極マスフィルター１３１を通り抜ける。コリジョンセル１３３の内部には、アルゴン、窒素などのコリジョンガスが連続的又は間欠的に供給される。所定のエネルギーを有してコリジョンセル１３３に入射したイオンは、コリジョンガスに接触して衝突誘起解離により解離され、各種のプロダクトイオンが生成される。

コリジョンセル１３３から出射した各種のプロダクトイオンは、トランスファー電極１４０により収束されつつ第２分析室１４に送られる。第２分析室１４には、後段トランスファー電極１４１の残りの部分、直交加速部１４２、加速電極部１４３、フライトチューブ１４４、リフレクトロン１４５、バックプレート１４６、イオン検出器１４７などが配置されている。後段トランスファー電極１４１によって細く平行性の高いイオン流として第２分析室１４に導入されたイオンは、直交加速部１４２においてそのイオン流の入射方向（Ｘ軸方向）と略直交する方向（Ｚ軸方向）に射出される。

直交加速部１４２からパルス的に、つまりひとかたまりのイオンパケットとして射出されたイオンは、加速電極部１４３でさらに加速されてフライトチューブ１４４内の飛行空間に導入される。フライトチューブ１４４、リフレクトロン１４５、及びバックプレート１４６によって、飛行空間内には、図１中にＣ２で示すような経路でイオンを折り返し飛行させる電場が形成さる。これによって、イオンは折り返されたあと再びフライトチューブ１４４内を飛行し、イオン検出器１４７に到達する。

直交加速部１４２から射出されたイオンは、そのイオンの質量電荷比に応じた速度で飛行する。そのため、直交加速部１４２において同時に加速された各種のイオンは、飛行途中で質量電荷比に応じて分離され、時間差を有してイオン検出器１４７に到達する。イオン検出器１４７は、到達したイオンの量に応じた検出信号を生成する。図示しないデータ処理部は、その検出信号に基いて、飛行時間を質量電荷比に換算したマススペクトル（プロダクトイオンスペクトル）を作成する。

［トランスファー電極及び直交加速部の詳細な構成］
次に、本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置における、トランスファー電極１４０、直交加速部１４２、及び加速電極部１４３の構成について、図１に加え、図２～図６を参照して説明する。図２は、本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置におけるトランスファー電極１４０の近傍の拡大図である。図３は、図２中のＡ部付近の拡大図である。図４（Ａ）は、後方側固定部材の構成を説明するために該固定部材のみを描いた図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）中の矢視線Ｂ－Ｂ’断面図である。図５は、前方側固定部材の構成を説明するための図２中の矢視線Ｄ－Ｄ’断面図である。図６は、後段トランスファー電極１４１を構成する各電極板の平面図である。

図２に示すように、前段トランスファー電極１３４は、３枚の電極板１３４１、１３４２、１３４３を含む。これら３枚の電極板１３４１、１３４２、１３４３は、間に絶縁性のスペーサー１３４４を挟んで相互に固定されている。前段トランスファー電極１３４の最前方側（コリジョンセル１３３に最も近い側）に位置する電極板１３４１はスペーサー１３４４を介してコリジョンセル１３３に固定されており、これによって前段トランスファー電極１３４は位置決めされている。コリジョンセル１３３は、図示しない固定部材を介して真空チャンバー１に固定されている。

３枚の電極板１３４１、１３４２、１３４３にはそれぞれ中央に、円形状のイオン通過開口が形成されている。イオン光軸Ｃ１に沿って中央に位置する電極板１３４２のイオン通過開口の径は、その両側の電極板１３４１、１３４３のイオン通過開口の径よりも大きくなっている。

一方、図２に示すように、後段トランスファー電極１４１は、４枚の電極板１４１１、１４１２、１４１３、１４１４を含む。これら４枚の電極板１４１１、１４１２、１４１３、１４１４もそれぞれ、イオン光軸Ｃ１に沿って隣接する電極板の間に絶縁性のスペーサー１４１５、１４１６を挟んで連結されている。電極板１４１１、１４１２の間に位置するスペーサー１４１５は円環状であり、電極板１４１２、１４１３、１４１４の間に位置するスペーサー１４１６はロッド状である。

最前方に位置する電極板１４１１は第１分析室１３内に配置され、残りの３枚の電極板１４１２、１４１３、１４１４は第２分析室１４内に配置されている。前方側の２枚の電極板１４１１、１４１２を連結する円環状のスペーサー１４１５は、第１分析室１３と第２分析室１４とを区画する隔壁リング１６５に設けられた偏平円筒状の開口の内周にちょうど嵌る外形を有しており、スペーサー１４１５は該開口に挿入されている。したがって、スペーサー１４１５は隔壁リング１６５に対してイオン光軸Ｃ１の方向（Ｘ軸の正負両方向）に摺動可能である。

第１分析室１３内に配置される電極板１４１１には、さらにその前方に位置する電極板１３４３のイオン通過開口よりも大きな径である円形のイオン通過開口が形成されている。他方、第２分析室１４内に配置される３枚の電極板１４１２、１４１３、１４１４にはそれぞれ、矩形状のイオン通過開口（スリット）が形成されている。図６に示すように、矩形状のイオン通過開口の大きさは、電極板１４１２が最も小さく、電極板１４１４、１４１３の順に大きくなっている。そのイオン通過開口の形状は、その後段に位置する直交加速部１４２のイオン入射面の開口の形状に対応している。

第２分析室１４内の真空チャンバー１の側壁の所定位置１Ｂには、中央に長方形の開口が形成された、導電性である板状の基台１５０が略水平になるように固定されている。図２等では、この基台１５０を真空チャンバー１とは別の部材として描いているが、基台１５０は真空チャンバー１と一体に形成されていてもよい。

図４に示すように、基台１５０の上面には、該基台１５０の開口をＹ軸方向に挟んで両側に３個ずつ、合計６個の円柱状である絶縁性のインシュレーター１５１が固定されている。これら６個のインシュレーター１５１の上部には、二つのイオン通過開口が形成された、導電性のベースプレート１５２が固定されている。さらに、ベースプレート１５２の上面には、イオン通過開口が形成された矩形板状である導電性の位置決めプレート１５３が固定されている。後段トランスファー電極１４１のうち最後方に位置する電極板１４１４は、導電性のレンズホルダー１６１によって保持されている。このレンズホルダー１６１は、絶縁性のレンズインシュレーター１６０を介して位置決めプレート１５３及びベースプレート１５２に固定されている。この固定は、絶縁材料である樹脂製のホルダー固定ねじ１５５によってなされる。

位置決めプレート１５３上には、上記レンズホルダー１６１のほか、押出し電極１４２１及び引込み電極１４２２を含む直交加速部１４２と、加速電極部１４３と、が固定されている。またベースプレート１５２の他方の開口の上には、イオン検出器１４７が固定されている。

加速電極部１４３は、加速電極１４３１と絶縁性のスペーサー１４３２とを交互に積み重ねた構成であり、複数本の棒状部材１５４によって、直交加速部１４２と共に位置決めプレート１５３に固定されている。

第１分析室１３と第２分析室１４との間には、隔壁部１６４が設けられている。この隔壁部１６４は、真空チャンバー１の内壁面から内方に張り出し、平面略円形状の開口を有する導電性の延出部１６３と、該延出部１６３に対し第２分析室１４側から取り付けられる既出の隔壁リング１６５と、を含む。ここでは、真空チャンバー１と延出部１６３とを別の部材として記載しているが、延出部１６３は真空チャンバー１と一体であってもよい。

図３及び図５に示すように、隔壁リング１６５の開口の内周側には、２枚の電極板１４１１、１４１２で挟まれたスペーサー１４１５がイオン光軸Ｃ１方向（Ｘ軸方向）に摺動可能に嵌め込まれている。隔壁リング１６５の外周部は延出部１６３と重なり合っており、Ｙ－Ｚ平面上に位置するその環状の重ね合わせ部分において、イオン光軸Ｃ１の周りに略等角度間隔の４箇所の位置で、それぞれスペーサーねじ１６６によって隔壁リング１６５は延出部１６３に取り付けられている。

図３に示すように、スペーサーねじ１６６は、その鍔部１６６１と隔壁リング１６５との間に弾性部材としてのОリング１６７を挟んで、延出部１６３に螺入される。スペーサーねじ１６６のねじ部が最大限、延出部１６３のねじ孔に螺入された状態で、鍔部１６６１と隔壁リング１６５との間には所定の隙間が形成される。その隙間でＯリング１６７は圧潰され、その圧潰されたＯリング１６７の弾性力で以て隔壁リング１６５は延出部１６３に押し付けられる。また、隔壁リング１６５に形成されているねじ貫通孔１６５１の径は、スペーサーねじ１６６のスペーサー部１６６２の外径よりも所定サイズだけ大きい。そのため、ねじ貫通孔１６５１とスペーサー部１６６２との間には、イオン光軸Ｃ１に略直交する方向に所定範囲で遊び（隙間）がある。

Ｏリング１６７の潰れ量は装置間で殆ど差がないので、隔壁リング１６５が延出部１６３に押し付けられる際の力の大きさに関し、装置間の差は殆どない。また、隔壁リング１６５は樹脂（例えばポリアセタール（ＰＯＭ）又はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ））製であり、延出部１６３は金属（例えばアルミニウム）製であるので、両者の接触面における静止摩擦係数は小さい。そのため、隔壁リング１６５をイオン光軸Ｃ１に略直交する方向に移動（変位）させるような適度な大きさの力が加わると、隔壁リング１６５はその方向（図３中の矢印）に移動し得る。つまりは、電極板１４１１、１４１２は、イオン光軸Ｃ１に略直交する方向（Ｚ軸の正負両方向）に所定の範囲でスライド移動可能である。

レンズホルダー１６１はその後方側上部に固定されたレンズホルダー固定部材１６２によって、隔壁リング１６５の第２分析室１４側の面に固定されている。図５では、レンズホルダー固定部材１６２の取付位置を符号１６２Ａで示している。このレンズホルダー固定部材１６２は一体の部材でもよいし、複数の部材が組み合わされたものでもよい。即ち、レンズホルダー１６１は、ホルダー固定ねじ１５５によって下方向に間接的に真空チャンバー１に対し固定されるとともに、レンズホルダー固定部材１６２を介してその上部が間接的に真空チャンバー１に対し固定されている。

［構成上の特徴及びその利点］
本実施形態のＱ－ＴＯＦ型質量分析装置は、通常、工場において室温環境（例えば２５℃）下で組み立てられる。一方、分析実行時に、第２分析室１４は図示しないヒーターによって、通常の室温よりも高い所定の温度（例えば４２℃）に温調される。これは、フライトチューブ１４４等により形成されるイオンの飛行経路の距離が、周囲温度の変動の影響を受けないようにするためである。そのため、第２分析室１４内に配置されている各部材は、それぞれの部材を構成する材料の熱膨張率に応じて膨張する。また、温調の目標温度を変更した場合や装置の輸送中に温度変化が生じた場合にも、各部材はそれぞれの部材を構成する材料の熱膨張率に応じて膨張又は収縮する。

工場での装置の組立て時には、トランスファー電極１４０（前段トランスファー電極１３４及び後段トランスファー電極１４１）の中心軸が、直交加速部１４２の押出し電極１４２１と引込み電極１４２２の対向面の間を該対向面に対し平行に通過するように、トランスファー電極１４０は高い精度で位置決めされる。このとき、後段トランスファー電極１４１では、隔壁部１６４を挟んで第１分析室１３と第２分析室１４とに跨るように配置されたスペーサー１４１５の中心軸が、隔壁リング１６５、延出部１６３、及び真空チャンバー１の一部（図２中に１Ａで示す部分。以下、この部分を部分真空チャンバー１Ａという）を介して真空チャンバー１の所定位置１Ｂに対して位置決めされている。

図５に示したように、隔壁リング１６５は、イオン光軸Ｃ１の周りに略対称である四つの位置で延出部１６３に対しスペーサーねじ１６６で固定されている（但し、上述したように、隔壁リング１６５は延出部１６３に対してＹ－Ｚ面内の所定範囲で移動可能である）。そのため、隔壁リング１６５が膨張又は収縮した場合、その中央開口の大きさは変化するものの、原則として中心軸は変位しない。即ち、本実施形態の質量分析装置では、隔壁リング１６５、延出部１６３、及び部分真空チャンバー１Ａが前方側固定部材に含まれるが、このうち、延出部１６３及び部分真空チャンバー１Ａが、熱膨張率に応じた膨張又は収縮に起因して、電極板１４１１におけるイオン光軸Ｃ１（Ｃ１ａ）の位置を変位させる要素（つまりは第１変位部材）である。なお、イオン光軸Ｃ１の変位とは、所定位置１Ｂを基準位置としたときの、該基準位置に対するイオン光軸Ｃ１の位置の変化をいう。

一方、後段トランスファー電極１４１の最後方に位置する電極板１４１４は、真空チャンバー１の所定位置１Ｂに固定された基台１５０に対して、レンズホルダー１６１、レンズインシュレーター１６０、位置決めプレート１５３、ベースプレート１５２、及びインシュレーター１５１を介して固定されている。即ち、本実施形態の質量分析装置では、レンズホルダー１６１、レンズインシュレーター１６０、位置決めプレート１５３、ベースプレート１５２、インシュレーター１５１、及び基台１５０が後方側固定部材に含まれ、これらによって電極板１４１４の中心軸が位置決めされる。後方側固定部材に含まれるこれらの部材はいずれも、熱膨張率に応じた膨張や収縮によって電極板１４１４におけるイオン光軸Ｃ１（Ｃ１ａ）を変位させる要素（つまり第２変位部材）である。

図７は、後段トランスファー電極１４１のイオン光軸Ｃ１ａと直交加速部１４２のイオン光軸Ｃ１ｂとが一直線上に位置している状態を示す概略図である。なお、直交加速部１４２のイオン光軸Ｃ１ｂは直交加速部１４２に含まれる押出し電極と引込み電極との両方の対向面に平行であればよく、それら両対向面からそれぞれ等距離の位置であることは必須ではない。装置の組立て時には、基本的に、図７に示す状態になるように各部材の位置が調整される。

分析時に加熱及び温調がなされると、後段トランスファー電極１４１を固定している前方側固定部材と後方側固定部材とは共に同方向に熱膨張するものの、通常、後方側固定部材の熱膨張量の方が前方側固定部材の熱膨張量よりも大きい。この場合、後段トランスファー電極１４１の後方側の電極板１４１４は前方側の電極板１４１１よりもＺ軸の負方向に大きく移動する。そのため、後段トランスファー電極１４１のイオン光軸Ｃ１ａと直交加速部１４２のイオン光軸Ｃ１ｂとの関係は、図８に示すようになる。

即ち、後段トランスファー電極１４１のイオン光軸Ｃ１ａは、直交加速部１４２のイオン光軸Ｃ１ｂに対し傾いてしまう。このように、傾いたイオン光軸Ｃ１ａに沿ってイオン流が直交加速部１４２に入射すると、Ｘ軸方向の位置によってＺ軸方向におけるイオンの出発位置がばらつき、また付与される運動エネルギーもばらつく。それにより、質量精度や質量分解能が低下する。なお、図８は、理解を容易にするために極端に描いた図であり、実際には、イオン光軸Ｃ１ａの傾きは目視では分からない程度にごく僅かである。もちろん、そうであっても、分析性能を十分に低下させるものである。

本実施形態の質量分析装置では、上述したようなイオン光軸Ｃ１ａの傾きを軽減するために二つの対策を施している。その対策の一つは、各部材の材料を適切に選択することによって、前方側固定部材と後方側固定部材との熱膨張量の差異を小さくし、イオン光軸Ｃ１ａの傾き自体を小さくすることである。他の対策の一つは、上述したように、隔壁リング１６５をイオン光軸Ｃ１に略直交する方向（つまりはＺ軸の正負の方向）に所定範囲でスライド移動可能とすることで、後方側固定部材の膨張又は収縮による後方側電極板１４１４のＺ軸方向の変位に前方側の電極板１４１１、１４１２を追従させ、それによってイオン光軸Ｃ１ａの傾きを小さくすることである。

本実施形態の質量分析装置では、真空チャンバー１（部分真空チャンバー１Ａ）、レンズホルダー１６１、位置決めプレート１５３、ベースプレート１５２、及び基台１５０の材料として、同一種類の導電性材料を用いている。ここでは一例として、導電性材料としてアルミニウムを用いている。但し、全ての導電性の部材を同一の導電性材料で構成することは必須の要件ではなく、異なる種類の導電性材料を用いてもよい。例えば、一部又は全ての導電性部材の材料をステンレス鋼（ＳＵＳ）などとしてもよい。

一方、レンズインシュレーター１６０には上記の導電性材料に比べて熱膨張率が小さい第１絶縁性材料を、インシュレーター１５１には上記の導電性材料に比べて熱膨張率が大きい第２絶縁性材料を、それぞれ用いる。例えば、導電性材料がアルミニウムである場合には、第２絶縁性材料としてポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂を用い、第１絶縁性材料として加工性が良好であるマシナブルセラミックスの一つである窒化物系マシナブルセラミックスを用いることができる。第１絶縁性材料としては、例えば窒化ホウ素を用いることもできるが、窒化物系マシナブルセラミックス、マイカ系マシナブルセラミックス等のマシナブルセラミックスを用いることが好ましい。窒化物系マシナブルセラミックスとして、具体的には例えば、非特許文献１に記載のホトベールII（株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ社の登録商標）などを用いることができる。

仮に、第１絶縁性材料として第２絶縁性材料と同じ、例えばＰＥＥＫ樹脂を用いたとした場合、レンズインシュレーター１６０及びインシュレーター１５１が共に、上記の導電性材料に比べて熱膨張率が大きい材料からなることとなる。そのため、アルミニウム製の部材のみで構成される前方側固定部材における、Ｚ軸の正負方向（イオン光軸Ｃ１と直交する方向）の熱膨張量よりも、アルミニウム製の部材とＰＥＥＫ樹脂製の部材とで構成される後方側固定部材の同方向の熱膨張量の方がかなり大きくなってしまう。その結果、図８に示すように、イオン光軸Ｃ１ａの傾きが大きくなる可能性がある。

これに対し、本実施形態の質量分析装置では、レンズインシュレーター１６０にＰＥＥＫ樹脂ではなく、上記の導電性材料に比べて熱膨張率が小さい、例えば窒化物系マシナブルセラミックスを用いるため、ＰＥＥＫ樹脂と窒化物系マシナブルセラミックスとの熱膨張率に応じて各部材の長さ（図２において所定位置１Ｂからイオン光軸Ｃ１までの範囲Ｅに位置する部材の、Ｚ軸方向の設計上の長さ）を適宜に調整する。

具体的には、ここでは、前方側固定部材における変位要素の単位温度当たりの熱膨張量（その変位要素に含まれる各部材の、Ｚ軸方向の長さと熱膨張率との積の和）Ｐ１と、後方側固定部材における変位要素の単位温度当たりの熱膨張量Ｐ１の差ΔＰを、熱膨張量Ｐ１の３０％以下に抑えるようにしている。これによって、前方側固定部材の熱膨張による前方側の電極板１４１１のＺ軸方向の変位量と、後方側固定部材の熱膨張による後方側の電極板１４１４のＺ軸方向の変位量とを同程度にし、例えば、本装置の製造時と質量分析時とで温度が相違した場合であってもイオン光軸Ｃ１ａの傾きを軽減することができる。

また、フライトチューブ１４４の温調の目標温度を変更した場合であっても、イオン光軸Ｃ１ａの傾きが生じるのを抑制することができる。さらに、質量分析装置の輸送行程の温度変化によって各部材に膨張・収縮が生じた場合であっても、イオン光軸Ｃ１ａに不可逆的な大きな傾きが生じにくい。

上記の第１の対策によって、イオン光軸Ｃ１ａの傾きをかなりの程度軽減できるものの、例えばコスト的な制約や電気絶縁距離を確保する必要性などの様々な設計上の制約のために、該対策だけでは、各部材の膨張・収縮によって生じるイオン光軸Ｃ１ａの傾きを十分に小さくできない場合がある。その場合でも、本実施形態の質量分析装置では、上記第２の対策によって、イオン光軸Ｃ１ａの傾きを十分に小さくすることができる。

即ち、前方側固定部材の熱膨張量に比べて後方側固定部材の熱膨張量が大きい場合、レンズホルダー１６１に保持されている電極板１４１４はＺ軸の負方向に移動する。スペーサー１４１６を介して電極板１４１４に間接的に固定されている電極板１４１３、１４１２にも、Ｚ軸の負方向に移動する力が加わる。さらに、電極板１４１２に固定されているスペーサー１４１５を介して隔壁リング１６５に対しても、Ｚ軸の負方向に移動する力が加わる。また、レンズホルダー１６１と隔壁リング１６５とはレンズホルダー固定部材１６２を介して接続されているため、熱膨張によってレンズホルダー１６１がＺ軸の負方向に移動したときに、レンズホルダー固定部材１６２を介して隔壁リング１６５を同方向に移動させる力も加わる。

上述したように、Ｏリング１６７の弾性力によって延出部１６３に押し付けられている隔壁リング１６５と該延出部１６３との間の接触面における静止摩擦係数は小さいので、上述したような力が隔壁リング１６５に加わると、隔壁リング１６５は延出部１６３との接触を維持したままＺ軸の負方向に移動する。最大の移動可能量は、ねじ貫通孔１６５１とスペーサー部１６６２との隙間に相当する。これによって、隔壁リング１６５の開口内側に位置するスペーサー１４１５に固定されている電極板１４１１、１４１２も、Ｚ軸の負方向に移動する。そして、後段トランスファー電極１４１の中心軸つまりイオン光軸Ｃ１ａは、図９に示すように、直交加速部１４２のイオン光軸Ｃ１ｂとほぼ平行な状態になる。このとき、後段トランスファー電極１４１のイオン光軸Ｃ１ａは直交加速部１４２のイオン光軸Ｃ１ｂからずれるものの、そのずれ量は後段トランスファー電極１４１から送り出されたイオン流が直交加速部１４２に入射し得る程度であるので、分析性能上、問題はない。

上述した第１の対策によって、各部材の膨張又は収縮に起因するイオン光軸Ｃ１ａの傾きが或る程度軽減されていれば、上記第２の対策において隔壁リング１６５が移動する量はごく僅かで済み、イオン光軸Ｃ１ａとイオン光軸Ｃ１ｂとの平行性を高めることができる。一方、第１の対策が採られていない場合、又は採られていてもその効果が十分でない場合であっても、上記第２の対策において隔壁リング１６５が移動可能である範囲を或る程度広げておくことで、イオン光軸Ｃ１ａとイオン光軸Ｃ１ｂとの平行性を実用上十分に確保することができる。これによって、直交加速飛行時間型質量分離部において高い質量精度、質量分解能、分析感度を達成することができる。

また、本実施形態の質量分析装置は次のような問題も解決し得る。
真空チャンバー１内の真空排気を開始するとき及び真空を解除して大気開放するときに、第１分析室１３内の圧力と第２分析室１４の圧力との差が一時的に大きい状態となることがある。すると、その圧力差に対応した力が、後段トランスファー電極１４１においてイオン通過開口が最も小さい電極板１４１２に対し、イオン光軸Ｃ１に沿った方向に加わる。但し、そのときの力の向きは、第１分析室１３と第２分析室１４とのいずれの圧力が高いのかによって異なる。

第１分析室１３内の圧力の方が高い場合、図２において右方向の力が電極板１４１２に加わる。仮にレンズホルダー固定部材１６２がないとすると、上記力によって後段トランスファー電極１４１には、レンズインシュレーター１６０とレンズホルダー１６１との接触部の最も後方側（図２で右側）の位置を中心として時計回りに回転するようなモーメントが作用する。レンズホルダー１６１は、位置決めプレート１５３を貫通してベースプレート１５２に達しているホルダー固定ねじ１５５で固定されているものの、該ねじ１５５は樹脂製であって、金属製のねじに比べると一般に軸力が小さい。そのため、大きな圧力差によってレンズホルダー１６１が回転しようとすると、ホルダー固定ねじ１５５に過剰な力が加わって伸びてしまう場合がある。その結果、ねじ１５５の不可逆的な緩みを引き起こしたり、後段トランスファー電極１４１が不可逆的に位置ずれを生じたりする可能性がある。

これに対し、本実施形態の質量分析装置では、レンズホルダー１６１の上部はレンズホルダー固定部材１６２によって隔壁リング１６５を介し真空チャンバー１に固定されている。この固定の方向は概ね、上記のような圧力差による力の作用方向と逆の方向であり、その圧力差による力に対し抗するのに望ましい方向である。そのため、上記圧力差に起因する力が後段トランスファー電極１４１に加わった場合でも、レンズホルダー１６１はホルダー固定ねじ１５５に過剰な力が加わりにくく、そのねじ１５５の伸びを防止することができる。それによって、本実施形態の質量分析装置では、真空排気の開始時や大気開放時の圧力差によって生じるレンズホルダー１６１の傾きやホルダー固定ねじ１５５の緩みを回避することができ、それに起因する後段トランスファー電極１４１のイオン光軸Ｃ１ａのずれ及び傾きも低減することができる。

［変形例］
上記実施形態の質量分析装置では、真空チャンバー１に固定された又はその一部である延出部１６３に対して隔壁リング１６５を、Ｏリング１６７の弾性力によって所定の力で押さえ付けていたが、Ｏリング１６７に代えて他の弾性部材を用いることができる。例えば、Ｏリング１６７に代えて、圧縮ばね、皿ばね、ばね座金などの機械的な伸縮力を利用した部材を用いてもよい。また、Ｏリング１６７を圧潰する部材としてスペーサーねじ１６６に代えて、ねじとスペーサーとの組合せを用いてもよい。

また、後段トランスファー電極１４１を位置決めするための前方側固定部材及び後方側固定部材に含まれる各部材の数や各部材の材料の種類は、上記実施形態に記載のものに限定されず、本発明の要件を満たす限りにおいて適宜に変更可能である。

また、上記実施形態の質量分析装置では、後段トランスファー電極１４１は４枚の電極板を含む構成であるが、その枚数は２以上であれば適宜に選択可能である。また、その電極板は、実質的にロッド電極と言える程度に厚いものであってもよいし、イオン光軸Ｃ１に沿って複数のセグメントに分割された構造の多重極ロッド電極であってもよい。

また、上記実施形態の質量分析装置において、直交加速部１４２としてリニアイオントラップを用いてもよい。このリニアイオントラップはロッド状電極又はプレート状電極のいずれを用いたものでもよい。また、リフレクトロン型の飛行時間型質量分離器に代えて、リニア型、多重周回型、多重反射型などの飛行時間型質量分離器を用いてもよい。

また、本発明は、直交加速飛行時間型質量分離器を含む質量分析装置全般に適用し得る。したがって、上記実施形態であるＱ－ＴＯＦ型質量分析装置以外に、例えば、単体の直交加速飛行時間型質量分析装置、イオントラップと直交加速飛行時間型質量分析装置とを組み合わせたイオントラップ飛行時間型質量分析装置などにも本発明を適用可能である。

さらにまた、上記実施形態及び各種の変形例は本発明の一例にすぎず、本発明の趣旨の範囲で適宜に修正、変更、追加などを行っても本願特許請求の範囲に包含されることは当然である。

［種々の態様］
上述した例示的な実施形態及び変形例は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

（第１項）本発明に係る質量分析装置の一態様は、
内部空間が第１真空室と第２真空室とに区画された真空チャンバーと、
前記第１真空室から前記第２真空室へとイオンを輸送するべく該両真空室に跨るように配置され、絶縁性のスペーサーを介して連結された、それぞれイオン通過開口を有する複数の電極板から成るトランスファー電極と、
前記第２真空室内に配置され、前記トランスファー電極により輸送されて来たイオンをその入射方向に直交する方向に加速する直交加速部と、
前記複数の電極板のうちの前記第２真空室内に位置する後方側電極板を、そのイオン通過開口の中心軸と直交する所定の方向に離れた位置において前記真空チャンバーに対し固定するための後方側固定部材と、
前記複数の電極板のうちの前記第１真空室内に位置する前方側電極板を該第１真空室内で位置決めするための部材であって、前記真空チャンバーの内壁面に内側に延出するように設けられた延出部と、前記前方側電極板に固定された前記スペーサーを保持し、前記延出部に対し前記所定の方向と逆の方向に所定の範囲でスライド移動可能に取り付けられている環状の隔壁部材と、を含む前方側固定部材と、
を備える。

第１項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置によれば、分析時の温調や温度変化に起因する、直交加速部に入射するイオン流のイオン光軸の傾きを軽減することができる。それにより、直交加速部に入射するイオン流が該直交加速部に含まれる電極と平行に保たれるので、高い分析性能（質量精度、質量分解能、分析感度）を達成することができる。

（第２項）第１項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置において、前記隔壁部材は、弾性部材によって前記延出部に押し付けられ、該延出部に対し摺動自在であるものとすることができる。

（第３項）第２項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置において、前記弾性部材はＯリングであるものとすることができる。

弾性部材としてはＯリングなどの素材自体の弾性力を利用した部材、圧縮ばね、皿ばね、ばね座金などの機械的な伸縮力を利用した部材などのいずれでもよい。
第２項及び第３項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置によれば、延出部と隔壁部材との密着性を高めながら、両者の接触面における隔壁部材の摺動性も確保することができる。それによって、第１真空室及び第２真空室それぞれの密閉性を高めることができる。一方で、後方側固定部材が膨張・収縮したことによって後方側の電極板が上記所定の方向の逆方向に移動したときに、隔壁部材が円滑に移動してイオン光軸の傾きを軽減することができる。

（第４項）第１項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置では、前記隔壁部材と前記延出部の一方は樹脂製であり、他方は金属製であるものとすることができる。

上記樹脂としては、例えばポリアセタール樹脂、ポリテトラフルオロエチレン樹脂などの静止摩擦係数の小さい（つまりは摺動性の良好である）材料が好ましい。
第４項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置によれば、後方側固定部材が膨張・収縮したことによって後方側の電極板が上記所定の方向の逆方向に移動したときに、隔壁部材が円滑に移動し易く、イオン光軸の傾きを一層確実に軽減することができる。

（第５項）第１項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置において、前記後方側固定部材は、前記複数の電極板のうちの少なくとも最後方に位置する電極板を保持するホルダーを含み、該ホルダーを前記隔壁部材に対して固定するホルダー固定部材をさらに備えるものとすることができる。

真空チャンバー内の真空排気を開始するときや真空状態を解除するときに、第１真空室内の圧力と第２真空室内の圧力とに大きな差が生じ、その圧力差に起因して、トランスファー電極を第１真空室側から第２真空室側へと押す大きな力が掛かることがある。電極板を保持するホルダーが例えば上記所定の方向に延伸するねじで間接的に真空チャンバーに対し固定されているとすると、そのねじに大きな力が作用する。電気的絶縁性のために樹脂製であるねじを使用すると、該ねじが伸びてしまって緩む、或いは、ホルダーがガタつく原因となる。

これに対し、第５項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置によれば、ホルダーが隔壁部材に対しホルダー固定部材によって固定されているので、上記のような圧力差による力がトランスファー電極に作用した場合であっても、樹脂製のねじに過剰な力が掛かることを回避することができる。それによって、ねじの緩みやホルダーのガタつきを軽減し、トランスファー電極を適切に位置決めした状態を保つことができる。

（第６項）第１項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置において、前記前方側固定部材は、熱膨張によって前記トランスファー電極の入口側の中心軸を前記所定の方向と逆方向に変位させる第１変位部材を含み、前記後方側固定部材は、熱膨張によって前記トランスファー電極の出口側の中心軸を前記所定の方向と逆方向に変位させる第２変位部材を含み、
前記第１変位部材の単位温度あたりの熱膨張量と前記第２変位部材の単位温度あたりの熱膨張量との差が、該第１変位部材の熱膨張量の３０％以下であるものとすることができる。

第６項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置によれば、前方側固定部材と後方側固定部材との熱による膨張量又は収縮量の差が小さいため、延出部に対する隔壁部材のスライド移動可能な範囲が小さくても、トランスファー電極におけるイオン光軸の傾きをより確実に抑えることができる。

（第７項）第６項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置において、前記第２変位部材は、第１絶縁性材料からなる第１絶縁部材及び第２絶縁性材料からなる第２絶縁部材と、導電性材料で構成された導電部材とを含み、前記第１絶縁性材料の熱膨張率が前記導電部材の熱膨張率よりも小さく、前記第２絶縁性材料の熱膨張率が前記導電部材の熱膨張率よりも大きいものとすることができる。

第７項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置によれば、後方側固定部材が、１又は複数の導電部材と、それぞれ熱膨張率が相違する絶縁材料から成る複数の絶縁部材を第２変位部材として含むので、各部材の熱膨張率及び寸法を適宜選択することで、第６項に記載の装置における熱膨張量の要件を満たすことが容易になる。

（第８項）第７項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置において、前記第１絶縁性材料はマシナブルセラミックスであるものとすることができる。

第８項に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置によれば、第１絶縁材料として加工性が良好であるマシナブルセラミックを用いるので、後方側固定部材をより簡易に且つ高精度で製造することができる。

１…真空チャンバー
１Ａ…部分真空チャンバー
１Ｂ…所定位置
１０…イオン化装置
１００…イオン化室
１０１…エレクトロスプレーイオン源
１０２…脱溶媒管
１１…第１中間真空室
１１１…該多重極イオンガイド
１１２…スキマー
１２…第２中間真空室
１２１…多重極イオンガイド
１３…第１分析室
１３１…四重極マスフィルター
１３２…多重極イオンガイド
１３３…コリジョンセル
１３４…前段トランスファー電極
１３４１、１３４２、１３４３…電極板
１３４４…スペーサー
１４…第２分析室
１４０…トランスファー電極
１４１…後段トランスファー電極
１４１１、１４１２、１４１３、１４１４…電極板
１４１５、１４１６…スペーサー
１４２…直交加速部
１４２１…押出し電極
１４２２…引込み電極
１４３…加速電極部
１４３１…加速電極
１４３２…スペーサー
１４４…フライトチューブ
１４５…リフレクトロン
１４６…バックプレート
１４７…イオン検出器
１５０…基台
１５１…インシュレーター
１５２…ベースプレート
１５３…位置決めプレート
１５４…棒状部材
１５５…ホルダー固定ねじ
１６０…レンズインシュレーター
１６１…レンズホルダー
１６２…レンズホルダー固定部材
１６３…延出部
１６４…隔壁部
１６５…隔壁リング
１６５１…ねじ貫通孔
１６６…スペーサーねじ
１６６１…鍔部
１６６２…スペーサー部
１６７…Ｏリング

Claims (8)

1. 内部空間が第１真空室と第２真空室とに区画された真空チャンバーと、
   前記第１真空室から前記第２真空室へとイオンを輸送するべく該両真空室に跨るように配置され、絶縁性のスペーサーを介して連結された、それぞれイオン通過開口を有する複数の電極板から成るトランスファー電極と、
   前記第２真空室内に配置され、前記トランスファー電極により輸送されて来たイオンをその入射方向に直交する方向に加速する直交加速部と、
   前記複数の電極板のうちの前記第２真空室内に位置する後方側電極板を、そのイオン通過開口の中心軸と直交する所定の方向に離れた位置において前記真空チャンバーに対し固定するための後方側固定部材と、
   前記複数の電極板のうちの前記第１真空室内に位置する前方側電極板を該第１真空室内で位置決めするための部材であって、前記真空チャンバーの内壁面に内側に延出するように設けられた延出部と、前記前方側電極板に固定された前記スペーサーを保持し、前記延出部に対し前記所定の方向と逆の方向に所定の範囲でスライド移動可能に取り付けられている環状の隔壁部材と、を含む前方側固定部材と、
   を備える直交加速飛行時間型質量分析装置。
2. 前記隔壁部材は、弾性部材によって前記延出部に押し付けられ、該延出部に対し摺動自在である、請求項１に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置。
3. 前記弾性部材はＯリングである、請求項２に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置。
4. 前記隔壁部材と前記延出部の一方は樹脂製であり、他方は金属製である、請求項１に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置。
5. 前記後方側固定部材は、前記複数の電極板のうちの少なくとも最後方に位置する電極板を保持するホルダーを含み、該ホルダーを前記隔壁部材に対して固定するホルダー固定部材をさらに備える、請求項１に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置。
   
6. 前記前方側固定部材は、熱膨張によって前記トランスファー電極の入口側の中心軸を前記所定の方向と逆方向に変位させる第１変位部材を含み、前記後方側固定部材は、熱膨張によって前記トランスファー電極の出口側の中心軸を前記所定の方向と逆方向に変位させる第２変位部材を含み、
   前記第１変位部材の単位温度あたりの熱膨張量と前記第２変位部材の単位温度あたりの熱膨張量との差が、該第１変位部材の熱膨張量の３０％以下である、請求項１に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置。
7. 前記第２変位部材は、第１絶縁性材料からなる第１絶縁部材及び第２絶縁性材料からなる第２絶縁部材と、導電性材料で構成された導電部材とを含み、前記第１絶縁性材料の熱膨張率が前記導電部材の熱膨張率よりも小さく、前記第２絶縁性材料の熱膨張率が前記導電部材の熱膨張率よりも大きい、請求項６に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置。
8. 前記第１絶縁性材料はマシナブルセラミックスである、請求項７に記載の直交加速飛行時間型質量分析装置。

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