JP7502602B2 - リニアアクチュエータ及びそれに含まれる積層コアの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、円筒形状の固定子に対して移動可能に形成された可動子を備えたリニアアクチュエータ及びそれに含まれる積層コアの製造方法に関する。

電磁作用により可動子を移動させる円筒状リニアモータ（リニアアクチュエータ）が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１のリニアモータは、永久磁石で形成された円筒部を有する可動子と、可動子の内外周両側に配置された固定子とを備える。

固定子は、可動子の円筒部の内外周両側に、円周方向に沿って積層鋼板がそれぞれ積層された積層コアを有している。特許文献１では、矩形状の積層鋼板に、Ｖ字状の係合突子または係合孔が成形されており、積層鋼板の積層時に、係合突子が下側の係合突子の凹部または係合孔に係合される。

その後、積層された積層鋼板を、鉄心成形型の加圧ブロックと受けブロックとで上下から加圧することにより、積層鋼板の内周側側面を凹状に、外周側側面を凸状に湾曲させる。このようにして、円周方向に沿って積層鋼板が積層された積層コアが製造される。

特開２００２－３６９４６２号公報

特許文献１では、係合突子が積層鋼板の中央部に形成されているため、積層鋼板を円周方向に沿って積層する際に、径方向に形成される隙間が係合突子を支点に均等に広がるように作用する力が働く。そのため、積層コアを所望の形状にするためには、例えば積層鋼板の中央部における隙間が積層コアの外周側の隙間の約半分にするなど、径方向に応じて所望の隙間を形成する必要がある。更に、積層コアの内周側に隙間が形成されたり、所望の隙間より小さい隙間が形成される可能性があるため、積層コアを所望の形状にするために、非常に高い圧力を加圧して所望の隙間に修正する必要があり生産性が低下する。また、積層コアの内周側の隙間により積層コアにおける積層鋼板の体積利用率が小さくなり磁気的性能が低下するため、リニアアクチュエータの推力性能が低くなる。

そこで本発明は、所望の形状の積層コアを形成することにより性能及び生産性を向上させることが可能なリニアアクチュエータ及びそれに含まれる積層コアの製造方法を提供する。

本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。

すなわち、本発明に係るリニアアクチュエータは、固定子と、前記固定子に対してギャップを空けて配置される可動子とを備え、前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方は、隣り合う２枚の積層板間に径方向内側から径方向外側に向かって徐々に大きくなる隙間が形成されるように複数の積層板が周方向に積層された周方向積層部を有し、前記周方向積層部は、積層板を積層方向に係止部により接続されており、前記係止部の中心は、前記周方向積層部の軸方向から見たときに、前記積層板における径方向中央部より径方向内側に配置されることを特徴とする。

以上説明したように、本発明によれば、リニアアクチュエータの性能及び生産性を向上することが可能である。

本発明の第１実施形態に係るリニアアクチュエータの軸方向に沿った部分断面図である。 図１のリニアアクチュエータの部分分解斜視図である。 図１のリニアアクチュエータの固定子における積層板の積層方向を示す概略図である。 図１のリニアアクチュエータの動作を説明する図である。 図１のリニアアクチュエータが有する積層コアの製造方法を示すフローチャートである。 第１ヨーク部における積層板の積層方法を説明する図である。 第２ヨーク部における積層板の積層方法を説明する図である。 第２ティース部における積層板の積層方法を説明する図である。 図１のリニアアクチュエータの軸方向に沿った部分断面図である。 本発明の第２実施形態に係るリニアアクチュエータの軸方向に沿った部分断面図である。 本発明の第１実施形態の積層板の変形例を示す図である。 本発明の第１実施形態に係るリニアアクチュエータの変形例を示す図である。 図１２の第２ティース部における積層板の積層方法を説明する図である。 本発明の第１実施形態に係るリニアアクチュエータの変形例を示す図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
リニアアクチュエータ１は、図１に示すように、アウター型リニアアクチュエータであり、その積層コアは、円筒形状に形成された固定子２と、固定子２に対してギャップを空けて配置される円筒形状の可動子３とを有している。可動子３は、固定子２の径方向外側において固定子２の軸方向に往復移動可能に形成される。

可動子３の内部には、その軸方向左端部、軸方向中央部及び軸方向右端部に配置される永久磁石５ａ、５ｂ、５ｃを有している。具体的には、図２に示すように、可動子３の軸方向左端部には、複数の永久磁石５ａが可動子３の内側面に沿って略全周にわたって配置される。同様に、可動子３の軸方向中央部には、複数の永久磁石５ｂが可動子３の内側面に沿って略全周にわたって配置され、可動子３の軸方向右端部には、複数の永久磁石５ｃが可動子３の内側面に沿って略全周にわたって配置される。複数の永久磁石５ａ、５ｂ、５ｃは、それぞれ平板状である。

可動子３の軸方向左端部に配置される複数の永久磁石５ａは、Ｎ極が外径側に且つＳ極が内径側に配置され、可動子３の軸方向中央部に配置される複数の永久磁石５ｂは、Ｓ極が外径側に且つＮ極が内径側に配置され、可動子３の軸方向右端部に配置される複数の永久磁石５ｃは、Ｎ極が外径側に且つＳ極が内径側に配置される。

固定子２は、円筒状のヨーク部（固定子ヨーク鉄心）１０と、ヨーク部１０の外周部から可動子３に向かって突出する２つのティース部（固定子磁極鉄心）１１、１２とを有している。２つのティース部１１、１２は、それぞれ、固定子２の軸方向に離れて形成されると共に、ヨーク部１０の全周にわたって形成される。隣り合うティース部１１、１２間には、コイル１６が配置される。

固定子２のティース部１１、１２の先端と可動子３の内側面との間は、ギャップが形成される。コイル１６に電流が通電されてない状態では、ティース部１１の先端の軸方向中央部は、永久磁石５ａと永久磁石５ｂとの接続部と対向しており、ティース部１２の先端の軸方向中央部は、永久磁石５ｂと永久磁石５ｃとの接続部と対向している。

ヨーク部１０は、径方向内側に配置される第１ヨーク部１０ａと、第１ヨーク部１０ａより径方向外側に配置される第２ヨーク部１０ｂとを含んでいる。

第１ヨーク部１０ａ（周方向積層部１０ａ）は、積層板１０Ｔ_１が固定子２の周方向に積層された第１ヨーク周方向積層部である。積層板１０Ｔ_１は、電磁鋼板であり、径方向外側に向かって幅が広くなる形状の略台形状の板状部材である。そのため、第１ヨーク部１０ａの径方向外側の幅は、２つのティース部１１、１２の外側端部間の距離と略同一である。積層板１０Ｔ_１は、固定子２の軸方向に離れた２つの係止部１０Ａ_１により接続される。

第２ヨーク部１０ｂ（周方向積層部１０ｂ）は、積層板１０Ｔ_２が固定子２の周方向に積層された第２ヨーク周方向積層部である。積層板１０Ｔ_２は、電磁鋼板であり、略長方形の板状部材である。積層板１０Ｔ_２の幅は、２つのティース部１１、１２の外側端部間の距離と略同一である。第２ヨーク部１０ｂの径方向外側の中央部には、その全周にわたって外側に向かって突出する突部１０Ｄが形成されている。積層板１０Ｔ_２は、固定子２の軸方向に離れた２つの係止部１０Ａ_２により接続される。

ティース部１１は、径方向内側に配置される第１ティース部１１ａと、第１ティース部１１ａより径方向外側に配置される第２ティース部１１ｂとを含んでいる。

第１ティース部１１ａは、ティース部１１の基端部において、積層板１１Ｔ_１が固定子２の軸方向に積層されたティース軸方向積層部である。積層板１１Ｔ_１は、電磁鋼板であり、環状の板状部材である。積層板１１Ｔ_１は、図示しない係止部により接続される。

第２ティース部１１ｂ（周方向積層部１１ｂ）は、ティース部１１の先端部において、複数の積層板１１Ｔ_２が固定子２の周方向に積層されたティース周方向積層部である。積層板１１Ｔ_２は、電磁鋼板であり、略長方形の板状部材である。第２ティース部１１ｂは、ティース部１１のギャップ面を有している。積層板１１Ｔ_２は、１つの係止部１１Ａ_１により接続される。

ティース部１２は、径方向内側に配置される第１ティース部１２ａと、第１ティース部１２ａより径方向外側に配置される第２ティース部１２ｂとを含んでいる。

第１ティース部１２ａは、ティース部１２の基端部において、複数の積層板１２Ｔ_１が固定子２の軸方向に積層されたティース軸方向積層部である。積層板１２Ｔ_１は、電磁鋼板であり、環状の板状部材である。積層板１２Ｔ_１は、図示しない係止部により接続される。

第２ティース部１２ｂ（周方向積層部１２ｂ）は、ティース部１２の先端部において、積層板１２Ｔ_２が固定子２の周方向に積層されたティース周方向積層部である。積層板１２Ｔ_２は、電磁鋼板であり、略長方形の板状部材である。第２ティース部１２ｂは、ティース部１２のギャップ面を有している。積層板１２Ｔ_２は、１つの係止部１２Ａ_１により接続される。

このように、リニアアクチュエータ１では、ヨーク部１０が、第１ヨーク部１０ａと第２ヨーク部１０ｂとに径方向に２分割されると共に、２つのティース部１１、１２が、それぞれ、第１ティース部１１ａ、１２ａと第２ティース部１１ｂ、１２ｂとに径方向に２分割されている。

図３は、固定子２における積層板の積層方向を示す概略図である。図３では、ティース部１２の第１ティース部１２ａ及び第２ティース部１２ｂが図示されてないが、ティース部１１の第１ティース部１１ａ及び第２ティース部１１ｂと同様である。固定子２において、第１ヨーク部１０ａ、第２ヨーク部１０ｂ及び第２ティース部１１ｂ、１２ｂでは、積層板が固定子２の周方向に積層されており、第１ティース部１１ａ、１２ａでは、積層板が固定子２の軸方向に積層されている。

リニアアクチュエータ１の動作について、図４に基づいて説明する。

リニアアクチュエータ１において、コイル１６に電流を通電してない状態では、図４（ａ）に示すように、永久磁石５ａ、可動子３、永久磁石５ｂ、ティース部１１の順に結ぶループで磁束が形成されると共に、永久磁石５ｃ、可動子３、永久磁石５ｂ、ティース部１２の順に結ぶループで磁束が形成される。

コイル１６に電流を通電すると、図４（ｂ）及び図４（ｃ）に示すように、コイル１６に流れる電流により起磁力の偏磁作用で太線の方向に周回する磁束ループが生じ、可動子３が軸方向に沿って移動する。

また、コイル１６への電流の流れの方向を変化させることにより、可動子３の推力方向が変わるため、可動子３は、ティース部１１、１２に対して移動する。

本実施形態のリニアアクチュエータ１が有する周方向積層部の製造方法について、図５に基づいて説明する。以下、第１ヨーク部１０ａ、第２ヨーク部１０ｂ及び第２ティース部１２ｂの製造方法を説明するが、それぞれ異なる形状の積層板が積層されて製造されるが、製造方法は略同一である。

ステップＳ１において、電磁鋼板をプレス加工等して積層板を形成する。積層板は、それぞれ、所定形状を有すると共に、周方向積層部を形成した場合に積層板の径方向中央部より径方向内側に配置される部分に、係止部が形成される。

ステップＳ２において、ステップＳ１で形成された積層板を積層して積層片を形成する。係止部は、積層板の積層方向に突出する突出部を有しており、その突出部が積層時に隣接する積層板に係合することにより積層板が接続される。

ステップＳ３において、ステップＳ２で形成された積層片を、その径方向内側端部側を支点として、その径方向外側端部の間に隙間が略均一に形成されるように広げて扇状にした積層コア片を形成する。

ステップＳ４において、ステップＳ３で形成した積層コア片を複数個用意して、これらを円筒型の溝を有する治具等に嵌め込んで各々を接続して積層コアを製造する。積層コア片は、積層方向が周方向に沿うようにすることが容易であり、一般的な製造方法で嵌め込みして接続することが可能である。接続された状態で樹脂や接着材等により固着し、円環状や円弧状の周方向積層部（積層コアの一部）を形成する。

以下、第１ヨーク部１０ａにおける積層板１０Ｔ_１、第２ヨーク部１０ｂにおける積層板１０Ｔ_２、第２ティース部１２ｂにおける積層板１２Ｔ_２の積層方法について、図６～図８に基づいて詳細に説明する。

第１ヨーク部１０ａにおける積層板１０Ｔ_１の積層方法について、図６に基づいて説明する。

プレス加工された積層板１０Ｔ_１は、図６（ａ）に示すように、略台形状の板状部材である。積層板１０Ｔ_１は、２つの係止部１０Ａ_１を有している。２つの係止部１０Ａ_１は、積層板１０Ｔ_１の長手方向（固定子２の軸方向）に離れて形成される。２つの係止部１０Ａ_１は、図６（ａ）に図示された係止部１０Ａ_１の断面図である図６（ｂ）に示すように、それぞれ、積層板１０Ｔ_１の長手方向に平行に延びるＶ状突出部１０Ａ_ｔ１により形成される。

積層板１０Ｔ_１は、図６（ｃ）に示すように、それぞれの係止部１０Ａ_１が同一位置になるように積層され、積層片１０Ｔ_１ａを形成する。図６（ａ）及び図６（ｃ）に図示された一点鎖線Ｎ_１は、図６（ｅ）に示すように、複数の積層板１０Ｔ_１を扇状にした時の径方向内側端部と径方向外側端部の中央部を示し、図９に示すように、積層板１０Ｔ_１を積層して形成されたヨーク部１０ａの径方向中央部を示す。

係止部１０Ａ_１は、図６（ｃ）に図示された積層片１０Ｔ_１ａの部分断面図である図６（ｄ）に示すように、それぞれ、積層板１０Ｔ_１の長手方向に平行に延びるＶ状突出部１０Ａ_ｔ１により形成される。係止部１０Ａ_１の長手方向中央部における下方への突出量は、図６（ｄ）に示すように、１枚の積層板１０Ｔ_１の厚さの約２倍程度である。そのため、１枚の積層板１０Ｔ_１に形成された係止部１０Ａ_１は、その下方に積層された２枚程度の積層板１０Ｔ_１に係合される。積層片１０Ｔ_１ａの径方向内側部分は、２つの係止部１０Ａ_１の係合により接続される。

その後、積層片１０Ｔ_１ａを、例えば円周状に湾曲した治具（図示しない）に接触するように沿わせることにより、積層コア片１０Ｔ_１ｂを形成する。図６（ｅ）に示すように、積層コア片１０Ｔ_１ｂは、その径方向内側端部を支点として、その径方向外側端部の間に隙間が形成されるように広がる。そのとき、固定子２の軸方向から見たときに、係止部１０Ａ_１の中心（図６（ａ）に示した積層板１０Ｔ_１を平面視したときの係止部１０Ａ_１の中心）は、固定子２の周方向に積層された積層板１０Ｔ_１における径方向中央部より径方向内側に配置される。

第２ヨーク部１０ｂにおける積層板１０Ｔ_２の積層方法について、図７に基づいて説明する。

プレス加工された積層板１０Ｔ_２は、図７（ａ）に示すように、略長方形状の板状部材である。積層板１０Ｔ_２は、２つの係止部１０Ａ_２を有している。２つの係止部１０Ａ_２は、積層板１０Ｔ_２の長手方向（固定子２の軸方向）に離れて形成される。２つの係止部１０Ａ_２は、図７（ａ）に図示された係止部１０Ａ_２の断面図である図７（ｂ）に示すように、それぞれ、積層板１０Ｔ_２の長手方向に平行に延びるＶ状突出部１０Ａ_ｔ２により形成される。

積層板１０Ｔ_２は、図７（ｃ）に示すように、それぞれの係止部１０Ａ_２が同一位置になるように積層され、積層片１０Ｔ_２ａを形成する。図７（ａ）及び図７（ｃ）に図示された一点鎖線Ｎ_２は、複数の積層板１０Ｔ_２を扇状にした時の径方向内側端部と径方向外側端部の中央部を示し、図９に示すように、積層板１０Ｔ_２を積層して形成されたヨーク部１０ａの径方向中央部を示す。

係止部１０Ａ_２は、図７（ｃ）に図示された積層片１０Ｔ_２ａの部分断面図である図７（ｄ）に示すように、それぞれ、積層板１０Ｔ_２の長手方向に平行に延びるＶ状突出部１０Ａ_ｔ２により形成される。係止部１０Ａ_２の長手方向中央部における下方への突出量は、図７（ｄ）に示すように、１枚の積層板１０Ｔ_２の厚さの約２倍程度である。そのため、１枚の積層板１０Ｔ_２に形成された係止部１０Ａ_２は、その下方に積層された２枚程度の積層板１０Ｔ_１に係合される。積層片１０Ｔ_２ａの径方向内側部分は、２つの係止部１０Ａ_２の係合により接続される。

その後、積層片１０Ｔ_２ａを、例えば円周状に湾曲した治具（図示しない）に接触するように沿わせることにより、積層コア片１０Ｔ_２ｂを形成する。図７（ｅ）に示すように、積層コア片１０Ｔ_２ｂは、その径方向内側端部を支点として、その径方向外側端部の間に隙間が形成されるように広がる。そのとき、固定子２の軸方向から見たときに、係止部１０Ａ_２の中心（図６（ａ）に示した積層板１０Ｔ_１を平面視したときの係止部１０Ａ_２の中心）は、固定子２の周方向に積層された積層板１０Ｔ_２における径方向中央部より径方向内側に配置される。

第２ティース部１２ｂにおける複数の積層板１２Ｔ_２の積層方法について、図８に基づいて説明する。

プレス加工された積層板１２Ｔ_２は、図８（ａ）に示すように、略長方形状の板状部材であり、その基端側の端部には、外側に向かって突出する突出部分１２Ａが形成される。積層板１２Ｔ_２は、突出部分１２Ａに形成された１つの係止部１２Ａ_１を有している。係止部１２Ａ_１は、図８（ａ）に図示された係止部１２Ａ_１の断面図である図８（ｂ）に示すように、積層板１２Ｔ_２の長手方向に平行に延びるＶ状突出部１２Ａ_ｔにより形成される。

積層板１２Ｔ_２は、図８（ｃ）に示すように、それぞれの係止部１２Ａ_１が同一位置になるように積層され、積層片１２Ｔ_２ａを形成する。図８（ａ）及び図８（ｃ）に図示された一点鎖線Ｎ_１は、図８（ｅ）に示すように、複数の積層板１２Ｔ_２を扇状にした時の径方向内側端部と径方向外側端部の中央部を示し、図９に示すように、積層板１２Ｔ_２を積層して形成されたティース部１２の径方向中央部を示す。

係止部１２Ａ_１は、図８（ｃ）に図示された係止部１２Ａ_１の部分断面図である図８（ｄ）に示すように、積層板１２Ｔ_２の長手方向に平行に延びるＶ状突出部１２Ａ_ｔにより形成される。係止部１２Ａ_１の長手方向中央部における下方への突出量は、図８（ｄ）に示すように、１枚の積層板１２Ｔ_２の厚さの約２倍程度である。そのため、１枚の積層板１２Ｔ_２に形成された係止部１２Ａ_１は、その下方に積層された２枚程度の積層板１２Ｔ_２に係合される。積層片１２Ｔ_２ａの径方向内側部分は、１つの係止部１２Ａ_１の係合により接続される。

その後、積層片１２Ｔ_２ａを、例えば円周状に湾曲した治具（図示しない）に接触するように沿わせることにより、積層コア片１２Ｔ_２ｂを形成する。図８（ｅ）に示すように、積層コア片１２Ｔ_２ｂは、その径方向内側端部を支点として、その径方向外側端部の間に隙間が形成されるように広がる。そのとき、固定子２の軸方向から見たときに、係止部１２Ａ_１の中心（図８（ａ）に示した積層板１０Ｔ_１を平面視したときの係止部１２Ａ_１の中心）は、固定子２の周方向に積層された積層板１２Ｔ_２における径方向中央部より径方向内側に配置される。

なお、第２ティース部１１ｂにおける複数の積層板１１Ｔ_１の積層方法は同様であるため、その詳細説明は省略するが、積層板１１Ｔ_１の長手方向に平行に延びるＶ状突出部１１Ａ_ｔである係止部１１Ａ_１の係合により接続され、固定子２の軸方向から見たときに、係止部１１Ａ_１の中心は、固定子２の周方向に積層された積層板１１Ｔ_１における径方向中央部より径方向内側に配置される。

図９に示すように、第１ヨーク部１０ａを固定子２の軸方向から見たときに、係止部１０Ａ_１の中心は、固定子２の周方向に積層された積層板１０Ｔ_１における径方向中央部（図９に図示された一点鎖線Ｎ_１）より径方向内側に配置される。

また、第２ヨーク部１０ｂを固定子２の軸方向から見たときに、係止部１０Ａ_２の中心は、固定子２の周方向に積層された積層板１０Ｔ_２における径方向中央部（図９に図示された一点鎖線Ｎ_２）より径方向内側に配置される。

また、ティース部１１、１２を固定子２の軸方向から見たときに、係止部１１Ａ_１、１２Ａ_１の中心は、固定子２の周方向に積層された積層板１１Ｔ_２、１２Ｔ_２における径方向内側端部と径方向外側端部の中央部（図９に図示された一点鎖線Ｎ_３）より径方向内側に配置される。

以上のように、本実施形態のリニアアクチュエータ１は、固定子２と、固定子２に対してギャップを空けて配置される可動子３とを備え、固定子２は、複数の積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２が周方向に積層された周方向積層部１０ａ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂを有し、周方向積層部１０ａ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂは、積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２を積層方向に係止部１０Ａ_１、１０Ａ_２、１１Ａ_１、１２Ａ_１により接続されており、係止部１０Ａ_１、１０Ａ_２、１１Ａ_１、１２Ａ_１の中心は、周方向積層部１０ａ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂの軸方向から見たときに、積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２における径方向中央部より径方向内側に配置される。

これにより、本実施形態のリニアアクチュエータ１では、積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２を積層方向に係止部１０Ａ_１、１０Ａ_２、１１Ａ_１、１２Ａ_１により接続された状態にした後、隣り合う積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２における係止部１０Ａ_１、１０Ａ_２、１１Ａ_１、１２Ａ_１から離れた側の端部の間に空隙を形成することにより、積層鋼板間には、隙間が均等に形成される。そのため、積層コアの内周面は、積層板間の隙間が小さくなり所望の形状の積層コアを製造することが可能であり、また従来に比べ、周方向積層部１０ａ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂの単位体積当たりの磁性体（積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２）の占める割合が増加するため磁気的性能が向上する。よって、リニアアクチュエータ１の推力性能や生産性が向上する。

本実施形態のリニアアクチュエータ１において、係止部１０Ａ_１、１０Ａ_２、１１Ａ_１、１２Ａ_１は、固定子２の軸方向に平行に延びるＶ状突出部１０Ａ_ｔ１、１０Ａ_ｔ２、１１Ａ_ｔ１、１２Ａ_ｔ１により形成される。

これにより、本実施形態のリニアアクチュエータ１では、固定子２の周方向に積層される積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２を含む周方向積層部を製造する際、周方向積層部の径方向外側端部が係止部の近くに形成された径方向内側端部と比べて開きやすくなり、積層板の積層方向が周方向に沿うようにすることが容易になるため、一般的な製造方法で製造することが可能である。これにより、リニアアクチュエータ１の生産性が向上する。

本実施形態のリニアアクチュエータ１において、固定子２は、ヨーク部１０により接続された２つのティース部１１、１２を有し、ヨーク部１０及び２つのティース部１１、１２は、周方向積層部１０ａ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂを有しており、固定子２の径方向に沿った断面において、係止部１０Ａ_１、１０Ａ_２、１１Ａ_１、１２Ａ_１の全ては、ヨーク部１０及び２つのティース部１１、１２の外側端部近傍に配置される。

これにより、本実施形態のリニアアクチュエータ１では、単相の往復駆動するリニアアクチュエータ１において、係止部の位置の全てを主磁束(界磁磁束)の通過する磁路よりも軸方向外側に配置することにより、係止部が周方向で導通回路を形成するが、磁束と鎖交することなく、渦電流による損失を抑制できる。

本実施形態の積層板の積層方法は、固定子２と、固定子２に対してギャップを空けて配置される可動子３とを備え、固定子２は、複数の積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２が周方向に積層された周方向積層部１０ａ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂを有するリニアアクチュエータにおける積層コアの積層方法であって、周方向積層部１０ａ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂを形成した場合に周方向積層部１０ａ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂの径方向内側に配置される部分に係止部１０Ａ_１、１０Ａ_２、１１Ａ_１、１２Ａ_１が形成された積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２を加工する第１工程と、第１工程において加工された積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２を係止部１０Ａ_１、１０Ａ_２、１１Ａ_１、１２Ａ_１によって係止されるようにそれぞれ積層する第２工程と、第２工程において積層された積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２における径方向外側端部の間に隙間が略均一に形成されるように広げる第３工程とを備える。

これにより、本実施形態の積層板の積層方法では、リニアアクチュエータ１が固定子２の周方向に積層された積層板１０Ｔ_１、１０Ｔ_２、１１Ｔ_２、１２Ｔ_２を含む周方向積層部１０ａ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂを容易に形成することが可能である。そのため、リニアアクチュエータ１の生産性及び性能を向上することが可能である。よって、従来の積層板の周方向積層部と比べて、生産性を向上しながら、係止部による構造堅牢性が得られ、周方向積層部による推力特性が向上する。これによって、アクチュエータの小型軽量化ができる。

（第２実施形態）
本実施形態のリニアアクチュエータ１０１と第１実施形態のリニアアクチュエータ１とが異なる点は、リニアアクチュエータ１は、２つのティース部１１、１２を有するアウター型リニアアクチュエータであるのに対し、リニアアクチュエータ１０１は、４つのティース部１１１を有するインナー型リニアアクチュエータである。

リニアアクチュエータ１０１は、図１０に示すように、インナー型リニアアクチュエータであり、円筒形状に形成された固定子１０２と、固定子１０２に対してギャップを空けて配置される円柱形状の可動子１０３とを有している。可動子１０３は、固定子１０２の径方向内側において固定子１０２の軸方向に往復移動可能に形成される。

固定子１０２は、円筒状のヨーク部（固定子ヨーク鉄心）１１０と、ヨーク部１１０の内側部から可動子１０３に向かって突出する２つのティース部（固定子磁極鉄心）１１１と、２つのティース部（固定子磁極鉄心）１１２とを有している。４つのティース部１１１、１１２は、それぞれ、固定子１０２の軸方向に離れて形成されると共に、ヨーク部１１０の全周にわたって形成される。隣り合うティース部１１１、１１２間には、コイル１１６がそれぞれ配置される。固定子１０２のティース部１１１、１１２の先端と可動子１０３の内側面との間は、ギャップが形成される。

ヨーク部１１０（周方向積層部１１０ａ）は、固定子１０２の周方向に積層された複数の積層板１１０Ｔ_１を含むヨーク周方向積層部である。積層板１１０Ｔ_１は、略長方形の板状部材であり、その幅は、４つのティース部１１１、１１２の外側端部間の距離と略同一である。ヨーク部１１０の径方向内側には、その全周にわたって内側に向かって突出する３つの突部１１０Ｄが形成されている。

複数の積層板１１０Ｔ_１は、積層板１１０Ｔ_１の長手方向（固定子１０２の軸方向）に離れた２つの係止部１１０Ａ_１により接続される。ヨーク部１１０の周方向積層部に形成された２つの係止部１１０Ａ_１は、４つのティース部１１１、１１２の軸方向外側に配置される。２つの係止部１１０Ａ_１は、それぞれ、積層板１１０Ｔ_１の長手方向に平行に延びるＶ状突出部により形成される。そのとき、固定子１０２の軸方向から見たときに、係止部１１０Ａ_１の中心は、固定子１０２の周方向に積層された積層板１１０Ｔ_１における径方向中央部より径方向内側に配置される。

ティース部１１１は、径方向外側に配置される第１ティース部１１１ａと、第１ティース部１１１ａより径方向内側に配置される第２ティース部１１１ｂとを含んでいる。２つのティース部１１１の第２ティース部１１１ｂの形状は、略同一形状である。

第１ティース部１１１ａは、ティース部１１１の基端部において、固定子１０２の軸方向に積層された複数の積層板１１１Ｔ_１を含むティース軸方向積層部である。積層板１１１Ｔ_１は、環状の板状部材である。複数の積層板１１１Ｔ_１は、図示しない係止部により接続される。

第２ティース部１１１ｂ（周方向積層部１１１ｂ）は、ティース部１１１の先端部において、固定子１０２の周方向に積層された複数の積層板１１１Ｔ_２を含む周方向積層部である。積層板１１１Ｔ_２は、図１０に示すように、略長方形の板状部材である。第２ティース部１１１ｂは、ティース部１１１のギャップ面を有している。複数の積層板１１１Ｔ_２は、１つの係止部１１１Ａ_１により接続される。第２ティース部１１１ｂに形成された係止部１１１Ａ_１は、第２ティース部１１１ｂの軸方向中央部に配置される。そのとき、固定子１０２の軸方向から見たときに、係止部１１１Ａ_１の中心は、固定子１０２の周方向に積層された積層板１１１Ｔ_２における径方向中央部より径方向内側に配置される。

ティース部１１２は、径方向外側に配置される第１ティース部１１２ａと、第１ティース部１１２ａより径方向内側に配置される第２ティース部１１２ｂとを含んでいる。２つのティース部１１２の第２ティース部１１２ｂの形状は、略同一形状である。

第１ティース部１１２ａは、ティース部１１２の基端部において、固定子１０２の軸方向に積層された複数の積層板１１２Ｔ_１を含む軸方向積層部である。積層板１１２Ｔ_１は、環状の板状部材である。複数の積層板１１２Ｔ_１は、図示しない係止部により接続される。

第２ティース部１１２ｂ（周方向積層部１１２ｂ）は、ティース部１１２の先端部において、固定子１０２の周方向に積層された複数の積層板１１２Ｔ_２を含むティース周方向積層部である。積層板１１２Ｔ_２は、図１０に示すように、略長方形の板状部材である。第２ティース部１１２ｂは、ティース部１１２のギャップ面を有している。複数の積層板１１２Ｔ_２は、１つの係止部１１２Ａ_１により接続される。第２ティース部１１２ｂに形成された係止部１１２Ａ_１は、第２ティース部１１２ｂの軸方向中央部に配置される。そのとき、固定子１０２の軸方向から見たときに、係止部１１２Ａ_１の中心は、固定子１０２の周方向に積層された積層板１１２Ｔ_２における径方向中央部より径方向内側に配置される。

このように、リニアアクチュエータ１０１では、２つのティース部１１１及び２つのティース部１１２が、それぞれ、第１ティース部１１１ａ、１１２ａと第２ティース部１１１ｂ、１１２ｂとに径方向に２分割されている。

固定子１０２において、第１ティース１１１ａ、１１２ａでは、複数の積層板１１１Ｔ_１、１１２Ｔ_１が固定子の軸方向に積層されており、第２ティース部１１１ｂ、１１２ｂでは、複数の積層板１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２が固定子１０２の周方向に積層されている。

リニアアクチュエータ１０１の動作は、第１実施形態のリニアアクチュエータ１の動作と同様であり、その詳細説明は省略するが、コイル１６への三相交流電流を流すことにより、可動子１０３は、ティース部１１１、１１２に対して軸方向に所定のストロークで往復動する。

なお、ヨーク部１１０における複数の積層板１１０Ｔ_１、第２ティース部１１１ｂ、１１２ｂにおける複数の積層板１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２の積層方法は、第１実施形態で説明した積層板の積層方法と同様であり、複数の係止部１１０Ａ_１、１１１Ａ_１、１１２Ａ_１は、積層板１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２の長手方向に平行に延びるＶ状突出部を有し、ヨーク部１１０やティース部１１１、１１２部を固定子１０２の軸方向から見たときに、係止部１１０Ａ_１、１１１Ａ_１、１１２Ａ_１の中心は、固定子１０２の周方向に積層された積層板１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２における径方向内側端部と径方向外側端部の中央部より径方向内側に配置される。

以上のように、本実施形態のリニアアクチュエータ１０１は、固定子１０２と、固定子１０２に対してギャップを空けて配置される可動子１０３とを備え、固定子１０２は、複数の積層板１１０Ｔ_１、１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２が周方向に積層された周方向積層部１１０ａ、１１１ｂ、１１２ｂを有し、周方向積層部１１０ａ、１１１ｂ、１１２ｂは、積層板１１０Ｔ_１、１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２を積層方向に係止部１１０Ａ_１、１１１Ａ_１、１１２Ａ_１により接続されており、係止部１１０Ａ_１、１１１Ａ_１、１１２Ａ_１の中心は、周方向積層部１１０ａ、１１１ｂ、１１２ｂの軸方向から見たときに、積層板１１０Ｔ_１、１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２における径方向中央部より径方向内側に配置される。

これにより、本実施形態のリニアアクチュエータ１０１では、積層板１１０Ｔ_１、１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２を積層方向に係止部１１０Ａ_１、１１１Ａ_１、１１２Ａ_１により接続された状態にした後、隣り合う積層板１１０Ｔ_１、１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２における係止部１１０Ａ_１、１１１Ａ_１、１１２Ａ_１から離れた側の端部の間に空隙を形成することにより、積層鋼板間には、隙間が均等に形成される。そのため、積層コアの内周面は、積層板間の隙間が小さくなり所望の形状の積層コアを製造することが可能であり、また従来に比べ、周方向積層部１１０ａ、１１１ｂ、１１２ｂの単位体積当たりの磁性体（積層板１１０Ｔ_１、１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２）の占める割合が増加するため磁気的性能が向上する。よって、リニアアクチュエータ１０１の推力性能や生産性が向上する。

本実施形態のリニアアクチュエータ１０１において、係止部１１０Ａ_１、１１１Ａ_１、１１２Ａ_１は、固定子１０２の軸方向に平行に延びるＶ状突出部により形成される

これにより、本実施形態のリニアアクチュエータ１０１では、固定子１０２の周方向に積層された複数の積層板１１０Ｔ_１、１１１Ｔ_２、１１２Ｔ_２を含む周方向積層部を製造する際、周方向積層部の径方向外側端部が係止部の近くに形成された径方向内側端部と比べて開きやすくなり、複数の積層板の積層方向が周方向に沿うようにすることが容易になるため、一般的な製造方法で製造することが可能である。これにより、リニアアクチュエータ１の生産性が向上する。

本実施形態のリニアアクチュエータ１０１において、固定子１０２は、ヨーク部１１０により接続された４つのティース部１１１、１１２を有し、４つのティース部１１１、１１２は、周方向積層部である第２ティース部１１１ｂ、１１２ｂを有しており、固定子１０２の径方向に沿った断面において、第２ティース部１１１ｂ、１１２ｂに形成された係止部１１１Ａ_１、１１２Ａ_１は、それぞれ、第２ティース部１１１ｂ、１１２ｂの軸方向中央部に配置される。

これにより、本実施形態のリニアアクチュエータ１０１では、複数相のリニアアクチュエータにおいて、ティース部１１１、１１２に形成された係止部位置をティース部１１１、１１２の軸方向中央部に配置することにより、係止部が周方向で導通回路を形成した場合でも、磁束と鎖交することなく、渦電流による損失を抑制でき、リニアアクチュエータ１０１の性能が向上する。

本実施形態のリニアアクチュエータ１０１において、固定子１０２は、ヨーク部１１０により接続された４つのティース部１１１、１１２を有し、ヨーク部１１０は、周方向積層部を有しており、固定子１０２の径方向に沿った断面において、ヨーク部１１０の周方向積層部に形成された係止部１１０Ａ_１は、４つのティース部１１１、１１２の軸方向外側に配置される。

これにより、本実施形態のリニアアクチュエータ１０１では、複数相のリニアアクチュエータにおいて、ヨーク部１１０の周方向積層部に形成された係止部位置を４つのティース部１１１、１１２の軸方向外側に配置することにより、係止部が周方向で導通回路を形成した場合でも、磁束と鎖交することなく、渦電流による損失を抑制でき、リニアアクチュエータ１０１の性能が向上する。

なお、具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。

上記第１及び第２実施形態では、固定子の周方向に積層された複数の積層板が、係止部のみにより接続されているが、モールドやワニス等の樹脂類で固定してもよい。

上記第１及び第２実施形態では、固定子の軸方向から見たときに、係止部の全体が、固定子の周方向に積層された積層板における径方向中央部より径方向内側に配置されるが、それに限られない。すなわち、係止部の中心が、固定子の周方向に積層された積層板における径方向中央部より径方向内側に配置される場合に、本発明の効果が得られる。

上記第１及び第２実施形態では、固定子の周方向に積層された複数の積層板が、固定子の軸方向に平行に延びるＶ状突出部を有する係止部により接続されているが、複数の積層板を接続する係止部の突出部の形状（カシメ加工の種類）、配置、数は任意である。また、係止部が延びる方向は、周方向積層部の軸方向に対して平行であることが望ましい。カシメ加工の種類は、Ｖ突起カシメに限られず、例えば台形状突出部を有する台形カシメや、円形状突出部を有する円形カシメや、片側カシメでもよい。

上記第１実施形態では、ヨーク部１０が、第１ヨーク部１０ａと第２ヨーク部１０ｂとに径方向に２分割されると共に、ティース部１１、１２が、それぞれ、第１ティース部１１ａ、１２ａと第２ティース部１１ｂ、１２ｂとに径方向に２分割されているが、それに限られない。例えば、ヨーク部１０は、分割されなくてよいし、３以上に分割されてよい。ティース部１１、１２は、３以上に分割されてよい。

上記第２実施形態では、ティース部１１１、１１２が、それぞれ、第１ティース部１１１ａ、１１２ａと第２ティース部１１１ｂ、１１２ｂとに径方向に２分割されているが、それに限られない。ティース部１１１、１１２は、３以上に分割されてよい。ヨーク部１１０は、径方向に分割されてないが、ヨーク部１１０が、径方向に２以上に分割されてよい。

本発明は、ヨーク部またはティース部の少なくとも一部が、複数の積層板が固定子の周方向に積層された周方向積層部である場合に、上記実施形態と同様の効果が得られる。また、ヨーク部とティース部を一体化した構造に対して周方向積層部を適用しても、上記実施形態と同様の効果が得られる。

本発明は、固定子のヨーク部またはティース部の少なくとも一部に、複数の積層板が固定子の周方向に積層された周方向積層部を有しているが、可動子の一部に周方向積層部を有しても上記実施形態と同様の効果が得られる。例えば、図１４（ａ）に示すように、可動子３０３が第１積層部３０３ａ（軸方向積層部）と第２積層部３０３ｂ（周方向積層部）を含み、第１積層部３０３ａに永久磁石５ａ、５ｂ、５ｃを埋込んで、第２積層部３０３ｂに係止部３０３ｃを配置してもよい。係止部３０３ｃの中心は、固定子に係止部を配置した場合と同様に、第２積層部３０３ｂを可動子３０３の軸方向から見たときに、可動子３０３の周方向における径方向内側端部と径方向外側端部の中央部より径方向内側に配置すればよい。また、図１４（ｂ）に示すように、可動子４０３の第１積層部４０３ａ（周方向積層部）に永久磁石５ａ、５ｂ、５ｃを接着等により取付し、図１４（ａ）の第２積層部３００ｂと同様に、第１積層部４０３ａに係止部４０３ｃを配置してもよい

上記第１実施形態のリニアアクチュエータ１において、ティース部１１とティース部１２の形状は対称形状であるが、それに限られない。上記第２実施形態のリニアアクチュエータ１０１において、ティース部１１１とティース部１１２の形状は略対称形状であるが、それに限られない。

上記第１実施形態では、２つのティース部１１、１２を有する固定子２について説明したが、固定子２のティース部の数は、３以上の任意の数でもよい。

上記第２実施形態では、４つのティース部１１１、１１２を有する固定子１０２について説明したが、固定子１０２のティース部の数は、２つ、３つまたは５以上の任意の数でもよい。

上記第１実施形態では、固定子２において、第１ヨーク部１０ａ、第２ヨーク部１０ｂ、第１ティース部１１ａ、１２ａ及び第２ティース部１１ｂ、１２ｂは、複数の積層板が機械的変形を伴う係止部により接続されて形成されるが、複数の積層板の接続方法は、それに限られない。上記第２実施形態も同様である。ヨーク部１０を形成する複数の積層板及びティース部１１を形成する複数の積層板は、例えば接着やレーザなどにより接合される接合部により接続されてよい。この場合、接合部を積層コアの内周面側に設けることが好ましい。

上記実施形態では、可動子３の内部に、平板状の永久磁石５ａ、５ｂ、５ｃが配置されているが、可動子３の内部に配置される永久磁石の形状は、平板状に限らず、円筒状や扇型状、瓦型状など任意である。

上記第1実施形態では、例えば積層板１０Ｔ_１の係止部１０Ａ_１（Ｖ状突出部１０Ｔ_ｔ１）の長手方向中央部における下方への突出量が、図１１（ａ）に示すように、１枚の積層板１０Ｔ_１の厚さと略同一であるが、係止部１０Ａ_１の長手方向中央部における下方への突出量は、任意である。よって、係止部１０Ａ_１の突出量は、図１１（ｂ）に示すように、１枚の積層板１０Ｔ_１の厚さより小さくてもよい。また、係止部１０Ａ_１の突出量は、図１１（ｃ）に示すように、１枚の積層板１０Ｔ_１の厚さより大きくてもよい。なお、積層板１０Ｔ_２の係止部１０Ａ_２（Ｖ状突出部１０Ｔ_ｔ２）、積層板１１Ｔ_２の係止部１１Ａ_１（Ｖ状突出部１１Ｔ_ｔ）、積層板１２Ｔ_２の係止部１２Ａ_１（Ｖ状突出部１２Ｔ_ｔ）についても同様である。

上記実施形態において、例えば、図１２に示すように、固定子２の第２ティース部１１ｂ、１２ｂの径方向外側に、コイル１６を配線する為の切欠き部１３を形成してもよい。図１２には、第２ティース部１２ｂの径方向外側に形成される切欠き部１３を図示し、以下、第２ティース部１２ｂの径方向外側に形成される切欠き部１３について説明するが、第１ティース部１１ｂの径方向外側に形成される切欠き部１３についても同様である。

切欠き部１３が第２ティース部１２ｂの径方向外側に形成される場合、切欠き部１３の径方向内側部分である第２ティース部１２ｂ’は、図１３（ａ）に示すように、第２ティース部１２ｂの積層板１２Ｔ_２の径方向において、突出部分１２Ａ及び係止部１２Ａ_１を含むようにカットした略長方形の板状部材である積層板１２Ｔ_２’を固定子２の周方向に積層したティース周方向積層部である。この場合は、係止部１２Ａ_１の中心は、第２ティース部１２ｂ’を固定子２の軸方向から見たときに、固定子２の周方向に積層された積層板１２Ｔ_２’における径方向内側端部と径方向外側端部の中央部（図１３（ａ）に図示された一点鎖線Ｎ_４）より径方向内側に配置される。

第２ティース部１２ｂ’は、図１３（ｂ）に示すように、第２ティース部１２ｂと同様の積層方法により積層コア片１２Ｔ_２ｂ’を形成して、係止部１２Ａ_１は、第２ティース部１２ｂと同様に、ティース部１２の外側端部近傍に配置される。これにより、第２ティース部１２ｂと第２ティース部１２ｂ’を組み合わせた円環状の周方向積層部を形成する際、所望の形状の積層コアを製造でき、コイル１６を切欠き１３に収納して軸方向に配線することにより、リニアアクチュエータの小型化が可能である。なお、第２ティース部１２ｂ’は、磁気的性能の向上に直接影響しないため、図１３（ｃ）に示すように、積層板１２Ｔ_２の形状を突出部分１２Ａの径方向長さに合わせてカットして略長方形の板状部材にするなど、係止部１２Ａ_１によって積層可能な範囲で変更してよい。

１ リニアアクチュエータ
２ 固定子
３ 可動子
１０ ヨーク部
１０ａ 第１ヨーク部（周方向積層部）
１０ｂ 第２ヨーク部（周方向積層部）
１０Ｔ_１、１０Ｔ_２ 積層板
１０Ａ_１、１０Ａ_２ 係止部
１１ ティース部
１１ｂ 第２ティース部（周方向積層部）
１１Ｔ_１、１１Ｔ_２ 積層板
１１Ａ_１ 係止部
１２ ティース部
１２ｂ 第２ティース部（周方向積層部）
１２Ｔ_１、１２Ｔ_２ 積層板
１２Ａ_１ 係止部
１６ コイル
１０１ リニアアクチュエータ
１０２ 固定子
１０３ 可動子
１１０ ヨーク部（周方向積層部）
１１０Ｔ_１ 積層板
１１０Ａ_１ 係止部
１１１ ティース部
１１１ｂ 第２ティース部（周方向積層部）
１１１Ｔ_１、１１１Ｔ_２ 積層板
１１１Ａ_１ 係止部
１１２ ティース部
１１２ｂ 第２ティース部（周方向積層部）
１１２Ｔ_１、１１２Ｔ_２ 積層板
１１２Ａ_１ 係止部
１１６ コイル

Claims (6)

1. 固定子と、
   前記固定子に対してギャップを空けて配置される可動子とを備え、
   前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方は、隣り合う２枚の積層板間に径方向内側から径方向外側に向かって徐々に大きくなる隙間が形成されるように複数の積層板が周方向に積層された周方向積層部を有し、
   前記周方向積層部は、積層板を積層方向に係止部により接続されており、
   前記係止部の中心は、前記周方向積層部の軸方向から見たときに、前記積層板における径方向中央部より径方向内側に配置されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 前記係止部は、前記固定子の軸方向に平行に延びるＶ状突出部により形成されることを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
3. 前記固定子は、ヨーク部と、前記ヨーク部により接続された２つのティース部を有し、
   前記ヨーク部及び前記２つのティース部の少なくとも一方は、前記周方向積層部を有しており、
   前記固定子の径方向に沿った断面において、前記係止部の全ては、前記ヨーク部及び前記２つのティース部の外側端部近傍に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載のリニアアクチュエータ。
4. 前記固定子は、前記ヨーク部により接続された３以上のティース部を有し、
   前記３以上のティース部の少なくとも一方は、前記周方向積層部を有しており、
   前記固定子の径方向に沿った断面において、前記ティース部の前記周方向積層部に形成された前記係止部は、それぞれ、前記ティース部の軸方向中央部に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載のリニアアクチュエータ。
5. 前記固定子は、前記ヨーク部により接続された３以上のティース部を有し、
   前記ヨーク部は、前記周方向積層部を有しており、
   前記固定子の径方向に沿った断面において、前記ヨーク部の前記周方向積層部に形成された前記係止部は、前記３以上のティース部の軸方向外側に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載のリニアアクチュエータ。
6. 固定子と、前記固定子に対してギャップを空けて配置される可動子とを備え、前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方は、隣り合う２枚の積層板間に径方向内側から径方向外側に向かって徐々に大きくなる隙間が形成されるように複数の積層板が周方向に積層された周方向積層部を有するリニアアクチュエータにおける積層コアの製造方法であって、
   前記周方向積層部を形成した場合に前記周方向積層部の径方向内側に配置される部分に係止部が形成された積層板を加工する第１工程と、
   前記第１工程において加工された前記積層板を前記係止部によって係止されるように積層する第２工程と、
   前記第２工程において積層された前記積層板における径方向外側端部の間に隙間が略均一に形成されるように広げる第３工程とを備えることを特徴とする積層コアの製造方法。
   

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