JP7501550B2 - 磁性薄膜およびその製造方法 - Google Patents
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Description
(1)本発明は、下記に示す原子比からなるCo基合金を含む磁性薄膜である。
Cox[Mny(Gaz Ge1-z)1-y]1-x
0.4 ≦ x ≦ 0.55、0.35 ≦ y ≦ 0.6、0.1 ≦ z ≦ 0.9
本発明は、磁性薄膜の製造方法としても把握される。例えば、本発明は、基板上または下地層上に原料を堆積させて合金層を得る成層工程を備え、その合金層から磁性薄膜を得る製造方法でもよい。
(1)本明細書では、特に断らない限り、合金組成をその構成元素の原子比(またはat%)により示す。説明の便宜上、全体を1または100at%とし合金組成を示すが、その合金中には、不純物元素や特性を改善する元素(改質元素)が含まれてもよい。もっとも、その範囲は、例えば、1at%以下さらには0.5at%以下であるとよい。不純物元素や改質元素の含有分は、特に断らない限り、合金中に最も多く含まれる主元素(Co基合金ならCo)の組成比(Co基合金がx)の減少分として考慮されればよい。
(1)組成
磁性薄膜に含まれるCo基合金は、Cox[Mny(Gaz Ge1-z)1-y]1-x で示される。Coの原子比(x)は、合金全体を1として、例えば、0.4 ~ 0.55、0.45~0.52さらには0.47~0.51である。合金全体を100原子%(適宜、単に「%」で示す。)とするなら、Coは、例えば、40~55%、45~52%さらには47~51%である。
Co基合金は、例えば、L21構造またはB2構造からなる結晶構造を有し、さらに規則合金であるとよい。
(1)Co基合金からなる磁性薄膜は、例えば、膜厚が5~400nm、10~200nm、さらには20~100nmである。磁性薄膜は、基板や下地層に形成される。基板は、例えば、MgO、Si、サファイア、SiC等の単結晶面を有する。下地層は、結晶の整合や成長を促すバッファ層でもよいし、磁性薄膜(磁性層)と組み合わせられる機能層(電極層、絶縁層、非磁性層等)でもよい。このような下地層は、例えば、Cr層、MgO層、Ag層、Mo層、W層等である。
(1)磁性薄膜は、例えば、基板上または下地層上に原料を堆積させて合金層を得る成層工程を経て得られる。成層工程は、例えば、物理蒸着法(PVD)、化学蒸着法(CVD)等の公知な薄膜法によりなされる。真空蒸着法(スパッタリング、真空加熱蒸着、パルスレーザ蒸着等)などのPVDによれば、種々のターゲット(原料)を用いつつ、所望組成の合金層を得ることができる。真空蒸着は、例えば、10-3~10-8Paさらには10-5~10-7Pa程度の高真空下でなされる。成層時の温度(基板温度、下地温度)は、例えば、室温付近(60℃以下さらには40℃以下)~600℃である。
磁性薄膜は、例えば、各種のスピントロニクスデバイス(素子を含む。)に用いられる。スピントロニクスデバイスは、例えば、磁気センサ、磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)、磁気論理回路等である。
スパッタリング法により、MgO基板の単結晶面上に、GaとGeの原子比(z)が異なるCo基合金からなる種々の薄膜(試料)を形成した。具体的には次の通りである。なお、MgO単結晶面は、基板を研磨した(100)面とした。
(1)X線回折装置(株式会社リガク製RINT-TTR II /使用X線:Cu-Kα線、2θ:30~90℃)を用いて、各試料(薄膜)の結晶構造をその上面側から解析した。
(1)各試料の異方性磁気抵抗変化率(AMR比)を測定した。なお、巨大磁気抵抗効果(GMR)やトンネル磁気抵抗効果(TMR)は多層薄膜の伝導特性を反映するため、本実施例では、磁性薄膜単層の伝導特性の指標として、異方性磁気抵抗効果(AMR)を示すAMR比を選択した。
Claims (9)
- 下記に示す原子比からなるCo基合金を含む磁性薄膜。
Cox[Mny(Gaz Ge1-z)1-y]1-x
0.4 ≦ x ≦ 0.55、
0.35 ≦ y ≦ 0.6、
0.55 ≦ z ≦ 0.8 - 前記Co基合金は、結晶構造がL21構造またはB2構造である請求項1に記載の磁性薄膜。
- 前記Co基合金は、0.65 ≦ z ≦ 0.75である請求項1または2に記載の磁性薄膜。
- 前記Co基合金は、x=0.5である請求項1~3のいずれかに記載の磁性薄膜。
- 前記Co基合金は、y=0.44である請求項1~4のいずれかに記載の磁性薄膜。
- 前記Co基合金は、Mnの一部がFeで置換されている請求項1~5のいずれかに記載の磁性薄膜。
- 膜厚が5~400nmである請求項1~6のいずれかに記載の磁性薄膜。
- 基板上または下地層上に原料を堆積させて合金層を得る成層工程を備え、
該合金層から請求項1~7のいずれかに記載した磁性薄膜を得る製造方法。 - さらに、前記合金層を400~700℃に加熱する熱処理工程を備える請求項8に記載の磁性薄膜の製造方法。
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