JP7495691B2 - ガス濃度測定方法及びガス濃度測定装置 - Google Patents
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
12:薄板部材
14:多孔質体
18a、18b:電極
20:ガス供給管
30:ガス供給用電磁バルブ
40:制御装置
50:空気供給管
60:空気供給用電磁バルブ
70:容器
Claims (6)
- 測定対象ガスの濃度に対応する出力値を出力するガスセンサにより当該測定対象ガスの濃度を測定するガス濃度測定方法において、
前記測定対象ガスの濃度に対応する出力値に達する時間よりも短い第1の時間の間、前記ガスセンサを前記測定対象ガスに暴露させる暴露工程と、前記第1の時間経過後第2の時間の間暴露を停止させる暴露停止工程とを複数回繰り返して前記ガスセンサを前記測定対象ガスに間欠的に暴露させる間欠暴露工程と、
前記複数回の暴露工程における各暴露工程の開始から前記第1の時間経過するまでの間の前記ガスセンサの出力値を取得する取得工程と、
各暴露工程における前記取得工程により取得した出力値の時間変化率に基づいて、前記測定対象ガスの濃度を求める工程とを備えることを特徴とするガス濃度測定方法。 - 前記測定対象ガスの濃度に対応する出力値に達する時間は、前記ガスセンサを前記測定対象ガスに暴露させ続けた場合に前記測定対象ガスの濃度に対応する出力値に達して当該出力値が平衡状態となる時間であり、
前記間欠暴露工程にかかる時間は、前記測定対象ガスの濃度に対応する出力値に達する時間よりも短いことを特徴とする請求項1に記載のガス濃度測定方法。 - 前記暴露停止工程において、前記第2の時間の間、前記ガスセンサに空気を吹き付けることを特徴とする請求項1又は2に記載のガス濃度測定方法。
- 前記暴露工程において、前記ガスセンサに前記測定対象ガスを吹き付けて暴露させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のガス濃度測定方法。
- 前記第1の時間は、前記暴露工程の開始から増大していく前記ガスセンサの出力値の時間変化率が増加から減少に変化する前までの時間であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のガス濃度測定方法。
- 測定対象ガスの濃度を測定するガス濃度測定装置において、
測定対象ガスの濃度に対応する出力値を出力するガスセンサと、
前記測定対象ガスの濃度に対応する出力値に達する時間よりも短い第1の時間の間、前記ガスセンサを前記測定対象ガスに暴露させる暴露期間と、前記第1の時間経過後第2の時間の間暴露を停止させる暴露停止期間とを複数回繰り返して前記ガスセンサを前記測定対象ガスに間欠的に暴露させるように、前記ガスセンサを前記測定対象ガスに暴露させる時間を制御する暴露制御手段と、
前記複数回の暴露期間における各暴露期間の開始から前記第1の時間経過するまでの間の前記ガスセンサの出力値を取得し、各暴露期間において取得した出力値の時間変化率に基づいて、前記測定対象ガスの濃度を演算する演算手段とを備えることを特徴とするガス濃度測定装置。
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